專利名稱：反應(yīng)罐及反應(yīng)腔室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種反應(yīng)罐及反應(yīng)腔室。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，晶圓經(jīng)常在反應(yīng)腔室的反應(yīng)罐內(nèi)進(jìn)行各種反應(yīng)?，F(xiàn)有的反應(yīng)腔室包括腔體和反應(yīng)罐，所述反應(yīng)罐設(shè)置于所述腔體內(nèi)。如圖1所示，通常，現(xiàn)有的反應(yīng)罐包括罐體110、一對(duì)翻蓋120以及設(shè)于罐體110內(nèi)的三個(gè)用于支撐若干晶圓100的晶圓托架130，所述翻蓋120活動(dòng)安裝于所述罐體110的頂部兩端。當(dāng)晶圓100在反應(yīng)腔室的反應(yīng)罐內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)時(shí)，由于反應(yīng)罐內(nèi)時(shí)常有反應(yīng)氣體流動(dòng)，尤其當(dāng)反應(yīng)氣體由下至上流動(dòng)時(shí)，由于晶圓100僅有三個(gè)晶圓托架130托住晶圓100的下方，因此，向上流動(dòng)的反應(yīng)氣體非常容易帶動(dòng)晶圓100竄動(dòng)，使得晶圓100和晶圓托架130 發(fā)生碰撞。當(dāng)晶圓100和晶圓托架130之間頻繁碰撞時(shí)，一方面容易導(dǎo)致晶圓100碰碎，另一方面，晶圓100和晶圓托架130間的碰擦容易產(chǎn)生大量的顆粒物質(zhì)，這些顆粒物質(zhì)粘附到晶圓100上會(huì)嚴(yán)重影響晶圓100的品質(zhì)，降低產(chǎn)品良率。因此，如何提供一種可以在晶圓進(jìn)行反應(yīng)時(shí)可以固定住晶圓的反應(yīng)罐及反應(yīng)腔室是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種反應(yīng)罐及反應(yīng)腔室，通過晶圓托架和晶圓夾持架可以將晶圓固定住，防止晶圓在反應(yīng)罐內(nèi)反應(yīng)時(shí)被氣流帶動(dòng)，避免晶圓和晶圓托架發(fā)生碰擦，從而有效保護(hù)晶圓。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案—種反應(yīng)罐，包括罐體、一對(duì)翻蓋以及設(shè)于罐體內(nèi)的三個(gè)用于支撐若干晶圓的晶圓托架，所述翻蓋活動(dòng)安裝于所述罐體的頂部兩端，還包括一對(duì)在翻蓋蓋住罐體時(shí)能夠與所述三個(gè)晶圓托架共同夾住所述晶圓的晶圓夾持架，所述晶圓夾持架分別安裝于對(duì)應(yīng)的翻蓋的內(nèi)側(cè)。優(yōu)選地，在上述的反應(yīng)罐中，所述晶圓夾持架分別通過各自的連接桿固定安裝于對(duì)應(yīng)的翻蓋的內(nèi)側(cè)。優(yōu)選地，在上述的反應(yīng)罐中，所述反應(yīng)罐還包括一對(duì)翻蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述翻蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在罐體和翻蓋之間。優(yōu)選地，在上述的反應(yīng)罐中，所述翻蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、主動(dòng)齒輪、第一從動(dòng)齒輪、第二從動(dòng)齒輪和傳動(dòng)帶，所述電機(jī)固定安裝于所述罐體上，所述第一從動(dòng)齒輪和所述第二從動(dòng)齒輪分別固定安裝于對(duì)應(yīng)翻蓋的靠近罐體端，所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述主動(dòng)齒輪，所述主動(dòng)齒輪與所述第一從動(dòng)齒輪嚙合，所述主動(dòng)齒輪另通過所述傳動(dòng)帶帶動(dòng)所述第二從動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)。優(yōu)選地，在上述的反應(yīng)罐中，所述反應(yīng)罐還包括升降機(jī)和機(jī)械臂，所述升降機(jī)設(shè)置于所述罐體的外側(cè)，所述機(jī)械臂一端與所述升降機(jī)連接，所述機(jī)械臂的另一端伸入所述罐體內(nèi)分別與所述三個(gè)晶圓托架固定連接。優(yōu)選地，在上述的反應(yīng)罐中，所述反應(yīng)罐還包括用于檢測(cè)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)角度的角度傳感器，所述角度傳感器設(shè)置于所述罐體上。本實(shí)用新型還公開了一種反應(yīng)腔室，包括腔體，還包括如上所述的反應(yīng)罐，所述反應(yīng)罐設(shè)置于所述腔體內(nèi)。優(yōu)選地，在上述的反應(yīng)腔室中，所述反應(yīng)腔室還包括反應(yīng)氣體供應(yīng)裝置，所述反應(yīng)氣體供應(yīng)裝置設(shè)置于所述腔體的下方。優(yōu)選地，在上述的反應(yīng)腔室中，所述反應(yīng)氣體供應(yīng)裝置包括供氣管路、泵、加熱器和過濾器，所述供氣管路的進(jìn)氣端連接于所述腔體的側(cè)壁底部，所述供氣管路的出氣端經(jīng)所述腔體的底部連接于所述罐體的底部中心處，所述供氣管路上沿氣流方向依次設(shè)置所述泵、加熱器和過濾器。本實(shí)用新型提供的反應(yīng)罐及反應(yīng)腔室，通過在罐體內(nèi)設(shè)置一對(duì)在翻蓋蓋住罐體時(shí)能夠與所述三個(gè)晶圓托架共同夾住所述晶圓的晶圓夾持架，當(dāng)晶圓在反應(yīng)罐內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)時(shí)，由于晶圓被晶圓托架和晶圓夾持架上下固定住，使得晶圓無法移動(dòng)，即使反應(yīng)氣體不斷流動(dòng)，也無法帶動(dòng)晶圓上下竄動(dòng)，從而可以避免晶圓和其他部件(尤其是晶圓托架)發(fā)生碰撞，從而不但可以防止晶圓破碎，而且還可以避免因碰撞產(chǎn)生的顆粒物質(zhì)影響晶圓，最終有效提高產(chǎn)品良率。

本實(shí)用新型的反應(yīng)罐及反應(yīng)腔室由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是現(xiàn)有的反應(yīng)罐的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例的反應(yīng)罐的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型一實(shí)施例的反應(yīng)罐的翻蓋和翻蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的裝配示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的反應(yīng)罐及反應(yīng)腔室作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，
4僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請(qǐng)參閱圖2，這種反應(yīng)腔室，包括腔體280和反應(yīng)罐，所述反應(yīng)罐設(shè)置于所述腔體 280 內(nèi)。請(qǐng)參閱圖2和圖3，所述反應(yīng)罐，包括罐體210、一對(duì)翻蓋220以及設(shè)于罐體210內(nèi)的三個(gè)用于支撐若干晶圓200的晶圓托架230，所述翻蓋220活動(dòng)安裝于所述罐體210的頂部兩端，還包括一對(duì)在翻蓋220蓋住罐體210時(shí)能夠與所述三個(gè)晶圓托架230共同夾住所述晶圓200的晶圓夾持架M0，所述晶圓夾持架240分別通過連接桿241安裝于對(duì)應(yīng)的翻蓋 220的內(nèi)側(cè)。當(dāng)晶圓200在罐體210內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)時(shí)，翻蓋220會(huì)蓋住罐體210，此時(shí)，三個(gè)晶圓托架230和一對(duì)晶圓夾持架240會(huì)上下夾持住晶圓200，防止晶圓200因反應(yīng)氣體帶動(dòng)而發(fā)生上下竄動(dòng)現(xiàn)象，從而避免晶圓200和其他部件(尤其是晶圓托架230)發(fā)生碰撞，不但可以防止晶圓200破碎，而且還可以避免因碰撞產(chǎn)生的顆粒物質(zhì)影響晶圓200，最終有效提高產(chǎn)品良率。請(qǐng)結(jié)合參閱圖2、圖3和圖4，本實(shí)施例中，所述反應(yīng)罐還包括一對(duì)翻蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 所述翻蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在罐體210和翻蓋220之間。具體地，本實(shí)施例中，所述翻蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)251、主動(dòng)齒輪252、第一從動(dòng)齒輪253、第二從動(dòng)齒輪2M和傳動(dòng)帶255，所述電機(jī)251固定安裝于所述罐體210上，所述第一從動(dòng)齒輪253和所述第二從動(dòng)齒輪2M分別固定安裝于對(duì)應(yīng)翻蓋220的靠近罐體端，所述電機(jī)251驅(qū)動(dòng)所述主動(dòng)齒輪252，所述主動(dòng)齒輪252與所述第一從動(dòng)齒輪253嚙合，所述主動(dòng)齒輪252另通過所述傳動(dòng)帶255帶動(dòng)所述第二從動(dòng)齒輪邪4轉(zhuǎn)動(dòng)?？梢岳斫獾氖牵陨蟽H為翻蓋的一種驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，當(dāng)然還可以采用其他翻蓋驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)。較佳地，本實(shí)施例中，所述反應(yīng)罐還包括升降機(jī)260和機(jī)械臂270，所述升降機(jī)260 設(shè)置于所述罐體210的外側(cè)，所述機(jī)械臂270 —端與所述升降機(jī)260連接，所述機(jī)械臂270 的另一端伸入所述罐體210內(nèi)分別與所述三個(gè)晶圓托架230固定連接。通過升降機(jī)260和機(jī)械臂270可以通過帶動(dòng)晶圓托架230帶動(dòng)晶圓200進(jìn)入或離開罐體。較佳地，本實(shí)施例中，所述反應(yīng)罐還包括用于檢測(cè)電機(jī)251轉(zhuǎn)動(dòng)角度的角度傳感器(未圖示)，所述角度傳感器設(shè)置于所述罐體210上。通過角度傳感器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電機(jī) 251的驅(qū)動(dòng)情況。 較佳地，本實(shí)施例中，所述反應(yīng)腔室還包括反應(yīng)氣體供應(yīng)裝置，所述反應(yīng)氣體供應(yīng)裝置設(shè)置于所述腔體280的下方。具體地，本實(shí)施例中，所述反應(yīng)氣體供應(yīng)裝置包括供氣管路、泵四2、加熱器293和過濾器四4，所述供氣管路的進(jìn)氣端連接于所述腔體280 的側(cè)壁底部，該進(jìn)氣端接收來自反應(yīng)腔室內(nèi)部反應(yīng)罐外的反應(yīng)氣體，所述供氣管路的出氣端經(jīng)所述腔體觀0的底部連接于所述罐體210的底部中心處，所述供氣管路291上沿氣流方向依次設(shè)置所述泵四2、加熱器293和過濾器四4。通過設(shè)置反應(yīng)氣體供應(yīng)裝置可以實(shí)現(xiàn)對(duì)反應(yīng)腔內(nèi)反應(yīng)罐的供氣。 綜上所述，本實(shí)用新型提供的反應(yīng)罐及反應(yīng)腔室，通過在罐體內(nèi)設(shè)置一對(duì)在翻蓋蓋住罐體時(shí)能夠與所述三個(gè)晶圓托架共同夾住所述晶圓的晶圓夾持架，當(dāng)晶圓在反應(yīng)罐內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)時(shí)，由于晶圓被晶圓托架和晶圓夾持架上下固定住，使得晶圓無法移動(dòng)，即使反應(yīng)氣體不斷流動(dòng)，也無法帶動(dòng)晶圓上下竄動(dòng)，從而可以避免晶圓和其他部件(尤其是晶圓托架)發(fā)生碰撞，從而不但可以防止晶圓破碎，而且還可以避免因碰撞產(chǎn)生的顆粒物質(zhì)影響
5晶圓，最終有效提高產(chǎn)品良率。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種反應(yīng)罐，包括罐體、一對(duì)翻蓋以及設(shè)于罐體內(nèi)的三個(gè)用于支撐若干晶圓的晶圓托架，所述翻蓋活動(dòng)安裝于所述罐體的頂部兩端，其特征在于，還包括一對(duì)在翻蓋蓋住罐體時(shí)能夠與所述三個(gè)晶圓托架共同夾住所述晶圓的晶圓夾持架，所述晶圓夾持架分別安裝于對(duì)應(yīng)的翻蓋的內(nèi)側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)罐，其特征在于，所述晶圓夾持架分別通過各自的連接桿固定安裝于對(duì)應(yīng)的翻蓋的內(nèi)側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)罐，其特征在于，所述反應(yīng)罐還包括一對(duì)翻蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 所述翻蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在罐體和翻蓋之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的反應(yīng)罐，其特征在于，所述翻蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、主動(dòng)齒輪、第一從動(dòng)齒輪、第二從動(dòng)齒輪和傳動(dòng)帶，所述電機(jī)固定安裝于所述罐體上，所述第一從動(dòng)齒輪和所述第二從動(dòng)齒輪分別固定安裝于對(duì)應(yīng)翻蓋的靠近罐體端，所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述主動(dòng)齒輪，所述主動(dòng)齒輪與所述第一從動(dòng)齒輪嚙合，所述主動(dòng)齒輪另通過所述傳動(dòng)帶帶動(dòng)所述第二從動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)罐，其特征在于，所述反應(yīng)罐還包括升降機(jī)和機(jī)械臂，所述升降機(jī)設(shè)置于所述罐體的外側(cè)，所述機(jī)械臂一端與所述升降機(jī)連接，所述機(jī)械臂的另一端伸入所述罐體內(nèi)分別與所述三個(gè)晶圓托架固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)罐，其特征在于，所述反應(yīng)罐還包括用于檢測(cè)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)角度的角度傳感器，所述角度傳感器設(shè)置于所述罐體上。
7.一種反應(yīng)腔室，包括腔體，其特征在于，還包括如權(quán)利要求1 6中所述的任意一種反應(yīng)罐，所述反應(yīng)罐設(shè)置于所述腔體內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述反應(yīng)腔室還包括反應(yīng)氣體供應(yīng)裝置，所述反應(yīng)氣體供應(yīng)裝置設(shè)置于所述腔體的下方。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述反應(yīng)氣體供應(yīng)裝置包括供氣管路、泵、加熱器和過濾器，所述供氣管路的進(jìn)氣端連接于所述腔體的側(cè)壁底部，所述供氣管路的出氣端經(jīng)所述腔體的底部連接于所述罐體的底部中心處，所述供氣管路上沿氣流方向依次設(shè)置所述泵、加熱器和過濾器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種反應(yīng)罐，包括罐體、一對(duì)翻蓋以及設(shè)于罐體內(nèi)的三個(gè)用于支撐若干晶圓的晶圓托架，所述翻蓋活動(dòng)安裝于所述罐體的頂部兩端，還包括一對(duì)在翻蓋蓋住罐體時(shí)能夠與所述三個(gè)晶圓托架共同夾住所述晶圓的晶圓夾持架，所述晶圓夾持架分別安裝于對(duì)應(yīng)的翻蓋的內(nèi)側(cè)。本實(shí)用新型還公開了一種采用如上所述反應(yīng)罐的反應(yīng)腔室。當(dāng)晶圓在反應(yīng)罐內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)時(shí)，由于晶圓被晶圓托架和晶圓夾持架上下固定住，使得晶圓無法移動(dòng)，即使反應(yīng)氣體不斷流動(dòng)，也無法帶動(dòng)晶圓上下竄動(dòng)，從而可以避免晶圓和其他部件(尤其是晶圓托架)發(fā)生碰撞，從而不但可以防止晶圓破碎，而且還可以避免因碰撞產(chǎn)生的顆粒物質(zhì)影響晶圓，最終有效提高產(chǎn)品良率。
文檔編號(hào)H01L21/683GK202332815SQ20112046825
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月21日
發(fā)明者吳良輝 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司