專利名稱：一種清洗硅片用清洗筐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及電子信息材料中硅材料的加工領(lǐng)域，特別涉及一種清洗硅片用清洗筐，清洗筐應(yīng)用于硅片前道清洗工序。
背景技術(shù)：
近年來，由于電子信息產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展、產(chǎn)品需求的不斷提高，對電子產(chǎn)品的主要原材料一硅晶圓片在質(zhì)量方面提出了更高的要求。順從大的趨勢，對晶圓片的表面質(zhì)量要求越來越高。同時隨著信息產(chǎn)業(yè)對硅片需求量的不斷提高，要求生產(chǎn)出更多的硅晶圓片，對清洗工序的產(chǎn)量也提出新的要求。但是傳統(tǒng)清洗工序中的清洗筐設(shè)計比較落后，并且遲遲沒有改進(jìn)，嚴(yán)重制約了清洗環(huán)節(jié)的發(fā)展。傳統(tǒng)清洗筐的不足主要體現(xiàn)在三個方面1.對硅圓片的質(zhì)量方面清洗機(jī)內(nèi)的清洗槽底部裝有超聲震板，超聲從振板里從下往上發(fā)出，作用在硅片中。傳統(tǒng)清洗筐底部托盤采用“田”字形桿結(jié)構(gòu)，“田”字形桿遮擋了向上的超聲，造成硅片表面受超聲作用不均勻，導(dǎo)致局部清洗不干凈，影響清洗質(zhì)量。2.清洗筐堅固方面?zhèn)鹘y(tǒng)清洗筐采用正四邊型固定，容易造成形變、扭曲，在使用時對硅片產(chǎn)生應(yīng)力，對硅片質(zhì)量造成潛在危險，嚴(yán)重時導(dǎo)致筐內(nèi)硅片全部碎裂。3.產(chǎn)能方面因清洗機(jī)內(nèi)槽體尺寸固定，清洗筐尺寸要小于清洗槽體尺寸， 這很大程度上限制了清洗筐尺寸傳統(tǒng)清洗筐尺寸395*350mm，使清洗筐只能放3寸片架6 個、4寸片架4個、5寸片架4個、6寸片架2個?；诎雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)對硅圓片表面清洗質(zhì)量、產(chǎn)量的要求不斷提高和現(xiàn)形勢下清洗筐的諸多不足，迫使我們對現(xiàn)有清洗筐經(jīng)行局部改造，提高清洗水平。需要研制一種能提高表面質(zhì)量和清洗產(chǎn)能的清洗筐。而目前國內(nèi)尚未有能達(dá)到上述要求的清洗硅片用清洗筐出現(xiàn)，也未見文獻(xiàn)有此方面技術(shù)文章的報道。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的就是為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，針對清洗工序的需求，提供一種硅片清洗筐的設(shè)計方案，通過改進(jìn)現(xiàn)有硅片清洗筐的結(jié)構(gòu)，使其在于清洗工序發(fā)揮效能，從而提高硅圓片清洗的表面質(zhì)量、使清洗筐更加堅固和提高硅圓片的清洗產(chǎn)能。本實用新型是通過這樣的技術(shù)方案實現(xiàn)的一種清洗硅片用清洗筐由主框架、筐架提拉部位和片架滑道組件三大部分組成，其特征在于，所述的主框架主要由四個水平放置的底部固定桿、四個水平放置的上部固定桿、四個垂直放置的豎直固定桿構(gòu)成框架主體， 框架主體起主要支撐作用；其中，四個水平放置的上部固定桿分為兩個橫向和兩個縱向的固定桿，兩個橫向和兩個縱向的固定桿的固定位置不在一個水平線?？鸺芴崂课恢饕▋蓚€梯形提拉橫桿和兩個銜接桿連接構(gòu)成；片架滑道組件包括2個π形滑動套和2個片架軌道桿，π形滑動套的兩端為滑動套管，兩滑動套管之間為支撐管，片架滑道組件中由每兩個η形滑動套和一個片架軌道桿連接為一組，兩組η形滑動套分別套裝在兩個豎直固定桿上；片架軌道桿通過滑動套連接在豎直固定桿上，滑動套沿豎直固定桿上下可調(diào)節(jié)，片架滑道組件通過頂絲在豎直固定桿上固定位置；擋片卡在片架軌道桿相鄰橫桿上。四個豎直固定桿上部焊接四個定位擋片，用于清洗過程中清洗筐的定位。擋片是由一片方形帶兩個卡口的不銹鋼板構(gòu)成，兩個卡口配合卡在與片架軌道桿相鄰橫桿上。清洗筐所用材質(zhì)為直徑IOmm的不銹鋼桿。本實用新型的有益效果改進(jìn)后的清洗筐主框架結(jié)構(gòu)簡單，不遮擋向上的超聲波， 硅片表面受超聲作用均勻，清洗硅圓片的表面潔凈度，清洗筐的堅固，提高了清洗硅圓片產(chǎn)能。

圖1 磨片清洗筐主視圖；圖2:磨片清洗筐俯視圖；圖3:磨片清洗筐側(cè)視圖；圖4:擋片結(jié)構(gòu)示意圖。其中1.主框架，2.框架提拉部位，3.片架滑道，4.豎直固定桿，5.滑動套， 6.頂絲，7.底部固定桿，8.片架軌道桿，9.上部固定桿，10.擋片，11.定位擋片，12.提拉橫桿，13.銜接桿；14.三角固定桿，51.滑動套管，52.支撐管。
具體實施方式
為了更清楚的理解本實用新型，結(jié)合附圖和實例詳細(xì)描述本實用新型如圖1至圖4所示，一種清洗硅片用清洗筐由主框架1、筐架提拉部位2和片架滑道組件3三大部分組成，所述的主框架1主要由四個水平放置的底部固定桿7、四個水平放置的上部固定桿9、四個垂直放置的豎直固定桿4組成構(gòu)成框架主體，框架主體起主要支撐作用；其中，四個水平放置的上部固定桿9分為兩個橫向和兩個縱向的固定桿，兩個橫向和兩個縱向的固定桿的固定位置不在一個水平線?？鸺芴崂课?主要包括兩個梯形提拉橫桿12和兩個銜接桿13連接構(gòu)成；片架滑道組件3包括兩個π形滑動套5和兩個片架軌道桿8，π形滑動套5 的兩端為滑動套管51，兩滑動套管之間為支撐管52，片架滑道組件3中由每兩個π形滑動套5和一個片架軌道桿8連接為一組，兩組π形滑動套5分別套裝在兩個豎直固定桿4上；片架軌道桿8通過滑動套5連接在豎直固定桿4上，滑動套5可以上下調(diào)節(jié)，片架滑道組件3通過頂絲6在豎直固定桿4上固定位置；四個豎直固定桿4上部焊接四個定位擋片11，用于清洗過程中清洗筐的定位；擋片10是由一片方形帶兩個卡口不銹鋼板構(gòu)成，使用時兩個卡口配合卡在與片架軌道桿8另一邊的相鄰橫桿上，保證清洗過程中，片架不會滑出；本實施例中，清洗筐所用材質(zhì)為直徑IOmm的不銹鋼桿；耐酸堿、耐腐蝕；主框架1直徑為10mm，包括四個底部固定桿和四個上部固定桿，長度分別為 395mm和350mm，4個豎直固定桿上部焊接4個定位擋片10 11材質(zhì)為316不銹鋼，尺寸分別是60mm*16mm，用于清洗過程中清洗筐的定位；[0025]筐架提拉部位2高為430mm，其中梯形提拉橫桿12為240mm，相隔71mm ；片架滑道3長度為似6mm，主要包括2組片架軌道桿8長度為420mm，直徑為 7mm ；上部固定桿9長度為350mm ；擋片10尺寸為M0*42mm ；片架滑道3 —邊用擋片10固定，另一邊固定焊死，保證了滑道長度不受固定影響，可以盛放更多片架。所述擋片10由一片方形帶兩個卡口不銹鋼板構(gòu)成，使用時兩個卡口配合卡在片架軌道另一邊的相鄰橫桿上，保證清洗過程中，片架不會滑出；改進(jìn)后的清洗筐在生產(chǎn)3、4、5和6寸硅圓片時可通過調(diào)節(jié)滑動套到最低高度后用頂絲固定，這樣做確保硅片片架最低點距離清洗槽底部的超聲振板高度最小，保證各規(guī)格硅片受到的超聲作用最大，增加了超聲波撞擊對硅片的清洗效果，最終提高硅片表面質(zhì)量；改進(jìn)后的清洗筐把傳統(tǒng)的“田”字固定改為三角形固定，從簡單幾何學(xué)知識得出三角形比四邊形更加固定不易變形；并且“田”字固定在清洗筐底部，嚴(yán)重遮擋超聲，而三角固定桿14都在接觸角附近，避開了清洗槽向上的超聲，使硅片受超聲作用更均勻，最終達(dá)到提高清洗硅圓片表面質(zhì)量的目的；改進(jìn)后的清洗筐在片架滑道一邊用擋片10固定，另一邊固定焊死，最大可能保證了滑道有效使用長度，可以盛放更多片架；改進(jìn)后清洗筐能放3寸片架8籃、4寸片架6籃、 5寸片架6籃、6寸片架4籃，這就使改進(jìn)后的清洗筐比傳統(tǒng)清洗筐在3寸片架生產(chǎn)時提高了 2籃/次、4寸片架生產(chǎn)時提高了 2籃/次、5寸片架生產(chǎn)時提高了 2籃/次、6寸片架生產(chǎn)時提高了 2籃/次；整體清洗產(chǎn)能提高了 25%左右。根據(jù)上述說明，結(jié)合本領(lǐng)域技術(shù)可實現(xiàn)本實用新型的方案。
權(quán)利要求1.一種清洗硅片用清洗筐由主框架(1)、筐架提拉部位(2)和片架滑道組件(3)三大部分組成，其特征在于，所述的主框架(1)主要由四個水平放置的底部固定桿(7)、四個水平放置的上部固定桿(9)、四個垂直放置的豎直固定桿(4)構(gòu)成框架主體，框架主體起主要支撐作用；其中，四個水平放置的上部固定桿(9)分為兩個橫向和兩個縱向的固定桿，兩個橫向和兩個縱向的固定桿的固定位置不在一個水平線，筐架提拉部位(2 )主要包括兩個梯形提拉橫桿(12)和兩個銜接桿(13)連接構(gòu)成；片架滑道組件(3)包括2個π形滑動套( 和2個片架軌道桿(8)，π形滑動套(5) 的兩端為滑動套管(51)，兩滑動套管(51)之間為支撐管(52)，片架滑道組件(3)中由每兩個η形滑動套( 和一個片架軌道桿(8)連接為一組，兩組π形滑動套( 分別套裝在兩個豎直固定桿(4)上；片架軌道桿(8)通過滑動套(5)連接在豎直固定桿(4)上，滑動套 (5)沿豎直固定桿(4)上下可調(diào)節(jié)，片架滑道組件(3)通過頂絲(6)在豎直固定桿(4)上固定位置；擋片(10)卡在與片架軌道桿(8)相鄰橫桿上，四個豎直固定桿(4)上部焊接四個定位擋片(11)，用于清洗過程中清洗筐的定位。
2.如權(quán)利要求1所述清洗硅片用清洗筐，其特征在于，擋片(10)是由一片方形帶兩個卡口的不銹鋼板構(gòu)成，兩個卡口配合卡在與片架軌道桿(8)相鄰橫桿上。
3.如權(quán)利要求1所述清洗硅片用清洗筐，其特征在于，清洗筐所用材質(zhì)為直徑IOmm的不銹鋼桿。
專利摘要本實用新型涉及一種清洗硅片用清洗筐，由主框架、筐架提拉部位和片架滑道組件三大部分組成，片架滑道組件包括2個π形滑動套和2個片架軌道桿，π形滑動套的兩端為滑動套管，兩滑動套管之間為支撐管，片架滑道組件中由每一個π形滑動套和一個片架軌道桿連接為一組，兩組π形滑動套分別套裝在兩個豎直固定桿上；片架軌道桿通過滑動套連接在豎直固定桿上，滑動套沿豎直固定桿上下可調(diào)節(jié)，清洗筐的主框架結(jié)構(gòu)簡單，不遮擋向上的超聲波，硅片表面受超聲作用均勻，清洗硅圓片的表面潔凈度，清洗筐的堅固，提高了清洗硅圓片產(chǎn)能。
文檔編號H01L21/673GK202268336SQ20112038461
公開日2012年6月6日 申請日期2011年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月11日
發(fā)明者劉濤, 李海龍, 王剛, 王巖, 王彥君, 王生遠(yuǎn), 菅瑞娟, 高婷 申請人:天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司