專利名稱:溝槽功率mos器件及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體技術(shù),特別涉及一種溝槽功率MOS器件及其制造方法。
背景技術(shù):
典型的溝槽功率MOS器件的結(jié)構(gòu)如圖1所示,硅片外延層I上形成有阱2,阱2內(nèi)形成有源極重?fù)诫s區(qū)3,阱2的摻雜類(lèi)型同外延層I及源極重?fù)诫s區(qū)3的摻雜類(lèi)型相反,如阱2的摻雜類(lèi)型為N型,外延層I及源極重?fù)诫s區(qū)3的摻雜類(lèi)型為P型,或者阱2的摻雜類(lèi)型為P型,外延層I及源極重?fù)诫s區(qū)3的摻雜類(lèi)型為N型,所述阱2 (及外延層I)內(nèi)形成有多個(gè)溝槽,溝槽外層形成有絕緣柵氧化層4,絕緣柵氧化層4內(nèi)填充多晶硅5到硅片上表面,多晶硅5同與金屬連線相連作為溝道功率MOS器件柵極。一種典型的溝道功率MOS器件的制造方法,包括以下步驟:一.在硅片外延層I形成硬掩膜;二.在硅片外延層I上進(jìn)行深溝槽刻蝕,形成多個(gè)深溝槽;三.淀積柵氧化層4 ;四.淀積多晶硅5,使深溝槽內(nèi)多晶硅5高出硅片上表面;五.刻蝕多晶娃,使深溝槽內(nèi)多晶娃5與娃片上表面齊平;六.在硅片外延層I上進(jìn)行雜質(zhì)注入形成阱2,阱2的摻雜類(lèi)型與硅片外延層I相反;七.利用光刻加離子注入形成源極重?fù)诫s區(qū)3,源極重?fù)诫s區(qū)3的摻雜類(lèi)型與阱2相反;八.淀積層間介質(zhì);九.通孔光刻刻蝕,柵極通孔到達(dá)多晶硅5 ;十.通孔金屬填充,金屬連線形成;十一.鈍化層淀積/光刻/刻蝕。這種溝道功率MOS器件,影響器工作頻率有兩個(gè)關(guān)鍵因素,一是柵極電阻,二是柵氧電容。減小電容或電阻,都能有效的提高器件的工作頻率。而對(duì)于柵極電阻的調(diào)整,目前傳統(tǒng)的方法是通過(guò)增加?xùn)艠O多晶硅5的摻雜濃度來(lái)降低其阻值,但通過(guò)改變柵極多晶硅5摻雜濃度來(lái)改變柵極電阻,效果有限,無(wú)法大幅度減小柵極電阻。
發(fā)明內(nèi)容
本申請(qǐng)要解決的技術(shù)問(wèn)題是使溝槽功率MOS器件的柵極電阻降低,提高溝槽功率MOS器件的工作頻率。為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N溝槽功率MOS器件,硅片外延層上形成有阱,阱內(nèi)形成有源極重?fù)诫s區(qū),阱的摻雜類(lèi)型同外延層及源極重?fù)诫s區(qū)的摻雜類(lèi)型相反,所述阱內(nèi)形成有多個(gè)溝槽,溝槽壁上形成有絕緣柵氧化層,絕緣柵氧化層內(nèi)底部填充多晶硅,頂部填充硅化鎢到硅片上表面,硅化鎢同與金屬連線相連作為溝槽功率MOS器件柵極,溝槽內(nèi)硅化鎢的深度小于源極重?fù)诫s區(qū)的深度。所述溝槽可以形成在阱及外延層內(nèi)。較佳的,阱的摻雜類(lèi)型為N型,外延層及源極重?fù)诫s區(qū)的摻雜類(lèi)型為P型。較佳的,阱的摻雜類(lèi)型為P型,外延層及源極重?fù)诫s區(qū)的摻雜類(lèi)型為N型。為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本申請(qǐng)還提供了一種溝槽功率MOS器件的制造方法,包括以下步驟:一.在硅片外延層形成硬掩膜;二.在硅片外延層上進(jìn)行溝槽刻蝕,形成多個(gè)溝槽;三.淀積柵氧化層;四.淀積多晶硅;五.刻蝕多晶娃,使溝槽內(nèi)多晶娃低于娃片上表面;六.淀積硅化鎢;七、通過(guò)光刻蓋住溝槽,并用干法刻蝕硅化鎢,將溝槽外硅化鎢清除,保留溝槽內(nèi)硅化鎢;八.在硅片外延層上進(jìn)行雜質(zhì)注入形成阱,阱的摻雜類(lèi)型與硅片外延層相反;九.利用光刻加離子注入形成源極重?fù)诫s區(qū),源極重?fù)诫s區(qū)的摻雜類(lèi)型與阱相反,源極重?fù)诫s區(qū)的深度大于溝槽內(nèi)硅化鎢的深度;十.淀積層間介質(zhì);十一.通孔光刻刻蝕,柵極通孔到達(dá)硅化鎢;十二.通孔金屬填充,金屬連線形成。本申請(qǐng)的溝槽功率MOS器件及其制造方法,在溝槽柵極多晶硅刻蝕時(shí),適當(dāng)增加過(guò)刻蝕,使溝槽內(nèi)多晶硅低于硅片上表面,在溝槽內(nèi)形成一定的凹槽,隨后淀積硅化鎢,通過(guò)光刻、刻蝕的方法,選擇性保留溝槽內(nèi)柵極多晶硅上面的硅化鎢,去除其他部分硅化鎢則去除,將硅化鎢同與金屬連線相連作為溝道功率MOS器件柵極,由于溝槽內(nèi)多晶硅上面覆蓋有硅化鎢,通過(guò)硅化鎢同與金屬連線相連作為溝道功率MOS器件柵極,大大降低了溝槽功率MOS器件的柵極電阻,提高了溝槽功率MOS器件的工作頻率。
為了更清楚地說(shuō)明本申請(qǐng)的技術(shù)方案,下面對(duì)本申請(qǐng)所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單的介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖僅僅是本申請(qǐng)的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1是典型的溝槽功率MOS器件的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本申請(qǐng)的溝槽功率MOS器件的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本申請(qǐng)實(shí)施例中的附圖,對(duì)本申請(qǐng)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本申請(qǐng)一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的優(yōu)選實(shí)施例僅用于說(shuō)明和解釋本申請(qǐng),并不用于限定本申請(qǐng)。并且在不沖突的情況下,本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合?;诒旧暾?qǐng)中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本申請(qǐng)保護(hù)的范圍。實(shí)施例一溝槽功率MOS器件的結(jié)構(gòu)如圖1所示,硅片外延層I上形成有阱2,阱2內(nèi)形成有源極重?fù)诫s區(qū)3,阱2的摻雜類(lèi)型同外延層I及源極重?fù)诫s區(qū)3的摻雜類(lèi)型相反,如阱2的摻雜類(lèi)型為N型,外延層I及源極重?fù)诫s區(qū)3的摻雜類(lèi)型為P型,或者阱2的摻雜類(lèi)型為P型,外延層I及源極重?fù)诫s區(qū)3的摻雜類(lèi)型為N型,所述阱2 (及外延層I)內(nèi)形成有多個(gè)溝槽,溝槽壁上形成有絕緣柵氧化層4,絕緣柵氧化層4內(nèi)底部填充多晶硅5,頂部填充硅化鎢6到硅片上表面,硅化鎢6同與金屬連線相連作為溝槽功率MOS器件柵極,溝槽內(nèi)硅化鎢6的深度小于源極重?fù)诫s區(qū)3的深度。實(shí)施例二實(shí)施例一的溝道功率MOS器件的制造方法,包括以下步驟:—.在娃片外延層I形成硬掩膜;二.在硅片外延層I上進(jìn)行溝槽刻蝕,形成多個(gè)溝槽;三.淀積柵氧化層4 ;四.淀積多晶娃5 ;五.刻蝕多晶娃,使溝槽內(nèi)多晶娃5低于娃片上表面;六.淀積硅化鎢6 ;七、通過(guò)光刻蓋住溝槽,并用干法刻蝕硅化鎢6,將溝槽外硅化鎢6清除,保留溝槽內(nèi)娃化鶴6 ;八.在硅片外延層I上進(jìn)行雜質(zhì)注入形成阱2,阱2的摻雜類(lèi)型與硅片外延層I相反;九.利用光刻加離子注入形成源極重?fù)诫s區(qū)3,源極重?fù)诫s區(qū)3的摻雜類(lèi)型與阱2相反,源極重?fù)诫s區(qū)3的深度大于溝槽內(nèi)硅化鎢6的深度;十.淀積層間介質(zhì);十一.通孔光刻刻蝕,柵極通孔到達(dá)硅化鎢6 ;十二.通孔金屬填充,金屬連線形成;十三.鈍化層淀積/光刻/刻蝕。本申請(qǐng)的溝槽功率MOS器件及其制造方法,在溝槽柵極多晶硅刻蝕時(shí),適當(dāng)增加過(guò)刻蝕,使溝槽內(nèi)多晶硅低于硅片上表面,在溝槽內(nèi)形成一定的凹槽,隨后淀積硅化鎢,通過(guò)光刻、刻蝕的方法,選擇性保留溝槽內(nèi)柵極多晶硅上面的硅化鎢,去除其他部分硅化鎢則去除,將硅化鎢同與金屬連線相連作為溝道功率MOS器件柵極,由于溝槽內(nèi)多晶硅上面覆蓋有硅化鎢,通過(guò)硅化鎢同與金屬連線相連作為溝道功率MOS器件柵極,大大降低了溝槽功率MOS器件的柵極電阻,提高了溝槽功率MOS器件的工作頻率。以上所述僅為本申請(qǐng)的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本申請(qǐng),凡在本申請(qǐng)的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本申請(qǐng)保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種溝槽功率MOS器件,其特征在于, 硅片外延層上形成有阱,阱內(nèi)形成有源極重?fù)诫s區(qū),阱的摻雜類(lèi)型同外延層及源極重?fù)诫s區(qū)的摻雜類(lèi)型相反,所述阱內(nèi)形成有多個(gè)溝槽,溝槽壁上形成有絕緣柵氧化層,絕緣柵氧化層內(nèi)底部填充多晶硅,頂部填充硅化鎢到硅片上表面,硅化鎢同與金屬連線相連作為溝槽功率MOS器件柵極,溝槽內(nèi)硅化鎢的深度小于源極重?fù)诫s區(qū)的深度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溝槽功率MOS器件,其特征在于, 所述溝槽形成在阱及外延層內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的溝槽功率MOS器件,其特征在于,阱的摻雜類(lèi)型為N型,外延層及源極重?fù)诫s區(qū)的摻雜類(lèi)型為P型。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的溝槽功率MOS器件,其特征在于,阱的摻雜類(lèi)型為P型,外延層及源極重?fù)诫s區(qū)的摻雜類(lèi)型為N型。
5.一種溝槽功率MOS器件的制造方法,其特征在于,包括以下步驟: 一.在娃片外延層形成硬掩膜; 二.在硅片外延層上進(jìn)行溝槽刻蝕,形成多個(gè)溝槽; 三.淀積柵氧化層; 四.淀積多晶娃; 五.刻蝕多晶娃,使溝槽內(nèi)多晶娃低于娃片上表面; 六.淀積硅化鎢; 七.通過(guò)光刻蓋住溝槽,并用干法刻蝕硅化鎢,將溝槽外硅化鎢清除,保留溝槽內(nèi)硅化鶴; 八.在硅片外延層上進(jìn)行雜質(zhì)注入形成阱,阱的摻雜類(lèi)型與硅片外延層相反; 九.利用光刻加離子注入形成源極重?fù)诫s區(qū),源極重?fù)诫s區(qū)的摻雜類(lèi)型與阱相反,源極重?fù)诫s區(qū)的深度大于溝槽內(nèi)硅化鎢的深度; 十.淀積層間介質(zhì); 十一.通孔光刻刻蝕,柵極通孔到達(dá)硅化鎢; 十二.通孔金屬填充,金屬連線形成。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種溝槽功率MOS器件,其結(jié)構(gòu)是,硅片外延層上形成有阱,阱內(nèi)形成有源極重?fù)诫s區(qū),阱的摻雜類(lèi)型同外延層及源極重?fù)诫s區(qū)的摻雜類(lèi)型相反,所述阱內(nèi)形成有多個(gè)溝槽,溝槽壁上形成有絕緣柵氧化層,絕緣柵氧化層內(nèi)底部填充多晶硅,頂部填充硅化鎢到硅片上表面,硅化鎢同與金屬連線相連作為溝槽功率MOS器件柵極,溝槽內(nèi)硅化鎢的深度小于源極重?fù)诫s區(qū)的深度。本發(fā)明還公開(kāi)了一種溝槽功率MOS器件的制造方法。本發(fā)明的溝槽功率MOS器件柵極電阻低,工作頻率高。
文檔編號(hào)H01L29/78GK103165669SQ20111040773
公開(kāi)日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2011年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月9日
發(fā)明者吳晶, 左燕麗 申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司