專利名稱：直立式基板濕制程浸泡裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型關(guān)于一種可對基板表面均勻地進行加工的直立式基板濕制程浸泡裝置。
背景技術(shù)：
應用在電路板、玻璃基板或晶元等基板上，利用化學藥液對該等基板進行加工的基板濕制程加工作業(yè)，包含利用顯影劑在一基板上顯示出預設(shè)電路的保護層、利用蝕刻液對該基板上未設(shè)有保護層的銅箔部位進行蝕刻，使該基板上的銅箔呈現(xiàn)出電路的圖樣、以及利用清洗液洗凈該基板上的蝕刻液.· ·等，可使預設(shè)的電路形成在基板表面，以利后續(xù)元件的裝配及電性連接。其中，以利用蝕刻液對基板進行蝕刻的步驟為例，為了避免因為蝕刻液聚積在基板上而造成過蝕現(xiàn)象，其中一種現(xiàn)有技術(shù)所采用的方式是將該基板以直立的方式輸送進入一蝕刻槽中，利用該蝕刻槽內(nèi)設(shè)置于基板兩側(cè)的噴管來對該基板噴灑蝕刻液，由于該基板采直立方式移動，因此蝕刻液會自然地向下流動而蓄積于該蝕刻槽中，藉此解決蝕刻液會聚積于基板上的問題。然而，也由于該蝕刻液會向下流動的特性，使得當噴管同時對基板上的各部位同時噴灑蝕刻液，而噴灑于基板上側(cè)的蝕刻液進一步向下流動時，往往會造成靠近基板下側(cè)的線路產(chǎn)生過蝕的現(xiàn)象，故現(xiàn)有技術(shù)的以直立方式來對基板進行濕制程的裝置仍有待進一步改良的處。
實用新型內(nèi)容有鑒于前述現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題，本實用新型提供一種直立式基板濕制程浸泡裝置，希藉此設(shè)計解決在現(xiàn)有技術(shù)的直立式基板濕制程加工裝置中對基板直接噴灑化學藥液，會使該基板下側(cè)的線路產(chǎn)生過蝕現(xiàn)象的缺點。為了達到上述的實用新型目的，本實用新型所利用的技術(shù)手段使一直立式基板濕制程浸泡裝置包括—主箱體，其兩相對側(cè)分別形成一入口及一出口，該主箱體的中段處設(shè)有一加工槽，該加工槽底側(cè)設(shè)有一與該加工槽相連通的集液槽，另于該主箱體上設(shè)有二承架，該承架橫向架設(shè)于該主箱體的入口與出口之間，且分別位于靠近該主箱體的頂部及底部處；一輸送輪組，其架設(shè)于該主箱體的二承架上，該輸送輪組包括復數(shù)個傳動輪軸以及復數(shù)個調(diào)整輪軸，該傳動輪軸與調(diào)整輪軸可轉(zhuǎn)動地垂直架設(shè)于該二承架之間，且間隔排列設(shè)置于該主箱體的入口與出口間，傳動輪軸與調(diào)整輪軸的兩端分別穿設(shè)于該二承架，且每一調(diào)整輪軸對應一傳動輪軸；以及二噴流組件，其設(shè)于該主箱體的加工槽中，且分別位于該傳動輪軸與調(diào)整輪軸的兩側(cè)，每一噴流組件包含一外側(cè)板、一內(nèi)側(cè)板與二擋水板，該外側(cè)板與內(nèi)側(cè)板間隔設(shè)置，該外側(cè)板與內(nèi)側(cè)板之間在周緣處形成封閉并相互結(jié)合，二者之間形成一分流空間，又，該外側(cè)板上設(shè)有至少一輸液管，該輸液管的一端與該分流空間相連通，另一端經(jīng)由一汲液裝置與該集液槽相連通，該內(nèi)側(cè)板面對該傳動輪軸與調(diào)整輪軸，該內(nèi)側(cè)板上密布有復數(shù)個噴流孔， 該擋水板具彈性，其分別沿縱向固設(shè)于該相結(jié)合之外、內(nèi)側(cè)板的兩側(cè)，且分別貼靠于相對應的傳動輪軸與調(diào)整輪軸上。上述輸送輪組可進一步包括一驅(qū)動軸，該驅(qū)動軸可轉(zhuǎn)動地橫向架設(shè)于該主箱體的入口與出口之間，且位于其中一承架的旁側(cè)，該驅(qū)動軸上間隔設(shè)有復數(shù)個蝸桿部，該驅(qū)動軸的一端連接一馬達，該馬達可帶動該驅(qū)動軸轉(zhuǎn)動，上述每一傳動輪軸上靠近端部處可套設(shè)有一輸入齒輪與一輸出齒輪，各傳動輪軸的輸入齒輪分別對應并與該驅(qū)動軸的蝸桿部嚙合相接，上述每一調(diào)整輪軸上靠近端部處可設(shè)有一傳動齒輪，各調(diào)整輪軸的傳動齒輪分別對應并與該傳動輪軸的輸出齒輪嚙合相接。上述每一承架上可間隔穿設(shè)有復數(shù)個滑移槽，該滑移槽貫穿該承架的一側(cè)邊而形成有一開口，每一滑移槽的長軸延伸方向與該主箱體的入口與出口的連線方向垂直；上述輸送輪組可進一步包括復數(shù)個滑移塊，該滑移塊可移動但不可轉(zhuǎn)動地分別設(shè)置于該二承架的滑移槽間，且位于靠該滑移槽的開口端的一側(cè)，上述傳動輪軸的兩端分別樞設(shè)于該承架上且位于相對應的滑移槽中，上述調(diào)整輪軸的兩端分別樞設(shè)于該滑移塊；上述直立式基板濕制程浸泡裝置可進一步包括二彈性推頂組件，該彈性推頂組件分別設(shè)于該承架的旁側(cè)，每一彈性推頂組件包含至少一擋塊、復數(shù)固定桿與復數(shù)推移桿，該擋塊設(shè)于該承架的一側(cè)，且對應該滑移槽的開口，該固定桿的兩端分別與該擋塊及承架相互固接，該推移桿的兩端分別與該擋塊及滑移塊相互固接，每一推移桿上套設(shè)有一彈簧，彈簧的兩端分別抵頂于該擋塊以及該滑移塊。上述輸送輪組可進一步包括復數(shù)個輸送輪，該輸送輪可轉(zhuǎn)動地間隔設(shè)置于靠近主箱體底部的承架上，并突伸至該傳動輪軸與調(diào)整輪軸之間，該輸送輪的軸向與該主箱體的入口與出口的連線方向以及該傳動輪軸的軸向均呈相互垂直。上述輸送輪組的每一輸送輪上可環(huán)繞成型有一限位槽。本實用新型的直立式基板濕制程浸泡裝置在使用時，于該二噴流組件之間注滿化學藥液，當一待加工的基板夾持于該傳動輪軸與調(diào)整輪軸之間移動，從而進入該二噴流組件之間后，呈浸泡于化學藥液中的狀態(tài)，故可使該化學藥液對該基板表面的各部位均勻地進行化學作用，其中，當該化學藥液由該輸液管注入該外、內(nèi)側(cè)板之間，再由該內(nèi)側(cè)板的噴流孔流入該二噴流組件之間時，會在各噴流孔處同時產(chǎn)生噴射狀的水流，以進一步加強該化學藥液對基板各部位加工的效果，而且不致使基板某些部位產(chǎn)生過蝕現(xiàn)象。
圖1為本實用新型的側(cè)視圖。圖2為本實用新型省略噴流組件的側(cè)視示意圖。圖3為本實用新型的噴流組件的立體外觀圖。圖4為本實用新型的噴流組件的另一立體外觀圖。圖5為本實用新型放大的部分元件立體外觀圖。圖6為本實用新型放大的上視部分元件剖面圖。圖7為本實用新型的端視部份元件剖面圖。圖8為本實用新型另一放大的上視部分元件剖面圖, 主要元件符號說明
10主箱體 12出口 14承架 15集液槽 21驅(qū)動軸 22A、22B傳動輪軸 222B輸出齒輪 24A、24B調(diào)整輪軸 25輸送輪 26馬達 31擋塊 33推移桿 40噴流組件 41外側(cè)板 421噴流孔 44擋水板 50基板
11入口 13加工槽
141滑移槽 20輸送輪組 211蝸桿部 221A、221B輸入齒輪 23滑移塊 241B傳動齒輪 251限位槽 30彈性推頂組件 32固定桿 34彈簧 401分流空間 42內(nèi)側(cè)板 43輸液管 45汲液裝置
具體實施方式
以下配合圖式及本實用新型的較佳實施例，進一步闡述本實用新型為達成預定實用新型目的所采取的技術(shù)手段。參見圖1、2及5所示，本實用新型的直立式基板濕制程浸泡裝置包括一主箱體10、 一輸送輪組20、二彈性推頂組件30以及二噴流組件40，其中主箱體10的兩相對側(cè)分別形成一入口 11及一出口 12，該主箱體10的中段處設(shè)有一加工槽13，該加工槽13底側(cè)設(shè)有一與該加工槽13相連通的集液槽15，該集液槽15用以盛裝化學藥液，另于該主箱體10上設(shè)有二承架14，該承架14橫向架設(shè)于該主箱體10的入口 11與出12之間，且分別位于靠近該主箱體10的頂部及底部處，每一承架14上間隔穿設(shè)有復數(shù)個滑移槽141，該滑移槽141呈長槽狀，并貫穿該承架14的一側(cè)邊而形成有一開口， 每一滑移槽141的長軸延伸方向與該主箱體10的入口 11與出口 12的連線方向垂直；輸送輪組20架設(shè)于該主箱體10的二承架14上，該輸送輪組20包括一驅(qū)動軸21、 復數(shù)個傳動輪軸22A、22B、復數(shù)個滑移塊23、復數(shù)個調(diào)整輪軸24A、24B以及復數(shù)個輸送輪 25 ；該驅(qū)動軸21可轉(zhuǎn)動地橫向架設(shè)于該主箱體10的入口 11與出口 12之間，且位于其中一承架14的旁側(cè)，該驅(qū)動軸21上間隔設(shè)有復數(shù)個蝸桿部211，該驅(qū)動軸21的一端連接一馬達26，該馬達26可帶動該驅(qū)動軸21轉(zhuǎn)動；配合參見圖6及7所示，該傳動輪軸22A、22B可轉(zhuǎn)動地垂直架設(shè)于該二承架14 之間，且間隔排列設(shè)置于該主箱體10的入口 11與出口 12間，傳動輪軸22A、22B的兩端分別樞設(shè)于該二承架14上且位于相對應的滑移槽141中，又，每一傳動輪軸22A、22B上靠近端部處套設(shè)有一輸入齒輪221A、221B與一輸出齒輪222B，各傳動輪軸22A、22B的輸入齒輪 221A、221B分別對應并與該驅(qū)動軸21的蝸桿部211嚙合相接，使該驅(qū)動軸21可進一步帶動該傳動輪軸22A、22B轉(zhuǎn)動；該滑移塊23可移動但不可轉(zhuǎn)動地分別設(shè)置于該二承架14的滑移槽141間，且位于靠該滑移槽141的開口端的一例；該調(diào)整輪軸24A、24B垂直架設(shè)于該二承架14之間，且間隔排列設(shè)置于該主箱體10 的入口 11與出口 12間，調(diào)整輪軸24A、24B的兩端分別可轉(zhuǎn)動地樞設(shè)于該滑移塊23中，而可隨該滑移塊23 —同沿該滑移槽141移動，每一調(diào)整輪軸24A、24B對應一傳動輪軸22A、 22B，又，每一調(diào)整輪軸24A、24B上靠近端部處設(shè)有一傳動齒輪241B，各調(diào)整輪軸24A、24B的傳動齒輪241B分別對應并與該傳動輪軸22A、22B的輸出齒輪222B嚙合相接，使該傳動輪軸22A、22B還可進一步帶動該調(diào)整輪軸24A、24B轉(zhuǎn)動；該輸送輪25可轉(zhuǎn)動地間隔設(shè)置于靠近主箱體10底部的承架14上，并突伸至該傳動輪軸22A、22B與調(diào)整輪軸24A、24B之間，該輸送輪25的軸向與該主箱體10的入口 11與出口 12的連線方向以及該傳動輪軸22A、22B的軸向均呈相互垂直，每一輸送輪25上環(huán)繞成型有一限位槽251 ；配合參見圖6所示，彈性推頂組件30分別設(shè)于該承架14的旁側(cè)，每一彈性推頂組件30包含至少一擋塊31、復數(shù)固定桿32與復數(shù)推移桿33，該擋塊31設(shè)于該承架14的一側(cè)，且對應該滑移槽141的開口，該固定桿32的兩端分別與該擋塊31及承架14相互固接， 以固定該擋塊31的位置，該推移桿33的一端穿設(shè)該擋塊31，另一端分別與該滑移塊23相互固接，又，每一推移桿33上套設(shè)有一彈簧34，彈簧34的兩端分別抵頂于該擋塊31以及該滑移塊23，并經(jīng)由該滑移塊23推移該調(diào)整輪軸24A、24B，使該調(diào)整輪軸24A、24B可常態(tài)性地與相對應的傳動輪軸22A、22B相互貼靠；配合參見圖3、4及8所示，噴流組件40設(shè)于該主箱體10的加工槽13中，且分別位于該傳動輪軸22B與調(diào)整輪軸24B的兩側(cè)，每一噴流組件40包含一外側(cè)板41、一內(nèi)側(cè)板 42與二擋水板44，該外側(cè)板41與內(nèi)側(cè)板42間隔設(shè)置，且該外側(cè)板41與內(nèi)側(cè)板42之間在周緣處形成封閉，使該外、內(nèi)側(cè)板41、42相互結(jié)合，并于二者之間形成一分流空間401，又， 該外側(cè)板41上設(shè)有至少一輸液管43，該輸液管43的一端與該分流空間401相連通，另一端經(jīng)由一汲液裝置45與該集液槽15相連通，該汲液裝置45可抽取該集液槽15中的化學藥液，再經(jīng)由該輸液管43注入該分流空間401的中，該內(nèi)側(cè)板42面對該傳動輪軸22B與調(diào)整輪軸24B，該內(nèi)側(cè)板42上密布有復數(shù)個噴流孔421，該擋水板44具彈性，其分別沿縱向固設(shè)于該相結(jié)合之外、內(nèi)側(cè)板41、42的兩側(cè)，且分別貼靠于相對應的傳動輪軸22B與調(diào)整輪軸 24B 上。藉由如上所述的設(shè)計，本實用新型的直立式基板濕制程浸泡裝置在使用時，于該二噴流組件40之間注滿化學藥液，并藉該擋水板44以減少該化學藥液泄漏，使該化學藥液充滿于該噴流組件40與擋水板44間以及該噴流組件40的分流空間401中，至于泄漏的化學藥液則會向下流入并蓄積于該集液槽15的中；當一待加工的基板50由主箱體10的入口 11移動進入本實用新型的直立式基板濕制程浸泡裝置中時，該基板50的底邊設(shè)置于該輸送輪25的限位槽251之間，隨著馬達26依序帶動該驅(qū)動軸21、傳動輪軸22A、22B與調(diào)整輪軸24A、24B轉(zhuǎn)動，可帶動該基板50穩(wěn)定地朝主箱體10的出口 12方向移動，在移動的過程中，該基板50會依序推移各調(diào)整輪軸 24A、24B，同時藉該彈簧34的彈力而夾持于該傳動輪軸22A、22B與調(diào)整輪軸24A、24B之間；當該基板50移動進入該二噴流組件40之間后，呈浸泡于化學藥液中的狀態(tài)，故可使該化學藥液對該基板50表面的各部位均勻地進行化學作用，其中，當該化學藥液由該輸液管43注入該外、內(nèi)側(cè)板41、42之間的分流空間401，再由該內(nèi)側(cè)板42的噴流孔421流入該二噴流組件40之間時，會在各噴流孔421處同時產(chǎn)生噴射狀的水流，以進一步加強該化學藥液對基板50各部位加工的效果，而且還有不致使基板50某些部位產(chǎn)生過蝕現(xiàn)象的優(yōu)點ο以上所述僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)，當可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種直立式基板濕制程浸泡裝置，其特征在于，包括一主箱體、一輸送輪組以及二噴流組件，其中主箱體的兩相對側(cè)分別形成一入口及一出口，該主箱體的中段處設(shè)有一加工槽，該加工槽底側(cè)設(shè)有一與該加工槽相連通的集液槽，另于該主箱體上設(shè)有二承架，該承架橫向架設(shè)于該主箱體的入口與出口之間，且分別位于靠近該主箱體的頂部及底部處；輸送輪組架設(shè)于該主箱體的二承架上，該輸送輪組包括復數(shù)個傳動輪軸以及復數(shù)個調(diào)整輪軸，該傳動輪軸與調(diào)整輪軸可轉(zhuǎn)動地垂直架設(shè)于該二承架之間，且間隔排列設(shè)置于該主箱體的入口與出口間，傳動輪軸與調(diào)整輪軸的兩端分別穿設(shè)于該二承架，且每一調(diào)整輪軸對應一傳動輪軸；以及噴流組件設(shè)于該主箱體的加工槽中，且分別位于該傳動輪軸與調(diào)整輪軸的兩側(cè)，每一噴流組件包含一外側(cè)板、一內(nèi)側(cè)板與二擋水板，該外側(cè)板與內(nèi)側(cè)板間隔設(shè)置，該外側(cè)板與內(nèi)側(cè)板之間在周緣處形成封閉并相互結(jié)合，二者之間形成一分流空間，又，該外側(cè)板上設(shè)有至少一輸液管，該輸液管的一端與該分流空間相連通，另一端經(jīng)由一汲液裝置與該集液槽相連通，該內(nèi)側(cè)板面對該傳動輪軸與調(diào)整輪軸，該內(nèi)側(cè)板上密布有復數(shù)個噴流孔，該擋水板具彈性，其分別沿縱向固設(shè)于該相結(jié)合之外、內(nèi)側(cè)板的兩側(cè)，且分別貼靠于相對應的傳動輪軸與調(diào)整輪軸上。
2.如權(quán)利要求1所述的直立式基板濕制程浸泡裝置，其特征在于，前述輸送輪組進一步包括一驅(qū)動軸，該驅(qū)動軸可轉(zhuǎn)動地橫向架設(shè)于該主箱體的入口與出口之間，且位于其中一承架的旁側(cè)，該驅(qū)動軸上間隔設(shè)有復數(shù)個蝸桿部，該驅(qū)動軸的一端連接一馬達，該馬達可帶動該驅(qū)動軸轉(zhuǎn)動，前述每一傳動輪軸上靠近端部處套設(shè)有一輸入齒輪與一輸出齒輪，各傳動輪軸的輸入齒輪分別對應并與該驅(qū)動軸的蝸桿部嚙合相接，前述每一調(diào)整輪軸上靠近端部處設(shè)有一傳動齒輪，各調(diào)整輪軸的傳動齒輪分別對應并與該傳動輪軸的輸出齒輪嚙合相接。
3.如權(quán)利要求1所述的直立式基板濕制程浸泡裝置，其特征在于前述每一承架上間隔穿設(shè)有復數(shù)個滑移槽，該滑移槽貫穿該承架的一側(cè)邊而形成有一開口，每一滑移槽的長軸延伸方向與該主箱體的入口與出口的連線方向垂直；前述輸送輪組進一步包括復數(shù)個滑移塊，該滑移塊可移動但不可轉(zhuǎn)動地分別設(shè)置于該二承架的滑移槽間，且位于靠該滑移槽的開口端的一側(cè)，前述傳動輪軸的兩端分別樞設(shè)于該承架上且位于相對應的滑移槽中，前述調(diào)整輪軸的兩端分別樞設(shè)于該滑移塊；該直立式基板濕制程浸泡裝置進一步包括二彈性推頂組件，該彈性推頂組件分別設(shè)于該承架的旁側(cè)，每一彈性推頂組件包含至少一擋塊、復數(shù)固定桿與復數(shù)推移桿，該擋塊設(shè)于該承架的一側(cè)，且對應該滑移槽的開口，該固定桿的兩端分別與該擋塊及承架相互固接，該推移桿的兩端分別與該擋塊及滑移塊相互固接，每一推移桿上套設(shè)有一彈簧，彈簧的兩端分別抵頂于該擋塊以及該滑移塊。
4.如權(quán)利要求2所述的直立式基板濕制程浸泡裝置，其特征在于前述每一承架上間隔穿設(shè)有復數(shù)個滑移槽，該滑移槽貫穿該承架的一側(cè)邊而形成有一開口，每一滑移槽的長軸延伸方向與該主箱體的入口與出口的連線方向垂直；前述輸送輪組進一步包括復數(shù)個滑移塊，該滑移塊可移動但不可轉(zhuǎn)動地分別設(shè)置于該二承架的滑移槽間，且位于靠該滑移槽的開口端的一側(cè)，前述傳動輪軸的兩端分別樞設(shè)于該承架上且位于相對應的滑移槽中，前述調(diào)整輪軸的兩端分別樞設(shè)于該滑移塊；該直立式基板濕制程浸泡裝置進一步包括二彈性推頂組件，該彈性推頂組件分別設(shè)于該承架的旁側(cè)，每一彈性推頂組件包含至少一擋塊、復數(shù)固定桿與復數(shù)推移桿，該擋塊設(shè)于該承架的一側(cè)，且對應該滑移槽的開口，該固定桿的兩端分別與該擋塊及承架相互固接，該推移桿的兩端分別與該擋塊及滑移塊相互固接，每一推移桿上套設(shè)有一彈簧，彈簧的兩端分別抵頂于該擋塊以及該滑移塊。
5.如權(quán)利要求1至4任一所述的直立式基板濕制程浸泡裝置，其特征在于，前述輸送輪組進一步包括復數(shù)個輸送輪，該輸送輪可轉(zhuǎn)動地間隔設(shè)置于靠近主箱體底部的承架上，并突伸至該傳動輪軸與調(diào)整輪軸之間，該輸送輪的軸向與該主箱體的入口與出口的連線方向以及該傳動輪軸的軸向均呈相互垂直。
6.如權(quán)利要求5所述的直立式基板濕制程浸泡裝置，其特征在于，前述輸送輪組的每一輸送輪上環(huán)繞成型有一限位槽。
專利摘要本實用新型是一種直立式基板濕制程浸泡裝置，其包括一主箱體，以及設(shè)于該主箱體中的一輸送輪組以及二噴流組件，該二噴流組件之間注滿化學藥液，每一噴流組件具有相間隔設(shè)置且于周緣處形成封閉的一外側(cè)板與一內(nèi)側(cè)板，該內(nèi)側(cè)板上密布有復數(shù)個噴流孔；該輸送輪組夾持一待加工的基板移動進入該二噴流組件之間，使該基板浸泡于化學藥液中均勻地進行化學作用，又，注入該外、內(nèi)側(cè)板之間的化學藥液會在各噴流孔處產(chǎn)生噴射狀的水流，以進一步加強該化學藥液對基板各部位加工的效果，而且不致使基板某些部位產(chǎn)生過蝕現(xiàn)象。
文檔編號H01L21/00GK202067777SQ20112005706
公開日2011年12月7日 申請日期2011年3月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月7日
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