一種用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，包括一升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)、一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)、一水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)和一末端執(zhí)行部件，所述末端執(zhí)行部件在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)和水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下承載晶圓做直線運(yùn)動。本發(fā)明的用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，通過對末端執(zhí)行部件的負(fù)載中心進(jìn)行設(shè)計，使之偏置于第一軸線和第三軸線構(gòu)成的平面外，巧妙地把負(fù)載中心的運(yùn)動軌跡和末端執(zhí)行部件旋轉(zhuǎn)軸心的運(yùn)動路徑設(shè)置為不重合的、且平行的兩條直線；通過將負(fù)載中心向旋轉(zhuǎn)主臂和旋轉(zhuǎn)副臂的彎曲側(cè)偏置，使機(jī)械手最大彎曲時的占用的空間在水平方向上不超過負(fù)載邊緣的運(yùn)動軌跡，不占用額外的空間，避免了干涉其他的機(jī)械手機(jī)構(gòu)的運(yùn)作，達(dá)到機(jī)械手水平運(yùn)動工作空間布置的優(yōu)化。
【專利說明】—種用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種在工業(yè)上移送物件過程中使用的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有的半導(dǎo)體加工過程中，需要對晶圓進(jìn)行兩道檢測程序:先是低倍率的快速檢測，然后是高倍率的仔細(xì)檢測。當(dāng)完成低倍率的快速檢測后，需要用一機(jī)械手將晶圓運(yùn)送至高倍率檢測平臺上。機(jī)械手作為負(fù)責(zé)不同工位之間傳送晶圓的關(guān)鍵自動化設(shè)備，一方面，主要要求減小占用空間，另外一方面亦要求擴(kuò)大作業(yè)區(qū)域，這就涉及到如何在水平運(yùn)動工作空間布置的優(yōu)化，使得機(jī)械手在合格地完成工作任務(wù)的同時，減少干涉其他機(jī)械手的機(jī)
八
O

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種在水平運(yùn)動工作空間優(yōu)化布置的用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)。
[0004]為達(dá)到上述目的本發(fā)明提供了一種用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其包括:
[0005]一升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)；
[0006]一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，`安裝于升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)上；
[0007]—水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)主臂和旋轉(zhuǎn)副臂，旋轉(zhuǎn)主臂安裝于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)上端，由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動繞第一軸線旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)主臂和旋轉(zhuǎn)副臂在第二軸線處安裝于一體，且旋轉(zhuǎn)主臂和旋轉(zhuǎn)副臂繞第二軸線相對旋轉(zhuǎn)；
[0008]一末端執(zhí)行部件，可旋轉(zhuǎn)地安裝于水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)副臂上，可繞第三軸線旋轉(zhuǎn)，所述末端執(zhí)行部件在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)和水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下承載晶圓做直線運(yùn)動；
[0009]其中，末端執(zhí)行部件的負(fù)載中心的運(yùn)動路徑為一與第一軸線、第三軸線均垂直的直線，且第一軸線、第二軸線和第三軸線相互平行，負(fù)載中心的運(yùn)動路徑與第一軸線和第三軸線構(gòu)成的面之間具有一特定距離，所述特定距離等于第一軸線到旋轉(zhuǎn)主臂最遠(yuǎn)端的距離與晶圓半徑之差。
[0010]所述水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)主臂連接，旋轉(zhuǎn)主臂的一端與一固定帶輪通過軸承可相對旋轉(zhuǎn)地安裝于一體，且固定帶輪的中軸線為第一軸線，旋轉(zhuǎn)主臂的另一端固定連接有一肘軸組件，所述肘軸組件的軸向固定連接一帶輪軸；一級從動帶輪通過軸承可轉(zhuǎn)動地安裝在肘軸組件上，且所述一級從動帶輪與旋轉(zhuǎn)副臂的一端固定連接，可繞肘軸組件同步轉(zhuǎn)動；所述固定帶輪通過一級齒形帶與一級從動帶輪嚙合，一級從動帶輪的中軸線為第二軸線；
[0011]旋轉(zhuǎn)副臂的另一端固定連接有一腕軸組件，二級從動帶輪通過軸承可轉(zhuǎn)動地安裝在腕軸組件上，且所述二級從動帶輪與末端執(zhí)行部件固定連接，可繞腕軸組件同步轉(zhuǎn)動；所述帶輪軸通過二級齒形帶與二級從動帶輪嚙合，二級從動帶輪的中軸線為第三軸線；[0012]其中，固定帶輪與從動帶輪的齒數(shù)比為2:1，帶輪軸與二級從動帶輪的齒數(shù)比為I: 2，旋轉(zhuǎn)主臂與旋轉(zhuǎn)副臂的旋轉(zhuǎn)方向相反，旋轉(zhuǎn)副臂與末端執(zhí)行部件的旋轉(zhuǎn)方向相反，即旋轉(zhuǎn)主臂與旋轉(zhuǎn)副臂、末端執(zhí)行部件為轉(zhuǎn)數(shù)比為1: -2: I的傳動結(jié)構(gòu)；所述第一軸線、所述第二軸線和所述第三軸線相互平行，所述第一軸線與第二軸線的距離，等于所述第二軸線與所述第三軸線的距離。
[0013]所述末端執(zhí)行部件的負(fù)載中心是晶圓的中心，所述第一軸線與第二軸線的距離小于晶圓的直徑。
[0014]所述二級從動帶輪的軸心在所述末端執(zhí)行部件的負(fù)載中心的運(yùn)動路徑之外。
[0015]本發(fā)明的用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，通過對末端執(zhí)行部件的負(fù)載中心進(jìn)行設(shè)計，使之偏置于第一軸線和第三軸線構(gòu)成的平面外，巧妙地把負(fù)載中心的運(yùn)動軌跡和末端執(zhí)行部件旋轉(zhuǎn)軸心的運(yùn)動路徑設(shè)置為不重合的、且平行的兩條直線；通過將負(fù)載中心向旋轉(zhuǎn)主臂和旋轉(zhuǎn)副臂的彎曲側(cè)偏置，使機(jī)械手最大彎曲時的占用的空間在水平方向上不超過負(fù)載邊緣的運(yùn)動軌跡，不占用額外的空間，避免了干涉其他的機(jī)械手機(jī)構(gòu)的運(yùn)作，達(dá)到機(jī)械手水平運(yùn)動工作空間布置的優(yōu)化。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為本發(fā)明的用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)托住晶圓的一個實施例的立體圖；
[0017]圖2為圖1所示的用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)托住晶圓的一運(yùn)動狀態(tài)的俯視圖；
[0018]圖3為圖1所不的用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)托住晶圓的另一運(yùn)動狀態(tài)的俯視圖；
[0019]圖4為圖1所示的用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)的A-A剖面示意圖；
[0020]圖5為圖1所示的用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)的另一剖面示意圖。
[0021]附圖標(biāo)號說明
[0022]旋轉(zhuǎn)主臂3旋轉(zhuǎn)副臂4末端執(zhí)行部件5
[0023]第一軸線Ml第二軸線M2第三軸線M3
[0024]驅(qū)動電機(jī)10減速機(jī)14支撐框架8
[0025]第一帶輪11同步帶12第二帶輪13
[0026]磁流體密封裝置15固定帶輪17法蘭2
[0027]一級齒形帶19 一級從動帶輪20帶輪軸24
[0028]二級從動帶輪26 二級齒形帶25腕軸組件29
[0029]晶圓6肘軸組件23
【具體實施方式】
[0030]下面將結(jié)合附圖和具體的實施例對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0031]如圖1所示，本發(fā)明的用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)的一個實施例，包括:
[0032]一升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)；
[0033]一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，安裝于升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)上；
[0034]一水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)，安裝于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)上端，包括旋轉(zhuǎn)主臂3和旋轉(zhuǎn)副臂4，旋轉(zhuǎn)主臂3由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動繞第一軸線Ml旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)主臂3和旋轉(zhuǎn)副臂4在第二軸線M2處安裝于一體，且旋轉(zhuǎn)主臂3和旋轉(zhuǎn)副臂4繞第二軸線M2相對旋轉(zhuǎn)；
[0035]一末端執(zhí)行部件5，可旋轉(zhuǎn)地安裝于旋轉(zhuǎn)副臂4上，末端執(zhí)行部件5和旋轉(zhuǎn)副臂4繞第三軸線M3相對旋轉(zhuǎn)。
[0036]圖2為機(jī)械手機(jī)構(gòu)處于伸展?fàn)顟B(tài)的示意圖，圖3為機(jī)械手機(jī)構(gòu)處于收縮狀態(tài)的示意圖，第一軸線Ml為垂直于圖面且經(jīng)過M點的直線，第二軸線M2為垂直于圖面且經(jīng)過N點的直線，第三軸線M3為垂直于圖面且經(jīng)過O點的直線。
[0037]如圖4和圖5所示,所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)具體包括一驅(qū)動電機(jī)10和減速機(jī)14,固定安裝于支撐框架8上。驅(qū)動電機(jī)10的輸出端連接于第一帶輪11,第一帶輪11通過同步帶12與第二帶輪13進(jìn)行柔性連接，第二帶輪13連接于減速機(jī)14上，減速機(jī)14的輸出端與磁流體密封裝置15連接，磁流體密封裝置15 —端固定連接于法蘭2。
[0038]在水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)中，具體地、所述磁流體密封裝置15的輸出端與旋轉(zhuǎn)主臂3的首端連接，旋轉(zhuǎn)主臂3的首端還與一固定帶輪17通過軸承可相對旋轉(zhuǎn)地安裝于一體，且固定帶輪17的中軸線為第一軸線Ml。所述固定帶輪17與法蘭2固定連接。
[0039]旋轉(zhuǎn)主臂3的末端第二軸線M2處固定連接有一肘軸組件23，所述肘軸組件23的軸向固定連接一帶輪軸24。一級從動帶輪20通過軸承可轉(zhuǎn)動地安裝在肘軸組件23上，且所述一級從動帶輪20與旋轉(zhuǎn)副臂4的首端固定連接，可繞肘軸組件23同步轉(zhuǎn)動。所述固定帶輪17通過一級齒形帶19與一級從動帶輪20嚙合，一級從動帶輪20的中軸線為第二軸線M2。
[0040]旋轉(zhuǎn)副臂4的末端第三軸線M3處固定連接有一腕軸組件29，二級從動帶輪26通過軸承可轉(zhuǎn)動地安裝在腕軸組件29上，且所述二級從動帶輪26與末端執(zhí)行部件5固定連接，可繞腕軸組件29同步轉(zhuǎn)動。所述帶輪軸24通過二級齒形帶25與二級從動帶輪26嚙合，二級從動帶輪26的中軸線為第三軸線M3。末端執(zhí)行部件5在晶圓6下方托住晶圓6進(jìn)行直線運(yùn)動，如圖2和圖3所示，直線路徑LI即為末端執(zhí)行部件5的負(fù)載中心X的運(yùn)動路徑。
[0041]如圖2和圖3所示的狀態(tài)，在本發(fā)明實施例的機(jī)械手機(jī)構(gòu)由伸展?fàn)顟B(tài)運(yùn)動到收縮狀態(tài)的過程中，法蘭2是固定不動的，旋轉(zhuǎn)主臂3圍繞第一軸線Ml進(jìn)行順時針旋轉(zhuǎn)，而旋轉(zhuǎn)主臂3和旋轉(zhuǎn)副臂4圍繞第二軸線M2進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，旋轉(zhuǎn)副臂4和末端執(zhí)行部件5圍繞第三軸線M3旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，而末端執(zhí)行部件5和負(fù)載(晶圓6)隨著旋轉(zhuǎn)主臂3和旋轉(zhuǎn)副臂4的旋轉(zhuǎn)伸縮，進(jìn)行直線運(yùn)動。
[0042]在這個傳動過程中,驅(qū)動電機(jī)10帶動第一帶輪11,第一帶輪11通過同步帶12將運(yùn)動傳遞給第二帶輪13 ;第二帶輪13帶動減速機(jī)14進(jìn)行減速運(yùn)動,然后通過磁流體密封裝置15輸出端帶動旋轉(zhuǎn)主臂3轉(zhuǎn)動。由于固定帶輪17通過一級齒形帶19與一級從動帶輪20相嚙合，在旋轉(zhuǎn)主臂3轉(zhuǎn)動過程中，固定帶輪17和一級從動帶輪20相對位置產(chǎn)生了變化，一級齒形帶19的嚙合作用使一級從動帶輪20轉(zhuǎn)動，這也就帶動了旋轉(zhuǎn)主臂3和旋轉(zhuǎn)副臂4圍繞第二軸線M2進(jìn)行相對旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，固定帶輪17與一級從動帶輪20構(gòu)成行星周轉(zhuǎn)輪系。同時，二級從動帶輪26通過二級齒形帶25與帶輪軸24相嚙合，這也就帶動了旋轉(zhuǎn)副臂4和末端執(zhí)行部件5圍繞第三軸線M3進(jìn)行相對旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。在以旋轉(zhuǎn)主臂3為參考體系的旋轉(zhuǎn)副臂4中，帶輪軸24和二級從動帶輪26也構(gòu)成一個行星周轉(zhuǎn)輪系。在這兩個行星周轉(zhuǎn)輪系的作用下，旋轉(zhuǎn)副臂4與末端執(zhí)行部件5的旋轉(zhuǎn)連接軸心O始終沿著徑向的直線路徑L2伸縮動作。
[0043]另外，負(fù)載(晶圓6)被末端執(zhí)行部件5托住，兩者之間相互固定不動，因此，負(fù)載中心X運(yùn)動的路徑LI取決于旋轉(zhuǎn)副臂4與末端執(zhí)行部件5的旋轉(zhuǎn)連接軸心0運(yùn)動的路徑L2，即路徑LI為平行于路徑L2的直線。
[0044]需要指出的是，固定帶輪17與一級從動帶輪20的齒數(shù)比為2:1，帶輪軸24與二級從動帶輪26的齒比為1: 2，又由于旋轉(zhuǎn)主臂3與一級從動帶輪20之間為負(fù)號傳遞結(jié)構(gòu)，即旋轉(zhuǎn)主臂3與旋轉(zhuǎn)副臂4、末端執(zhí)行部件5為1: -2: I轉(zhuǎn)數(shù)比的傳動結(jié)構(gòu)。
[0045]旋轉(zhuǎn)主臂3與一級從動帶輪20之間，以及二級從動帶輪26與旋轉(zhuǎn)副臂4之間，為負(fù)號傳遞機(jī)構(gòu)；換句話說，旋轉(zhuǎn)主臂3與旋轉(zhuǎn)副臂4的旋轉(zhuǎn)方向相反，旋轉(zhuǎn)副臂4與末端執(zhí)行部件5的旋轉(zhuǎn)方向相反，實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)主臂3、旋轉(zhuǎn)副臂4與末端執(zhí)行部件5的轉(zhuǎn)數(shù)比為1:-2:1的傳動關(guān)系。
[0046]特別的，所述第一軸線Ml、所述第二軸線M2和所述第三軸線M3相互平行，其中，所述第一軸線Ml與第二軸線M2的距離，等于所述第二軸線M2與所述第三軸線M3的距離。所述末端執(zhí)行部件5的負(fù)載是晶圓6，所述第一軸線Ml與第二軸線M2的距離小于晶圓6的直徑，所述二級從動帶輪26的旋轉(zhuǎn)軸心0在所述末端執(zhí)行部件5的負(fù)載中心X運(yùn)動的路徑LI之外。
[0047]具體地，負(fù)載中心X運(yùn)動的路徑LI與第一軸線Ml和第三軸線M3構(gòu)成的面(路徑L2所在的垂直于圖2的圖面的平面)之間具有一特定距離(即圖2和圖3中的路徑LI和路徑L2之間的最短距離)，所述特定距離等于第一軸線Ml到旋轉(zhuǎn)主臂3最遠(yuǎn)端的距離與晶圓6半徑之差。這樣，在伸縮傳動過程中，即使旋轉(zhuǎn)主臂3在旋轉(zhuǎn)達(dá)到圖2和圖3中的橫向最大行程時，也不會超過晶圓6的最右端的運(yùn)動軌跡，也不超過晶圓6最左端的運(yùn)動軌跡，機(jī)械手彎曲時占用的空間在水平方向上不超出負(fù)載的運(yùn)動空間，避免了干涉其他的機(jī)械手機(jī)構(gòu)的運(yùn)作。
[0048]這樣，負(fù)載中心X沿著路徑LI運(yùn)動，第三軸線M3沿路徑L2運(yùn)動，旋轉(zhuǎn)主臂3的運(yùn)動行程不超過晶圓6的水平運(yùn)動空間。在同負(fù)載和同臂長的情況下，相對于負(fù)載中心X運(yùn)動的路徑LI與末端執(zhí)行部件5旋轉(zhuǎn)軸心0重疊的傳統(tǒng)設(shè)計，進(jìn)一步優(yōu)化了機(jī)械手水平運(yùn)動工作空間的布置。
[0049]以上所述實施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括: 一升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)； 一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，安裝于升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)上； 一水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)主臂和旋轉(zhuǎn)副臂，旋轉(zhuǎn)主臂安裝于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)上端，由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動繞第一軸線旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)主臂和旋轉(zhuǎn)副臂在第二軸線處安裝于一體，且旋轉(zhuǎn)主臂和旋轉(zhuǎn)副臂繞第二軸線相對旋轉(zhuǎn)； 一末端執(zhí)行部件，可旋轉(zhuǎn)地安裝于水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)副臂上，可繞第三軸線旋轉(zhuǎn)，所述末端執(zhí)行部件在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)和水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下承載晶圓做直線運(yùn)動； 其中，末端執(zhí)行部件的負(fù)載中心的運(yùn)動路徑為一與第一軸線、第三軸線均垂直的直線，且第一軸線、第二軸線和第三軸線相互平行，負(fù)載中心的運(yùn)動路徑與第一軸線和第三軸線構(gòu)成的面之間具有一特定距離，所述特定距離等于第一軸線到旋轉(zhuǎn)主臂最遠(yuǎn)端的距離與晶圓半徑之差。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其特征在于: 所述水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)主臂連接，旋轉(zhuǎn)主臂的一端與一固定帶輪通過軸承可相對旋轉(zhuǎn)地安裝于一體，且固定帶輪的中軸線為第一軸線，旋轉(zhuǎn)主臂的另一端固定連接有一肘軸組件，所述肘軸組件的軸向固定連接一帶輪軸；一級從動帶輪通過軸承可轉(zhuǎn)動地安裝在肘軸組件上，且所述一級從動帶輪與旋轉(zhuǎn)副臂的一端固定連接，可繞肘軸組件同步轉(zhuǎn)動；所述固定帶輪通過一級齒形帶與一級從動帶輪嚙合，一級從動帶輪的中軸線為第二軸線； 旋轉(zhuǎn)副臂的另一端固定連接有一腕軸組件，二級從動帶輪通過軸承可轉(zhuǎn)動地安裝在腕軸組件上，且所述二級從動帶輪與末端執(zhí)行部件固定連接，可繞腕軸組件同步轉(zhuǎn)動；所述帶輪軸通過二級齒形帶與二級從動帶輪嚙合，二級從動帶輪的中軸線為第三軸線； 其中，固定帶輪與從動帶輪的齒數(shù)比為2:1，帶輪軸與二級從動帶輪的齒數(shù)比為1: 2，旋轉(zhuǎn)主臂與旋轉(zhuǎn)副臂的旋轉(zhuǎn)方向相反，旋轉(zhuǎn)副臂與末端執(zhí)行部件的旋轉(zhuǎn)方向相反，即旋轉(zhuǎn)主臂與旋轉(zhuǎn)副臂、末端執(zhí)行部件為轉(zhuǎn)數(shù)比為1: -2: I的傳動結(jié)構(gòu)；所述第一軸線、所述第二軸線和所述第三軸線相互平行，所述第一軸線與第二軸線的距離，等于所述第二軸線與所述第三軸線的距離。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述末端執(zhí)行部件的負(fù)載中心是晶圓的中心，所述第一軸線與第二軸線的距離小于晶圓的直徑。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于運(yùn)送晶圓的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述二級從動帶輪的軸心在所述末端執(zhí)打部件的負(fù)載中心的運(yùn)動路徑之外。
【文檔編號】H01L21/677GK103811385SQ201210445556
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2012年11月8日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月8日
【發(fā)明者】王鳳利, 李學(xué)威, 朱玉聰, 朱維金, 郭帥, 王金濤 申請人:沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司