專(zhuān)利名稱：激光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光裝置，特別是固體激光器，其在具有兩條各具有一個(gè)諧振器鏡(Resonatorspiegel)的諧振支路(Resonatorzweig)的諧振器內(nèi)具有至少一個(gè)活性(aktiv)介質(zhì)，諧振支路借助光學(xué)系統(tǒng)通過(guò)一個(gè)公共的物鏡被單側(cè)(einseitig)泵浦 (g印umpt)，其中該物鏡構(gòu)成用于諧振支路的V形設(shè)置的折疊元件(i^ltimgselement)。
背景技術(shù)：
固體激光器中出現(xiàn)這樣的問(wèn)題，即活性介質(zhì)對(duì)于通過(guò)的光具有由熱引起的折射能力。泵浦過(guò)程(Pumpprozess)導(dǎo)致介質(zhì)的溫度升高，因?yàn)閮H一部分被吸收的泵浦功率轉(zhuǎn)換為有用的射束(Strahlimg)，剩余的以熱的形式傳導(dǎo)給材料。同時(shí)，外側(cè)的冷卻導(dǎo)致一種溫度曲線。其由于折射率的溫度依賴性和熱光張力(thermooptischen Spannung)而產(chǎn)生一種折射率曲線?；旧希軌蛴眠m宜的諧振器應(yīng)對(duì)每一個(gè)熱透鏡。眾所周知以下這種可能性，把激光棒的一端或兩端磨成凹入的端面、在諧振器內(nèi)插入單個(gè)負(fù)透鏡、或者完全一般性地選擇一個(gè)適宜的諧振器配置。特別是在為激光振蕩點(diǎn)(LasersctwelleM其自身強(qiáng)烈地依賴于所選擇的諧振器)的泵浦功率直到最大泵浦功率的整個(gè)區(qū)域?qū)ふ疫m宜的諧振器的情況下出現(xiàn)困難。二極管激光泵浦的固體激光器的縱向激勵(lì)相對(duì)于橫向泵浦提供重大優(yōu)點(diǎn)。其中， 由半導(dǎo)體激光器發(fā)射的射束在激光模軸線(Lasermodenachse)的方向或者對(duì)于放大器在振蕩輻射(Oszillatorstrahl)的方向上耦合，使得產(chǎn)生泵浦輻射體積(PumpstrahIvolumen) 與模體積或者與在放大器中要放大的輻射(Strahl)最優(yōu)地重疊。由于泵浦輻射體積與模體積的最優(yōu)重疊而產(chǎn)生更高的效率。此外能夠得到改善的輻射質(zhì)量，因?yàn)閮H激勵(lì)基本的激光模。US 2005/0152426A1涉及一種用于泵浦具有激光二極管的激光諧振器的方法，其中諧振器的縱向端面具有特殊的光學(xué)特性。激光的波長(zhǎng)不被端面反射，泵浦輻射的波長(zhǎng)被部分反射。從WO 96/05637 Al獲知一種與熱源熱耦合的元件，用于補(bǔ)償設(shè)置在激光系統(tǒng)的光程中的元件的由激光束引起的變形EP 0 202 322 41說(shuō)明了一種折射率和縱向變形(1^1^6113118(161111111^)依賴于
溫度適當(dāng)?shù)刈兓墓鈱W(xué)元件，其與熱源耦接，以便在其內(nèi)有針對(duì)性地產(chǎn)生熱透鏡和熱的雙重折射的效果以補(bǔ)償固體激光器介質(zhì)中的熱的雙重折射。DE 197 14 175 Al涉及一種用于補(bǔ)償光學(xué)泵浦的固體激光器介質(zhì)中的熱透鏡的光學(xué)元件。熱透鏡的補(bǔ)償如下實(shí)現(xiàn)，即以其變化的功率使用泵浦光本身的一部分以產(chǎn)生補(bǔ)償活性介質(zhì)中的熱透鏡的相應(yīng)光學(xué)元件。該元件應(yīng)該要么是修正后的耦入鏡，要么是作為焦距為負(fù)(在負(fù)的熱透鏡的情況下在激光器介質(zhì)中是正的)的透鏡的附加插入的元件。第一變體方案涉及一種特殊的耦入鏡，其由具有對(duì)于泵浦射束適宜的吸收性和正的或者負(fù)的熱膨脹系數(shù)的襯底制作，并且由于鏡端面的形成的彎曲而作為用于諧振器模式的凸面鏡或者凹面鏡。第二變體方案涉及一個(gè)優(yōu)選抗反射涂層的板，其具有折射率的負(fù)的或者正的熱系數(shù)和對(duì)于泵浦波長(zhǎng)的適宜的吸收性以及對(duì)于激光波長(zhǎng)小的損失。DE 10 2007 023 298 Al涉及一種二極管泵浦的激光器，其中具有第一線性偏振狀態(tài)的泵浦射束沿泵浦軸線對(duì)準(zhǔn)放大器介質(zhì)。激光器軸線可以是激光共振器 (Laserkavitat)的內(nèi)軸線或者是激光射束沿其輸出的軸線。泵浦軸線被折疊(falten)，以便泵浦射束在激光共振器內(nèi)一被接收就沿激光器軸線運(yùn)行。此外US 7，016, 389B2涉及一種具有活性介質(zhì)的激光器，該介質(zhì)從相反側(cè)被泵浦。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)在于提供以簡(jiǎn)單的方式實(shí)現(xiàn)最優(yōu)的輻射質(zhì)量和大功率的可能性。根據(jù)本發(fā)明，該任務(wù)通過(guò)按照權(quán)利要求1的特征的激光裝置解決，其在諧振器內(nèi)具有活性介質(zhì)，該諧振器包括兩個(gè)各具有一個(gè)諧振器鏡的諧振支路，諧振支路借助光學(xué)系統(tǒng)通過(guò)一個(gè)公共的物鏡被單側(cè)泵浦，其中該物鏡具有用于諧振支路的V形設(shè)置的折疊元件。這里，本發(fā)明從下面的知識(shí)出發(fā)，即當(dāng)諧振器的折疊僅用泵浦能被一起耦入其中的一個(gè)元件(物鏡)實(shí)現(xiàn)時(shí)，能夠以簡(jiǎn)單的方式提高功率并且改善激光器的輻射質(zhì)量，其中為每個(gè)諧振支路設(shè)置一個(gè)活性體積。由此提供了一種能夠簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，其用相對(duì)較少數(shù)目的結(jié)構(gòu)元件即已夠用。其中，泵浦能可以借助光波導(dǎo)從一個(gè)公共側(cè)供給，而為此不需要強(qiáng)烈地彎曲光波導(dǎo)。其中，折疊元件對(duì)于泵浦能的波長(zhǎng)是高透射的，對(duì)于基本波長(zhǎng) (Grundwellenlange )是高反射的。此外，折疊元件例如也可以被實(shí)現(xiàn)為平面鏡。通過(guò)最
小數(shù)目的光學(xué)部件同時(shí)使實(shí)際出現(xiàn)的損失最小化。其中，分配給各個(gè)諧振支路的活性體積優(yōu)選對(duì)于所涉及的諧振支路的光學(xué)軸線中心地同軸設(shè)置并對(duì)準(zhǔn)。特別地，活性的體積在空間上分開(kāi)。其中避免諧振支路的活性體積的重疊或者重疊區(qū)。通過(guò)活性體積和形成的諧振器模式的盡可能大的重疊實(shí)現(xiàn)更高的效率。一種特別有利的實(shí)施方式還如下實(shí)現(xiàn)反射器具有球面彎曲的表面。通過(guò)構(gòu)成耦入元件的、耦入泵浦功率的物鏡的作為凸出的折疊鏡的外表面，減小熱透鏡的總的光功率 (optischen Kraft)0本發(fā)明的另一個(gè)特別有利的擴(kuò)展方案還如下實(shí)現(xiàn)至少一個(gè)活性介質(zhì)具有球形端面。由此，由于泵浦功率的功率密度而產(chǎn)生的強(qiáng)的正的熱透鏡在所產(chǎn)生的熱透鏡的區(qū)域內(nèi)被平衡。此外，通過(guò)活性介質(zhì)的例如凹入彎曲的、作為負(fù)透鏡的末端面或端面補(bǔ)償熱透鏡。如果按照本發(fā)明的一種特別實(shí)際可行的變體方案，由物鏡的聚焦光學(xué)器件的外側(cè)面構(gòu)成反射器，則通過(guò)用聚焦透鏡的朝向諧振支路的面構(gòu)成反射器，能夠進(jìn)一步減少所需要的光學(xué)部件的數(shù)目。此外下面的做法是有利的反射器被構(gòu)造為單獨(dú)的折疊鏡，特別是被構(gòu)造為彎月形折疊鏡，以便從而例如對(duì)于對(duì)泵浦功率成像的系統(tǒng)與凸出的折疊元件的獨(dú)立調(diào)整實(shí)現(xiàn)功能的分開(kāi)。這里有利的是，使折疊角保持得盡可能小并且從而避免像散現(xiàn)象。這里，諧振支路被設(shè)置為使得它們之間形成的折疊角尤其是約為4°。
泵浦功率以公知的方式借助單獨(dú)的光波導(dǎo)輸送，其中還可以為每個(gè)光波導(dǎo)分配泵浦成像系統(tǒng)的一個(gè)附加的自己的聚焦光學(xué)器件或者準(zhǔn)直光學(xué)器件。此外，如果激光器具有至少一個(gè)在聚焦光學(xué)器件和物鏡之間設(shè)置的偏轉(zhuǎn)元件、特別是包括偏轉(zhuǎn)鏡和/或棱鏡的偏轉(zhuǎn)元件，則可以期望特別的結(jié)果。由此能夠?qū)崿F(xiàn)諧振支路的小的折疊角以避免像散現(xiàn)象，而這不會(huì)在輸送泵浦功率時(shí)同時(shí)導(dǎo)致構(gòu)造復(fù)雜或者具有缺點(diǎn)的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)置，該光學(xué)系統(tǒng)否則必須對(duì)應(yīng)于光纖準(zhǔn)直器或者光纖成像光學(xué)器件的大直徑而在離由物鏡構(gòu)成的耦入元件大的距離上被設(shè)置。在可以鄰近由諧振支路決定的對(duì)稱軸定位的偏轉(zhuǎn)元件(特別是偏轉(zhuǎn)鏡或者棱鏡)上的偏轉(zhuǎn)因此使得能夠?qū)崿F(xiàn)緊湊的實(shí)施方式。以相似的方式也可以如下地實(shí)現(xiàn)所希望的效果偏轉(zhuǎn)元件被構(gòu)造為是透射的，特別是被構(gòu)造為至少一個(gè)折疊楔(Flatimgskeil)，以便從而實(shí)現(xiàn)希望的偏轉(zhuǎn)。優(yōu)選地，成像面在成像中間圖像時(shí)接近對(duì)稱軸，以便使得能夠?qū)崿F(xiàn)小的折疊角。為此，偏轉(zhuǎn)可以在泵浦射束在其中空間地被分開(kāi)的區(qū)域內(nèi)進(jìn)行。特別有利的還有，泵浦功率的輸送借助于平行的光波導(dǎo)、特別是以光波導(dǎo)的設(shè)置在一個(gè)平面內(nèi)的端面進(jìn)行，并且光學(xué)系統(tǒng)具有遠(yuǎn)心的成像光學(xué)器件時(shí)，因?yàn)橛纱四軌驅(qū)崿F(xiàn)特別緊湊的結(jié)構(gòu)和光學(xué)系統(tǒng)的進(jìn)一步簡(jiǎn)化。當(dāng)然，根據(jù)本發(fā)明的激光裝置可以在每一諧振支路內(nèi)以各一個(gè)活性介質(zhì)實(shí)現(xiàn)。而另一個(gè)簡(jiǎn)化的實(shí)施方式如下地實(shí)現(xiàn)借助單獨(dú)的光波導(dǎo)輸送的泵浦能量耦合到一個(gè)公共的活性介質(zhì)內(nèi)。通過(guò)僅使用一個(gè)公共的活性介質(zhì)使得能夠進(jìn)一步減小其與用作為折疊鏡的反射器的距離以及還能夠進(jìn)一步減小光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)造尺寸?？商娲?，按照另一個(gè)特別實(shí)際可行的變體方案，光學(xué)系統(tǒng)可以被構(gòu)造為把借助于一條光波導(dǎo)輸送的泵浦能量分入兩個(gè)分射束內(nèi)。


本發(fā)明允許不同的實(shí)施方式。為進(jìn)一步說(shuō)明其原理，在附圖中表示其中之一并且在下面對(duì)該其中之一加以說(shuō)明。其分別以具有折疊的諧振器的激光裝置的原理圖，圖1示出了給各諧振支路分配的活性介質(zhì)和聚焦光學(xué)器件以及具有平的外表面的折疊鏡；圖2示出了給各諧振支路分配的活性介質(zhì)和聚焦光學(xué)器件以及物鏡的彎曲的折
疊鏡；圖3示出了一種變體方案，其中反射器被構(gòu)造為單獨(dú)的彎月形折疊鏡；圖4示出了在各聚焦光學(xué)器件和物鏡之間設(shè)置偏轉(zhuǎn)元件；圖5示出了在各光波導(dǎo)和物鏡之間設(shè)置折疊楔；圖6示出了一種變體方案，其中借助兩個(gè)光波導(dǎo)輸送的泵浦能量被耦入到一個(gè)公共的活性介質(zhì)內(nèi)；圖7示出了一種變體方案，其中借助一個(gè)唯一的光波導(dǎo)輸送的泵浦能量被耦入到一個(gè)公共的活性介質(zhì)內(nèi)；圖8示出了按照?qǐng)D5所示的原理構(gòu)造的變體方案，具有兩個(gè)在一個(gè)公共的平面內(nèi)設(shè)置的V形設(shè)置，總共有四個(gè)諧振支路；圖9示出了具有四個(gè)把泵浦能量耦入到一個(gè)公共的物鏡中的光波導(dǎo)的一種變體方案；圖10示出了在諧振支路內(nèi)有非線性模塊的一種變體方案。
具體實(shí)施例方式圖1示出了一種激光裝置，其尤其可以在固體激光器中應(yīng)用。該激光裝置具有折疊的(gefaltet)諧振器，該折疊的諧振器在諧振支路la、Ib之間形成折疊角α，諧振支路 IaUb各具有一個(gè)活性介質(zhì)h、2b以及一個(gè)諧振鏡3a、3b。借助于分開(kāi)的光波導(dǎo)4a、4b輸送的泵浦功率借助于各自的準(zhǔn)直光學(xué)器件如、恥通過(guò)物鏡11被單側(cè)泵浦，物鏡11具有一個(gè)帶平的外表面的折疊元件7。這兩個(gè)準(zhǔn)直光學(xué)器件5ajb與物鏡11 一起構(gòu)成泵浦成像系統(tǒng)25。這兩個(gè)活性介質(zhì)2a、2b各具有一個(gè)朝向所分配的諧振鏡3a、3b的球形端面8a、8b， 以便從而根據(jù)需要補(bǔ)償在活性介質(zhì)中產(chǎn)生的熱透鏡。與此相對(duì)，在圖2中所示的變體方案中，折疊元件被實(shí)現(xiàn)為物鏡11的透鏡10的球面彎曲的折疊元件9，其中諧振支路la、lb借助于兩個(gè)單獨(dú)的準(zhǔn)直光學(xué)器件fejb通過(guò)該物鏡11被單側(cè)泵浦。這兩個(gè)準(zhǔn)直光學(xué)器件如、恥與物鏡11 一起構(gòu)成泵浦成像系統(tǒng)25。這里，透鏡10的彎曲的外側(cè)9相應(yīng)地對(duì)于激光器的泵浦波長(zhǎng)為高透射的而對(duì)于激光器的基本波長(zhǎng)為高反射的，并且可以例如通過(guò)透鏡10的適當(dāng)?shù)耐繉觼?lái)實(shí)現(xiàn)。由于與圖1中所示的變體相比借助彎曲的折疊元件9能實(shí)現(xiàn)的對(duì)熱透鏡的補(bǔ)償，可以不需要兩個(gè)活性介質(zhì)的端面的凹入形式而保持端面的簡(jiǎn)單平的狀況。這里可以通過(guò)大約4°的小的折疊角實(shí)現(xiàn)實(shí)踐中注意不到像散現(xiàn)象。然而該變體以純結(jié)構(gòu)的方式導(dǎo)致準(zhǔn)直光學(xué)器件如、恥距物鏡11比較大的距離。圖3中示出了一種變體方案，其中折疊元件被實(shí)現(xiàn)為單獨(dú)的彎月鏡18，并與物鏡 17 一起設(shè)置在泵浦成像系統(tǒng)25中。用于輸送泵浦功率的光波導(dǎo)^、4b平行地設(shè)置在物鏡 17前。為減小結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度，在圖4中所示的變體方案中在聚焦光學(xué)器件6a、6b和物鏡11 之間借助偏轉(zhuǎn)元件12分別提供雙重偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)元件12 —方面分別具有分配給各自聚焦光學(xué)器件的單獨(dú)的偏轉(zhuǎn)鏡13a、13b，另一方面具有一個(gè)公共的棱鏡14作為兩個(gè)放置在側(cè)邊側(cè) (Katheten-Seiten)上的鏡子的載體。由此能夠在各聚焦光學(xué)器件6a、6b的光波導(dǎo)4a、4b 的纖維端面O^serende)距離物鏡11同樣小的距離的情況下實(shí)現(xiàn)諧振支路的小的折疊角 β，其中纖維端面的成像平面15a、Mb在光程中可以位于偏轉(zhuǎn)鏡13a、i;3b之后而在棱鏡14 上的進(jìn)一步偏轉(zhuǎn)之前。這里，泵浦成像系統(tǒng)25包括兩個(gè)聚焦光學(xué)器件6a、6b、偏轉(zhuǎn)元件12 以及物鏡11。按照?qǐng)D5中所示的變體方案，還通過(guò)在各光波導(dǎo)4a、4b和物鏡11之間分別設(shè)置被實(shí)現(xiàn)為折疊楔16a、16b的透射的偏轉(zhuǎn)元件來(lái)類(lèi)似地縮短結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度，以便實(shí)現(xiàn)纖維之間夾的更大的角Y，該角Y允許接近物鏡U的定位。與此相對(duì)的另一簡(jiǎn)化的變體方案在圖6和圖7中示出。其中在諧振支路la、lb的折疊角β不變或者僅略微偏離的情況下僅使用一個(gè)具有兩個(gè)活性容積26a 的公共的活性介質(zhì)19。借助光波導(dǎo)4、4a、4b輸送的泵浦功率通過(guò)被實(shí)現(xiàn)為彎月形折疊鏡18的折疊元件對(duì)于所涉及的諧振支路la、lb的光軸27a、27b中心地且同軸地被耦入到該活性容積 26a,26b內(nèi)。這里，光波導(dǎo)4a、4b匯入到一個(gè)公共的物鏡17內(nèi)，物鏡17與彎月形折疊鏡18
7一起構(gòu)成泵浦成像系統(tǒng)25。如從圖中可見(jiàn)，因此能夠進(jìn)一步縮短激光裝置的結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度，同時(shí)減少了為此所需要的零件的數(shù)量。作為補(bǔ)充，在圖7中還在物鏡17和彎月形折疊鏡18之間設(shè)置分解棱鏡 (Spaltungsprisma) 24,從而能夠借助于僅僅一個(gè)唯一的光波導(dǎo)4輸送泵浦能量。圖8中示出了一種根據(jù)圖5中所示原理構(gòu)造的變體方案，然而其中設(shè)置兩倍的元件。借助四個(gè)單獨(dú)的、在一個(gè)公共的面內(nèi)延伸的光波導(dǎo)4a、4b、4a’、4b’輸送的泵浦能量被輸送給兩個(gè)各自包括一個(gè)物鏡11、11’的泵浦成像系統(tǒng)25、25’。在四個(gè)設(shè)置在一個(gè)公共的面內(nèi)的諧振支路la、la’、lb、lb，內(nèi)各設(shè)置一個(gè)活性介質(zhì)h、2a’、2b、2b’，其中為諧振支路 la、lb’分別分配一個(gè)諧振器鏡3a、3b，而為諧振支路Ib和諧振支路la’分配一個(gè)附加的折疊鏡3’。在圖9中作為補(bǔ)充還示出了一種變體方案，其中泵浦能量通過(guò)四個(gè)光波導(dǎo)4類(lèi)似于已經(jīng)表示的變體方案被耦入到一個(gè)公共的物鏡11內(nèi)。然后，泵浦能量進(jìn)入具有四個(gè)活性容積的一個(gè)公共的活性介質(zhì)內(nèi)。在該變體方案中，諧振支路在兩個(gè)被此垂直延伸的面X、Y (Z 是諧振器對(duì)稱軸線)內(nèi)設(shè)置，其中為每一諧振支路分配一個(gè)諧振器鏡3a、!3b或者一個(gè)附加的折疊鏡3’、3”。圖10中示出了一種在圖3中所示的實(shí)施方式的變體方案，在第一諧振支路Ia中設(shè)置可選的Q開(kāi)關(guān)21，在第二諧振支路Ib中設(shè)置至少一個(gè)具有至少一個(gè)非線性元件23的模塊22，該模塊22用于在諧振器內(nèi)產(chǎn)生高次諧波。
權(quán)利要求
1.一種激光裝置，特別是縱向二極管泵浦的固體激光器的激光裝置，具有至少一個(gè)活性介質(zhì)Ca、2b、19、20)，和光學(xué)諧振器內(nèi)兩個(gè)通過(guò)對(duì)于基本波長(zhǎng)高反射的折疊元件(7、9、18)連接的諧振支路 (IaUb)的至少一個(gè)V形設(shè)置，和一個(gè)光學(xué)的泵浦成像系統(tǒng)05)，其特征在于，為兩個(gè)諧振支路(la、lb)各分配一個(gè)活性容積Q6a、26b)，兩個(gè)諧振支路借助泵浦成像系統(tǒng)05)的一個(gè)公共的物鏡(11、17)通過(guò)對(duì)于泵浦波長(zhǎng)透明的折疊元件(7、 9、18)被單側(cè)泵浦。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其特征在于，每一諧振支路(la、lb)分別具有活性介質(zhì)(2a,2b)0
3.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，各活性介質(zhì)(h、2b) 具有至少一個(gè)凹入的端面(8)，而折疊元件(7)構(gòu)成為是平的。
4.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，活性介質(zhì)Oa、2b、19、 20)具有平的端面，而折疊元件(9、18)構(gòu)成為是球形的。
5.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，折疊元件(9)被實(shí)現(xiàn)為物鏡(11)的外側(cè)的高反射面。
6.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，折疊元件(18)被實(shí)現(xiàn)為鏡子，特別是被實(shí)現(xiàn)為彎月形鏡子。
7.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，泵浦成像系統(tǒng)(25)包括至少一個(gè)準(zhǔn)直光學(xué)器件(5ajb)。
8.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，泵浦成像系統(tǒng)(25)包括至少一個(gè)聚焦光學(xué)器件(6a、6b)，用于生成中間圖像。
9.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，泵浦功率能借助單獨(dú)的光波導(dǎo)(4a,4b,4a\4b')輸送。
10.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，泵浦成像系統(tǒng)05) 具有至少一個(gè)偏轉(zhuǎn)元件(12)，例如偏轉(zhuǎn)鏡(13a、i;3b)、棱鏡(14)或者光學(xué)楔(16a、16b)。
11.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，泵浦功率的輸送借助于平行的光波導(dǎo)Ga、4b)、特別是以光波導(dǎo)的設(shè)置在一個(gè)平面內(nèi)的端面來(lái)進(jìn)行，物鏡 (11)被實(shí)現(xiàn)為物鏡側(cè)遠(yuǎn)心的成像光學(xué)器件。
12.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，一個(gè)公共的活性介質(zhì) (19,20)包括兩個(gè)諧振支路(IaUb)0
13.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，泵浦成像系統(tǒng)05) 由用于把借助于一個(gè)光波導(dǎo)(4)輸送的泵浦射束分成兩個(gè)分射束的分解棱鏡04)實(shí)現(xiàn)。
14.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，激光裝置包括由附加的折疊鏡(3’ )光學(xué)耦合的至少兩個(gè)V形設(shè)置。
15.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，激光裝置包括在尤其是彼此垂直的平面X、Y內(nèi)取向并通過(guò)附加的折疊鏡(3’、3”)光學(xué)耦合的兩個(gè)V形設(shè)置和一個(gè)用于這兩個(gè)V形設(shè)置的公共的物鏡(11)。
16.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，在諧振器的一個(gè)諧振支路(Ia)內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)Q開(kāi)關(guān)模塊(21)，用于產(chǎn)生脈沖式激光束。
17.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，在諧振器的一個(gè)諧振支路(Ib)內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)具有至少一個(gè)非線性元件03)的模塊(22)，用于產(chǎn)生至少一個(gè)高次諧波。
18.根據(jù)上述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，為各諧振支路(la、 lb)分配的活性容積(26a,26b)對(duì)于相關(guān)的諧振支路(IaUb)的光學(xué)軸線(27a、27b)中心且同軸地定位并對(duì)準(zhǔn)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于固體激光器的帶折疊式諧振器的激光裝置，在它的諧振支路(1a、1b)中各設(shè)置一個(gè)活性介質(zhì)。這里折疊元件被實(shí)現(xiàn)為物鏡(11)的聚焦光學(xué)器件(10)的彎曲的折疊鏡(9)，諧振支路(1a、1b)借助兩個(gè)單獨(dú)的準(zhǔn)直光學(xué)器件(6)通過(guò)該物鏡被單側(cè)泵浦。這里聚焦光學(xué)器件(10)的外側(cè)上的彎曲的折疊鏡(9)相應(yīng)地對(duì)泵浦能量的波長(zhǎng)是高透射的、對(duì)基本波長(zhǎng)是高反射的，且可以例如通過(guò)聚焦光學(xué)器件(10)的適當(dāng)?shù)耐繉訉?shí)現(xiàn)。由于如此能實(shí)現(xiàn)的大約4°的小的折疊角(β)在很大程度上避免了不希望的像散現(xiàn)象。
文檔編號(hào)H01S3/081GK102170084SQ20111007265
公開(kāi)日2011年8月31日 申請(qǐng)日期2011年2月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月23日
發(fā)明者A·本克, G·庫(kù)斯內(nèi)措 申請(qǐng)人:Lpkf激光和電子股份公司