專利名稱：襯底處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明構(gòu)思涉及用于處理襯底的系統(tǒng)，更具體地講，涉及一種用于在包括傳送模塊的多個(gè)加工設(shè)備之間處理襯底的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體加工在裝設(shè)在無(wú)塵室中的多個(gè)加工設(shè)備中進(jìn)行。通常，每個(gè)加工設(shè)備可以包括裝載端口、傳送模塊和處理模塊。包含多個(gè)襯底的容器置于裝載端口上。傳送模塊布置在裝載端口與處理模塊之間，并且可以包括搬送機(jī)器人，用于在置于裝載端口上的容器與處理模塊之間搬送襯底。美國(guó)已公布專利第2008/0255697號(hào)中公開了上述加工設(shè)備的一個(gè)示例。多個(gè)加工設(shè)備布置在一個(gè)無(wú)塵室中，并且彼此間隔開。多個(gè)襯底以被包含在容器中的狀態(tài)通過搬送裝置或工人在多個(gè)加工設(shè)備之間進(jìn)行傳送。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種襯底處理系統(tǒng)，其在利用多個(gè)加工設(shè)備進(jìn)行加工時(shí)可以有效地進(jìn)行加工。本發(fā)明要解決的技術(shù)問題并不限于此，本領(lǐng)域的技術(shù)人員通過下述的說(shuō)明可以清楚地理解未提及的其他技術(shù)問題。本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例提供一種襯底處理系統(tǒng)。所述襯底處理系統(tǒng)可以包括多個(gè)加工設(shè)備，每個(gè)加工設(shè)備分別包括傳送模塊和處理模塊，所述傳送模塊中設(shè)置有搬送機(jī)器人，所述處理模塊連接到所述傳送模塊；緩沖臺(tái)，其位于相鄰的所述傳送模塊之間，并且用于在所述傳送模塊之間傳送襯底，其中，所述多個(gè)加工設(shè)備包括至少一個(gè)第一設(shè)備，在該第一設(shè)備中處理模塊位于沿著所述傳送模塊和所述緩沖臺(tái)排列的方向所提供的連接線的第一側(cè)；以及至少一個(gè)第二設(shè)備，在該第二設(shè)備中處理模塊位于所述連接線的第二側(cè)，其中，與提供給所述第二設(shè)備的傳送模塊相比較，提供給所述第一設(shè)備的傳送模塊朝向所述連接線的所述第一側(cè)更突出。本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例還提供一種襯底處理系統(tǒng)。所述系統(tǒng)可以包括第一傳送模塊，其中設(shè)置有搬送機(jī)器人；第二傳送模塊，其中設(shè)置有搬送機(jī)器人；第一緩沖臺(tái)，其布置在所述第一傳送模塊與所述第二傳送模塊之間，并且用于在所述第一傳送模塊和所述第二傳送模塊之間傳送襯底；第一處理模塊，其與所述第一傳送模塊結(jié)合并且布置在連接線的第一側(cè)，其中，所述連接線的方向是沿所述第一傳送模塊、所述第一緩沖臺(tái)和所述第二傳送模塊排列的方向；以及第二處理模塊，其與所述第二傳送模塊結(jié)合并且布置在所述連接線的第二側(cè)，其中，關(guān)于所述連接線，與所述第二傳送模塊相比較，所述第一傳送模塊朝向所述連接線的所述第一側(cè)更突出。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思，可以有效地執(zhí)行加工設(shè)備之間的襯底搬送。此外，根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思，可以有效地利用安裝有多個(gè)加工設(shè)備的無(wú)塵室的有限空間


圖I是示出襯底處理系統(tǒng)的一個(gè)示例的俯視圖。圖2是示出傳送模塊和緩沖臺(tái)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的截面視圖。圖3是粗略示出圖2的緩沖部件的一個(gè)示例的透視圖。圖4是粗略示出圖2的緩沖部件的另一個(gè)示例的透視圖。圖5是粗略示出圖I的緩沖臺(tái)的一個(gè)示例的透視圖。圖6是粗略示出圖I的緩沖臺(tái)的另一個(gè)示例的俯視圖。圖7和圖8分別是示出圖I的緩沖臺(tái)的再一個(gè)示例的透視圖。圖9是描述圖I的襯底處理系統(tǒng)中的傳送模塊的形狀的示圖。圖10至圖15分別是粗略示出圖I的襯底處理系統(tǒng)的另一個(gè)示例的俯視圖。圖16是粗略示出圖15的襯底處理系統(tǒng)的一個(gè)示例的示圖。圖17至圖19分別是示出圖I的襯底處理系統(tǒng)的再一個(gè)示例的俯視圖。圖20是示出圖19的襯底處理系統(tǒng)的一個(gè)示例的示圖。圖21至圖23是粗略示出襯底處理系統(tǒng)的再一個(gè)示例的俯視圖。圖24至圖26是粗略示出布置多個(gè)圖I的襯底處理系統(tǒng)的一個(gè)示例的俯視圖。圖27至圖29分別是粗略示出襯底處理系統(tǒng)中襯底的搬送路徑的示圖。
具體實(shí)施例方式以下將參考附圖I至29來(lái)更詳細(xì)地描述本發(fā)明構(gòu)思的優(yōu)選實(shí)施例。但是，本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例可以以不同形式來(lái)實(shí)現(xiàn)，而不應(yīng)理解為限于本文所述的實(shí)施例。更確切地說(shuō)，提供這些實(shí)施例是為了使本公開完整和徹底以及將完整地向本領(lǐng)域技術(shù)人員傳遞本發(fā)明構(gòu)思的范圍。附圖中，為了清楚起見，可能放大了元件的形狀。圖I是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一個(gè)實(shí)施例的襯底處理系統(tǒng)1000的透視圖。參照?qǐng)D1，襯底處理系統(tǒng)1000包括多個(gè)加工設(shè)備1200和多個(gè)緩沖臺(tái)1400。每個(gè)加工設(shè)備1200可以包括裝載端口 1220、傳送模塊1240和處理模塊1260。在一個(gè)加工設(shè)備1200中，裝載端口1220、傳送模塊1240和處理模塊1260可以順序排列成直線。屬于不同的加工設(shè)備1200的傳送模塊1240可以定位成彼此在一條直線上排列。緩沖臺(tái)1400可以布置在相鄰加工設(shè)備1200的傳送模塊1240之間。當(dāng)從俯視圖觀看時(shí)，在一個(gè)加工設(shè)備1200中，裝載端口 1220、傳送模塊1240和處理模塊1260排列的方向可以與傳送模塊1240和緩沖臺(tái)1400排列的方向垂直。下文中，將傳送模塊1240和緩沖臺(tái)1400排列的方向稱為第一方向10，將裝載端口1220、傳送模塊1240和處理模塊1260排列的方向稱為第二方向20。包含多個(gè)襯底的容器30位于裝載端口 1220上。容器30可以通過諸如高架傳送器之類的搬送裝置40來(lái)裝載或卸載?？蛇x擇地，容器30可以通過自動(dòng)搬運(yùn)車、軌道搬運(yùn)車或工人來(lái)裝載到裝載端口 1220上或從裝載端口 1220上卸載?？梢允褂米鳛榉忾]式容器的前端開啟式晶圓傳送盒來(lái)作為容器30。在每個(gè)加工設(shè)備1200中，可以提供一個(gè)或多個(gè)裝載端口 1220。在提供多個(gè)裝載端口 1220的情況下，裝載端口 1220可以沿第一方向10排成一行。多個(gè)裝載端口 1220之間可以緊靠地排在一起。在圖I中，示出了在每個(gè)裝載端口1220中提供兩個(gè)裝載端口 1220的情況。但是，給每個(gè)加工設(shè)備1200提供的裝載端口 1220的數(shù)量可以與此不同。另外，加工設(shè)備1200彼此之間可以具有不同數(shù)量的裝載端口 1220。傳送模塊1240包括外殼1250和搬送機(jī)器人1242。外殼1250通常具有直六面體形狀。外殼1250具有頂面(圖2的1251)、底面(圖2的1252)、第一側(cè)面1253、第二側(cè)面1254、第三側(cè)面1255和第四側(cè)面1256。第一側(cè)面1253與第三側(cè)面1255彼此面對(duì)，第二側(cè)面1254與第四側(cè)面1256彼此面對(duì)。第一側(cè)面1253與第二側(cè)面1254垂直。第一側(cè)面1253面對(duì)裝載端口 1220，第三側(cè)面1255面對(duì)處理模塊1260。用于襯底進(jìn)出容器30的開口(未示出)以及用于打開和關(guān)閉該開口的門(未示出)可以設(shè)置在外殼1250的第一側(cè)面1253。用于襯底進(jìn)出處理模塊1260的開口(未不出)以及用于打開和關(guān)閉該開口的門(未示出)可以設(shè)置在外殼1250的第三側(cè)面1255。而且，用于襯底進(jìn)出緩沖臺(tái)1400的開口(圖2的1257)可以分別形成在外殼1250的第二側(cè)面1254和/或第四側(cè)面1256。用于打開容器30的門的開門器(未示出)可以設(shè)置在外殼1250中。外殼1250設(shè)置為使得外殼1250的內(nèi)部區(qū)域與外部隔離。風(fēng)機(jī)過濾單兀(未示出)設(shè)置在外殼1250的頂面上，所述風(fēng)機(jī)過濾單元可以進(jìn)行引導(dǎo)，使得外殼1250中過濾的空氣沿從上向下的方向流動(dòng)。從而，可以保持外殼1250內(nèi)比外殼1250外清潔。搬送機(jī)器人1242在置于裝載端口 1220上的容器30與處理模塊1260之間、在置于裝載端口 1220上的容器30與緩沖臺(tái)1400之間以及在處理模塊1260與緩沖臺(tái)1400之間搬送襯底。引導(dǎo)軌道1246設(shè)置在外殼1250中，并且與第一方向10平行。搬送機(jī)器人1242可以位于引導(dǎo)軌道1246上，從而沿著引導(dǎo)軌道1246作直線移動(dòng)。搬送機(jī)器人1242可以向上和向下移動(dòng)。搬送機(jī)器人1242的手1244可以在水平面上向前移動(dòng)、向后移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)?？梢蕴峁┮恢换蚨嘀皇?244。在圖I中，描述了具有兩只手1244的搬送機(jī)器人1242。處理模塊1260可以包括裝載鎖定腔1262、傳送腔1264和加工腔1266。從俯視圖觀看時(shí)，傳送腔1264通?？梢跃哂卸噙呅涡螤?。在圖I中，示出了傳送腔1264具有從俯視圖觀看時(shí)的六邊形形狀。但是，可以對(duì)傳送腔1264的形狀進(jìn)行各種改變。搬送機(jī)器人1268設(shè)置在傳送腔1264中。搬送機(jī)器人1268可以向上和向下移動(dòng)，搬送機(jī)器人1268的手1269可以在水平面上向前移動(dòng)、向后移動(dòng)以及旋轉(zhuǎn)?？梢蕴峁┮恢换蚨嘀皇?269。在圖I中，描述了具有兩只手1269的搬送機(jī)器人1268。裝載鎖定腔1262和加工腔1266設(shè)置在傳送腔1264的周圍。裝載鎖定腔1262位于傳送腔1264上與傳送模塊1240相鄰的側(cè)面部分，加工腔1266位于傳送腔1264的其他側(cè)面部分?？梢蕴峁┮粋€(gè)或多個(gè)裝載鎖定腔1262。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，提供兩個(gè)裝載鎖定腔1262。將要進(jìn)入處理模塊1260以進(jìn)行加工的襯底可以暫時(shí)停留在一個(gè)裝載鎖定腔1262中，加工完成之后從處理模塊1260輸出的襯底可以暫時(shí)停留在另一個(gè)裝載鎖定腔1262中。與此不同地，可以提供一個(gè)或多個(gè)裝載鎖定腔1262，進(jìn)行加工之前的襯底和完成加工之后的襯底可以停留在每一個(gè)裝載鎖定腔1262中。傳送腔1264和加工腔1266內(nèi)可以保持為第一壓強(qiáng)，傳送模塊1240內(nèi)可以保持為第二壓強(qiáng)，以及裝載鎖定腔1262內(nèi)可以轉(zhuǎn)換為第一壓強(qiáng)和第二壓強(qiáng)。第一壓強(qiáng)可以低于第二壓強(qiáng)。例如，第一壓強(qiáng)可以為真空壓強(qiáng)，而第二壓強(qiáng)可以為大氣壓強(qiáng)。加工腔1266對(duì)襯底執(zhí)行預(yù)定加工。例如，加工腔1266可以執(zhí)行諸如清潔、灰化、沉積、刻蝕或測(cè)量之類的加工。可以在傳送腔1264的一個(gè)側(cè)面部分提供一個(gè)或多個(gè)加工腔、1266。加工腔1266可以被設(shè)置在傳送腔1264上除了設(shè)置裝載鎖定腔1262的側(cè)面部分之外的全部或一部分其他側(cè)面部分上。在提供多個(gè)加工腔1266的情況下，多個(gè)加工腔1266可以對(duì)襯底執(zhí)行相同的加工?？蛇x擇地，多個(gè)加工腔1266可以對(duì)襯底執(zhí)行不同的加工。力口工腔1266可以具有這樣的結(jié)構(gòu)，其以真空壓強(qiáng)對(duì)襯底進(jìn)行加工。可選擇地，加工腔1266可以具有這樣的結(jié)構(gòu)，其以大氣壓強(qiáng)對(duì)襯底進(jìn)行加工。緩沖臺(tái)1400可以設(shè)置在相鄰傳送模塊1240a、1240b之間。圖2是示出設(shè)置在傳送模塊1240a、1240b之間的緩沖臺(tái)1400的一個(gè)示例的示圖。圖3是示出圖2的緩沖部件1440的一個(gè)示例的透視圖。參照?qǐng)D2和圖3，緩沖臺(tái)1400包括外殼1420和緩沖部件1440。 外殼1420可以被設(shè)置為在內(nèi)部具有空間的直六面體筒形狀。外殼1420的一端與第一傳送模塊1240a結(jié)合,外殼1420的另一端與第二傳送模塊1240b結(jié)合。外殼1420的一端和另一端可以沿第一方向10彼此間隔開，并且可以彼此面對(duì)。緩沖部件1440可以固定安裝在外殼1420中。緩沖部件1440可以包括主體1442和多個(gè)緩沖器1444。主體1442具有直六面體筒形狀，垂直于第一方向10的側(cè)面是打開的。緩沖器1444可以設(shè)置在主體1442內(nèi)。緩沖器1444可以被設(shè)置為在上下方向上彼此間隔開。每個(gè)緩沖器1444包括支撐襯底的邊緣部分的兩個(gè)板1444a和1444b。板1444a和1444b設(shè)置為沿第二方向20彼此間隔開。搬送機(jī)器人1242的手1244可以沿著板1444a、1444b之間的間隔空間向上和向下移動(dòng)。位于緩沖臺(tái)1400兩側(cè)的傳送模塊1240a、1240b的搬送機(jī)器人1242被提供用于裝載或卸載襯底。與此不同地，緩沖部件1440可以具有一個(gè)如圖4所示的緩沖器1445。再次參照?qǐng)D2，打開和關(guān)閉形成在面對(duì)緩沖臺(tái)1400的一側(cè)上的開口 1257的門1258可以設(shè)置在傳送模塊1240a、1240b的外殼1250上。在加工設(shè)備1200中的一個(gè)發(fā)生錯(cuò)誤的情況下，使用門1258關(guān)閉開口 1257，并且每個(gè)加工設(shè)備1200可以獨(dú)立于其他加工設(shè)備1200來(lái)使用。在這種情況下，加工設(shè)備1200之間的襯底的傳送可以在襯底提供在容器30中的狀態(tài)下通過高架傳送器40執(zhí)行?？蛇x擇地，包含襯底的容器30可以通過自動(dòng)搬運(yùn)車、軌道搬運(yùn)車或工人來(lái)在加工設(shè)備1200之間進(jìn)行傳送。圖5是示出緩沖臺(tái)1401的另一個(gè)示例的示圖。在圖5中，移除了外殼1421，以顯示緩沖臺(tái)1401的內(nèi)部。參照?qǐng)D5，緩沖臺(tái)1401包括外殼1421、緩沖部件1441和緩沖器驅(qū)動(dòng)部件1460。圖5中的外殼1421和緩沖部件1441與圖2和圖3中的外殼1420和緩沖部件1440具有類似的結(jié)構(gòu)。但是，與圖2的外殼1420相比，圖5的外殼1421沿第一方向10具有更長(zhǎng)的長(zhǎng)度。緩沖器驅(qū)動(dòng)部件1460在外殼1421中沿著第一方向10將緩沖部件1441從第一位置移動(dòng)到第二位置。第一位置是與位于緩沖臺(tái)1401的一側(cè)的傳送模塊1240a(下文中稱其為第一傳送模塊)相鄰的位置，第二位置是與位于緩沖臺(tái)1401的另一側(cè)的另一傳送模塊1240b (下文中稱其為第二傳送模塊)相鄰的位置。緩沖器驅(qū)動(dòng)部件1460包括引導(dǎo)軌道1461和基座1462。引導(dǎo)軌道1461布置在外殼1421中，以使得引導(dǎo)軌道1461的長(zhǎng)度方向平行于第一方向10,并且被設(shè)置為從第一位置延伸到第二位置?；?462與引導(dǎo)軌道1461結(jié)合，使得其可以通過驅(qū)動(dòng)器(未示出)沿著引導(dǎo)軌道1461移動(dòng)。緩沖部件1441與基座1462固定結(jié)合，從而與基座1462 —起移動(dòng)。當(dāng)相鄰傳送模塊1240a和1240b之間的距離相對(duì)較遠(yuǎn)時(shí)，可以使用圖5的緩沖臺(tái)1401。圖6是粗略示出圖I的緩沖臺(tái)1402的另一個(gè)示例的俯視圖。參照?qǐng)D6，緩沖臺(tái)1402可以包括外殼1422、第一緩沖部件1442a、第二緩沖部件1442b和搬送部件1480。圖6的外殼1422可以具有與圖2的外殼1420類似的結(jié)構(gòu)。圖6的第一緩沖部件1442a和第二緩沖部件1442b可以具有與圖3的緩沖部件1440類似的結(jié)構(gòu)。但是，與圖2的外殼1420相比，圖6的外殼1422沿第一方向10具有更長(zhǎng)的長(zhǎng)度。第一緩沖部件1442a位于與布置在緩沖臺(tái)1402的一側(cè)的第一傳送模塊1240a相鄰的位置。第二緩沖部件1442b位于與布置在緩沖臺(tái)1402的另一側(cè)的第二傳送模塊1240b相鄰的位置。搬送部件1480在第一緩沖部件1442a與第二緩沖部件1442b之間傳送襯底。搬送部件1480具有引導(dǎo)軌道1481和搬送機(jī)器人1482。引導(dǎo)軌道1481布置在外殼1422中，以使得引導(dǎo)軌道1481的長(zhǎng)度方向平行于第一方向10。引導(dǎo)軌道1481從與第一緩沖部件1442a相鄰的位置延伸到與第二緩沖部件1442b相鄰的位置。搬送機(jī)器人1482與引導(dǎo)軌道1481結(jié)合，使其可以通過驅(qū)動(dòng)器(未示出)沿著引導(dǎo)軌道1481進(jìn)行傳送。搬送機(jī)器人1482將襯底從第一緩沖部件1442a搬送到第二緩沖部件1442b。搬送機(jī)器人1482具有一只或多只手1483。例如，搬送機(jī)器人1482可以具有兩只手，或者可以具有與可以裝載到第一緩沖部件1442a上的襯底的數(shù)量一樣多的手。當(dāng)相鄰傳送模塊1240a、1240b之間的距離相對(duì)較長(zhǎng)時(shí)，可以使用圖6的緩沖臺(tái)1402。
再次參照?qǐng)D1，緩沖臺(tái)1400可以以與傳送模塊1240為一個(gè)整體的方式來(lái)設(shè)置。可選擇地，緩沖臺(tái)1400以可拆卸的方式安裝在傳送模塊1240上。可以如下來(lái)安裝襯底處理系統(tǒng)1000。依次并且重復(fù)地安裝加工設(shè)備1200和緩沖臺(tái)1400，并且可以最后安裝加工設(shè)備1200。當(dāng)安裝緩沖臺(tái)1400時(shí)，緩沖臺(tái)1400緊靠之前剛剛安裝的加工設(shè)備1200的傳送模塊1240安裝，以及當(dāng)安裝加工設(shè)備1200時(shí)，傳送模塊1240緊靠之前剛剛安裝的緩沖臺(tái)1400安裝。之后，使用諸如螺釘之類的結(jié)合部件(未示出)來(lái)固定傳送模塊1240和緩沖臺(tái)1400。作為選擇，可以如下來(lái)安裝襯底處理系統(tǒng)1000。首先，安裝多個(gè)加工設(shè)備1200，使得多個(gè)傳送模塊1240被定位成彼此之間以規(guī)定間隔間隔開。之后，緩沖臺(tái)1400被定位在傳送模塊1240之間。在這種情況下，緩沖臺(tái)1400可以被設(shè)置為使得其沿第一方向10的長(zhǎng)度可以改變。在緩沖臺(tái)1400被定位在傳送模塊1240之間之后，增大緩沖臺(tái)1400的長(zhǎng)度使其緊靠傳送模塊1240。之后，使用諸如螺釘之類的結(jié)合部件(未示出)來(lái)固定傳送模塊1240和緩沖臺(tái)1400。圖7是示出長(zhǎng)度可以改變的緩沖臺(tái)1403的一個(gè)示例的透視圖。參照?qǐng)D7，緩沖臺(tái)1403的外殼1423可以包括主體1423a、風(fēng)箱1423b和結(jié)合板1423c。主體1423a可以由沿第一方向10的長(zhǎng)度不會(huì)改變的結(jié)構(gòu)或材料形成。風(fēng)箱1423b從主體1423a延伸，并且風(fēng)箱1423b的長(zhǎng)度可以沿第一方向10改變。結(jié)合板1423c設(shè)置在主體1423a的一端和風(fēng)箱1423b的一端。為了將緩沖臺(tái)1403與傳送模塊1240結(jié)合，首先，在風(fēng)箱1423b的長(zhǎng)度被減小的狀態(tài)下，使緩沖臺(tái)1403定位在傳送模塊1240之間。此時(shí)，與主體1423a結(jié)合的結(jié)合板1423c緊靠傳送模塊1240，并且結(jié)合板1423c與傳送模塊1240通過結(jié)合部件(未示出)彼此結(jié)合。之后，使風(fēng)箱1423b的長(zhǎng)度增大，使得與風(fēng)箱1423b結(jié)合的結(jié)合板1423c緊靠另一傳送模塊1240，然后結(jié)合板1423c與另一傳送模塊1240通過結(jié)合部件(未示出)彼此結(jié)
八
口 ο可選擇地，與圖7不同，外殼可以在主體兩側(cè)都包括風(fēng)箱。而且，可選擇地，可以將外殼的整個(gè)區(qū)域設(shè)置為風(fēng)箱。
圖8是示出長(zhǎng)度可以改變的緩沖臺(tái)1404的另一個(gè)示例的透視圖。參照?qǐng)D8，外殼1424可以包括第一主體1424a、第二主體1424b和結(jié)合板1424c。第二主體1424b可以與第一主體1424a結(jié)合，以使得第二主體1424b沿第一方向10從第一主體1424a突出或者插入第一主體1424a中。S卩，外殼1424的長(zhǎng)度可以通過套入(telescope)方式沿第一方向10改變。結(jié)合板1424c設(shè)置在第一主體1424a的一端和第二主體1424b的一端。為了將緩沖臺(tái)1404與傳送模塊1240結(jié)合，首先，在第二主體1424b插入第一主體1424a的狀態(tài)下，使緩沖臺(tái)1404定位在傳送模塊1240之間。此時(shí)，與第一主體1424a結(jié)合的結(jié)合板1424c緊靠傳送模塊1240，并且緩沖臺(tái)1404與傳送模塊1240通過結(jié)合部件(未示出)彼此結(jié)合。之后，第二主體1424b從第一主體1424a突出，以使得與第二主體1424b結(jié)合的結(jié)合部件1424c緊靠另一傳送模塊1240，然后緩沖臺(tái)1404與傳送模塊1240通過結(jié)合部件(未示出)彼此
彡口口 在圖7和圖8中，可以給結(jié)合板1423c或1424c與傳送模塊1240之間的接觸面提供密封部件(未示出)，以使得傳送模塊1240的內(nèi)部以及緩沖臺(tái)1403或1404的外殼1423 或1424的內(nèi)部與外部密封隔離。再次參照?qǐng)D1，多個(gè)加工設(shè)備1200可以具有相同的結(jié)構(gòu)。彼此連接的傳送模塊1240和緩沖臺(tái)1400可以沿一條虛擬線布置。下文中，將上述虛擬線稱為連接線50。連接線50可以設(shè)置為如圖I所示的直線?？蛇x擇地，連接線50可以具有諸如大寫字母“L”或大寫字母“T”之類的各種形狀。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，加工設(shè)備1200的處理模塊1260可以順序并交替地布置在連接線50的第一側(cè)和第二側(cè)。在連接線50的第一側(cè)和第二側(cè)分別設(shè)置引導(dǎo)軌道42，以使得引導(dǎo)軌道42向上和向下都面對(duì)裝載端口 1220。諸如高架傳送器40之類的搬送裝置可以沿引導(dǎo)軌道42進(jìn)行傳送。設(shè)置在連接線50的第一側(cè)的引導(dǎo)軌道42和設(shè)置在連接線50的第二側(cè)的引導(dǎo)軌道42可以設(shè)置為獨(dú)立的軌道?？蛇x擇地，設(shè)置在連接線50的第一側(cè)的引導(dǎo)軌道42和設(shè)置在連接線50的第二側(cè)的引導(dǎo)軌道42可以設(shè)置為一個(gè)軌道。圖9是圖I中提供的三個(gè)加工設(shè)備1200a、1200b以及布置在所述加工設(shè)備之間的緩沖臺(tái)1400的放大示圖。為了圖9的描述方便，在圖9中，處理模塊設(shè)置在連接線50的第一側(cè)的加工設(shè)備被稱為第一設(shè)備1200a。提供給第一設(shè)備1200a的裝載端口、傳送模塊和處理模塊分別被稱為第一裝載端口 1220a、第一傳送模塊1240a和第一處理模塊1260a。而且,處理模塊設(shè)置在連接線50的第二側(cè)的加工設(shè)備被稱為第二設(shè)備1200b。提供給第二設(shè)備1200b的裝載端口、傳送模塊和處理模塊分別被稱為第二裝載端口 1220b、第二傳送模塊1240b和第二處理模塊1260b。如上所述，第一處理模塊1260a與第一傳送模塊1240a的第三側(cè)壁1255a結(jié)合，第二處理模塊1260b與第二傳送模塊1240b的第三側(cè)壁1255b結(jié)合。與第二傳送模塊1240b的第一側(cè)壁1253b相比，第一傳送模塊1240a的第三側(cè)壁1255a可以從連接線50朝向結(jié)合第一處理模塊1260a的方向更突出。與第一傳送模塊1240a的第一側(cè)壁1253a相比，第二傳送模塊1240b的第三側(cè)壁1255b可以從連接線50朝向結(jié)合第二處理模塊1260b的方向更突出。置于第一傳送模塊1240a與第二傳送模塊1240b之間的緩沖臺(tái)1400可以包括第一側(cè)壁1453、第二側(cè)壁1454、第三側(cè)壁1455和第四側(cè)壁1456。第一側(cè)壁1453與第三側(cè)壁1455彼此面對(duì)。第二側(cè)壁1454與第四側(cè)壁1456彼此面對(duì)。第一側(cè)壁1453與第二側(cè)壁1454大致垂直設(shè)置。第二側(cè)壁1454和第四側(cè)壁1456分別與第一傳送模塊1240a和第二傳送模塊1240b結(jié)合。第一側(cè)壁1453可以布置在從第一傳送模塊1240a的第一側(cè)壁1253a延伸的平面上。第三側(cè)壁1455可以布置在從第二傳送模塊1240b的第一側(cè)壁1253b延伸的平面上。提供了由從第一傳送模塊1240a突出的部分1700a、第二裝載端口 1220b和置于其間的緩沖臺(tái)1400圍繞的第一服務(wù)空間1800a。第一服務(wù)空間1800a可以被設(shè)置為這樣的空間，當(dāng)需要維護(hù)第一傳送模塊1240a、第一處理模塊1260a的裝載鎖定腔1262a、緩沖臺(tái)1400和第二裝載端口 1220b時(shí)工人可以位于其中。而且，提供了由從第二傳送模塊1240b突出的部分1700b、第一裝載端口 1220a和置于其間的緩沖臺(tái)1400圍繞的第二服務(wù)空間1800b。第二服務(wù)空間1800b可以被設(shè)置為這樣的空間，當(dāng)需要維護(hù)第二傳送模塊1240b、第二處理 模塊1260b的裝載鎖定腔1262b、緩沖臺(tái)1400和第一裝載端口 1220a時(shí)工人可以位于其中。加工設(shè)備1200a和1200b可以具有相同的尺寸和相同的形狀。第一處理模塊1260a中平行于第一方向10的最大寬度LI可以大于第一傳送模塊1240a中平行于第一方向10的寬度L2。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，第一處理模塊1260a中平行于第一方向10的最大寬度LI可以大于第一傳送模塊1240a中平行于第一方向10的寬度和位于其兩側(cè)的緩沖臺(tái)1400中平行于第一方向10的寬度之和L3。圖10是示出另一個(gè)示例的襯底處理系統(tǒng)2000的示圖。參照?qǐng)D10，類似于圖I的襯底處理系統(tǒng)1000，襯底處理系統(tǒng)2000可以包括包含傳送模塊2240的加工設(shè)備2200、以及設(shè)置在相鄰傳送模塊2240之間的緩沖臺(tái)2400。在圖10的襯底處理系統(tǒng)2000中，引導(dǎo)軌道2246設(shè)置在傳送模塊2240的外殼2250中，該引導(dǎo)軌道2246與第一方向10平行。搬送機(jī)器人2242可以位于引導(dǎo)軌道2246上，從而沿著引導(dǎo)軌道2246作直線移動(dòng)。圖11是示出另一個(gè)示例的襯底處理系統(tǒng)3000的示圖。參照?qǐng)D11，類似于圖I的襯底處理系統(tǒng)1000，襯底處理系統(tǒng)3000可以包括包含傳送模塊3240的加工設(shè)備3200和3201、以及設(shè)置在相鄰傳送模塊3240之間的緩沖臺(tái)3400。一些加工設(shè)備3201可以包括兩個(gè)處理模塊3262和3264而不包括裝載端口 3220。下文中，為了描述方便，在圖11中，兩個(gè)處理模塊中的一個(gè)被稱為第一處理模塊3262,兩個(gè)處理模塊中的另一個(gè)被稱為第二處理模塊3264。第一處理模塊3262和第二處理模塊3264可以具有類似于圖I的處理模塊1260的結(jié)構(gòu)。第一處理模塊3262和第二處理模塊3264可以共享一個(gè)傳送模塊3240。第一處理模塊3262、傳送模塊3240和第二處理模塊3264可以沿第二方向20順序地設(shè)置成一排。第一處理模塊3262和第二處理模塊3264可以關(guān)于傳送模塊3240對(duì)稱地設(shè)置。在圖11中，不出了第一處理模塊3262和第二處理模塊3264具有相同的結(jié)構(gòu)。但是，可選擇地，第一處理模塊3262和第二處理模塊3264可以具有彼此不同的結(jié)構(gòu)。第一處理模塊3262和第二處理模塊3264可以對(duì)襯底執(zhí)行相同的加工?？蛇x擇地，第一處理模塊3262和第二處理模塊3264可以對(duì)襯底執(zhí)行彼此不同的加工。圖12是示出另一個(gè)示例的襯底處理系統(tǒng)4000的示圖。參照?qǐng)D12，類似于圖I的襯底處理系統(tǒng)1000，襯底處理系統(tǒng)4000可以包括包含傳送模塊4240的加工設(shè)備4201、4202、4203和4204、以及設(shè)置在相鄰傳送模塊4240之間的緩沖臺(tái)4400。但是，加工設(shè)備4201、4202,4203和4204的處理模塊4261、4262、4263和4264可以具有彼此不同的結(jié)構(gòu)。與圖I的處理模塊1260相同地，加工設(shè)備4201的處理模塊4261可以包括裝載鎖定腔4261a、多邊形傳送腔4261b和多個(gè)加工腔4261c。加工設(shè)備4202的處理模塊4262可以具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中一個(gè)裝載鎖定腔4262a和一個(gè)加工腔4262c通過傳送腔4262b結(jié)合，裝載鎖定腔4262a、傳送腔4262b和加工腔4262c可以沿第二方向20順序設(shè)置成一排。而且,加工設(shè)備4203的處理模塊4263可以具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中具有正方形形狀的傳送腔4263b與圍繞傳送腔4263b布置的裝載鎖定腔4263a和加工腔4263c結(jié)合。加工設(shè)備4204的處理模塊4264可以具有一個(gè)多邊形傳送腔4264b和圍繞傳送腔4264b布置的多個(gè)加工腔4264c,傳送腔4264b與傳送模塊4244直接結(jié)合。圖12中所示的處理模塊4261、4262、4263和4264的結(jié)構(gòu)是示例性的，所述處理模塊可以具有與此不同的結(jié)構(gòu)。 在圖12的情況中，加工設(shè)備4201、4202和4203可以在真空狀態(tài)下對(duì)襯底進(jìn)行加工，加工設(shè)備4204可以在大氣壓強(qiáng)下對(duì)襯底進(jìn)行加工。在圖12中，處理模塊4261、4262、4263和4264設(shè)置在連接線50的兩側(cè)，緩沖臺(tái)4400以及傳送模塊4240和4244排列在連接線50上。但是，處理模塊4261、4262、4263和4264也可以設(shè)置在連接線50的一側(cè)，如圖10所示。圖13是示出另一個(gè)示例的襯底處理系統(tǒng)5000的示圖。參照?qǐng)D13，類似于圖I的襯底處理系統(tǒng)1000，襯底處理系統(tǒng)5000可以包括包含傳送模塊5240的加工設(shè)備5200和5201、以及設(shè)置在相鄰傳送模塊5240之間的緩沖臺(tái)5400。但是，加工設(shè)備5201可以包括傳送模塊5240和處理模塊5260而不包括裝載端口 5220。圖14是示出另一個(gè)示例的襯底處理系統(tǒng)6000的示圖。參照?qǐng)D14，類似于圖I的襯底處理系統(tǒng)1000，襯底處理系統(tǒng)6000可以包括包含傳送模塊6240的加工設(shè)備6201和6202、以及設(shè)置在相鄰傳送模塊6240之間的緩沖臺(tái)6400。為處理模塊6260布置在排列有傳送模塊6240和緩沖臺(tái)6400的連接線50的第一側(cè)的加工設(shè)備6201提供裝載端口 6220，而不為處理模塊6260布置在連接線50的第二側(cè)的加工設(shè)備6202提供裝載端口 6220。在這種情況下，可以僅在連接線50的第二側(cè)設(shè)置高架傳送器40和引導(dǎo)高架傳送器40的移動(dòng)的引導(dǎo)軌道42。在圖13和圖14中，示出了加工設(shè)備5200、5201、6201和6202中包含的處理模塊具有相同的結(jié)構(gòu)。但是，加工設(shè)備5200、5201、6201和6202中包含的處理模塊可以具有彼此不同的結(jié)構(gòu)，如圖12所示?？蛇x擇地，在圖14中，布置在連接線50的同一側(cè)的處理模塊可以具有相同的結(jié)構(gòu)，布置在連接線50的第一側(cè)并且包含在加工設(shè)備6201中的處理模塊和布置在連接線50的第二側(cè)并且包含在加工設(shè)備6202中的處理模塊可以具有彼此不同的結(jié)構(gòu)。圖15是示出另一個(gè)示例的襯底處理系統(tǒng)7000的示圖。參照?qǐng)D15，類似于圖I的襯底處理系統(tǒng)1000，襯底處理系統(tǒng)7000可以包括包含傳送模塊7240的加工設(shè)備7200和7201、以及設(shè)置在相鄰傳送模塊7240之間的緩沖臺(tái)7400。襯底處理系統(tǒng)7000還可以具有加工處理裝置7800。加工處理裝置7800與加工設(shè)備7201的裝載端口 7220結(jié)合。與加工處理裝置7800結(jié)合的加工設(shè)備7201的處理模塊7260和加工處理裝置7800位于連接線50的相對(duì)側(cè)。加工處理裝置7800可以同時(shí)與兩個(gè)加工設(shè)備7201的裝載端口 7220結(jié)合。此時(shí)，緩沖臺(tái)7400可以不設(shè)置在與加工處理裝置7800結(jié)合的兩個(gè)加工設(shè)備7201的傳送模塊7240之間。所述兩個(gè)加工設(shè)備7201可以是彼此相鄰的加工設(shè)備。加工處理裝置7800可以是同時(shí)對(duì)多個(gè)襯底進(jìn)行加工的批量加工裝置。例如，加工處理裝置7800中執(zhí)行的加工可以是清潔加工或剝離加工。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，如圖16所示，加工處理裝置7800可以是與美國(guó)公布專利第2004/00165973號(hào)的圖12中所公開的裝置具有相似或相同結(jié)構(gòu)的裝置。根據(jù)加工處理裝置7800 的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，可以為加工處理裝置7800提供對(duì)包含襯底的容器30進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件7820。高架傳送器40將容器30放在裝載端口 7220上，以使得容器30的開口面對(duì)傳送模塊7240。加工處理裝置7800將容器30傳送到加工處理裝置7800的內(nèi)部，使容器30旋轉(zhuǎn)180度，然后可以從容器30卸載襯底?？蛇x擇地，可以為裝載端口 7220或高架傳送器40提供對(duì)容器30進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件。容器30可以在位于加工設(shè)備7201的裝載端口 7220上的狀態(tài)下移動(dòng)到加工處理裝置7800，并且可以在加工處理裝置7800中的加工完成之后移動(dòng)到另一加工設(shè)備7201的裝載端口 7220。可選擇地，襯底可以在容器30位于裝載端口 7220上的狀態(tài)下直接搬送到加工處理裝置7800。圖17是不出另一個(gè)不例的襯底處理系統(tǒng)8000的不圖。類似于圖15的襯底處理系統(tǒng)7000，圖17的襯底處理系統(tǒng)8000可以包括包含傳送模塊8240的加工設(shè)備8200和8201、設(shè)置在相鄰傳送模塊8240之間的緩沖臺(tái)8400、8401、以及加工處理裝置8800。在襯底處理系統(tǒng)8000中，緩沖臺(tái)8401設(shè)置在與加工處理裝置8800結(jié)合的加工設(shè)備8201的傳送模塊8240之間。此時(shí)，緩沖臺(tái)8401可以具有類似于圖5或圖6的緩沖臺(tái)1401、1402的結(jié)構(gòu)。圖18是不出另一個(gè)不例的襯底處理系統(tǒng)9000的不圖。類似于圖15的襯底處理系統(tǒng)7000，襯底處理系統(tǒng)9000可以包括包含傳送模塊9240的加工設(shè)備9200和9201、設(shè)置在相鄰傳送模塊9240之間的緩沖臺(tái)9400、以及加工處理裝置9800、9801。但是，在襯底處理系統(tǒng)9000中，加工處理裝置9801與兩個(gè)加工設(shè)備9200的裝載端口 9220結(jié)合，其中，在兩個(gè)加工設(shè)備9200之間布置加工設(shè)備9201。圖19是示出另一個(gè)示例的襯底處理系統(tǒng)10000的示圖。類似于圖15的襯底處理系統(tǒng)7000，襯底處理系統(tǒng)10000可以包括包含傳送模塊10240的加工設(shè)備10200、設(shè)置在相鄰傳送模塊10240之間的緩沖臺(tái)10400、以及加工處理裝置10800。在襯底處理系統(tǒng)10000中，加工處理裝置10800與一個(gè)加工設(shè)備10200的裝載端口 10220結(jié)合。加工處理裝置10800可以是執(zhí)行擴(kuò)散加工的裝置。例如，如圖20所示，加工處理裝置10800可以是與美國(guó)公布專利第2008/0255697號(hào)的圖4中所公開的裝置具有相似或相同結(jié)構(gòu)的裝置。根據(jù)加工處理裝置10800的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，可以為加工處理裝置10800提供對(duì)包含襯底的容器30進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件10820。旋轉(zhuǎn)部件10820可以旋轉(zhuǎn)容器30，以使得容器30的開口方向旋轉(zhuǎn)180度?？蛇x擇地，可以為裝載端口 10220或高架傳送器40提供旋轉(zhuǎn)部件。圖21是示出另一個(gè)示例的襯底處理系統(tǒng)11000的示圖。類似于圖I的襯底處理系統(tǒng)1000，襯底處理系統(tǒng)11000可以包括包含傳送模塊11241和11242的加工設(shè)備11201和11202、以及設(shè)置在相鄰傳送模塊11241和11242之間的緩沖臺(tái)11400和11401。但是，襯底處理系統(tǒng)11000中的傳送模塊11241、11242和緩沖臺(tái)11401與圖I的傳送模塊1240和緩沖臺(tái)1400具有不同的結(jié)合結(jié)構(gòu)。加工設(shè)備11201和11202分別具有傳送模塊11241和11242以及處理模塊11261和11262。在加工設(shè)備11201中，沿第二方向20設(shè)置傳送模塊11241和處理模塊11261。在另一個(gè)加工設(shè)備11202中，沿第一方向10設(shè)置傳送模塊11242和處理模塊11262。為了描述方便,在圖21中，傳送模塊11241被稱為第一傳送模塊,傳送模塊11242被稱為第二傳送模塊。緩沖臺(tái)11401可以包括外殼11420和緩沖部件11440。緩沖部件11440可以與圖2的緩沖部件1440或圖3的緩沖部件1440a具有相似或相同的結(jié)構(gòu)。外殼11420包括頂面(未示出)、底面(未示出)、第一側(cè)面11423、第二側(cè)面11424、第三側(cè)面11425和第四側(cè)面11426。外殼11420可以具有直六面體形狀或正六面體形狀。第一側(cè)面11423與第三側(cè)面11425彼此面對(duì)，第二側(cè)面11424與第四側(cè)面11426彼此面對(duì)。第一側(cè)面11423垂直于第二側(cè)面11424。在第一側(cè)面11423和第二側(cè)面11424上設(shè)置襯底進(jìn)出的開口(未示出)和打開或關(guān)閉該開口的門(未不出)。第一傳送模塊11241與第一側(cè)面11423結(jié)合,第二傳送模塊11242與第二側(cè)面11424結(jié)合。垂直布置的第一傳送模塊11241與第二傳送模塊11242之間的襯底傳送可以通過布置在第一傳送模塊11241與第二傳送模塊11242之間的緩沖臺(tái)11401完成。圖22是粗略示出另一個(gè)示例的襯底處理系統(tǒng)12000的示圖。參照?qǐng)D22，類似于圖I的襯底處理系統(tǒng)1000，襯底處理系統(tǒng)12000包括包含傳送模塊12241、12242的加工設(shè)備12200、以及設(shè)置在相鄰傳送模塊12241與12242之間的緩沖臺(tái)12400。但是，裝載端口12260可以與位于傳送模塊12241與12242之間的兩端的傳送模塊12241的第二側(cè)壁12254或第四側(cè)壁12256結(jié)合，其中，傳送模塊12241和12242沿上述連接線設(shè)置。因此，為襯底處理系統(tǒng)12000的兩端分別提供裝載端口 12260，并且傳送模塊12241和12242以及緩沖臺(tái)12400順序且交替地設(shè)置在裝載端口 12260之間。而且，提供引導(dǎo)軌道42，其穿過裝載端口12260的上部并面向裝載端口 12260，諸如高架傳送器40之類的用于搬送容器的搬送裝置可以沿引導(dǎo)軌道42移動(dòng)。盡管圖22中未示出連接線，但是該連接線可以與引導(dǎo)軌道42重疊。圖23是粗略示出另一個(gè)示例的襯底處理系統(tǒng)13000的示圖。參照?qǐng)D23，類似于圖I的襯底處理系統(tǒng)1000，襯底處理系統(tǒng)13000包括包含傳送模塊13240的加工設(shè)備13200、以及設(shè)置在相鄰傳送模塊13240之間的緩沖臺(tái)13400。而且，處理模塊13260交替地布置在連接線50的第一側(cè)和第二側(cè)。多個(gè)傳送模塊13240可以沿著連接線50彼此對(duì)準(zhǔn)。S卩，所有傳送模塊13240中的向連接線50的第一側(cè)和第二側(cè)突出的長(zhǎng)度都相同。而且，在與第二方向20平行的方向上，傳送模塊13240的寬度I；比緩沖臺(tái)13400的寬度&長(zhǎng)。由此，傳送模塊13240比緩沖臺(tái)13400更向連接線50的第一側(cè)和第二側(cè)突出。在上述圖11至圖15、圖17至圖19、圖21至圖23所示的襯底處理系統(tǒng)中，分別設(shè)置在各個(gè)傳送模塊中的搬送機(jī)器人可以沿著第一方向移動(dòng)，使得與安裝在裝載端口上的容器以及緩沖臺(tái)接近，這一點(diǎn)與圖10的襯底處理系統(tǒng)的傳送模塊中的搬送機(jī)器人相同。在上述襯底處理系統(tǒng)中，描述了所有加工設(shè)備通過緩沖臺(tái)或襯底處理裝置彼此連接。但是，與此不同地，所述加工設(shè)備可以分為多個(gè)組，并且屬于每個(gè)組的加工設(shè)備通過緩沖臺(tái)彼此連接。 根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，如圖24所示，加工設(shè)備1200可以分為第一組IOOOa和第二組IOOOb0屬于第一組IOOOa的加工設(shè)備1200通過緩沖臺(tái)1400彼此連接，屬于第二組IOOOb的加工設(shè)備1200通過緩沖臺(tái)1400彼此連接。包含襯底的容器可以通過諸如高架傳送器、自動(dòng)搬運(yùn)車、軌道搬運(yùn)車之類的搬送裝置或工人在屬于第一組IOOOa的加工設(shè)備1200之間、屬于第二組IOOOb的加工設(shè)備1200之間、以及第一組IOOOa的加工設(shè)備1200與第二組IOOOb的加工設(shè)備1200之間搬送。如圖25所示，沒有連接緩沖臺(tái)的一個(gè)或多個(gè)加工設(shè)備1209可以獨(dú)立設(shè)置在第一組IOOOa與第二組IOOOb之間。如圖26所示，可以提供多個(gè)圖I或圖24的襯底處理系統(tǒng)，這些襯底處理系統(tǒng)可以彼此平行并且可以沿第二方向彼此間隔開。盡管圖24至圖26示出了與圖I的實(shí)施例具有相同結(jié)構(gòu)的襯底處理系統(tǒng)，但是也可以如圖24至圖26來(lái)布置其他實(shí)施例所不的襯底處理系統(tǒng)。參照?qǐng)D27至圖29，描述了使用包括緩沖臺(tái)的襯底處理系統(tǒng)對(duì)襯底進(jìn)行加工的方法示例。下文中，為了描述方便，圖27至圖29所示的加工設(shè)備從左到右依次分別被稱為 第一加工設(shè)備14201、15201、16201，第二加工設(shè)備14202、15202、16202，以及第三加工設(shè)備14203、15203、16203。而且，提供給第一加工設(shè)備14201、15201和16201的傳送模塊的搬送機(jī)器人以及第一加工設(shè)備14201、15201和16201的處理模塊分別被稱為第一搬送機(jī)器人14271、15271和16271以及第一處理模塊14261、15261和16261。提供給第二加工設(shè)備14202,15202和16202的傳送模塊的搬送機(jī)器人以及第二加工設(shè)備14202、15202和16202的處理模塊分別被稱為第二搬送機(jī)器人14272、15272和16272以及第二處理模塊14262、15262、和16262。提供給第三加工設(shè)備14203、15203和16203的傳送模塊的搬送機(jī)器人以及第三加工設(shè)備14203、15203和16203的處理模塊分別被稱為第三搬送機(jī)器人14273、15273和16273以及第三處理模塊14263、15263和16263。而且，圖27至圖29所示的緩沖臺(tái)從左到右依次分別被稱為第一緩沖臺(tái)14401、15401、16401和第二緩沖臺(tái)14402、15402、16402。在圖29中，最右邊所示的加工設(shè)備被稱為第四加工設(shè)備16204，提供給第四加工設(shè)備16204的搬送機(jī)器人和第四加工設(shè)備16204的處理模塊分別被稱為第四搬送機(jī)器人16274和第四處理模塊16264，最右邊所示的緩沖臺(tái)被稱為第三緩沖臺(tái)16403。通過示例的方式描述了在容器30中放入25個(gè)襯底的情況。放入容器30中的25個(gè)襯底依次被稱為第一襯底、第二襯底、…、第二十五襯底。圖27示出了執(zhí)行相同加工的加工設(shè)備14201、14202和14203通過緩沖臺(tái)14401和14402彼此連接的襯底處理系統(tǒng)14000中襯底的移動(dòng)路線。為第一加工設(shè)備14201、第二加工設(shè)備14202和第三加工設(shè)備14203中的每一個(gè)提供四個(gè)加工腔14266，并且四個(gè)加工腔14266執(zhí)行相同的加工。因此，為襯底處理系統(tǒng)14000提供執(zhí)行相同加工的12個(gè)加工腔14266。在25個(gè)襯底中，對(duì)第一至第四襯底、第十三至第十六襯底以及第二十五襯底的加工在第一處理模塊14261中執(zhí)行。對(duì)第五至第八襯底以及第十七至第二十襯底的加工在第二處理模塊14262中執(zhí)行，對(duì)第九至第十二襯底以及第二十一至第二十四襯底的加工在第三處理模塊14263中執(zhí)行。在圖27中，al、a2、a3和a4依次表示在第一處理模塊14261中進(jìn)行加工的襯底的移動(dòng)路線，bl、b2、b3和b4依次表示在第二處理模塊14262中進(jìn)行加工的襯底的移動(dòng)路線，Cl、c2、c3和c4依次表示在第三處理模塊14263中進(jìn)行加工的襯底的移動(dòng)路線。首先，包含襯底的容器30通過高架傳送器40放在第一加工設(shè)備14201的裝載端口 14221 上。第一搬送機(jī)器人14271將要在第一處理模塊14261中進(jìn)行加工的襯底從容器30搬送到第一處理模塊14261，并且將要在第二處理模塊14262和第三處理模塊14263中進(jìn)行加工的襯底從容器30搬送到第一緩沖臺(tái)14401。而且，第一搬送機(jī)器人14271將在第一處理模塊14261中完成加工的襯底搬送到第一緩沖臺(tái)14401。如果從容器30中取出了所有襯底，則容器30可以傳送到第三加工設(shè)備14203的裝載端口 14223。第二搬送機(jī)器人14272將要在第二處理模塊14262中進(jìn)行加工的襯底從第一緩沖臺(tái)14401搬送到第二處理模塊14262，并且將要在第三處理模塊14263中進(jìn)行加工的襯底從第一緩沖臺(tái)14401搬送到第二緩沖臺(tái)14402。而且，第二搬送機(jī)器人14272將在第一處理模塊14261中完成加工的襯底從第一緩沖臺(tái)14401搬送到第二緩沖臺(tái)14402，并且將在第二處理模塊14262中完成加工的襯底從第二處理模塊14262搬送到第二緩沖臺(tái)14402。第三搬送機(jī)器人14273將要在第三處理模塊14263中進(jìn)行加工的襯底從第二緩沖臺(tái)14402搬送到第三處理模塊14263。而且，第三搬送機(jī)器人14273將在第一處理模塊14261和第二處理模塊14262中完成加工的襯底從第二緩沖臺(tái)14402搬送到置于第三加工設(shè)備14203的裝載端口 14223上的容器30。第三搬送機(jī)器人14273將在第三處理模塊14263中完成加工的襯底從第三處理模塊14263搬送到置于第三加工設(shè)備14203的裝載端口 14223上的容器30。當(dāng)襯底從容器30搬送到第一緩沖臺(tái)14401、從第一緩沖臺(tái)14401搬送到第二緩沖臺(tái)14402以及從第二緩沖臺(tái)14402搬送到容器30時(shí)，第一機(jī)器人14271、第二機(jī)器人14272和第三機(jī)器人14273中的每一個(gè)可以同時(shí)搬送多個(gè)襯底。根據(jù)圖27的處理襯底的方法，由于在多個(gè)加工設(shè)備14201、14202和14203中，可以同時(shí)對(duì)容器30中包含的襯底中分配給每個(gè)加工設(shè)備14201、14202和14203的襯底進(jìn)行加工，因此可以減少對(duì)提供給容器30的所有襯底進(jìn)行加工所需的時(shí)間。圖28示出了執(zhí)行不同加工的加工設(shè)備15201、15202和15203通過緩沖臺(tái)15401和15402彼此連接的襯底處理系統(tǒng)15000中襯底的移動(dòng)路線。第一加工設(shè)備15201、第二加工設(shè)備15202和第三加工設(shè)備15203對(duì)一個(gè)襯底依次進(jìn)行加工。在圖28中，dl、d2、d3、d4、d5和d6依次表示襯底的移動(dòng)路線。在圖28的襯底處理系統(tǒng)15000中，依次在第一處理模塊15261、第二處理模塊15262和第三處理模塊15263中對(duì)提供給容器30的襯底進(jìn)行加工。首先，包含襯底的容器30通過高架傳送器40放在第一加工設(shè)備15201的裝載端口 15221 上。第一搬送機(jī)器人15271將襯底從容器30搬送到第一處理模塊15261。如果容器30中的所有襯底都被搬送到第一處理模塊15261，則通過高架傳送器40將容器30傳送到第三加工設(shè)備15203的裝載端口 15223。與其他襯底相比較，在第一處理模塊15261中完成加工的襯底通過第一搬送機(jī)器人15271被首先搬送到第一緩沖臺(tái)15401。第二搬送機(jī)器人15272將第一緩沖臺(tái)15401中的襯底搬送到第二處理模塊15262。與其他襯底相比較，在第二處理模塊15262中完成加工的襯底被首先搬送到第二緩沖臺(tái)15402。第三搬送機(jī)器人15273將第二緩沖臺(tái)15402中的襯底搬送到第三處理模塊15263。與其他襯底相比較，在第三處理模塊15263中完成加工的襯底被首先搬送到容器30。根據(jù)圖28的對(duì)襯底進(jìn)行處理的方法，由于襯底可以利用緩沖臺(tái)15401和15402直、接在加工設(shè)備15201、15202和15203之間移動(dòng)，因此每個(gè)襯底可以立即進(jìn)行另一個(gè)加工而不需要等到對(duì)容器30中的所有其他襯底都完成特定加工。即，由于襯底可以通過緩沖臺(tái)15401和15402直接搬送到加工設(shè)備15201、15202和15203，因此與利用高架傳送器40在加工設(shè)備15201、15202和15203之間搬送襯底相比較，可以減小搬送襯底所需要的時(shí)間。圖29示出了執(zhí)行相同加工和不同加工的加工設(shè)備16201、16202、16203和16204通過緩沖臺(tái)16401、16402和16403彼此連接的襯底處理系統(tǒng)16000中襯底的移動(dòng)路線。第一加工設(shè)備16201和第三加工設(shè)備16203對(duì)襯底執(zhí)行相同的加工。第二加工設(shè)備16202和第四加工設(shè)備16204對(duì)襯底執(zhí)行相同的加工。而且，第二加工設(shè)備16202對(duì)襯底執(zhí)行的加工是在第一加工設(shè)備16201中執(zhí)行的加工的后續(xù)加工。為第一加工設(shè)備16201和第三加工設(shè)備16203中的每一個(gè)提供四個(gè)加工腔16266。為第二加工設(shè)備16202和第四加工設(shè)備16204中的每一個(gè)提供兩個(gè)加工腔16267。在這種情況下，在第二加工設(shè)備16202的加工腔16267中對(duì)一個(gè)襯底進(jìn)行加工所需的時(shí)間可以小于在第一加工設(shè)備16201的加工腔16266中對(duì)一個(gè)襯底進(jìn)行加工所需的時(shí)間。 在所述25個(gè)襯底中，對(duì)第一至第四襯底、第九至第十二襯底、第十七至第二十襯底以及第二十五襯底進(jìn)行的加工依次在第一處理模塊16261和第二處理模塊16262中執(zhí)行。對(duì)第五至第八襯底、第十三至第十六襯底以及第二十一至第二十四襯底進(jìn)行的加工依次在第三處理模塊16263和第四處理模塊16264中執(zhí)行。在圖29中，el、e2、e3、e4、e5和e6依次表不在第一處理模塊16261和第二處理模塊16262中執(zhí)行加工的襯底的移動(dòng)路線，H、f2、f3、f4、f5和f6依次表示在第三處理模塊16263和第四處理模塊16264中執(zhí)行加工的襯底的移動(dòng)路線。首先，包含襯底的容器30通過高架傳送器40放在第一加工設(shè)備16201的裝載端口 16221 上。第一搬送機(jī)器人16271將要在第一處理模塊16261和第二處理模塊16262中執(zhí)行加工的襯底從容器30搬送到第一處理模塊16261，并且將要在第三處理模塊16263和第四處理模塊16264中執(zhí)行加工的襯底從容器30搬送到第一緩沖臺(tái)16401。而且，第一搬送機(jī)器人16271將在第一處理模塊16261中完成加工的襯底搬送到第一緩沖臺(tái)16401。如果從容器30中取出了所有襯底，則可以將容器30傳送到第四加工設(shè)備16204的裝載端口 16224。第二搬送機(jī)器人16272將要在第三處理模塊16263和第四處理模塊16264中執(zhí)行加工的襯底從第一緩沖臺(tái)16401搬送到第二緩沖臺(tái)16402。而且，第二搬送機(jī)器人16272將在第一處理模塊16261中完成加工的襯底從第一緩沖臺(tái)16401搬送到第二處理模塊16262，并且將在第二處理模塊16262中完成加工的襯底從第二處理模塊16262搬送到第二緩沖臺(tái)
16402。第三搬送機(jī)器人16273將要在第三處理模塊16263和第四處理模塊16264中執(zhí)行加工的襯底從第二緩沖臺(tái)16402搬送到第三處理模塊16263。而且，第三搬送機(jī)器人16273將在第二處理模塊16262中完成加工的襯底從第二緩沖臺(tái)16402搬送到第三緩沖臺(tái)
16403。第三搬送機(jī)器人16273將在第三處理模塊16263中完成加工的襯底搬送到第三緩沖臺(tái)16403。第四搬送機(jī)器人16274將在第三處理模塊16263中完成加工的襯底從第三緩沖臺(tái)16403搬送到第四處理模塊16264。而且，第四搬送機(jī)器人16274將在第四處理模塊16264中完成加工的襯底從第四處理模塊16264搬送到置于第四加工設(shè)備16204的裝載端口 16224上的容器30。第四搬送機(jī)器人16274將在第二處理模塊16262中完成加工的襯底 從第三緩沖臺(tái)16403搬送到置于第四加工設(shè)備16204的裝載端口 16224上的容器30。
權(quán)利要求
1.一種襯底處理系統(tǒng)，包括 多個(gè)加工設(shè)備，每個(gè)加工設(shè)備分別包括傳送模塊和處理模塊，所述傳送模塊中設(shè)置有搬送機(jī)器人，所述處理模塊連接到所述傳送模塊； 緩沖臺(tái)，其位于相鄰的所述傳送模塊之間，并且用于在所述傳送模塊之間傳送襯底， 其中，所述多個(gè)加工設(shè)備包括 至少一個(gè)第一設(shè)備，在該第一設(shè)備中處理模塊位于沿著所述傳送模塊和所述緩沖臺(tái)排列的方向所提供的連接線的第一側(cè)；以及 至少一個(gè)第二設(shè)備，在該第二設(shè)備中處理模塊位于所述連接線的第二側(cè)， 其中，與提供給所述第二設(shè)備的傳送模塊相比較，提供給所述第一設(shè)備的傳送模塊朝向所述連接線的所述第一側(cè)更突出。
2.如權(quán)利要求I所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，與所述緩沖臺(tái)相比較，提供給所述第一設(shè)備的傳送模塊朝向所述連接線的所述第一側(cè)更突出。
3.如權(quán)利要求2所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，與所述緩沖臺(tái)和提供給所述第一設(shè)備的傳送模塊相比較，提供給所述第二設(shè)備的傳送模塊朝向所述連接線的所述第二側(cè)更突出。
4.如權(quán)利要求I所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，一個(gè)所述第二設(shè)備位于相鄰的所述第一設(shè)備之間。
5.如權(quán)利要求4所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述第二設(shè)備的處理模塊的平行于所述連接線的最大寬度大于所述第二設(shè)備的傳送模塊的平行于所述連接線的最大寬度。
6.如權(quán)利要求4所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述第二設(shè)備的處理模塊的平行于所述連接線的最大寬度大于所述第二設(shè)備的傳送模塊的平行于所述連接線的寬度與位于該傳送模塊的兩側(cè)的緩沖臺(tái)的平行于所述連接線的寬度之和。
7.如權(quán)利要求5所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述多個(gè)加工設(shè)備具有相同的尺寸和相同的形狀。
8.如權(quán)利要求I所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，每個(gè)所述加工設(shè)備還包括與所述傳送模塊結(jié)合的一個(gè)或多個(gè)裝載端口，所述處理模塊與所述傳送模塊結(jié)合的一側(cè)和所述裝載端口與所述傳送模塊結(jié)合的一側(cè)關(guān)于所述連接線彼此面對(duì)。
9.如權(quán)利要求8所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，還包括第一引導(dǎo)軌道，其向上和向下面對(duì)所述第一設(shè)備的所述裝載端口，并且引導(dǎo)將包含多個(gè)襯底的容器搬送到所述第一設(shè)備的所述裝載端口的搬送裝置的移動(dòng)。
10.如權(quán)利要求9所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，還包括第二引導(dǎo)軌道，其向上和向下面對(duì)所述第二設(shè)備的所述裝載端口，并且引導(dǎo)將包含多個(gè)襯底的容器搬送到所述第二設(shè)備的所述裝載端口的搬送裝置的移動(dòng)。
11.一種襯底處理系統(tǒng),包括 第一傳送模塊，其中設(shè)置有搬送機(jī)器人； 第二傳送模塊，其中設(shè)置有搬送機(jī)器人； 第一緩沖臺(tái)，其布置在所述第一傳送模塊與所述第二傳送模塊之間，并且用于在所述第一傳送模塊和所述第二傳送模塊之間傳送襯底； 第一處理模塊，其與所述第一傳送模塊結(jié)合并且布置在連接線的第一側(cè)，其中，所述連接線的方向是沿所述第一傳送模塊、所述第一緩沖臺(tái)和所述第二傳送模塊排列的方向；以及 第二處理模塊，其與所述第二傳送模塊結(jié)合并且布置在所述連接線的第二側(cè)， 其中，關(guān)于所述連接線，與所述第二傳送模塊相比較，所述第一傳送模塊朝向所述連接線的所述第一側(cè)更突出。
12.如權(quán)利要求11所述的襯底處理系統(tǒng)，還包括 第三傳送模塊，其中設(shè)置有搬送機(jī)器人，并且其布置為關(guān)于所述第二傳送模塊與所述第一傳送模塊相對(duì)； 第二緩沖臺(tái)，其布置在所述第二傳送模塊與所述第三傳送模塊之間，并且用于在所述第二傳送模塊和所述第三傳送模塊之間傳送襯底；以及 第三處理模塊，其布置在所述連接線的所述第一側(cè)并且與所述第三傳送模塊結(jié)合， 其中，關(guān)于所述連接線，與所述第二傳送模塊相比較，所述第三傳送模塊朝向所述連接線的所述第一側(cè)更突出。
13.如權(quán)利要求12所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，關(guān)于所述連接線，與所述第一傳送模塊和所述第三傳送模塊相比較，所述第二傳送模塊朝向所述連接線的所述第二側(cè)更突出。
14.如權(quán)利要求13所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，關(guān)于所述連接線，與所述第一緩沖臺(tái)相比較，所述第一傳送模塊朝向所述連接線的所述第一側(cè)更突出， 并且，關(guān)于所述連接線，與所述第一緩沖臺(tái)、所述第二緩沖臺(tái)、所述第一傳送模塊和所述第三傳送模塊相比較，所述第二傳送模塊朝向所述連接線的所述第二側(cè)更突出。
15.如權(quán)利要求14所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，關(guān)于所述連接線，所述第一傳送模塊朝向所述連接線的所述第二側(cè)突出的距離等于所述第一傳輸模塊朝向所述第一緩沖臺(tái)和所述第二緩沖臺(tái)突出的距離， 并且，關(guān)于所述連接線，所述第二傳送模塊朝向所述連接線的所述第一側(cè)突出的距離等于所述第二傳送模塊朝向所述第一緩沖臺(tái)和所述第二緩沖臺(tái)突出的距離。
16.如權(quán)利要求12所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，還包括 一個(gè)或多個(gè)第一裝載端口，其位于所述連接線的所述第二側(cè)以與所述第一傳送模塊結(jié)合，并且其上放置包含襯底的容器； 一個(gè)或多個(gè)第三裝載端口，其位于所述連接線的所述第二側(cè)以與所述第三傳送模塊結(jié)合，并且其上放置包含襯底的容器；以及 第一引導(dǎo)軌道，其被布置為向上和向下面對(duì)所述一個(gè)或多個(gè)第一裝載端口以及所述一個(gè)或多個(gè)第三裝載端口，并且引導(dǎo)將包含襯底的容器搬送到所述第一裝載端口和所述第三裝載端口的搬送裝置的移動(dòng)。
17.如權(quán)利要求16所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，還包括 一個(gè)或多個(gè)第二裝載端口，其位于所述連接線的所述第一側(cè)以與所述第二傳送模塊結(jié)合，并且其上放置包含襯底的容器；以及 第二引導(dǎo)軌道，其被布置為向上和向下面對(duì)所述一個(gè)或多個(gè)第二裝載端口，并且引導(dǎo)將包含襯底的容器搬送到所述第二裝載端口的搬送裝置的移動(dòng)。
18.如權(quán)利要求12所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述第二處理模塊的平行于所述連接線的最大寬度大于所述第二傳送模塊的平行于所述連接線的最大寬度。
19.如權(quán)利要求18所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述第一傳送模塊、所述第二傳送模塊和所述第三傳送模塊具有相同的尺寸和相同的形狀， 并且，所述第一處理模塊、所述第二處理模塊和所述第三處理模塊具有相同的尺寸和相同的形狀。
20.如權(quán)利要求12所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述第二處理模塊的平行于所述連接線的最大寬度大于所述第二傳送模塊的平行于所述連接線的寬度、所述第一緩沖臺(tái)的平行于所述連接線的寬度、和所述第二緩沖臺(tái)的平行于所述連接線的寬度之和。
全文摘要
本發(fā)明構(gòu)思提供一種襯底處理系統(tǒng)。所述襯底處理系統(tǒng)具有多個(gè)加工設(shè)備和緩沖臺(tái)。每個(gè)加工設(shè)備分別包括傳送模塊和處理模塊，所述傳送模塊中設(shè)置有搬送機(jī)器人，所述處理模塊連接到所述傳送模塊。所述緩沖臺(tái)位于相鄰傳送模塊之間，并且用于在所述傳送模塊之間傳送襯底。所述多個(gè)加工設(shè)備包括第一設(shè)備，在該第一設(shè)備中處理模塊位于沿所述傳送模塊和所述緩沖臺(tái)排列的方向提供的連接線的第一側(cè)；第二設(shè)備，在該第二設(shè)備中處理模塊位于所述連接線的第二側(cè)。與提供給所述第二設(shè)備的傳送模塊相比較，提供給所述第一設(shè)備的傳送模塊朝向所述連接線的所述第一側(cè)更突出。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102646613SQ201110449880
公開日2012年8月22日 申請(qǐng)日期2011年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月16日
發(fā)明者安太赫, 樸東健, 李上源, 金俸先, 金基相 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社