專利名稱：圖案化導(dǎo)電元件的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，尤其涉及一種制備基于碳納米管的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法。
背景技術(shù)：
透明導(dǎo)電元件，尤其是圖案化導(dǎo)電元件，是各種電子設(shè)備，如觸摸屏、液晶顯示器、場發(fā)射顯示裝置等的重要元件。現(xiàn)有技術(shù)中的圖案化導(dǎo)電元件包括一基底以及形成于該基底表面的圖案化的銦錫氧化物層(ΙΤ0層)。然而，ITO層在不斷彎折后，其彎折處的電阻有所增大，其作為透明導(dǎo)電層具有機械和化學(xué)耐用性不夠好的缺點，且存在電阻不均勻且電阻值范圍較小的現(xiàn)象。 從而導(dǎo)致現(xiàn)有的觸摸屏存在耐用性差、靈敏度低及準(zhǔn)確性較差等缺點。而且，ITO層作為透明導(dǎo)電層通常采用離子束濺射或蒸鍍等工藝制備，因此，使得ITO層的制備成本較高。而圖案化ITO層的方法通常為激光刻蝕，該方法不僅制備成本較高，而且制備效率較低。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，確有必要提供一種成本較低，且效率較高的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法。一種圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其具體包括提供一基底；在所述基底的一表面形成一圖案化粘膠層；在所述圖案化粘膠層表面形成一碳納米管層；固化所述圖案化粘膠層，形成對應(yīng)所述圖案化粘膠層的已被固定碳納米管層和未對應(yīng)所述圖案化粘膠層的未被固定碳納米管層；以及去除所述未被固定碳納米管層，形成一圖案化碳納米管層。一種圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其具體包括提供一基底；在所述基底的一表面形成一第一掩模層，該第一掩模層定義一圖案化開孔；在圖案化開孔內(nèi)形成一圖案化粘膠層；在所述第一掩模層和圖案化粘膠層的表面形成一碳納米管層，并固化所述圖案化粘膠層；以及通過去除所述第一掩模層而去除第一掩模層表面的碳納米管層。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明實施例提供的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法具有以下優(yōu)點通過固化圖案化粘膠層可以固定位于圖案化粘膠層表面的碳納米管層，從而降低去除多余碳納米管層的難度。該方法不僅工藝簡單，成本低廉，且提高了制備圖案化導(dǎo)電元件的效率。


圖I為本發(fā)明第一實施例提供的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法的工藝流程圖。圖2為本發(fā)明第一實施例制備的包括多個相同形狀的單一圖形的圖案化粘膠層的俯視圖。圖3為本發(fā)明第一實施例制備的包括多個不同形狀的單一圖形的圖案化粘膠層的俯視圖。
圖4為本發(fā)明第一實施例的碳納米管膜的掃描電鏡照片。圖5為本發(fā)明第二實施例提供的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法的工藝流程圖。圖6為本發(fā)明第二實施例形成圖案化粘膠層的工藝流程圖。主要元件符號說明
圖案化導(dǎo)電元件|il
其辟10
粘膠層~~ 粘膠層_11.
碳納米管層_11.
未被固定碳納米管層 142 已被固定碳納米管層 144
舊二Mte_ττ
圖案化開孔_160
第二掩模層_1]_
1 碳納米管層 如下具體實施方式
將結(jié)合上述附圖進一步說明本發(fā)明。
具體實施例方式下面將結(jié)合附圖及具體實施例，對本發(fā)明提供的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法作進一步的詳細說明。請參閱圖1，本發(fā)明第一實施例提供一種制備圖案化導(dǎo)電元件10的方法，其具體包括以下步驟
步驟一，提供一基底12。所述基底12主要起支撐的作用，其可以為一曲面型或平面型的結(jié)構(gòu)。所述基底12具有適當(dāng)?shù)耐腹舛?。該基?2可以由硬性材料或柔性材料形成。具體地，所述硬性材料可選擇為玻璃、石英、金剛石或塑料等。所述柔性材料可選擇為聚碳酸酯(PC)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚乙烯(PE)、聚酰亞胺(PI)或聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)等聚酯材料，或聚醚砜(PES)、纖維素酯、聚氯乙烯(PVC)、苯并環(huán)丁烯(BCB)或丙烯酸樹脂等材料。優(yōu)選地，所述基底12的透光度在75%以上。可以理解，形成所述基底12的材料并不限于上述列舉的材料，只要能使基底12起到支撐的作用即可。本實施例中，所述基底12為一平面型的玻璃板。步驟二，在所述基底12的一表面形成一圖案化粘膠層13。所述圖案化粘膠層13形成一預(yù)定圖案。該預(yù)定圖案可以為單一圖形、多個相同的單一圖形、多個不同的單一圖形的組合等。所述單一圖形包括圓形、方形、三角形等常見的幾何圖形。所述多個相同形狀的單一圖形組成的陣列如圖2所示，所述多個不同形狀的單一圖形組合如圖3所示等。所述圖案化粘膠層13還可為一整層粘膠層去除上述單一圖形、多個相同的單一圖形的組合或多個不同的單一圖形的組合所得到的預(yù)定圖案。所述圖案化粘膠層13的大小和形狀應(yīng)應(yīng)根據(jù)所需制備的圖案化導(dǎo)電元件10的圖案化碳納米管層18的大小和形狀選擇。所述圖案化粘膠層13的材料不限，可以為熱塑膠、熱固膠或UV膠等。所述圖案化粘膠層13的厚度為I納米飛00微米。優(yōu)選地，所述圖案化粘膠層13的厚度為I微米 2微米。所述圖案化粘膠層13具有適當(dāng)?shù)耐腹舛?，?yōu)選地，所述圖案化粘膠層13的透光度在75%以上。所述圖案化粘膠層13可以通過噴涂、刷涂或印刷的方法直接形成一預(yù)定圖案，也可以先在基底12表面涂敷一整層粘膠層，再去除部分粘膠層而形成一預(yù)定圖案。所述涂敷一整層粘膠層的方法可以為旋涂法、噴涂法、刷涂等，所述去除部分粘膠層的方法可以為激光蝕刻或機械打磨等。本實施例中，所述圖案化粘膠層13為多個平行且間隔設(shè)置的條形UV膠層，其通過刷涂的方法形成于基底12 —表面。所述圖案化粘膠層13的厚度約為I. 5微米。步驟三，在所述圖案化粘膠層13表面形成一碳納米管層14。所述碳納米管層14由若干碳納米管組成，該碳納米管層14中大多數(shù)碳納米管的延伸方向基本平行于該碳納米管層14的表面。所述碳納米管層14的厚度不限，可以根據(jù)需要選擇；所述碳納米管層14的厚度為O. 5納米 100微米；優(yōu)選地，該碳納米管層14的厚度為100納米 200納米，所述碳納米管層14的透光度在75%以上。由于所述碳納米管層 14中的碳納米管均勻分布且具有很好的柔韌性，使得該碳納米管層14具有很好的柔韌性，可以彎曲折疊成任意形狀而不易破裂。所述碳納米管層14中的碳納米管包括單壁碳納米管、雙壁碳納米管及多壁碳納米管中的一種或多種。所述單壁碳納米管的直徑為O. 5納米 50納米，雙壁碳納米管的直徑為I. O納米 50納米，多壁碳納米管的直徑為I. 5納米 50納米。所述碳納米管的長度大于50微米。優(yōu)選地，該碳納米管的長度優(yōu)選為200微米、00微米。所述碳納米管層14中的碳納米管無序或有序排列。所謂無序排列是指碳納米管的排列方向無規(guī)則。所謂有序排列是指碳納米管的排列方向有規(guī)則。具體地，當(dāng)碳納米管層14包括無序排列的碳納米管時，碳納米管相互纏繞或者各向同性排列；當(dāng)碳納米管層14包括有序排列的碳納米管時，碳納米管沿一個方向或者多個方向擇優(yōu)取向排列。所謂“擇優(yōu)取向”是指所述碳納米管層14中的大多數(shù)碳納米管在一個方向或幾個方向上具有較大的取向幾率；即，該碳納米管層14中的大多數(shù)碳納米管的軸向基本沿同一方向或幾個方向延伸。所述碳納米管層14之中的相鄰的碳納米管之間具有間隙，從而在碳納米管層14中形成多個間隙。本實施例中，所述碳納米管層14包括至少一碳納米管膜。當(dāng)所述碳納米管層14包括多個碳納米管膜時，該碳納米管膜可以基本平行無間隙共面設(shè)置或?qū)盈B設(shè)置。請參閱圖4，所述碳納米管膜是由若干碳納米管組成的自支撐結(jié)構(gòu)。所述若干碳納米管沿同一方向擇優(yōu)取向排列。該碳納米管膜中大多數(shù)碳納米管的整體延伸方向基本朝同一方向。而且，所述大多數(shù)碳納米管的整體延伸方向基本平行于碳納米管膜的表面。進一步地，所述碳納米管膜中多數(shù)碳納米管是通過范德華(Van Der Waals)力首尾相連。具體地，所述碳納米管膜中基本朝同一方向延伸的大多數(shù)碳納米管中每一碳納米管與在延伸方向上相鄰的碳納米管通過范德華力首尾相連。當(dāng)然，所述碳納米管膜中存在少數(shù)隨機排列的碳納米管，這些碳納米管不會對碳納米管膜中大多數(shù)碳納米管的整體取向排列構(gòu)成明顯影響。所述碳納米管膜不需要大面積的載體支撐，而只要相對兩邊提供支撐力即能整體上懸空而保持自身膜狀狀態(tài)，即將該碳納米管膜置于(或固定于)間隔設(shè)置的兩個支撐體上時，位于兩個支撐體之間的碳納米管膜能夠懸空保持自身膜狀狀態(tài)。具體地，所述碳納米管膜中基本朝同一方向延伸的多數(shù)碳納米管，并非絕對的直線狀，可以適當(dāng)?shù)膹澢换蛘卟⒎峭耆凑昭由旆较蛏吓帕?，可以適當(dāng)?shù)钠x延伸方向。因此，不能排除碳納米管膜的基本朝同一方向延伸的多數(shù)碳納米管中并列的碳納米管之間可能存在部分接觸。具體地，所述碳納米管膜包括多個連續(xù)且定向排列的碳納米管片段。該多個碳納米管片段通過范德華力首尾相連。每一碳納米管片段包括多個相互平行的碳納米管，該多個相互平行的碳納米管通過范德華力緊密結(jié)合。該碳納米管片段具有任意的長度、厚度、均勻性及形狀。該碳納米管膜中的碳納米管沿同一方向擇優(yōu)取向排列?？梢岳斫?，通過將多個碳納米管膜平行且無間隙共面鋪設(shè)或/和層疊鋪設(shè)，可以制備不同面積與厚度的碳納米管層14。每個碳納米管膜的厚度可為O. 5納米 100微米。當(dāng)碳納米管層14包括多個層疊設(shè)置的碳納米管膜時，相鄰的碳納米管膜中的碳納米管的排列方向形成一夾角α，0 < α < 90 。所述碳納米管膜可通過從碳納米管陣列直接拉取獲得。具體地，首先于石英或晶圓或其它材質(zhì)之基板上長出碳納米管陣列，例如使用化學(xué)氣相沈積(Chemical Vapor Deposition, CVD)方法；接著，以拉伸技術(shù)將碳納米管逐一從碳納米管陣列中拉出而形成。這些碳納米管藉由范德華力而得以首尾相連，形成具一定方向性且大致平行排列的導(dǎo)電細長結(jié)構(gòu)。所形成的碳納米管膜會在拉伸的方向具最小的電阻抗，而在垂直于拉伸方向具最大的電阻抗，因而具備電阻抗異向性。所述碳納米管層14可以通過印刷、沉積或直接鋪設(shè)等方法形成于圖案化粘膠層13表面。本實施例中，所述碳納米管層14為一具有自支撐作用的碳納米管膜，其可以直接鋪設(shè)于圖案化粘膠層13表面，以將整個圖案化粘膠層13覆蓋?？梢岳斫猓ㄟ^平行無間隙設(shè)置多個碳納米管膜可以拼接成大面積的碳納米管層14。當(dāng)形成碳納米管層14后，對應(yīng)圖案化粘膠層13的碳納米管層14會部分或全部浸潤到圖案化粘膠層13中，且通過粘結(jié)力與圖案化粘膠層13結(jié)合。優(yōu)選地，所述對應(yīng)圖案化粘膠層13的碳納米管層14中的碳納米管部分浸潤到圖案化粘膠層13中，部分暴露于圖案化粘膠層13外。而未對應(yīng)圖案化粘膠層13的碳納米管層14則懸空設(shè)置于圖案化粘膠層13的開孔上或沉積于圖案化粘膠層13開孔內(nèi)。進一步，為了使對應(yīng)圖案化粘膠層13的碳納米管層14浸潤到圖案化粘膠層13中，還可以包括一擠壓該圖案化粘膠層13表面的碳納米管層14的步驟。本實施例中，采用一 PET膜鋪設(shè)于碳納米管層14表面，輕輕的擠壓該碳納米管層14。步驟四，固化所述圖案化粘膠層13，形成對應(yīng)所述圖案化粘膠層13的已被固定碳納米管層144和未對應(yīng)所述圖案化粘膠層13的未被固定碳納米管層142。所述固化圖案化粘膠層13的方法與圖案化粘膠層13的材料有關(guān)。所述熱塑膠可以通過冷卻固化，所述熱固膠可以通過加熱固化，所述UV膠可以通過紫外光照射固化。由于對應(yīng)圖案化粘膠層13的碳納米管層14浸潤到圖案化粘膠層13中，所以該步驟中圖案化粘膠層13表面的碳納米管層14會被圖案化粘膠層13固定形成已被固定碳納米管層144。而未對應(yīng)圖案化粘膠層13的碳納米管層14則不會被圖案化粘膠層13固定，形成未被固定碳納米管層142。本實施例中，通過紫外光照射的方法使UV膠固化。所述紫外光照射的時間為2秒 30秒。本實施例中，所述紫外光照射的時間為4秒。步驟五，去除所述未被固定碳納米管層142，形成一圖案化碳納米管層18，從而得到圖案化導(dǎo)電元件10。所述去除未被固定碳納米管層142的方法可以為通過膠帶粘結(jié)剝離或通過清潔滾輪剝離。所述清潔滾輪表面具有一定的粘性，可以將未被固定碳納米管層142粘住并剝離。由于未對應(yīng)圖案化粘膠層13的碳納米管層14沒有被圖案化粘膠層13固定，所以通過膠帶粘結(jié)或清潔滾輪滾動可以很容易的將該未被固定碳納米管層142去除。而對應(yīng)圖案化粘膠層13的碳納米管層14則被圖案化粘膠層13固定在基底12表面。當(dāng)然，去除未被固定碳納米管層142還可以采取其他方式，比如激光刻蝕、粒子束刻蝕或電子束光刻等。本實施例中，通過膠帶粘結(jié)的方法將未被固定碳納米管層142去除。所述圖案化碳納米管層18的大小和形狀與圖案化粘膠層13的大小和形狀相同。請參閱圖5，本發(fā)明第二實施例提供一種制備圖案化導(dǎo)電元件10的方法，其具體包括以下步驟
步驟一，提供一基底12。 本實施例中，所述基底12為一平面型的玻璃板。步驟二，在所述基底12的一表面形成一第一掩模層16,該第一掩模層16定義一圖案化開孔160。所述第一掩模層16為一自支撐結(jié)構(gòu)，即該第一掩模層16可以從基底12表面一體剝離。優(yōu)選地，所述第一掩模層16的材料為高分子材料。所述高分子材料可選擇為聚碳酸酯(PC)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚乙烯(PE)、聚酰亞胺(PI)或聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)等聚酯材料，或聚醚砜(PES)、纖維素酯、聚氯乙烯(PVC)、苯并環(huán)丁烯(BCB)或丙烯酸樹脂等材料。可以理解，形成所述第一掩模層16的材料并不限于上述列舉的材料，只要能使第一掩模層16成為自支撐結(jié)構(gòu)即可。本實施例中，所述第一掩模層16為一厚度約為
I.5微米的PET膜。所述圖案化開孔160的作用為使基底12表面暴露，以設(shè)置圖案化粘膠層13。所述圖案化開孔160的大小和形狀應(yīng)應(yīng)根據(jù)所需制備的圖案化導(dǎo)電元件10的圖案化碳納米管層18的大小和形狀選擇。本實施例中，所述圖案化開孔160包括多個平行且間隔設(shè)置的條形開孔。步驟三，在圖案化開孔160內(nèi)形成圖案化粘膠層13。所述圖案化粘膠層13可以通過噴涂、刷涂或印刷的方法形成在圖案化開孔160內(nèi)。所述圖案化粘膠層13的大小和形狀與圖案化開孔160的大小和形狀相同。本實施例中，所述圖案化粘膠層13為多個平行且間隔設(shè)置的條形UV膠層。所述圖案化粘膠層13的厚度約為I. 5微米。請參閱圖6，本實施例在圖案化開孔160內(nèi)形成圖案化粘膠層13的方法包括以下步驟
首先，在第一掩模層16表面形成一第二掩模層17，且所述第二掩模層17具有與圖案化開孔160對應(yīng)的開孔(圖未標(biāo))。所述第二掩模層17與第一掩模層16的結(jié)構(gòu)和材料相同。優(yōu)選地,所述第二掩模層17的厚度小于第一掩模層16的厚度。本實施例中，所述第二掩模層17為一厚度約為O. 5微米的PET膜。其次，在圖案化開孔160內(nèi)形成粘膠層15。
所述粘膠層15可以通過噴涂、刷涂或印刷的方法形成在圖案化開孔160內(nèi)。該步驟中，部分粘膠層15會形成于第二掩模層17表面。最后，去除第二掩模層17，得到圖案化粘膠層13。該步驟中，由于去除第二掩模層17得到圖案化粘膠層13，所以第一掩模層16表面不會有粘膠。本實施例中，通過設(shè)置和去除第二掩模層17，可以容易的在圖案化開孔160內(nèi)形成圖案化粘膠層13，且使得第一掩模層16表面表面沒有粘膠。步驟四，在第一掩模層16和圖案化粘膠層13的表面形成一碳納米管層14，并固化圖案化粘膠層13。所述碳納米管層14可以通過印刷、沉積或直接鋪設(shè)等方法形成于第一掩模層16 和圖案化粘膠層13表面。本實施例中，所述碳納米管層14為一具有自支撐作用的碳納米管膜，其可以直接鋪設(shè)于整個第一掩模層16和圖案化粘膠層13表面。當(dāng)碳納米管層14形成于圖案化粘膠層13表面后，位于圖案化粘膠層13表面的碳納米管層14會部分或全部浸潤到圖案化粘膠層13中，且通過粘結(jié)力與圖案化粘膠層13結(jié)合?？梢岳斫猓绻麍D案化粘膠層13的厚度大于第一掩模層16的厚度，則第一掩模層16表面的碳納米管層14可能會懸空設(shè)置。所述固化圖案化粘膠層13的方法與第一實施例相同。由于圖案化粘膠層13表面的碳納米管層14浸潤到圖案化粘膠層13中，所以該步驟中圖案化粘膠層13表面的碳納米管層14會在圖案化粘膠層13固化的過程中被固定。而位于第一掩模層16表面的碳納米管層14則通過范德華力與第一掩模層16結(jié)合。本實施例中，通過紫外光照射的方法使UV膠固化，所述紫外光照射的時間為4秒。步驟五，通過去除第一掩模層16而去除第一掩模層16表面的碳納米管層14，從而得到圖案化導(dǎo)電元件10。由于所述第一掩模層16為一自支撐結(jié)構(gòu),可以從基底12表面一體剝離,所以該步驟中，可以直接將整個第一掩模層16從基底12表面剝離。由于位于第一掩模層16表面的碳納米管層14通過范德華力與第一掩模層16結(jié)合，所以該部分碳納米管層14隨著第一掩模層16 —起被去除。而圖案化粘膠層13表面的碳納米管層14被圖案化粘膠層13固定在基底12表面形成一圖案化碳納米管層18。通過剝離第一掩模層16的方法去除部分碳納米管層14可以提高制備圖案化導(dǎo)電元件10的效率。而且，剝離的第一掩模層16可以重復(fù)使用，從而降低制備圖案化導(dǎo)電元件10的成本。本發(fā)明實施例提供一種圖案化導(dǎo)電元件10，其包括一基底12，一圖案化粘膠層13以及一圖案化碳納米管層18。所述圖案化粘膠層13設(shè)置于該基底12的一表面。所述圖案化碳納米管層18設(shè)置于該圖案化粘膠層13的一表面，且通過圖案化粘膠層13固定于基底12的表面。該圖案化碳納米管層18用作透明導(dǎo)電層。本實施例制備的圖案化導(dǎo)電元件10可以應(yīng)用于觸摸屏、太陽能電池、液晶顯示器等領(lǐng)域。本發(fā)明實施例提供的圖案化導(dǎo)電元件及其制備方法具有以下優(yōu)點第一，碳納米管具有優(yōu)異的力學(xué)特性使得碳納米管層具有良好的韌性及機械強度，且耐彎折，故采用碳納米管層作為透明導(dǎo)電層，可以相應(yīng)的提高透明導(dǎo)電層的耐用性；第二，由于碳納米管層包括多個均勻分布的碳納米管，故，該碳納米管層也具有均勻的阻值分布，因此，采用該碳納米管層作為透明導(dǎo)電層可以相應(yīng)的提高使用該透明導(dǎo)電層的電子設(shè)備，如觸摸屏，的靈敏度及精確度；第三，由于碳納米管膜具有自制成性，所以可以直接鋪設(shè)于粘膠層表面，制備工藝簡單化。第四，通過固化圖案化粘膠層固定位于圖案化粘膠層表面的碳納米管層，可以降低去除多余碳納米管層的難度。第五，通過剝離掩模層的方法去除部分碳納米管層可以提高制備圖案化導(dǎo)電元件的效率。而且，剝離的掩模層可以重復(fù)使用，從而降低制備圖案化導(dǎo)電元件的成本。
另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員還可以在本發(fā)明精神內(nèi)做其他變化，這些依據(jù)本發(fā)明精神所做的變化，都應(yīng)包含在本發(fā)明所要求保護的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其具體包括 提供一基底； 在所述基底的一表面形成一圖案化粘膠層； 在所述圖案化粘膠層表面形成一碳納米管層； 固化所述圖案化粘膠層，形成對應(yīng)所述圖案化粘膠層的已被固定碳納米管層和未對應(yīng)所述圖案化粘膠層的未被固定碳納米管層；以及 去除所述未被固定碳納米管層，形成一圖案化碳納米管層。
2.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述圖案化粘膠層形成一預(yù)定圖案，且該預(yù)定圖案為單一圖形、多個相同的單一圖形的組合或多個不同的單一圖形的組合。
3.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述在基底的表面形成圖案化粘膠層的方法為通過噴涂法、刷涂法或印刷法直接形成一預(yù)定圖案。
4.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述形成一圖案化粘膠層的方法包括以下步驟在基底表面涂敷一整層粘膠層；以及去除部分粘膠層而形成一預(yù)定圖案。
5.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述形成一圖案化粘膠層的方法包括以下步驟 在所述基底的表面形成一掩模層，該掩模層定義一圖案化開孔；以及 在圖案化開孔內(nèi)形成圖案化粘膠層。
6.如權(quán)利要求5所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述碳納米管層將形成于整個第一掩模層和圖案化粘膠層表面。
7.如權(quán)利要求6所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述去除未被固定碳納米管層的方法為通過去除掩模層去除掩模層表面的碳納米管層。
8.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述碳納米管層通過印刷法、沉積法或直接鋪設(shè)的方法形成于圖案化粘膠層表面。
9.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述碳納米管層形成于圖案化粘膠層表面后，位于圖案化粘膠層表面的碳納米管層會部分或全部浸潤到圖案化粘膠層中。
10.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述圖案化粘膠層為UV膠層，且該UV膠層通過紫外光照射固化。
11.如權(quán)利要求I所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述去除未被固定碳納米管層的方法為膠帶粘結(jié)剝離法、清潔滾輪剝離法、激光刻蝕法、粒子束刻蝕法或電子束光刻法。
12.—種圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其具體包括 提供一基底； 在所述基底的一表面形成一第一掩模層，該第一掩模層定義一圖案化開孔； 在圖案化開孔內(nèi)形成一圖案化粘膠層； 在所述第一掩模層和圖案化粘膠層的表面形成一碳納米管層，并固化所述圖案化粘膠層；以及通過去除所述第一掩模層而去除第一掩模層表面的碳納米管層。
13.如權(quán)利要求12所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述在圖案化開孔內(nèi)形成一圖案化粘膠層的方法包括以下步驟 在第一掩模層表面形成一第二掩模層，且該第二掩模層具有一與圖案化開孔對應(yīng)的開孔； 在圖案化開孔內(nèi)形成粘膠層；以及 去除第二掩模層。
14.如權(quán)利要求13所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述第一掩模層和第二掩模層為一自支撐結(jié)構(gòu)，所述去除第一掩模層或第二掩模層的方法為一體剝離。
15.如權(quán)利要求13所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述第一掩模層和第二掩模層的材料為高分子材料。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其具體包括提供一基底；在所述基底的一表面形成一圖案化粘膠層；在所述圖案化粘膠層表面形成一碳納米管層；固化所述圖案化粘膠層，形成對應(yīng)所述圖案化粘膠層的已被固定碳納米管層和未對應(yīng)所述圖案化粘膠層的未被固定碳納米管層；以及去除所述未被固定碳納米管層，形成一圖案化碳納米管層。
文檔編號H01B5/14GK102820093SQ20111015406
公開日2012年12月12日 申請日期2011年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月9日
發(fā)明者施博盛, 鄭嘉雄 申請人:天津富納源創(chuàng)科技有限公司, 識驊科技股份有限公司