專利名稱：Hf功率耦合器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種HF功率耦合器，其用于耦合至少兩個分別具有大于3kW的功率和在3和30M Hz之間的相等頻率和可調(diào)節(jié)的彼此相位關(guān)系的高頻功率信號，所述HF功率耦合器具有至少一個第一和第二電導(dǎo)體(110，111)，它們彼此間隔開并且電容式地和電感式地彼此耦合，其中，至少一個第一和/或第二導(dǎo)體的長度小于lm，優(yōu)選小于O. 5m，其中，第一導(dǎo)體是變壓器的初級側(cè)，第二導(dǎo)體是變壓器的次級側(cè)，其中，導(dǎo)體被構(gòu)造為印刷電路板上的平的印制導(dǎo)線。
背景技術(shù)：
在激光激勵處理或者等離子體處理的領(lǐng)域中，具有通常的工業(yè)頻率13. 56MHz和 27. 12MHz和IkW至50kW的輸出功率的高頻放大器是已知的。力求使用更大功率和更高頻率的高頻放大器，但由于各種原因?qū)崿F(xiàn)較困難。一個原因是激光激勵處理或等離子體處理的負載阻抗的非線性和動態(tài)的、往往不可預(yù)見的變化。阻抗的所述動態(tài)變化產(chǎn)生在放大器中導(dǎo)致?lián)p耗的反射。在此，在放大器的無功元件中、在饋電線中以及在匹配網(wǎng)絡(luò)的無功元件中存儲的高無功能量可以卸載并且建立過高的電壓或電流，并且激勵放大器振蕩或者損壞部件。這種負載阻抗變化例如在點燃激光激勵處理或等離子體處理時或者在等離子體處理中產(chǎn)生電弧時出現(xiàn)。另外必須考慮，脈沖式地運行高頻運行的激光激勵以及(在越來越大的程度上)高頻激勵的等離子體處理，即以例如IOOHz至300kHz的脈沖頻率接通和關(guān)斷或者在兩個功率區(qū)域之間轉(zhuǎn)換高頻放大器。在每個轉(zhuǎn)換過程中產(chǎn)生短時間的反射，所述反射絕大部分在放大器中轉(zhuǎn)化為損耗能量，即發(fā)熱。這樣的高頻放大器的輸出級對于小功率(l_6kW)已經(jīng)以晶體管實現(xiàn)，對于較大的功率使用通常的電子管。與晶體管相比，電子管相對于反射更穩(wěn)健并且可以更好地導(dǎo)出損耗能量，但其較貴并且可能遭受由運行決定的磨損。此外其相對較大。連同控制電路和冷卻裝置一起，在開關(guān)柜中提供結(jié)構(gòu)大小約為O. 8mXlmX2m的電子管高頻放大器。因此，越來越試圖為較大功率的高頻放大器裝配晶體管輸出級。通過使用晶體管化的放大器，顯著增加了在共振運行中工作的、所連接的放大器的使用。在此，如此轉(zhuǎn)換晶體管，使得僅僅產(chǎn)生非常小的損耗能量。由此可以構(gòu)造具有非常小的尺寸和相對較高的功率的放大器。可實現(xiàn)具有約為O. 3mXO. 2mXO. 2m的結(jié)構(gòu)大小的13. 56MHz、3kW放大器。這樣的放大器由于其結(jié)構(gòu)大小可以更好地集成在等離子體設(shè)備或激光激勵設(shè)備中。可以通過多個同步運行的高頻放大器的互聯(lián)來實現(xiàn)具有晶體管化的輸出級的大功率。所述互聯(lián)通過所謂的組合器(Combiner)實現(xiàn)。存在多種結(jié)構(gòu)類型的這樣的組合器。一種在微波技術(shù)或無線電發(fā)射器技術(shù)中經(jīng)常使用的組合器是所謂的90°混合耦合器，其也稱為3dB耦合器。90°混合耦合器涉及四門單元(Viertor)。在使用90°混合耦合器作為組合器時，在兩個門上分別連接一個具有分別相同的內(nèi)阻、相同的輸出頻率和90°相移的輸出信號的高頻功率放大器。在第三門上連接具有負載電阻的負載。在第四門上連接負載平衡電阻。放大器的負載電阻、負載平衡電阻和內(nèi)阻相同。如此設(shè)計90°混合電路(Hybrid)的僅僅無源的部件(導(dǎo)線、電容器、變壓器或電感)，使得在負載上匯集兩個放大器的功率，在負載平衡電阻上不輸出功率，兩個放大器是去耦合的并且不會相互影響。90°混合電路自身理想地?zé)o損耗，即兩個高頻放大器的功率被完全輸送給位于第三門處的負載。由微波技術(shù)已知的3dB耦合器被構(gòu)造為具有λ /4的導(dǎo)線長度的導(dǎo)線耦合器。這里λ應(yīng)是與頻率相應(yīng)的波長。所述導(dǎo)線耦合器技術(shù)僅可非常不利地用于3和30MHz之間的頻率，因為具有λ /4長度的結(jié)構(gòu)大小有幾米，這在所期望的發(fā)生器縮小方面意味著退步。替代地，由分立的部件構(gòu)造90°混合耦合器，其中，90°混合耦合器通常具有至少 一個用于電容式耦合的電容和一個具有用于電感式磁耦合的耦合電感的變壓器。為了調(diào)節(jié)90°混合耦合器的所期望的特性，耦合電感和耦合電容應(yīng)滿足以下條件Lk = Z0/ (2 31 f)Ck = 1/(2 31 fZ0)其中Lk :耦合電感CK:耦合電容Zci:波阻f :頻率在13MHz和Ztl = 50的情況下例如得到約600nH的耦合電感Lk和約200pF的耦合電容CK。由分立部件構(gòu)成90°混合耦合器總是要求精密部件方面的高耗費，這些精密部件可能還必須進行調(diào)整。尤其是對于較大的功率(大于3kW)而言，這總是非常昂貴的。可以簡單地、低成本地并且可非常精確地再制造地實現(xiàn)借助于具有定義的面積和定義的彼此間距的兩個間隔開的電導(dǎo)體的耦合電容。但借助于兩個這樣的導(dǎo)體大多達不到所需的電感。因此，必須適當(dāng)?shù)靥岣唠姼?。一種可行方案在于，僅僅借助電感提高元件、例如鐵氧體來提高電感。為了在大功率的情況下得到所需的電感，需要具有大尺寸和高成本的電感提高元件。例如在EP 1699107A1和W02005027258A1中公開了這種類型的HF功率耦合器。當(dāng)至少兩個高頻功率信號分別具有大于3kW的功率時，印制導(dǎo)線之間的電壓上升到非常高的值。此外，由于損耗的發(fā)熱加劇。

實用新型內(nèi)容本實用新型的任務(wù)在于，如此進一步構(gòu)造HF功率耦合器，使得即使在大功率的情況下也可以實現(xiàn)更少的發(fā)熱。所述任務(wù)通過開始部分所述類型的HF功率耦合器解決，其中，印刷電路板具有含聚四氟乙烯(PTFE)或含聚酰亞胺的印制導(dǎo)線載體材料作為第一和第二導(dǎo)體之間的絕緣層。所述材料迄今尤其是用于微波技術(shù)，并且由于其較高的價格以及其較低的機械強度不用在3至30MHz之間的頻率下的HF功率耦合器中。然而尤其是在大功率的情況下以及在所述較低的頻率下通過所述材料可以實現(xiàn)預(yù)想不到的優(yōu)點。由于較低的介電損耗，可以顯著地減少發(fā)熱。由此，能夠以與90°混合耦合器的較大間距實現(xiàn)通過導(dǎo)電的冷卻體的冷卻,在所述冷卻體中例如可以集成基于液體的冷卻。冷卻體的過近的間距導(dǎo)致由冷卻體和90°混合耦合器之間的電容耦合引起的缺點。另外，在冷卻體與90°混合耦合器之間的間距過小時由于出現(xiàn)的高電壓必須提供較大耗費來防止電壓火花放電，例如在敞開的印制導(dǎo)線上方的絕緣漆或者壓接的或粘接的絕緣板。也可以減少這些昂貴的并且在生產(chǎn)技術(shù)上費事的措施。此外，所使用的材料在使用的、在3與30MHz之間的頻率下以及在電壓和電流下顯示出電壓極其穩(wěn)定并且具有相對于高電壓和高頻場的更高長期穩(wěn)定性的特征。在具有傳統(tǒng)印刷電路板材料的HF功率耦合器上的增加的熱量導(dǎo)致印刷電路板的機械強度減弱。由此不再能夠確保用于避免電壓火花放電的勉強保持的安全間距。所述不安全性也額外地通過新使用的材料消除。雖然所述材料自身在低溫下具有較低的機械強度，但所述機械強度在以大功率運行時更穩(wěn)定。此外，傳統(tǒng)材料的介電特性可能變化，這又可以導(dǎo)致耐壓強度的減弱。這里，新使用的材料表現(xiàn)出顯著更高的可靠性、穩(wěn)定性、長期穩(wěn)定性和可再制造性。HF功率耦合器可以具有由環(huán)氧樹脂織物制成的印刷電路板材料。由此即使在低溫下也可以改善機械強度。由此可以將含聚四氟乙烯(PTFE)或含聚酰亞胺的印制導(dǎo)線載體材料設(shè)計得很薄，而不損失機械強度。印刷電路板可以被構(gòu)造為多層的。在此，可以由環(huán)氧樹脂織物制造無耐壓強度要求或耐壓強度要求不高的層，而具有高耐壓強度要求的層具有含聚四氟乙烯(PTFE)或含聚酰亞胺的印制導(dǎo)線載體材料。具有高耐壓強度要求的層也可以部分優(yōu)選地在耐壓強度要求特別高的區(qū)域內(nèi)具有含聚四氟乙烯(PTFE)或含聚酰亞胺的印制導(dǎo)線載體材料。HF功率耦合器可以在沒有電壓差的印制導(dǎo)線之間具有由環(huán)氧樹脂織物制成的印刷電路板材料。在HF功率耦合器中，印刷電路板可以是多層印刷電路板，并且多層印刷電路板的至少一個絕緣層具有由環(huán)氧樹脂織物制成的印刷電路板材料，并且至少一個另外的層具有含聚四氟乙烯(PTFE)或含聚酰亞胺的印制導(dǎo)線載體材料。通過所述方式，這種耦合器的生產(chǎn)特別簡單、可靠和可再制造。即使在尺寸有限的情況下也可以可靠地保持耐壓強度。在HF功率耦合器中，可以通過至少Imm的半徑倒圓地實現(xiàn)平的印制導(dǎo)線的角部。在尖的角部處或者在具有較小半徑的倒圓的角部處會產(chǎn)生高的場強。這會在這些位置上導(dǎo)致部分放電或者電暈放電。尤其是在由于新使用的材料現(xiàn)在再次在無附加的絕緣材料層的情況下實施的印制導(dǎo)線中，所述實施方式是有利的。在HF功率耦合器中，可以通過至少I μ m的半徑倒圓地實現(xiàn)平的印制導(dǎo)線的棱邊。由此產(chǎn)生如同倒圓的角部那樣的優(yōu)點。在HF功率耦合器中，平的印制導(dǎo)線的角部可以是斜切的，使得角部處的所有角度至少大于100°。由此產(chǎn)生如同倒圓的角部那樣的優(yōu)點。在HF功率耦合器中，平的印制導(dǎo)線的棱邊可以是斜切的，使得角部處的所有角度至少大于100°。由此產(chǎn)生如同倒圓的角部那樣的優(yōu)點。在HF功率耦合器中，印制導(dǎo)線可以具有70 μ m的最小厚度。由此可以通過唯一的措施同時實現(xiàn)多個優(yōu)點。第一可以實現(xiàn)更高的機械強度。第二熱量可以更好地傳導(dǎo)給連接端子或者具有低電壓的區(qū)域并且由此對于散熱的更好可能性傳導(dǎo)給冷卻體。第三可以以較大的半徑倒圓棱邊，由此可以減小場強和部分放電、電暈放電和火花放電的危險。在HF功率耦合器中，印刷電路板可以在環(huán)氧樹脂織物中具有一些另外的銅導(dǎo)線，這些另外的銅導(dǎo)線位于與相鄰的印制導(dǎo)線相同的電位上。由此可以通過唯一的措施同時實現(xiàn)多個優(yōu)點。第一可以實現(xiàn)更高的機械強度。第二熱量可以更好地傳導(dǎo)給連接端子或者具有低電壓的區(qū)域并且由此對于散熱的更好可能性傳導(dǎo)給冷卻體。第三可以減小棱邊和角部處的場強，由此可以減小部分放電、電暈放電和火花放電的危險。在HF功率耦合器中，另外的銅導(dǎo)線可以具有通向相同電位的印制導(dǎo)線的敷鍍通孔(Durchkontaktierung)。由此既提高機械強度并且因此提高可靠性,也改善散熱。HF功率耦合器可以是90°混合耦合器?？烧{(diào)整的相位關(guān)系可以不等于0°，尤其是在正常運行中位于28°和100°之間、尤其是位于90°。這樣的耦合器特別適合大功率的耦合，但在此也特別適合高電壓。在其他耦合器中在耦合時波阻不同并且因此耦合器上 的電壓較低，而在90°混合耦合器中所有連接端子上的波阻是相同的，通常為50歐姆。由此，對90°混合耦合器的電壓要求比對通常的HF功率耦合器的電壓要求大得多。

在附圖中示意性地示出并且在以下參考附圖詳細地說明本實用新型的優(yōu)選的實施例。附圖示出圖I :HF功率耦合器的局部側(cè)視圖；圖Ia :90?；旌想娐?100 ；圖2 90°混合電路的立體示意圖，具有由四個印制導(dǎo)線構(gòu)成的印制導(dǎo)線組；圖3 :90°混合電路的電路圖；圖4 :兩個設(shè)置用于90°混合電路的印制導(dǎo)線；圖5 :兩個設(shè)置用于90°混合電路的印制導(dǎo)線在功能位置中的布置，具有位于其間的絕緣子；圖6 :四個設(shè)置用于90°混合電路的印制導(dǎo)線的布置；圖7 :90°混合電路的立體示意圖。
具體實施方式
在圖I中示出了 HF功率耦合器107的局部側(cè)視圖。它實現(xiàn)為多層印刷電路板。各層表示第一導(dǎo)體的銅導(dǎo)線101、103、由環(huán)氧樹脂織物制成的印刷電路板材料102、含聚四氟乙烯(PTFE)或含聚酰亞胺的印制導(dǎo)線載體材料104和第二導(dǎo)體的銅導(dǎo)線105。在第一和第二導(dǎo)體之間可以出現(xiàn)高電壓和高損耗，因此這里使用含聚四氟乙烯(PTFE)或含聚酰亞胺的印制導(dǎo)線載體材料104。第一導(dǎo)體的銅導(dǎo)線101、103平行地敷設(shè)在兩個平面內(nèi)。它們各處具有相同的電位。這里對耐壓強度或損耗降低沒有要求。這里為了機械加強可以使用環(huán)氧樹脂織物。第一導(dǎo)體的銅導(dǎo)線101、103可以在多個位置上通過敷鍍通孔106連接。其附加地提高機械強度，改善散熱并且確保電場均勻分布，并且因此負責(zé)銅導(dǎo)線的棱邊和角部處的更小場強。在圖Ia中示出了 90°混合電路100的實施例，其形成具有四個門連接端子的四門單元。所述90°混合電路的布置具有兩個彼此平行地、共面地、相鄰地設(shè)置的印制導(dǎo)線17、18，所述印制導(dǎo)線17、18構(gòu)造為板狀，如在圖4中可清楚地看到的那樣。這里還示例性地示出了印制導(dǎo)線的角部的倒圓或者斜切。確定印制導(dǎo)線彼此的尺寸和間距，以形成90°混合電路所需的電容耦合和磁感應(yīng)耦合。因此，電容耦合和磁感應(yīng)耦合集成在平行耦合的、平的印制導(dǎo)線的唯一布置中。印制導(dǎo)線17、18的端部23形成四門單元的四個連接端子I至4，并且與同軸插口Ia至4a連接。鐵氧體環(huán)形磁芯15用于提高印制導(dǎo)線的電感。90°混合電路100構(gòu)造在基板19上，所述基板19與地連接。90°混合電路的角部是斜切的，以便減小這些角部處的場強。在圖3中示出了 90°混合電路100的電路圖。其具有用于第一高頻放大器9的第一連接端子I、用于第二高頻放大器10的第二連接端子2、用于具有負載電阻13的負載 16的第三連接端子3和用于負載平衡電阻14的第四連接端子4。電阻11和12代表所耦合的高頻放大器9、10的內(nèi)阻。感應(yīng)耦合或耦合電感通過感應(yīng)變壓器7表示，它的一個耦合電感一方面連接到第一連接端子I上而另一方面連接到第四連接端子4上，它的另一個耦合電感平行于電感8并且一方面連接到第三連接端子3上而另一方面連接到第二連接端子2上。耦合電容通過電容器5、6表示，它們分別設(shè)在第一和第三以及第四和第二連接端子之間。電感8基本上通過用于負載16的第三連接端子3和用于第二高頻放大器10的第二連接端子2之間的印制導(dǎo)線長度確定。比例I : I的磁感應(yīng)耦合基本上通過面?zhèn)?flachseitig)相鄰的印制導(dǎo)線17、18之間的間距確定。稱合電容5、6基本上通過共面地、相鄰地相互對置的印制導(dǎo)線17、18的面積以及它們彼此的間距確定。為了建立這樣的變壓器需要緊密感應(yīng)耦合，即初級側(cè)印制導(dǎo)線和次級側(cè)印制導(dǎo)線必須盡可能地彼此靠近。特別是借助于印刷電路板設(shè)計可以非常簡單地實現(xiàn)印制導(dǎo)線17、18之間定義的并且主要恒定的間距。但因為為了實現(xiàn)90°混合電路不僅需要大的感應(yīng)耦合而且也需要定義的電耦合，所以印制導(dǎo)線17、18不是并排地設(shè)置而是面?zhèn)券B置地設(shè)置，并且優(yōu)選相應(yīng)于圖5設(shè)置在作為絕緣子20的板(Platine)21上。在此，不同電位的兩個相鄰面以已知的方式產(chǎn)生一個板式電容器。原則上，如此設(shè)計耦合導(dǎo)線的布局，使得分別產(chǎn)生以面積a. b以間距d共面地相互對置的兩個面(圖5)。因此，一方面實現(xiàn)具有比例I : I的變壓器，另一方面實現(xiàn)一定的耦合電容。所述電容粗略近似地如在板式電容器中那樣根據(jù)下式計算C= ε 0* ε r*a*b其中，a是耦合導(dǎo)線(印制導(dǎo)線17、18)的寬度、b是耦合導(dǎo)線(印制導(dǎo)線17、18)的長度，而d是兩個耦合導(dǎo)線的間距。^是作為絕緣子和間距保持單元位于印制導(dǎo)線17、18之間的板材料的介電常數(shù)，ε r是作為絕緣子和間距保持單元位于印制導(dǎo)線17、18之間的板材料的相對介電常數(shù)。因為導(dǎo)線必須引導(dǎo)穿過鐵氧體磁芯，所以導(dǎo)線的寬度限制為b=18mm。導(dǎo)線的長度同樣如需要那樣短。原則上，印制導(dǎo)線17、18可以如在圖2和圖7中示出的那樣是空氣絕緣的，即通過間隙彼此間隔開。然而，位于其間的固體絕緣子產(chǎn)生更高的耐壓強度和更高的電容。此外，如上所述，給出了印制導(dǎo)線17、18之間定義的并且主要恒定的間距。在圖2中角部是斜切的，并且至少在印制導(dǎo)線18的兩個棱邊處同樣示例性地示出斜切。為了近似地考慮邊緣散射(Randstreuung),由a+d/2替代a,由b+d/2替代b。為了實現(xiàn)高品質(zhì)的電容，使用適用于高頻的、低損耗的板材料作為電介質(zhì)，其優(yōu)選具有相對介電常數(shù)ε ^ = 2. 33 (厚度d = O. 5mm)。為了精確地制造具有盡可能小的公差的電容需要首先產(chǎn)生盡可能小的介電損耗并且其次具有盡可能精確確定的[印silon]r的板材料。為此可以使用具有介電常數(shù)2. 33(公差+/-0. 02)的材料，其在實際實驗中已經(jīng)證實是合適的。為了在基面給定的情況下提高耦合電容，如在圖2、圖6和圖7中可以看到的那樣，可以以兩個印制導(dǎo)線的整數(shù)倍、以其面?zhèn)缺舜斯裁娴卦O(shè)置多于兩個印制導(dǎo)線17、18。 電容隨著每一層提高C= ε Q* ε ja*b。通過印制導(dǎo)線的寬度a可以預(yù)調(diào)節(jié)電容。然后可以根據(jù)需要以集中部件(konzentrierte Bauteile)進行補償目的的調(diào)整,但所述集中部件與總電容相比僅僅具有較小的值，例如是總電容的1/10至1/100。在示出的圖2、圖6和圖7的實施例中，通過印制導(dǎo)線17、18和17a、18a形成由四個印制導(dǎo)線組成的印制導(dǎo)線組，其中，每兩個不直接相鄰的印制導(dǎo)線17、17a或者18、18a在端部彼此電連接，并且在相應(yīng)連接的端部形成門連接端子I至4。如在圖2和圖7中可以看到的那樣，可以通過線橋或者在使用板的情況下通過敷鍍通孔形成電連接22。為了提高電感，設(shè)有包圍印制導(dǎo)線17、17a、18、18a的鐵氧體磁芯15 (圖I和圖7)。實驗已經(jīng)表明，具有12個芯和約7*20cm的尺寸的結(jié)構(gòu)可以耦合在一起在輸出端產(chǎn)生直至7kW的功率。在進一步優(yōu)化的情況下可以實現(xiàn)直至IOkW的功率。每個導(dǎo)體由于它的長度而具有大約為7nH/cm的自感。為了能夠縮短由為90°混合電路計算出的電感得出的印制導(dǎo)線的長度，使鐵氧體環(huán)形磁芯15在耦合印制導(dǎo)線上移動，從而在可預(yù)給定的印制導(dǎo)線長度的情況下實現(xiàn)所需的電感，其在本實施例中約為590nH。鐵氧體環(huán)的制造商標(biāo)明Al值，借助所述Al值可以計算出通過鐵氧體環(huán)的電感提高。L = A!*n2(L =具有鐵氧體的電感，η =阻數(shù))，在我們的情形中η = I。尺寸為36*23*15mm(dA*dl*b)的典型的環(huán)形磁芯根據(jù)制造商說明(Ferroxcube)具有17011!1的\值。因此可以借助三個環(huán)形磁芯產(chǎn)生510nH的電感。借助Fair-Rite公司的環(huán)形磁芯(材料67)和相當(dāng)?shù)某叽?35. 55*23*12. 7mm)可以實現(xiàn)約44. 5nH的Al值。即，對于590nH的所需電感，需要11或12個所述結(jié)構(gòu)類型的磁
-!-H
Λ ο過大或者過小的電感可以通過電容補償。為了進行說明，在圖7中僅僅繪出一個鐵氧體環(huán)形磁芯15。為了顯著縮短90°混合電路100的結(jié)構(gòu)長度，如在圖I中可以看到的那樣，可以設(shè)有整系列這樣的鐵氧體環(huán)形磁芯15，例如12個鐵氧體環(huán)形磁芯15。為了可以良好地裝配高頻連接端子(門I至4)，印制導(dǎo)線17、18、17a、18a在其端部23處分別延長約一半印制導(dǎo)線寬度a/2，并且側(cè)面錯開地設(shè)置。在使用印刷電路板的情況下，各印制導(dǎo)線17、18、17a、18a可以借助于在印刷電路板技術(shù)中已知的簡單的敷鍍通孔連接并且被引導(dǎo)至連接端子Ia 至4a。
權(quán)利要求1.HF功率耦合器，用于耦合至少兩個分別具有大于3kW的功率和在3與30MHz之間的相同頻率以及可調(diào)節(jié)的彼此相位關(guān)系的高頻功率信號，所述HF功率耦合器具有至少一個第一和第二電導(dǎo)體(110，111)，它們彼此間隔開并且電容式地和電感式地彼此耦合，其中，所述至少一個第一和/或第二導(dǎo)體的長度小于lm、優(yōu)選小于0. 5m，其中，所述第一導(dǎo)體是變壓器的初級側(cè)，而所述第二導(dǎo)體是所述變壓器的次級側(cè)，其中，這些導(dǎo)體被構(gòu)造為印刷電路板上的平的印制導(dǎo)線，其特征在于，所述印刷電路板具有含聚四氟乙烯(PTFE)或含聚酰亞胺的印制導(dǎo)線載體材料作為所述第一和第二導(dǎo)體之間的絕緣層，并且所述印刷電路板具有由環(huán)氧樹脂織物制成的印刷電路板材料。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的HF功率耦合器，其特征在于，所述印刷電路板是多層印刷電路板，并且所述多層印刷電路板的至少一個絕緣層具有由環(huán)氧樹脂織物制成的印刷電路板材料，并且至少一個另外的層具有含聚四氟乙烯(PTFE)或含聚酰亞胺的印制導(dǎo)線載體材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求I至2中任一項所述的HF功率耦合器，其特征在于，所述印刷電路板 在沒有電壓差的印制導(dǎo)線之間具有由環(huán)氧樹脂織物制成的印刷電路板材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至2中任一項所述的HF功率耦合器，其特征在于，所述平的印制導(dǎo)線的角部是通過至少1_的半徑倒圓的。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至2中任一項所述的HF功率耦合器，其特征在于，所述平的印制導(dǎo)線的棱邊是通過至少I U m的半徑倒圓的。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至2中任一項所述的HF功率耦合器，其特征在于，所述平的印制導(dǎo)線的角部是斜切的，使得所有角度大于100°。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至2中任一項所述的HF功率耦合器，其特征在于，所述平的印制導(dǎo)線的棱邊是斜切的，使得所有角度大于100°。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至2中任一項所述的HF功率耦合器，其特征在于，所述印制導(dǎo)線具有70 iim的最小厚度。
9.根據(jù)權(quán)利要求I至2中任一項所述的HF功率耦合器，其特征在于，所述印刷電路板具有一些另外的銅導(dǎo)線，這些另外的銅導(dǎo)線位于與相鄰的印制導(dǎo)線相同的電位上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的HF功率耦合器，其特征在于，這些另外的銅導(dǎo)線具有通向相同電位的印制導(dǎo)線的敷鍍通孔。
11.根據(jù)權(quán)利要求I至2中任一項所述的HF功率耦合器，其特征在于，所述耦合器是90°混合耦合器，并且所述可調(diào)節(jié)的相位關(guān)系不等于0°。
專利摘要HF功率耦合器，用于耦合至少兩個分別具有大于3kW的功率和在3與30MHz之間的相同頻率以及可調(diào)節(jié)的彼此相位關(guān)系的高頻功率信號，所述HF功率耦合器具有至少一個第一和第二電導(dǎo)體(110，111)，它們彼此間隔開并且電容式地和電感式地彼此耦合，其中，所述至少一個第一和/或第二導(dǎo)體的長度小于1m、優(yōu)選小于0.5m，其中，所述第一導(dǎo)體是變壓器的初級側(cè)，而所述第二導(dǎo)體是所述變壓器的次級側(cè)，其中，這些導(dǎo)體被構(gòu)造為印刷電路板上的平的印制導(dǎo)線，其特征在于，所述印刷電路板具有含聚四氟乙烯(PTFE)或含聚酰亞胺的印制導(dǎo)線載體材料作為所述第一和第二導(dǎo)體之間的絕緣層，并且所述印刷電路板具有由環(huán)氧樹脂織物制成的印刷電路板材料。
文檔編號H01P5/18GK202550048SQ20112057998
公開日2012年11月21日 申請日期2011年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月22日
發(fā)明者E·皮維特, M·格呂克, T·基希邁爾, W·格拉布邁爾 申請人:許廷格電子兩合公司