專利名稱：光罩盒的安裝底座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種光罩盒的安裝底座，廣泛應(yīng)用于所有具有光罩的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)， 如曝光機(jī)、顯影機(jī)、蝕刻機(jī)和清洗機(jī)等等。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體工藝車(chē)間內(nèi)的曝光機(jī)、顯影機(jī)、蝕刻機(jī)和清洗機(jī)中都會(huì)使用到光罩盒和光罩盒的安裝底座。所述光罩盒是指SMIF，即標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面光罩盒，其內(nèi)部用于設(shè)置光罩。所述光罩盒的安裝底座是指SMIF port，即標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面端口，用于安裝和固定光罩
品.ο請(qǐng)參閱圖1，圖1是現(xiàn)有的光罩盒的安裝底座的剖面示意圖。由圖1可見(jiàn)，現(xiàn)有的光罩盒的安裝底座包括底板101、四塊邊緣擋板102和若干定位件103，所述邊緣擋板102 分別設(shè)置于所述底板101的四個(gè)角上方。所述邊緣擋板102的高度比較高，通常遠(yuǎn)大于定位件103的高度。在使用過(guò)程中發(fā)現(xiàn)，由于邊緣擋板102的高度過(guò)高，當(dāng)操作人員將光罩盒安裝到光罩盒的安裝底座上去時(shí)，很容易將光罩盒撞到光罩盒的安裝底座的四個(gè)角的邊緣擋板 102上。由此會(huì)帶來(lái)三個(gè)問(wèn)題一方面，光罩盒與光罩盒的安裝底座之間的碰撞會(huì)導(dǎo)致光罩盒的破損，從而會(huì)降低光罩盒的使用壽命；另一方面，光罩盒與光罩盒的安裝底座之間的碰撞所產(chǎn)生的顆粒物質(zhì)會(huì)黏附在光罩盒的安裝底座上，當(dāng)光罩盒打開(kāi)后，這些顆粒物質(zhì)極容易飄落到光罩上，導(dǎo)致曝光、顯影、 蝕刻或者清洗后造成光罩缺陷；再一方面，由于顆粒物質(zhì)經(jīng)常飄落到光罩上，因此，需要進(jìn)行頻繁的清機(jī)作業(yè)，即停止機(jī)器，對(duì)光罩盒和光罩盒的安裝底座等等進(jìn)行清洗，會(huì)占用大量機(jī)臺(tái)時(shí)間和人力，導(dǎo)致生產(chǎn)效率低下。因此，如何提供一種可以防止光罩盒與光罩盒的安裝底座碰撞的光罩盒的安裝底座是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種光罩盒的安裝底座，通過(guò)降低邊緣擋板的高度， 可以有效防止光罩盒在安裝時(shí)與光罩盒的安裝底座發(fā)生碰撞，從而保護(hù)光罩盒，同時(shí)可以避免因碰撞產(chǎn)生的顆粒物質(zhì)。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種光罩盒的安裝底座，用于安裝光罩盒，包括底板、四塊邊緣擋板和若干定位件，所述四塊邊緣擋板分別設(shè)置于所述底板的四個(gè)角上方，所述邊緣擋板的高度小于所述定位件的高度。優(yōu)先地，在上述的光罩盒的安裝底座中，所述邊緣擋板的高度小于1cm。[0013]優(yōu)先地，在上述的光罩盒的安裝底座中，所述邊緣擋板的高度小于0. 5cm。優(yōu)先地，在上述的光罩盒的安裝底座中，所述邊緣擋板的高度是0. 25cm。優(yōu)先地，在上述的光罩盒的安裝底座中，所述光罩盒的安裝底座還包括用于打開(kāi)光罩盒的啟開(kāi)部件。本實(shí)用新型提供的光罩盒的安裝底座，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，通過(guò)降低邊緣擋板的高度，使得所述邊緣擋板的高度小于所述定位件的高度，可以有效防止光罩盒在安裝時(shí)與光罩盒的安裝底座發(fā)生碰撞，一方面，可以防止光罩盒因碰撞受損，延長(zhǎng)光罩盒的使用壽命；另一方面，可以避免因碰撞產(chǎn)生的顆粒物質(zhì)黏附到光罩盒的安裝底座上，從而避免當(dāng)光罩盒打開(kāi)后這些顆粒物質(zhì)飄落到光罩上，引起光罩缺陷；再一方面，也可以避免因顆粒物質(zhì)過(guò)多而需要頻繁進(jìn)行清機(jī)，提高了生產(chǎn)效率。

本實(shí)用新型的光罩盒的安裝底座由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是現(xiàn)有的光罩盒的安裝底座的剖面示意圖；圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的光罩盒的安裝底座的剖面示意圖；圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例的光罩盒的安裝底座的立體示意圖。 圖中，101-底板、102-邊緣擋板、103-定位件、104-開(kāi)啟件，201-底板、202-邊緣擋板、203-定位件、204-開(kāi)啟件。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的光罩盒的安裝底座作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解為本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請(qǐng)參閱圖2和圖3，圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的光罩盒的安裝底座的剖面示意圖，圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例的光罩盒的安裝底座的立體示意圖。這種光罩盒的安裝底座，用于安裝光罩盒(圖中未示意圖)，包括底板201、四塊邊緣擋板202和若干定位件203，所述邊緣擋板202分別設(shè)置于所述底板201的四個(gè)角上方，所述邊緣擋板202的高度小于所述定位件203的高度。通過(guò)降低邊緣擋板202的高度， 使得所述邊緣擋板202的高度小于所述定位件203的高度，可以有效防止光罩盒在安裝時(shí)與光罩盒的安裝底座發(fā)生碰撞，一方面，可以防止光罩盒因碰撞受損，延長(zhǎng)光罩盒的使用壽命；另一方面，可以避免因碰撞產(chǎn)生的顆粒物質(zhì)黏附到光罩盒的安裝底座上，從而避免當(dāng)光罩盒打開(kāi)后這些顆粒物質(zhì)飄落到光罩上，引起光罩缺陷；再一方面，也可以避免因顆粒物質(zhì)過(guò)多而需要頻繁進(jìn)行清機(jī)，提高了生產(chǎn)效率。所述邊緣擋板202的高度只要可以對(duì)光罩盒起到定位作用即可，越低越好，例如， 所述邊緣擋板202的高度h的范圍可以是Ocm < h < Icm,即小于1cm，進(jìn)一步優(yōu)選地話，所述邊緣擋板的高度的范圍是Ocm < h < 0. 5cm,即小于0. 5cm。本實(shí)施例中，所述邊緣擋板的高度的范圍是0. 25cm。所述光罩盒的安裝底座還包括用于打開(kāi)光罩盒的啟開(kāi)部件204，借助該啟開(kāi)部件 204可以順利打開(kāi)光罩盒。綜上所述，本實(shí)用新型提供的光罩盒的安裝底座，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，通過(guò)降低邊緣擋板的高度，使得所述邊緣擋板的高度小于所述定位件的高度，可以有效防止光罩盒在安裝時(shí)與光罩盒的安裝底座發(fā)生碰撞，從而，一方面，可以防止光罩盒因碰撞受損，延長(zhǎng)光罩盒的使用壽命；另一方面，可以避免因碰撞產(chǎn)生的顆粒物質(zhì)黏附到光罩盒的安裝底座上，從而避免當(dāng)光罩盒打開(kāi)后這些顆粒物質(zhì)飄落到光罩上，引起光罩缺陷；再一方面，也可以避免因顆粒物質(zhì)過(guò)多而需要頻繁進(jìn)行清機(jī)，提高了生產(chǎn)效率。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種光罩盒的安裝底座，用于安裝光罩盒，包括底板、四塊邊緣擋板和若干定位件， 所述四塊邊緣擋板分別設(shè)置于所述底板的四個(gè)角上方，其特征在于，所述邊緣擋板的高度小于所述定位件的高度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩盒的安裝底座，其特征在于，所述邊緣擋板的高度小于Icm0
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光罩盒的安裝底座，其特征在于，所述邊緣擋板的高度小于 0. 5cm0
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光罩盒的安裝底座，其特征在于，所述邊緣擋板的高度是 0. 25cm0
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的光罩盒的安裝底座，其特征在于，所述光罩盒的安裝底座還包括用于打開(kāi)光罩盒的啟開(kāi)部件。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光罩盒的安裝底座，用于安裝光罩盒，包括底板、四塊邊緣擋板和若干定位件，所述邊緣擋板分別設(shè)置于底板的四個(gè)角上方，所述邊緣擋板的高度小于所述定位件的高度。本實(shí)用新型提供的光罩盒的安裝底座，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，通過(guò)降低邊緣擋板的高度，使得所述邊緣擋板的高度小于所述定位件的高度，可以有效防止光罩盒在安裝時(shí)與光罩盒的安裝底座發(fā)生碰撞。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202282339SQ20112042925
公開(kāi)日2012年6月20日 申請(qǐng)日期2011年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月2日
發(fā)明者黃金 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司