專利名稱：一種預(yù)電離陶瓷管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種多段式高壓預(yù)電離電極的陶瓷管結(jié)構(gòu)，具體為一種準分子激光器用多段式高壓預(yù)電離電極的陶瓷管。
背景技術(shù)：
電暈預(yù)電離是氣體準分子激光器中常見的一種預(yù)電離方式。預(yù)電離電極通常采用陶瓷管作為絕緣介質(zhì)，以便在放電區(qū)附近產(chǎn)生密度均勻性較好自由電子群，從而改善主電極的放電性能。目前多采用I至4根單管陶瓷套管作為絕緣介質(zhì)。圖1是公知的準分子激光器放電系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，其中包括主電極(陰極3及陽極7)、預(yù)電離結(jié)構(gòu)(預(yù)電離陶瓷管2及預(yù)電離電極5)、陶瓷導(dǎo)流體1、陶瓷導(dǎo)流片6和陰極陶瓷板4等。其中的預(yù)電離陶瓷管2、5均采用單一結(jié)構(gòu)的陶瓷管(如圖2所示)。為提高準分子激光器的激光輸出能量，需要增加電極的長度，這就導(dǎo)致需燒制較長(600 700mm)、較細(外徑6 8mm,內(nèi)徑3 5mm)的陶瓷管。而較長且較細的陶瓷管存在燒制困難、成品率低，生產(chǎn)成本高等問題，同時容易產(chǎn)生內(nèi)部缺陷、很難保證燒制精度。而內(nèi)部存在有缺陷的陶瓷管在預(yù) 電離時，容易被擊穿，形成弧光放電，破壞輝光放電的均勻性，最終導(dǎo)致激光器放電和出光不穩(wěn)定，甚至無法正常出光。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種預(yù)電離陶瓷管，可以降低燒紙難度、提高成品率、降低生產(chǎn)成本、減少內(nèi)部缺陷，確保燒制精度。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的預(yù)電離陶瓷管，由多節(jié)陶瓷管的兩端相互銜接組成。所述的預(yù)電離陶瓷管，其中，多節(jié)陶瓷管的兩端之間采用螺紋銜接。所述的預(yù)電離陶瓷管，其中，每節(jié)陶瓷管的一端為內(nèi)螺紋，另一端為外螺紋。所述的預(yù)電離陶瓷管，其中，多節(jié)陶瓷管的兩端之間采用錐度銜接。所述的預(yù)電離陶瓷管，其中，多節(jié)陶瓷管的兩端之間粘合連接。所述的預(yù)電離陶瓷管，其中，多節(jié)陶瓷管的兩端之間為絕緣膠粘合連接。本發(fā)明提供的多段式陶瓷管結(jié)構(gòu)，可以降低燒紙難度、提高成品率、降低生產(chǎn)成本、減少內(nèi)部缺陷，確保燒制精度。


圖1是公知的準分子激光器放電系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明錐度銜接的陶瓷管接口形式。圖3是本發(fā)明螺紋銜接的陶瓷管接口形式。圖4是本發(fā)明組合后的陶瓷管結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式本發(fā)明提出的多段式預(yù)電離電極陶瓷管，即長陶瓷管是由多段較短的陶瓷管組合而成，既能起到形成輝光放電絕緣介質(zhì)的作用，又能降低陶瓷管的燒制難度和生產(chǎn)成本，同時保證了陶瓷管的燒制質(zhì)量和成品率，減少陶瓷管中的缺陷，從而提高準分子激光器的可靠性。請參閱圖2和圖3所示，本發(fā)明多節(jié)較短陶瓷管之間的連接方式可以采用螺紋、錐度配合、絕緣膠粘合等多種連接方式，以保證配合的緊密接觸，同時保證預(yù)電離陶瓷管的電絕緣性能。圖2顯示的是每節(jié)陶瓷管的一端是帶有錐度的錐度端10，另一端為帶有錐度的凹孔20，將一節(jié)陶瓷管的錐度端10插入另一節(jié)陶瓷管的凹孔20內(nèi)，由若干節(jié)陶瓷管相互銜接成需要的長度。組合后的·陶瓷管如圖4所示。圖3顯示的是每節(jié)陶瓷管的一端帶有外螺紋30，另一端帶有內(nèi)螺紋40，將一節(jié)陶瓷管的外螺紋30與另一節(jié)陶瓷管的內(nèi)螺紋40螺合，由若干節(jié)陶瓷管相互螺合成需要的長度。組合后的陶瓷管如圖4所示。使用時將組裝的整根陶瓷管兩端固定式，確保陶瓷管不在軸向方向移動。
權(quán)利要求
1.一種預(yù)電離陶瓷管，由多節(jié)陶瓷管的兩端相互銜接組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)電離陶瓷管，其中，多節(jié)陶瓷管的兩端之間采用螺紋銜接。
3.據(jù)權(quán)利要求1或2所述的預(yù)電離陶瓷管，其中，每節(jié)陶瓷管的一端為內(nèi)螺紋，另一端為外螺紋。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)電離陶瓷管，其中，多節(jié)陶瓷管的兩端之間采用錐度銜接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)電離陶瓷管，其中，多節(jié)陶瓷管的兩端之間粘合連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的預(yù)電離陶瓷管，其中，多節(jié)陶瓷管的兩端之間為絕緣膠粘合連接。
全文摘要
一種預(yù)電離電極陶瓷管，由多段較短的陶瓷管組合而成，既能起到形成輝光放電絕緣介質(zhì)的作用，又能降低陶瓷管的燒制難度和生產(chǎn)成本，同時保證了陶瓷管的燒制質(zhì)量和成品率，減少陶瓷管中的缺陷，從而提高準分子激光器的可靠性。
文檔編號H01S3/038GK103066481SQ20111031952
公開日2013年4月24日 申請日期2011年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月20日
發(fā)明者丁金濱, 劉斌, 陳進新, 王宇, 周翊, 趙江山 申請人:中國科學(xué)院光電研究院