專(zhuān)利名稱(chēng)：一種石英舟上下料工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工工具技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種石英舟上下料工具。
背景技術(shù)：
太陽(yáng)能是人類(lèi)取之不盡用之不竭的可再生能源.也是清潔能源，不產(chǎn)生任何的環(huán) 境污染。在太陽(yáng)能的有效利用當(dāng)中；大陽(yáng)能光電利用是近些年來(lái)發(fā)展最快，最具活力的研 究領(lǐng)域，是其中最受矚目的項(xiàng)目之一。為此，人們研制和開(kāi)發(fā)了太陽(yáng)能電池。制作太陽(yáng)能電 池主要是以半導(dǎo)體材料為基礎(chǔ)，其工作原理是利用光電材料吸收光能后發(fā)生光電與轉(zhuǎn)換反 應(yīng)，其中最重要的太陽(yáng)能電池為晶硅太陽(yáng)電池。晶硅太陽(yáng)能電池的制絨工藝就是把相對(duì)光滑的原材料硅片的表面通過(guò)酸或堿腐 蝕，使其凹凸不平，變得粗糙，形成漫反射，減少直射到硅片表面的太陽(yáng)能的損失。在制絨工 序完成后要進(jìn)行擴(kuò)散工序，該工序的目的是形成PN結(jié)，在擴(kuò)散工序中用于裝載硅片進(jìn)行擴(kuò) 散的舟狀承裝物稱(chēng)為石英舟。用于石英舟上下料的轉(zhuǎn)移專(zhuān)用工具稱(chēng)為舟叉。采用舟叉進(jìn)行下料時(shí)，因擴(kuò)散后石英舟溫度較高，需無(wú)污染且耐高溫的材料。故應(yīng) 用于手動(dòng)石英舟上下料的傳統(tǒng)舟叉上的舟套均采用石英材料制成。傳統(tǒng)舟叉由于采用鋼制 內(nèi)芯外包石英材料的筒套結(jié)構(gòu)，成本較高，而且容易因輕微碰撞而損壞，且使用過(guò)程中產(chǎn)生 的微裂紋存在安全隱患。但是，目前擴(kuò)散工藝已經(jīng)改良，即在擴(kuò)散工藝中增加了冷卻步驟，因此石英筒套的 耐高溫性能發(fā)揮不了作用，但是其成本高和易碎的缺點(diǎn)卻更加突顯。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種石英舟上下料工具，以降低石英舟上下料工具 的生產(chǎn)成本。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種石英舟上下料工具，包括舟叉本體和套設(shè)在所述舟叉本體上的塑料舟套。優(yōu)選的，在上述石英舟上下料工具中，還包括套設(shè)在所述舟叉本體一端的手柄。優(yōu)選的，在上述石英舟上下料工具中，所述手柄的橫截面為圓形，且其直徑由兩端 向中間逐漸減小。 優(yōu)選的，在上述石英舟上下料工具中，所述舟叉本體為“Z”字形結(jié)構(gòu)。 從上述的技術(shù)方案可以看出，和現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)在舟叉本 體上套設(shè)塑料舟套，在保證不引入沾污雜質(zhì)的前提下，最大限度地降低了生產(chǎn)成本，且減少 了因石英舟叉使用過(guò)程中產(chǎn)生的微裂紋存在的操作安全隱患問(wèn)題。由于擴(kuò)散后石英舟還需 經(jīng)過(guò)冷卻處理，所以塑料舟套可以滿(mǎn)足使用要求。
為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅 是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提 下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英舟上下料工具的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的舟叉的剖視圖；圖3為本實(shí)用新型另一實(shí)施例提供的石英舟上下料工具的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種石英舟上下料工具，以降低石英舟上下料工具的生產(chǎn)成 本。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的 實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下 所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖1和圖2，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英舟上下料工具的結(jié)構(gòu)示意 圖，圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的舟叉的剖視圖。本實(shí)用新型提供的石英舟上下料工具，包括舟叉本體1和套設(shè)在所述舟叉本體1 上的塑料舟套2。本實(shí)用新型通過(guò)塑料舟套2替換掉現(xiàn)有的石英舟套，因?yàn)閿U(kuò)散后石英舟還 需經(jīng)過(guò)冷卻處理，石英舟的溫度會(huì)減低，塑料舟套2可以滿(mǎn)足使用要求。本實(shí)用新型通過(guò)將 塑料舟套2替換掉現(xiàn)有的石英舟套，在保證不引入沾污雜質(zhì)的前提下，最大限度地降低了 生產(chǎn)成本，且減少了因石英舟叉使用過(guò)程中產(chǎn)生的微裂紋存在的操作安全隱患問(wèn)題。 為了便于操作，本實(shí)用新型還可以包括套設(shè)在所述舟叉本體1 一端的手柄3。手柄 3的外形以便于人手操握為準(zhǔn)，例如手柄3的橫截面可以為圓形，且其直徑由兩端向中間逐 漸減小。還可以在手柄3的外表面上加工出摩擦橫紋，以防止操作過(guò)程中打滑，造成安全隱患。舟叉本體1為可以“Ζ”字形結(jié)構(gòu)，即舟叉本體1的前端(和手柄3相對(duì)的一端) 為和石英舟接觸的部位，后端和手柄3相連，中間位過(guò)渡段。舟叉本體1的前端和后端不在 同以直線上，因此過(guò)渡段可以作為石英舟的限位，進(jìn)一步保證轉(zhuǎn)載石英舟時(shí)的穩(wěn)定性，提高 轉(zhuǎn)載安全系數(shù)。本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他 實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新 型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定 義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因 此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理 和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種石英舟上下料工具，其特征在于，包括舟叉本體(1)和套設(shè)在所述舟叉本體(1) 上的塑料舟套O)。
2.如權(quán)利要求1所述的石英舟上下料工具，其特征在于，還包括套設(shè)在所述舟叉本體 (1) 一端的手柄⑶。
3.如權(quán)利要求2所述的石英舟上下料工具，其特征在于，所述手柄(3)的橫截面為圓 形，且其直徑由兩端向中間逐漸減小。
4.如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的石英舟上下料工具，其特征在于，所述舟叉本體(1)為 “Z”字形結(jié)構(gòu)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種石英舟上下料工具，包括舟叉本體(1)和套設(shè)在所述舟叉本體(1)上的塑料舟套(2)。本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)在舟叉本體上套設(shè)塑料舟套，在保證不引入沾污雜質(zhì)的前提下，最大限度地降低了生產(chǎn)成本，且減少了因石英舟叉使用過(guò)程中產(chǎn)生的微裂紋存在的操作安全隱患問(wèn)題。由于擴(kuò)散后石英舟還需經(jīng)過(guò)冷卻處理，所以塑料舟套可以滿(mǎn)足使用要求。
文檔編號(hào)H01L21/00GK201853685SQ201020603240
公開(kāi)日2011年6月1日 申請(qǐng)日期2010年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月11日
發(fā)明者何磊, 楊征, 汪琴霞, 王競(jìng)爭(zhēng), 錢(qián)曉芳 申請(qǐng)人:江陰浚鑫科技有限公司