專利名稱：基板傳輸機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種基板傳輸機構(gòu)，尤其涉及一種應(yīng)用于工藝反應(yīng)腔中的基板傳輸機構(gòu)。
背景技術(shù)：
眾所周知，基板傳輸機構(gòu)被應(yīng)用于一工藝反應(yīng)腔中，用以支撐一基板，以便基板可被處理或者被機械手臂抓取。其中，所述工藝反應(yīng)腔可以為半導(dǎo)體工藝反應(yīng)腔，也可以為太陽能電池制造工藝反應(yīng)腔。圖I示出了現(xiàn)有的基板傳輸機構(gòu)，如圖I所示，所述基板傳輸機構(gòu)包括工作臺I、升降機構(gòu)，所述工作臺I具有頂針孔11，所述升降機構(gòu)具有頂針21以及與所述頂針垂直連接 的連接部22，所述連接部22上下運動以帶動所述頂針21上下運動，最終以使得所述基板3上下運動，以便機械手臂可以抓取所述基板3。圖2示出了現(xiàn)有的基板傳輸機構(gòu)升起時的示意圖，如圖2所示，當(dāng)所述機械手放置所述基板3至所述工藝反應(yīng)腔時，所述升降機構(gòu)升起，以使得所述基板3被頂針21頂起，所述機械手抽走。當(dāng)所述機械手抽走后，所述升降機構(gòu)將會降下，使得所述基板3放置到所述工作臺I上，所述工作臺I往往將被調(diào)整到某一工藝處理溫度，由于熱膨脹等因素，所述頂針21的位置可能會偏離所述頂針孔11的位置。圖3示出了基板傳輸機構(gòu)降下時的示意圖，如圖3所示，所述工作臺I因熱膨脹等因素而發(fā)生了形變，使得所述頂針21的位置偏離了所述頂針孔11的位置。圖4示出了現(xiàn)有的基板傳輸機構(gòu)在頂針與頂針孔出現(xiàn)位置偏離后升起失敗的示意圖，請參考圖4，當(dāng)所述頂針21的位置偏離所述頂針孔11的位置后，當(dāng)所述升降機構(gòu)再次升起后，所述頂針21將無法正常穿過所述頂針孔11，所述基板3將無法被正常升起。此外，這可能還會導(dǎo)致所述頂針與所述工作臺之間的嚴重摩擦與磕碰，嚴重時，甚至?xí)痦斸樀膹澢蛘邤嗔训群蠊?br>
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種基板傳輸機構(gòu)以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的頂針無法正常穿過所述頂針孔而被碰撞和折斷的問題。本實用新型提供的基板傳輸機構(gòu)包括工作臺、升降機構(gòu)，所述工作臺用以承載基板，所述升降機構(gòu)用以使得所述基板沿垂直于所述工作臺的方向上下移動，其中，所述升降機構(gòu)包括固定頂針部和動力頂針部，所述固定頂針部可動地裝設(shè)于所述工作臺上，所述固定頂針部包括設(shè)置在所述工作臺承載所述基板的一側(cè)的固定連接部以及與所述固定連接部固定連接的固定頂針，所述固定連接部的熱膨脹系數(shù)與所述工作臺的熱膨脹系數(shù)相同，所述動力頂針部用以驅(qū)動所述固定頂針部沿著垂直于所述工作臺的方向上下運動。優(yōu)選的，所述動力頂針部具有頂起端部，所述頂起端部具有頂起端面，所述固定頂針部具有被頂端面，所述頂起端面可抵接所述被頂端面以驅(qū)動所述所述固定頂針部沿著垂直于所述工作臺的方向上下運動，所述頂起端面的面積或所述被頂端面的面積中至少一個大于所述固定頂針的橫截面的面積。[0007]優(yōu)選的，所述工作臺具有用以與所述固定頂針相適應(yīng)的頂針孔，在所述升降機構(gòu)升降的過程中，所述固定頂針裝設(shè)在所述頂針孔內(nèi)。優(yōu)選的,所述動力頂針部包括動力連接部以及與所述動力連接部垂直連接的動力頂針，所述頂 起端部形成于所述動力頂針遠離所述動力連接部的一端。優(yōu)選的，所述固定連接部為固定圓環(huán)。優(yōu)選的，所述工作臺與所述固定連接部由同一種材料制成。優(yōu)選的，所述頂起端面的面積或所述被頂端面的面積中至少一個為所述固定頂針的橫截面的面積的3倍以上。優(yōu)選的，所述固定頂針為3根，所述固定連接部為I個。優(yōu)選的,所述動力頂針部包括動力連接部、與所述動力連接部垂直連接的動力頂針以及形成于所述動力頂針遠離所述動力連接部的一端的支撐連接部，所述支撐連接部與所述動力連接部平行，所述支撐連接部的遠離所述動力連接部的上表面形成于所述頂起端面。優(yōu)選的,所述動力頂針部包括動力連接部所述動力連接部近鄰所述工作臺的上表面形成于所述頂起端面。本實用新型提供的基板傳輸機構(gòu)的升降機構(gòu)包括固定頂針部和動力頂針部，所述固定頂針部可動地裝設(shè)于所述工作臺上，所述固定頂針部包括設(shè)置在所述工作臺承載所述基板的一側(cè)的固定連接部以及與所述固定連接部固定連接的固定頂針，所述固定連接部的熱膨脹系數(shù)與所述工作臺的熱膨脹系數(shù)相同，因而當(dāng)所述工作臺發(fā)生熱膨脹現(xiàn)象后，所述固定連接部將產(chǎn)生相同的熱膨脹量，從而避免了所述工作臺相對于所述固定頂針的運動，避免了固定頂針被折斷或者磕碰的風(fēng)險。所述動力頂針部用以將所述固定頂針部沿著垂直于所述工作臺的方向上下運動，所述動力頂針部具有頂起端部，所述頂起端部具有頂起端面，所述固定頂針部具有被頂端面，所述頂起端面的面積或所述被頂端面的面積中至少一個大于所述固定頂針的橫截面的面積，因此當(dāng)所述工作臺因熱膨脹發(fā)生形變而使得所述固定頂針部相對所述動力頂針部具有位置偏離后，所述動力頂針部仍然能將所述固定頂針部頂起，以確保所述基板傳輸機構(gòu)的正常工作。所述工作臺具有用以與所述固定頂針相適應(yīng)的頂針孔，在所述升降機構(gòu)升降的過程中，所述固定頂針裝設(shè)在所述頂針孔內(nèi)，因而避免了所述升降機構(gòu)在升降的過程中，所述固定頂針頻繁對準(zhǔn)所述頂針孔的問題，降低了固定頂針被折斷和磕碰的風(fēng)險。

圖I是現(xiàn)有的基板傳輸機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有的基板傳輸機構(gòu)升起時的不意圖；圖3是現(xiàn)有的基板傳輸機構(gòu)降下時的示意圖；圖4是現(xiàn)有的基板傳輸機構(gòu)在頂針與頂針孔出現(xiàn)位置偏離后升起失敗的示意圖；圖5是本實用新型的實施例I中的基板傳輸機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6A是圖5所示的本實用新型的基板傳輸機構(gòu)升起時的示意圖；圖6B是圖5所示的本實用新型的動力頂針部的另一實施方式的示意圖；[0025]圖6C是圖5所示的本實用新型的動力頂針部的又一實施方式的示意圖；圖6D是圖5所示的本實用新型的動力頂針部的還一實施方式的示意圖；圖7是圖5所示的基板傳輸機構(gòu)的工作臺發(fā)生熱漲或冷縮現(xiàn)象后的示意圖；圖8是圖5所示的基板傳輸機構(gòu)在工作臺發(fā)生熱漲或冷縮現(xiàn)象后再次成功升起的示意圖。圖9是本實用新型的實施例2中的基板傳輸機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
本實用新型提供的基板傳輸機構(gòu)包括工作臺、升降機構(gòu)，所述工作臺用以承載基板，所述升降機構(gòu)用以使得所述基板沿垂直于所述工作臺的方向上下移動，其中，所述升降機構(gòu)包括固定頂針部和動力頂針部，所述固定頂針部可動地裝設(shè)于所述工作臺上，所述固 定頂針部包括設(shè)置在所述工作臺承載所述基板的一側(cè)的固定連接部以及與所述固定連接部固定連接的固定頂針，所述固定連接部的熱膨脹系數(shù)與所述工作臺的熱膨脹系數(shù)相同，所述動力頂針部用以驅(qū)動所述固定頂針部沿著垂直于所述工作臺的方向上下運動。所述動力頂針部具有頂起端部，所述頂起端部具有頂起端面，所述固定頂針部具有被頂端面，所述頂起端面可抵接所述被頂端面以驅(qū)動所述固定頂針部沿著垂直于所述工作臺的方向上下運動，所述頂起端面的面積或所述被頂端面的面積中至少一個大于所述固定頂針的橫截面的面積。
以下結(jié)合附圖分別進行詳細說明。實施例I圖5示出了本實用新型的實施例I中的基板傳輸機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖5所示，所述基板傳輸機構(gòu)包括工作臺4、升降機構(gòu)，所述工作臺用于承載基板7，所述基板可以是晶圓、硅片，襯底托盤或者玻璃基板，優(yōu)選地，在本實施方式中，所述基板是用于制造發(fā)光二極管(Light Emitting Diode, LED)的襯底晶圓。所述升降機構(gòu)(未標(biāo)號)包括固定頂針部(未標(biāo)號)和動力頂針部(未標(biāo)號)，所述固定頂針部可動地裝設(shè)于所述工作臺4上，所述固定頂針部包括設(shè)置在所述工作臺4承載所述基板7的一側(cè)的固定連接部52以及與所述固定連接部固定連接的固定頂針51，所述固定連接部52的熱膨脹系數(shù)與所述工作臺4的熱膨脹系數(shù)相同，優(yōu)選的，所述工作臺4與所述固定連接部52由同一種材料制成，因而當(dāng)所述工作臺4發(fā)生熱膨脹現(xiàn)象后，所述固定連接部將產(chǎn)生相同的熱膨脹量，從而避免了所述工作臺4相對于所述固定連接部52的運動，避免了固定頂針51被折斷或者磕碰的風(fēng)險。所述固定連接部4可以為圓環(huán)形或者直線形。所述動力頂針部用以將所述固定頂針部沿著垂直于所述工作臺4的方向上下運動，最終以使得所述基板7上下運動，以便機械手臂(圖未示)可以抓取所述基板7。所述動力頂針部具有頂起端部63，所述頂起端部63具有頂起端面631，所述固定頂針部具有被頂端面511，所述頂起端面631的面積或所述被頂端面511的面積中至少一個大于所述固定頂針51的橫截面的面積，在本實施方式中，所述頂起端面631的面積大于所述固定頂針51的橫截面的面積。因此當(dāng)所述工作臺因熱膨脹發(fā)生形變而使得所述固定頂針部相對所述動力頂針部具有位置偏離后，所述動力頂針部仍然能將所述固定頂針部頂起，保證了所述升降機構(gòu)的正常工作，避免了現(xiàn)有技術(shù)中存在的升起失敗的問題。在本實用新型一些其他的較優(yōu)實施例子中，所述頂起端面631的面積或所述被頂端面511的面積中至少一個為所述固定頂針51的橫截面的面積的3倍以上，以確保所述工作臺4在因熱膨脹或者其他高溫等惡劣環(huán)境而發(fā)生較大形變后，進而使得所述固定頂針部相對所述動力頂針部具有較大位置偏離的情形下，在所述動力頂針部升起的過程中，所述頂起端面仍然能夠接觸到所述被 頂端面。請一并參照圖5和圖6A,所述工作臺4具有用以與所述固定頂針51相適應(yīng)的頂針孔41，在所述升降機構(gòu)升降的過程中，所述固定頂針51裝設(shè)在所述頂針孔41內(nèi)，因而避免了所述升降機構(gòu)在升降的過程中，所述固定頂針51頻繁對準(zhǔn)所述頂針孔41的問題，降低了固定頂針51被折斷和磕碰的風(fēng)險。在本實施方式中所述固定頂針51為3根，所述固定連接部52為I個，以使得基座傳輸機構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，裝配容易。繼續(xù)參照圖6A，所述動力頂針部包括動力連接部61以及與所述動力連接部垂直連接的動力頂針62,所述頂起端部63形成于所述動力頂針遠離所述動力連接部的一端。所述動力連接部為I個，所述動力頂針為3根，以使得基座傳輸機構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，裝配容易。當(dāng)然在本實用新型的某些其他實施例子中，所述動力頂針也可以為I根。另外，在本實用新型的動力頂針部的另一具體實施方式
中，如圖6B所示，所述動力頂針部還可以僅包括動力連接部61，所述動力連接部61近鄰所述工作臺4的上表面形成于所述頂起端面611。此外，在本實用新型的動力頂針部的又一實施方式中，如圖6C所示，所述動力頂針部包括動力連接部61、與所述動力連接部垂直連接的動力頂針62以及形成于所述動力頂針遠離所述動力連接部61的一端的支撐連接部63，所述支撐連接部63與所述動力連接部61平行，所述支撐連接部63遠離所述動力連接部的上表面形成于所述頂起端面631。此外,在本實用新型的動力頂針部的還一實施方式中，如圖6D所示,所述動力頂針部包括動力連接部(未標(biāo)號)以及與所述動力連接部垂直連接的動力頂針(未標(biāo)號)，所述頂起端部63形成于所述動力頂針遠離所述動力連接部的一端。其中所述動力連接部包括第一動力連接部611與第二動力連接部612，所述第一動力連接部611與所述第二動力連接部612不在同一平面上。所述動力頂針包括第一動力頂針621與第二動力頂針622，所述第一動力頂針與所述第一動力連接部611垂直連接，所述第二動力頂針622與所述第二動力連接部612垂直連接，以使得當(dāng)某些動力頂針被損壞時，其余動力頂針仍然能正常工作。所述基板傳輸機構(gòu)在實際生產(chǎn)中將被應(yīng)用于一工藝處理腔中，所述工藝處理腔可以是半導(dǎo)體處理腔，也可以是太陽能電池制造處理腔，在本實施方式中，所述工藝處理腔為制造發(fā)光二級管用的MOCVD工藝處理腔。在所述MOCVD工藝處理腔對所述基板7進行處理的過程中，所述基板7將通過所述工作臺4被加熱到一千度左右，在如此的高溫環(huán)境下，所述工作臺將會出現(xiàn)熱膨脹現(xiàn)象。在基板7處理完畢后，若MOCVD工藝處理腔被關(guān)閉，所述工作臺4將有可能自然降至室溫，在這個過程中，所述工作臺4將出現(xiàn)冷縮現(xiàn)象。圖7示出了圖5的基板傳輸機構(gòu)的工作臺發(fā)生熱漲或冷縮現(xiàn)象后的示意圖，參照圖7所示，無論是工作臺4出現(xiàn)熱膨脹現(xiàn)象，還是出現(xiàn)冷縮現(xiàn)象，所述工作臺將都會發(fā)生形變，又由于所述工作臺4與所述固定連接部52的熱膨脹系數(shù)相同，所述固定連接部52又裝設(shè)在所述工作臺4承載所述基板7的一側(cè)，因此所述固定連接部52被加熱或者冷卻的溫度與所述工作臺4被加熱或者冷卻的溫度相同或者相近，所述固定連接部52將不會與所述工作臺4發(fā)生相對運動，進而，與所述固定連接部52固定連接的固定頂針51將不會因所述工作臺4的熱脹冷縮現(xiàn)象而彎曲或者折斷等。請一并參照圖7、圖8所示，所述基板傳輸機構(gòu)在工作臺4發(fā)生熱漲或冷縮現(xiàn)象后，所述固定頂針51的位置相對于所述動力頂針62的位置有所偏離。圖8示出了所述基板傳輸機構(gòu)在工作臺發(fā)生熱漲或冷縮現(xiàn)象后再次成功升起的示意圖，如圖8所示，由于所述頂起端面631的面積或所述被頂端面511的面積中至少一個大于所述固定頂針51的橫截面的面積，在所述固定頂針部因熱脹 冷縮而與所述動力頂針部發(fā)生錯位后，所述動力頂針部仍然能將所述固定頂針部頂起，保證了所述升降機構(gòu)的正常工作，避免了現(xiàn)有技術(shù)中存在的基板傳輸機構(gòu)升起失敗的問題。實施例2圖9示出了本實用新型的實施例2中的基板傳輸機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖9所示，所述基板傳輸機構(gòu)包括工作臺4、升降機構(gòu)，所述工作臺4用以承載基板7，所述升降機構(gòu)用以使得所述基板7沿垂直于所述工作臺4的方向上下移動。所述升降機構(gòu)包括固定頂針部(未標(biāo)號)和動力頂針部(未標(biāo)號)，所述固定頂針部可動地裝設(shè)于所述工作臺4上，所述固定頂針部包括設(shè)置在所述工作臺4承載所述基板7的一側(cè)的固定連接部52以及與所述固定連接部52固定連接的固定頂針51，所述固定連接部52的熱膨脹系數(shù)與所述工作臺4的熱膨脹系數(shù)相同，所述動力頂針部用以驅(qū)動所述固定頂針部沿著垂直于所述工作臺4的方向上下運動。本實施例子中與實施例I相同之處在此不予贅述，本實施例與實施例I的不同之處在于，所述動力頂針部具有動力連接部61與動力頂針62,所述動力頂針62具有頂起端面621，所述固定頂針52具有被頂端部53，所述被頂端部53具有被頂端面531，所述被頂端面531的面積大于所述頂起端面621的面積。在本實施例的具體實施方式
中，所述被頂端面531的面積大于所述動力頂針62的橫截面的面積。因此當(dāng)所述工作臺因熱膨脹發(fā)生形變而使得所述固定頂針部相對所述動力頂針部具有位置偏離后，所述動力頂針部仍然能將所述固定頂針部頂起，保證了所述升降機構(gòu)的正常工作，避免了現(xiàn)有技術(shù)中存在的升起失敗的問題。在實施例子中的一些其他的較優(yōu)實施例方式中，所述被頂端面531的面積為所述動力頂針62的橫截面或頂起端面621的面積的3倍以上，以確保所述工作臺4在因熱膨脹或者其他高溫等惡劣環(huán)境而發(fā)生較大形變后，進而使得所述固定頂針部相對所述動力頂針部具有較大位置偏離的情形下，在所述動力頂針部升起的過程中，所述頂起端面仍然能夠接觸到所述被頂端面。盡管本實用新型的內(nèi)容已經(jīng)通過上述優(yōu)選實施例作了詳細介紹，但應(yīng)當(dāng)認識到上述的描述不應(yīng)被認為是對本實用新型的限制。在本領(lǐng)域技術(shù)人員閱讀了上述內(nèi)容后，對于本實用新型的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本實用新型的保護范圍應(yīng)由所附的權(quán)利要求來限定。
權(quán)利要求1.一種基板傳輸機構(gòu)包括工作臺、升降機構(gòu)，所述工作臺用以承載基板，所述升降機構(gòu)用以使得所述基板沿垂直于所述工作臺的方向上下移動，其特征在于，所述升降機構(gòu)包括固定頂針部和動力頂針部，所述固定頂針部可動地裝設(shè)于所述工作臺上，所述固定頂針部包括設(shè)置在所述工作臺承載所述基板的一側(cè)的固定連接部以及與所述固定連接部固定連接的固定頂針，所述固定連接部的熱膨脹系數(shù)與所述工作臺的熱膨脹系數(shù)相同，所述動力頂針部用以驅(qū)動所述固定頂針部沿著垂直于所述工作臺的方向上下運動。
2.如權(quán)利要求I所述的基板傳輸機構(gòu)，其特征在于；所述動力頂針部具有頂起端部，所述頂起端部具有頂起端面，所述固定頂針部具有被頂端面，所述頂起端面可抵接所述被頂端面以驅(qū)動所述固定頂針部沿著垂直于所述工作臺的方向上下運動，所述頂起端面的面積或所述被頂端面的面積中至少一個大于所述固定頂針的橫截面的面積。
3.如權(quán)利要求I所述的基板傳輸機構(gòu)，其特征在于；所述工作臺具有用以與所述固定頂針相適應(yīng)的頂針孔，在所述升降機構(gòu)升降的過程中，所述固定頂針裝設(shè)在所述頂針孔內(nèi)。
4.如權(quán)利要求2所述的基板傳輸機構(gòu)，其特征在于；所述動力頂針部包括動力連接部以及與所述動力連接部垂直連接的動力頂針，所述頂起端部形成于所述動力頂針遠離所述動力連接部的一端。
5.如權(quán)利要求I所述的基板傳輸機構(gòu)，其特征在于；所述固定連接部為固定圓環(huán)。
6.如權(quán)利要求I所述的基板傳輸機構(gòu)，其特征在于；所述工作臺與所述固定連接部由同一種材料制成。
7.如權(quán)利要求2所述的基板傳輸機構(gòu)，其特征在于；所述頂起端面的面積或所述被頂端面的面積中至少一個為所述固定頂針的橫截面的面積的3倍以上。
8.如權(quán)利要求I所述的基板傳輸機構(gòu)，其特征在于；所述固定頂針為3根，所述固定連接部為I個。
9.如權(quán)利要求2所述的基板傳輸機構(gòu)，其特征在于；所述動力頂針部包括動力連接部、與所述動力連接部垂直連接的動力頂針以及形成于所述動力頂針遠離所述動力連接部的一端的支撐連接部，所述支撐連接部與所述動力連接部平行，所述支撐連接部的遠離所述動力連接部的上表面形成于所述頂起端面。
10.如權(quán)利要求2所述的基板傳輸機構(gòu)，其特征在于；所述動力頂針部包括動力連接部所述動力連接部近鄰所述工作臺的上表面形成于所述頂起端面。
專利摘要本實用新型提供一種基板傳輸機構(gòu)，其包括工作臺、升降機構(gòu)，所述工作臺用以承載基板，所述升降機構(gòu)用以使得所述基板沿垂直于所述工作臺的方向上下移動，其中，所述升降機構(gòu)包括固定頂針部和動力頂針部，所述固定頂針部可動地裝設(shè)于所述工作臺上，所述固定頂針部包括設(shè)置在所述工作臺承載所述基板的一側(cè)的固定連接部以及與所述固定連接部固定連接的固定頂針，所述固定連接部的熱膨脹系數(shù)與所述工作臺的熱膨脹系數(shù)相同，所述動力頂針部用以驅(qū)動所述固定頂針部沿著垂直于所述工作臺的方向上下運動。本實用新型避免了頂針無法正常穿過所述頂針孔而被碰撞和折斷的問題，也使得所述工作臺因熱膨脹發(fā)生形變后所述動力頂針部仍然能將所述固定頂針部頂起，所述基板傳輸機構(gòu)仍能正常工作。
文檔編號H01L21/677GK202487551SQ20122010552
公開日2012年10月10日 申請日期2012年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月19日
發(fā)明者何川, 宋濤, 王俊, 袁剛, 馬悅, 黃占超 申請人:理想能源設(shè)備(上海)有限公司