專利名稱：整體升降式軟著陸推拉舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及自動(dòng)送料系統(tǒng)，尤其涉及半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)中PECVD自動(dòng)送料系統(tǒng)中的軟著陸推拉舟。
背景技術(shù)：
太陽能電池片生產(chǎn)的擴(kuò)散過程是在爐膛內(nèi)進(jìn)行，在高溫環(huán)境下，通過分子的熱運(yùn)動(dòng)，讓磷(P)、鋁(AL)、鎵(( )、硼(B)等雜質(zhì)元素進(jìn)入純凈的硅片內(nèi)部，形成PN結(jié)。在進(jìn)行擴(kuò)散之前，需要將被擴(kuò)散的硅片通過推拉舟放入爐膛內(nèi)，擴(kuò)散過程結(jié)束后，再從爐體內(nèi)取
出O目前在半導(dǎo)體及光伏產(chǎn)業(yè)中擴(kuò)散、PECVD自動(dòng)送料系統(tǒng)中，現(xiàn)有的推拉舟通常使用絲杠傳動(dòng)，底盤不動(dòng)，只是加持部分局部上下運(yùn)動(dòng)，其缺點(diǎn)在于1.占用空間大，設(shè)備結(jié)構(gòu)不美觀；2.由于絲杠上的傳動(dòng)螺母使用頻率較高，經(jīng)常會(huì)壞，更換起來非常麻煩，維修頻率比較高；3.穩(wěn)定性差等。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種穩(wěn)定性高、維修頻率低、占用空間小的整體升降式軟著陸推拉舟。本發(fā)明所述整體升降式軟著陸推拉舟，包括橫向機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)、托架機(jī)構(gòu)；其中橫向機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、同步帶輪、同步帶、固定板、滑塊、滑軌、底板，電機(jī)與同步帶輪連接，同步帶套在同步帶輪上，同步帶與固定板固定連接，固定板與滑塊固定連接，滑塊與滑軌配合，滑軌固定在底板上；升降機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、聯(lián)軸器、螺旋升降機(jī)、滑軌、滑塊，電機(jī)通過聯(lián)軸器與螺旋升降機(jī)連接，螺旋升降機(jī)與橫向機(jī)構(gòu)中的底板固定連接，滑軌與滑塊配合，滑塊與橫向機(jī)構(gòu)中的底板固定連接；托架機(jī)構(gòu)與橫向機(jī)構(gòu)中的固定板固定連接。工作時(shí)，橫向機(jī)構(gòu)是推拉舟在水平方向上的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，負(fù)責(zé)將裝滿硅片的舟水平送入加熱爐體內(nèi)，或從加熱爐體內(nèi)水平取出舟；橫向機(jī)構(gòu)中電機(jī)帶動(dòng)同步帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)同步帶輪帶動(dòng)同步帶一起旋轉(zhuǎn)，同步帶固定在固定板上，當(dāng)同步帶運(yùn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)固定板在滑軌上一起運(yùn)動(dòng)。升降機(jī)構(gòu)是推拉舟在豎直方向上的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，負(fù)責(zé)將裝滿硅片的舟平穩(wěn)的落在加熱爐體里的石英管內(nèi)，或?qū)⒅圬Q直向上抬起從而脫離石英管；升降機(jī)構(gòu)中的電機(jī)通過聯(lián)軸器帶動(dòng)螺旋升降機(jī)一起運(yùn)動(dòng)，螺旋升降機(jī)帶動(dòng)著橫向機(jī)構(gòu)沿著滑軌整體上下運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明所述整體升降式軟著陸推拉舟前進(jìn)、后退動(dòng)作，采用步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)同步帶和同步帶輪來實(shí)現(xiàn)的，降低了維修頻率，解決了更換麻煩的不足；其上下運(yùn)動(dòng)采用整體升降式運(yùn)動(dòng)，減少了推拉舟的占用空間，提高了設(shè)備的穩(wěn)定性。為達(dá)到更好的效果，本發(fā)明所述整體升降式軟著陸推拉舟還可以采用以下措施 1、所述升降機(jī)構(gòu)的螺旋升降機(jī)為2個(gè)，分別與橫向機(jī)構(gòu)中底板的兩端固定連接，2個(gè)螺旋升降機(jī)之間由連接桿相連。這樣可使橫向機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動(dòng)更加平穩(wěn)。2、所述升降機(jī)構(gòu)的滑塊內(nèi)設(shè)置有直線軸承。從而使橫向機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動(dòng)時(shí)更加平穩(wěn)。3、所述托架機(jī)構(gòu)包括2根SiC桿、定位塊、支撐桿、固定環(huán)、調(diào)節(jié)螺栓、固定方塊、連接板。其中，定位塊設(shè)置在2個(gè)SiC桿之間，2個(gè)SiC桿通過固定環(huán)與支撐桿固定連接，支撐桿通過固定方塊及調(diào)節(jié)螺栓與連接板固定連接，連接板與橫向機(jī)構(gòu)中的固定板固定連接。 石墨舟放在SiC桿1，定位塊對石墨舟定好位，然后通過調(diào)節(jié)螺栓對固定方塊的位置進(jìn)行調(diào)整，從而使2根SiC桿在同一水平面上。4、本發(fā)明所述整體升降式軟著陸推拉舟還包括限位控制機(jī)構(gòu)。當(dāng)推拉舟前進(jìn)或后退受到阻力時(shí)，電機(jī)的電流會(huì)變大，設(shè)備上的PLC收到信號后便自動(dòng)切斷電機(jī)電源，起到保護(hù)石墨舟的作用。


圖1為本發(fā)明所述整體升降式軟著陸推拉舟結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1中橫向機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為圖1中升降機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為圖1中托架機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中編號說明
1-橫向機(jī)構(gòu)；2-升降機(jī)構(gòu)；3-托架機(jī)構(gòu)；4-限位控制機(jī)構(gòu)；5-電機(jī)；6-同步帶輪；7-同步帶；8-固定板；9-滑塊；10-滑軌；11-底板；12-聯(lián)軸器；13-螺旋升降機(jī)；14-連接桿； 15-SiC桿；16-定位塊；17-支撐桿；18-固定環(huán)；19-調(diào)節(jié)螺栓；20-固定方塊；21-連接板。
具體實(shí)施例方式結(jié)合圖1至圖4對本發(fā)明所述整體升降式軟著陸推拉舟進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖1所示，本發(fā)明所述整體升降式軟著陸推拉舟，包括橫向機(jī)構(gòu)1、升降機(jī)構(gòu)2、 托架機(jī)構(gòu)3、限位控制機(jī)構(gòu)4。如圖2所示，橫向機(jī)構(gòu)包括電機(jī)5、同步帶輪6、同步帶7、固定板8、滑塊9、滑軌10、 底板11。其中，電機(jī)5與同步帶輪6連接，同步帶7套在同步帶輪6上，同步帶7與固定板 8固定連接，固定板8與滑塊9固定連接，滑塊9與滑軌10配合，滑軌10固定在底板11上。 其動(dòng)作過程是電機(jī)5帶動(dòng)同步帶輪6轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)同步帶輪6通過轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)其上面的同步帶輪6轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)同步帶7 —起旋轉(zhuǎn)，同步帶7固定在固定板8上，當(dāng)同步帶7運(yùn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)固定板8在滑軌10上一起向前向后運(yùn)動(dòng)。這中傳動(dòng)方式結(jié)構(gòu)簡單、傳動(dòng)平穩(wěn)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、 同時(shí)維修方便。如圖3所示，升降機(jī)構(gòu)包括電機(jī)5、聯(lián)軸器12、2個(gè)螺旋升降機(jī)13、滑軌10、滑塊9、 連接桿14。其中，電機(jī)5通過聯(lián)軸器12與螺旋升降機(jī)13連接，螺旋升降機(jī)13與橫向機(jī)構(gòu)中的底板11固定連接，滑軌10與滑塊9配合，滑塊9與橫向機(jī)構(gòu)中的底板11的兩端固定連接，2個(gè)螺旋升降機(jī)13之間由連接桿14相連，其動(dòng)作過程是電機(jī)5通過聯(lián)軸器12和連接桿14帶動(dòng)2個(gè)螺旋升降機(jī)13 —起運(yùn)動(dòng)，連接桿14的作用就是讓螺旋升降機(jī)同步轉(zhuǎn)動(dòng)，2 個(gè)螺旋升降機(jī)帶動(dòng)著橫向機(jī)構(gòu)沿著滑軌10整體升降，滑塊9內(nèi)安裝了滾珠軸承，從而使橫向機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動(dòng)時(shí)平穩(wěn)、穩(wěn)定。如圖4所示，托架機(jī)構(gòu)包括2根SiC桿15、定位塊16、支撐桿17、固定環(huán)18、調(diào)節(jié)螺栓19、固定方塊20、連接板21。其中，定位塊16設(shè)置在2個(gè)SiC15桿之間，2個(gè)SiC桿15 通過固定環(huán)18與支撐桿17固定連接，支撐桿17通過固定方塊20及調(diào)節(jié)螺栓19與連接板 21固定連接，連接板21與橫向機(jī)構(gòu)中的固定板8固定連接。其動(dòng)作過程是將石墨舟放在 SiC桿15上，讓定位塊16將石墨舟定好位，使用SiC桿15主要是因?yàn)镾iC桿在高溫下不變形，然后用固定環(huán)18將2根SiC桿固定在支撐桿17上，再通過固定方塊20和調(diào)節(jié)螺栓19 將其固定在連接板21上，調(diào)節(jié)螺栓19主要是調(diào)節(jié)固定方塊的上下位置，從而使2根SiC桿在同一水平面上。圖1中的限位控制機(jī)構(gòu)4，其作用在于當(dāng)推拉舟前進(jìn)或后退受到阻力時(shí)，電機(jī)的電流會(huì)變大，設(shè)備上的PLC收到信號后便自動(dòng)切斷電機(jī)電源，從而達(dá)到保護(hù)石墨舟的功能。
權(quán)利要求
1.一種整體升降式軟著陸推拉舟，其特征在于它包括橫向機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)、托架機(jī)構(gòu)； 其中橫向機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、同步帶輪、同步帶、固定板、滑塊、滑軌、底板，電機(jī)與同步帶輪連接，同步帶套在同步帶輪上，同步帶與固定板固定連接，固定板與滑塊固定連接，滑塊與滑軌配合，滑軌固定在底板上；升降機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、聯(lián)軸器、螺旋升降機(jī)、滑軌、滑塊，電機(jī)通過聯(lián)軸器與螺旋升降機(jī)連接，螺旋升降機(jī)與橫向機(jī)構(gòu)中的底板固定連接，滑軌與滑塊配合，滑塊與橫向機(jī)構(gòu)中的底板固定連接；托架機(jī)構(gòu)與橫向機(jī)構(gòu)中的固定板固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整體升降式軟著陸推拉舟，其特征在于所述升降機(jī)構(gòu)的螺旋升降機(jī)為2個(gè)，分別與橫向機(jī)構(gòu)中底板的兩端固定連接，2個(gè)螺旋升降機(jī)之間由連接桿相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的整體升降式軟著陸推拉舟，其特征在于所述升降機(jī)構(gòu)的滑塊內(nèi)設(shè)置有直線軸承。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的整體升降式軟著陸推拉舟，其特征在于所述托架機(jī)構(gòu)包括2 根SiC桿、定位塊、支撐桿、固定環(huán)、調(diào)節(jié)螺栓、固定方塊、連接板；其中，定位塊設(shè)置在2個(gè) SiC桿之間，2個(gè)SiC桿通過固定環(huán)與支撐桿固定連接，支撐桿通過固定方塊及調(diào)節(jié)螺栓與連接板固定連接，連接板與橫向機(jī)構(gòu)中的固定板固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一所述的整體升降式軟著陸推拉舟，其特征在于它還包括限位控制機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種整體升降式軟著陸推拉舟，它包括橫向機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)、托架機(jī)構(gòu)；其中橫向機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、同步帶輪、同步帶、固定板、滑塊、滑軌、底板，電機(jī)與同步帶輪連接，同步帶套在同步帶輪上，同步帶與固定板固定連接，固定板與滑塊固定連接，滑塊與滑軌配合，滑軌固定在底板上；升降機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、聯(lián)軸器、螺旋升降機(jī)、滑軌、滑塊，電機(jī)通過聯(lián)軸器與螺旋升降機(jī)連接，螺旋升降機(jī)與橫向機(jī)構(gòu)中的底板固定連接，滑軌與滑塊配合，滑塊與橫向機(jī)構(gòu)中的底板固定連接；托架機(jī)構(gòu)與橫向機(jī)構(gòu)中的固定板固定連接；其降低了維修頻率，解決了更換麻煩的不足，同時(shí)減少了推拉舟的占用空間，提高了設(shè)備的穩(wěn)定性。
文檔編號H01L31/18GK102386282SQ20111036770
公開日2012年3月21日 申請日期2011年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月18日
發(fā)明者李丙科 申請人:青島賽瑞達(dá)設(shè)備制造有限公司