專(zhuān)利名稱(chēng)：圖案化導(dǎo)電元件的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，尤其涉及一種制備基于碳納米管的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法。
背景技術(shù)：
透明導(dǎo)電元件，尤其是圖案化導(dǎo)電元件，是各種電子設(shè)備，如觸摸屏、液晶顯示器、場(chǎng)發(fā)射顯示裝置等的重要元件?，F(xiàn)有技術(shù)中的圖案化導(dǎo)電元件包括一基底以及形成于該基底表面的圖案化的銦錫氧化物層(IT0層)。然而，ITO層在不斷彎折后，其彎折處的電阻有所増大，其作為透明導(dǎo)電層具有機(jī)械和化學(xué)耐用性不夠好的缺點(diǎn)，且存在電阻不均勻且電阻值范圍較小的現(xiàn)象。從而導(dǎo)致現(xiàn)有的觸摸屏存在耐用性差、靈敏度低及準(zhǔn)確性較差等缺點(diǎn)。而且，ITO層作為透 明導(dǎo)電層通常采用離子束濺射或蒸鍍等エ藝制備，因此，使得ITO層的制備成本較高。而圖案化ITO層的方法通常為激光刻蝕，該方法不僅制備成本較高，而且制備效率較低。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，確有必要提供ー種成本較低，且效率較高的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法。一種圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其具體包括提供一基底；在所述基底的一表面形成一粘膠層；按照預(yù)定圖案局部固化粘膠層，使得粘膠層形成一固化的第一區(qū)域和一未固化的第二區(qū)域；在粘膠層的表面形成ー碳納米管層；固化粘膠層，使第二區(qū)域的粘膠層與碳納米管層粘結(jié)固定；以及去除位于第一區(qū)域的碳納米管層，形成一圖案化的碳納米管層。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明實(shí)施例提供的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法具有以下優(yōu)點(diǎn)通過(guò)先局部固化粘膠層，再形成碳納米管層的方法可以使得待去除的碳納米管層不被粘膠層固定，降低了去除碳納米管層的難度，從而降低了制備成本，也提高了制備圖案化導(dǎo)電元件的效率。


圖I為本發(fā)明實(shí)施例制備的圖案化導(dǎo)電元件的示意圖。圖2為圖I的圖案化導(dǎo)電元件的局部II放大圖。圖3和圖4為本發(fā)明實(shí)施例制備的圖案化導(dǎo)電元件的俯視圖。圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法的エ藝流程圖。圖6為圖5的粘膠層局部固化后的俯視圖。圖7為圖5的碳納米管膜的掃描電鏡照片。主要元件符號(hào)說(shuō)明
權(quán)利要求
1.一種圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其具體包括 提供一基底； 在所述基底的一表面形成一粘膠層； 按照預(yù)定圖案局部固化所述粘膠層，使得該粘膠層形成一固化的第一區(qū)域和一未固化的第二區(qū)域； 在所述粘膠層的ー表面形成ー碳納米管層； 固化所述粘膠層，使第二區(qū)域的粘膠層與碳納米管層粘結(jié)固定；以及 去除位于第一區(qū)域的碳納米管層，形成一圖案化的碳納米管層。
2.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述粘膠層位于第ニ區(qū)域的部分形成一預(yù)定圖案。
3.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述粘膠層的材料為熱塑膠，所述局部固化粘膠層的方法為局部冷卻法。
4.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述粘膠層的材料為熱固膠，所述局部固化粘膠層的方法為局部加熱法。
5.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述粘膠層的材料為UV膠，所述局部固化粘膠層的方法為局部紫外光照射法。
6.如權(quán)利要求5所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述局部固化粘膠層的方法包括以下步驟 在所述粘膠層上方設(shè)置ー掩模； 采用紫外光通過(guò)掩模照射所述粘膠層；以及 去除掩模。
7.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述碳納米管層通過(guò)印刷、沉積或直接鋪設(shè)的方法形成。
8.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述在粘膠層的表面形成一碳納米管層的步驟之后，位于第一區(qū)域的碳納米管層僅形成于固化的粘膠層表面，位于第二區(qū)域的碳納米管層部分浸潤(rùn)到未固化的粘膠層中。
9.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述在粘膠層的表面形成一碳納米管層的步驟之后，位于第一區(qū)域的碳納米管層僅形成于固化的粘膠層表面，位于第二區(qū)域的碳納米管層全部浸潤(rùn)到未固化的粘膠層中。
10.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述在粘膠層的表面形成一碳納米管層的步驟之后，進(jìn)ー步包括ー擠壓該碳納米管層，從而使位于第二區(qū)域的碳納米管層浸潤(rùn)到粘膠層中的步驟。
11.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述去除位于第一區(qū)域的碳納米管層的方法為膠帶粘結(jié)剝離法或清潔滾輪剝離法。
12.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述去除位于第一區(qū)域的碳納米管層的方法為激光刻蝕法、粒子束刻蝕法或電子束光刻法。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其具體包括提供一基底；在所述基底的一表面形成一粘膠層；按照預(yù)定圖案局部固化粘膠層，使得粘膠層形成一固化的第一區(qū)域和一未固化的第二區(qū)域；在粘膠層的表面形成一碳納米管層；固化粘膠層，使第二區(qū)域的粘膠層與碳納米管層粘結(jié)固定；以及去除位于第一區(qū)域的碳納米管層，形成一圖案化的碳納米管層。
文檔編號(hào)H01B13/00GK102820092SQ20111015406
公開(kāi)日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2011年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月9日
發(fā)明者鄭嘉雄, 黃柏山, 施博盛, 胡君怡, 趙志涵, 吳志笙 申請(qǐng)人:天津富納源創(chuàng)科技有限公司, 識(shí)驊科技股份有限公司