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      氣體激光光源的放電腔的制作方法

      文檔序號(hào):7131620閱讀:391來源:國(guó)知局
      專利名稱:氣體激光光源的放電腔的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型屬于氣體激光技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種氣體激光光源的放電腔。
      背景技術(shù)
      氣體放電激光光源的核心關(guān)鍵部件就是放電腔。放電腔具有一定腔型,維持其內(nèi)部工作氣體的正常放電和系統(tǒng)穩(wěn)定出光。放電腔一般由腔體結(jié)構(gòu)、風(fēng)機(jī)系統(tǒng)、放電系統(tǒng)和冷卻系統(tǒng)組成。放電腔在每次放電之后都會(huì)產(chǎn)生放電塵埃,影響下一次的放電效果。風(fēng)機(jī)系統(tǒng)能將放電塵埃帶走,并通過除塵裝置清潔放電腔內(nèi)部的循環(huán)工作氣體。放電系統(tǒng)一般由主放電系統(tǒng)和預(yù)電離系統(tǒng)組成。 目前在風(fēng)機(jī)系統(tǒng)中一般使用貫流葉輪。出風(fēng)口軸向風(fēng)速不均勻是貫流葉輪的很大缺點(diǎn)。此外,當(dāng)放電腔工作在更高重復(fù)頻率時(shí)要求陰陽電極間有更高的氣體流速,也即要求貫流葉輪工作在更高轉(zhuǎn)速或貫流葉輪有更大直徑;這會(huì)帶來貫流葉輪在高速下轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)不平衡的問題,以及轉(zhuǎn)速或直徑增大后葉輪的周向葉片處的失速問題,從而產(chǎn)生激波和噪音,影響放電腔的放電和出光。目前使用的除塵裝置一般外掛在放電腔上,通過小孔導(dǎo)入部分工作氣體,采用靜電吸附的方式凈化清潔這部分工作氣體。這只能清潔一小部分工作氣體,絕大部分放電塵埃還存在于放電腔內(nèi)隨著工作氣體在腔內(nèi)循環(huán)流動(dòng)。這樣會(huì)影響放電腔的使用壽命。目前使用的預(yù)電離系統(tǒng)一般緊挨著主電極。主電極和預(yù)電離電極之間的工作氣體在高壓下首先發(fā)生電離,產(chǎn)生的電子運(yùn)動(dòng)到兩主電極之間,協(xié)助陰陽主電極放電。為保證電子在兩主電極之間運(yùn)動(dòng)暢通,在主電極迎風(fēng)或背風(fēng)面需留有間隙,這樣會(huì)產(chǎn)生一部分壓力損失降低放電區(qū)域流速。另外,預(yù)電離區(qū)域會(huì)產(chǎn)生很大一部分熱量,影響放電腔放電和出光效果。

      實(shí)用新型內(nèi)容(一 )要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型的氣體放電腔主要解決以下技術(shù)問題降低噪音和激波的產(chǎn)生,減少聲場(chǎng)對(duì)放電腔的影響;使放電區(qū)域流速更大、流場(chǎng)更均勻,滿足放電腔更高重復(fù)頻率的使用要求;提高放電腔的使用壽命;減小產(chǎn)生熱積累和流速損失。 ( 二 )技術(shù)方案本實(shí)用新型提供一種氣體放電腔,包括風(fēng)機(jī)、導(dǎo)流片、熱交換器、電極、導(dǎo)流吸塵板和均勻絲網(wǎng),所述風(fēng)機(jī)為雙轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī),所述雙轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī)依靠一個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)雙轉(zhuǎn)子的正反方向旋轉(zhuǎn)。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,在光軸方向上布置多個(gè)風(fēng)機(jī),通過調(diào)節(jié)不同風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速,達(dá)到陰陽電極間工作氣體光軸方向流速的均勻性要求。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,所述導(dǎo)流吸塵板是由多組薄板組成,使放電區(qū)域流場(chǎng)更均勻。[0012]根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,所述導(dǎo)流吸塵板間隔交錯(cuò)分別與該氣體放電腔的上下基板相連,可以在上下基板上分別加載不同電壓,在薄板間流過的工作氣體中的放電雜質(zhì)被靜電吸附在薄板上,達(dá)到凈化全部工作氣體的目的。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,所述導(dǎo)流吸塵板加載電壓后形成平板電容陣,可以部分電離工作氣體。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,所述雙轉(zhuǎn)子的每個(gè)轉(zhuǎn)子上都有扇葉,安裝于一個(gè)轉(zhuǎn)子上的扇葉為一組扇葉,安裝于另一個(gè)轉(zhuǎn)子上的扇葉為另一組扇葉,通過不同的扇葉面型及安裝方式,使正反方向旋轉(zhuǎn)的兩組扇葉在同一方向上驅(qū)動(dòng)氣體流動(dòng)。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,所述電機(jī)為陶瓷電機(jī)。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,通過外部遙控操作電機(jī)。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,遠(yuǎn)離電機(jī)端的轉(zhuǎn)子上安裝有整流頭,且該整流頭通過連接軸與電機(jī)輸出軸相連;連接軸上固定有外齒輪,與連接軸及遠(yuǎn)離電機(jī)端的轉(zhuǎn)子一起轉(zhuǎn)動(dòng);外齒輪驅(qū)動(dòng)圓心固定的4組行星齒輪運(yùn)轉(zhuǎn);行星齒輪驅(qū)動(dòng)內(nèi)齒輪運(yùn)轉(zhuǎn);內(nèi)齒輪與靠近電機(jī)端的轉(zhuǎn)子固定在一起。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,所述氣體放電腔內(nèi)壁布置吸聲材料。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,所述氣體放電腔為方形流道截面,每邊都相同布置有風(fēng)機(jī)、熱交換器、電極、導(dǎo)流吸塵板和均勻絲網(wǎng),導(dǎo)流片布置在方形四角上。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,通過調(diào)整四組陰陽電極的加電時(shí)序來調(diào)整四個(gè)陰陽電極間放電區(qū)域的放電和出光時(shí)間。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具`體實(shí)施方式,所述風(fēng)機(jī)為多級(jí)風(fēng)機(jī)。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,所述每級(jí)風(fēng)機(jī)的多個(gè)風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速為從光軸中央到兩端遞增。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,所述導(dǎo)流片布置在放電腔截面彎曲程度較大的地方,減少流阻,減少氣體流速損失。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,所述熱交換器熱采用翅片管束形式。根據(jù)本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
      ,所述熱交換器的內(nèi)孔通有冷卻水流,內(nèi)孔為圓形、橢圓形、方形;外部翅片采用流線型以減小熱交換器的流阻;熱交換器的材料導(dǎo)熱性能良好,且與放電腔內(nèi)工作氣體不相互反應(yīng);同一區(qū)域放置的熱交換器組由多根熱交換器交錯(cuò)排列形成。(三)有益效果本實(shí)用新型提供的新型氣體放電腔采用軸流風(fēng)機(jī)、導(dǎo)流吸塵板和均勻絲網(wǎng)等,降低了噪音和激波的產(chǎn)生,減少了聲場(chǎng)對(duì)放電腔的影響,并使放電區(qū)域流速更大、流場(chǎng)更均勻。除導(dǎo)流作用外,布置在放電腔體內(nèi)部的導(dǎo)流吸塵板能對(duì)全部工作氣體清潔除塵,同時(shí)能達(dá)到預(yù)電離效果且不會(huì)產(chǎn)生熱積累和流速損失。

      圖1是本實(shí)用新型氣體放電腔的截面圖;圖2a是本實(shí)用新型氣體放電腔的雙轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī)圖;圖2b是本實(shí)用新型氣體放電腔的雙轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī)的正視風(fēng)扇方向的截面圖;[0031]圖3是本實(shí)用新型氣體放電腔的風(fēng)機(jī)光軸方向示意圖;圖4是本實(shí)用新型氣體放電腔的導(dǎo)流吸塵板光軸方向示意圖;圖5a是本實(shí)用新型氣體放電腔的熱交換器的軸截面圖;圖5b是本實(shí)用新型氣體放電腔的熱交換器的橫截面圖;圖6是本實(shí)用新型氣體放電腔截面擴(kuò)展圖。
      具體實(shí)施方式
      為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合具體實(shí)施例,并參照附圖,對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。新型氣體放電腔的截面如圖1所示。該新型氣體放電腔包括風(fēng)機(jī)、導(dǎo)流片、熱交換器、電極、導(dǎo)流吸塵板和均勻絲網(wǎng)。所述風(fēng)機(jī)為軸流風(fēng)機(jī),所述風(fēng)機(jī)為多轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī),優(yōu)選的,為雙轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī)。如但不限如的舉例,一種雙轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī)如圖2a所示,遠(yuǎn)離電機(jī)端的轉(zhuǎn)子上安裝有整流頭,且該整流頭通過連接軸與電機(jī)輸出軸相連;連接軸上固定有外齒輪,與連接軸及遠(yuǎn)離電機(jī)端的轉(zhuǎn)子一起轉(zhuǎn)動(dòng);外齒輪驅(qū)動(dòng)圓心固定的4組行星齒輪運(yùn)轉(zhuǎn);行星齒輪驅(qū)動(dòng)內(nèi)齒輪運(yùn)轉(zhuǎn);內(nèi)齒輪與靠近電機(jī)端的轉(zhuǎn)子固定在一起。為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的技術(shù)方案,所述內(nèi)齒輪、外齒輪與行星齒輪可以有多種位置關(guān)系和旋轉(zhuǎn)方向,本實(shí)用新型圖2b示出了所述多種位置關(guān)系和旋轉(zhuǎn)方向中的一種。圖2b示出了內(nèi)齒輪、外齒輪和4組行星齒輪間的位置關(guān)系和旋轉(zhuǎn)方向。如圖2b所示,最外圈轉(zhuǎn)的是內(nèi)齒輪,最內(nèi)圈轉(zhuǎn)的是外齒輪,中間的4個(gè)轉(zhuǎn)輪就是4組行星齒輪(圖2b只通過圓圈簡(jiǎn)單示意內(nèi)齒輪、外齒輪和4組行星齒輪,沒有畫出齒)。這樣所述雙轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī)依靠一個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)雙轉(zhuǎn)子的正反方向旋轉(zhuǎn)。所述雙轉(zhuǎn)子的每個(gè)轉(zhuǎn)子上都有扇葉,每個(gè)轉(zhuǎn)子上的扇葉可以為單扇葉或多扇葉,安裝于一個(gè)轉(zhuǎn)子上的扇葉為一組扇葉,安裝于另一個(gè)轉(zhuǎn)子上的扇葉為另一組扇葉,通過設(shè)計(jì)不同的扇葉面型及安裝方式,可以使反向旋轉(zhuǎn)的兩組扇葉在同一個(gè)方向上驅(qū)動(dòng)氣體流動(dòng)。通過設(shè)計(jì)不同的扇葉面型及安裝方式使反向旋轉(zhuǎn)的兩組扇葉在同一方向上驅(qū)動(dòng)氣體流動(dòng),這屬于氣體動(dòng)力學(xué)里對(duì)翼型的研究領(lǐng)域,這一研究在流體力學(xué)中已經(jīng)非常成熟,屬于本領(lǐng)域的現(xiàn)有技術(shù),在此不做贅述。這樣的反向旋轉(zhuǎn)不但可以增大氣體的流動(dòng)速度,而且可以降低噪音和激波的產(chǎn)生,減少聲場(chǎng)對(duì)放電腔的影響。如但不限如的舉例,所選用的電機(jī)為陶瓷電機(jī),在放電腔外部遙控操作電機(jī)。—般來說,在光軸方向上風(fēng)場(chǎng)的長(zhǎng)度要遠(yuǎn)大于風(fēng)扇扇葉的直徑,這就要求在光軸方向上布置多個(gè)風(fēng)機(jī)。風(fēng)機(jī)光軸方向布置如圖3所示。可以通過調(diào)節(jié)圖3所示的不同風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速,來達(dá)到陰陽電極間工作氣體光軸方向流速的均勻性要求;因光軸方向兩端有壁面效應(yīng)降低流速,每級(jí)風(fēng)機(jī)的多個(gè)風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速一般都是從光軸中央到兩端遞增來維持流速均勻性。另外,可以設(shè)置多級(jí)風(fēng)機(jī)來滿足放電區(qū)域流場(chǎng)大小要求,如圖1所示為兩級(jí)風(fēng)機(jī)。圖1中導(dǎo)流吸塵板沿光軸方向的布置如圖4所示。導(dǎo)流吸塵板是由多組薄板組成,可以使放電區(qū)域流場(chǎng)更均勻。另外,導(dǎo)流吸塵板間隔交錯(cuò)分別與該氣體放電腔的上下基板相連。所述導(dǎo)流吸塵板間隔交錯(cuò)分別與該氣體放電腔的上下基板相連具體可以如圖4所示從所述多組薄板的一側(cè)(如圖4所示的多組薄板的最左側(cè)或最右側(cè))開始,第I塊薄板、第3塊薄板、第5塊薄板、……與該氣體放電腔的上基板相連,第2塊薄板、第4塊薄板、第6塊薄板、……與該氣體放電腔的下基板相連。圖4所示的導(dǎo)流吸塵板分別與氣體放電腔的上下基板相連的方式只是一個(gè)舉例,實(shí)際的相連方式可以由本領(lǐng)域技術(shù)人員靈活設(shè)置,例如連續(xù)兩塊薄板與所述上基板相連,然后連續(xù)兩塊薄板與所述下基板相連,再連續(xù)兩塊薄板與所述上基板相連,等等多種方式。在上下基板上分別加載不同電壓,這樣在薄板間流過的工作氣體中的放電雜質(zhì)可以靜電吸附在薄板上,達(dá)到凈化全部工作氣體的目的。而且,導(dǎo)流吸塵板加載電壓后形成平板電容陣,可以部分電離工作氣體,起到預(yù)電離的作用幫助陰陽電極放電。這樣的預(yù)電離遠(yuǎn)離主電極區(qū)域,不會(huì)產(chǎn)生熱量積累,也不需要在主電極迎風(fēng)或背風(fēng)面留有間隙從而產(chǎn)生一部分壓力損失而降低放電區(qū)域流速。圖1中均勻絲網(wǎng)由一排或多排與光軸方向平行的細(xì)絲組成,它與導(dǎo)流吸塵板形成工作氣體流動(dòng)方向的截面網(wǎng)格,使放電區(qū)域流場(chǎng)更均勻。如圖1所示,在放電腔截面彎曲程度較大的地方布置導(dǎo)流片,減少流阻從而減少氣體流速損失;陰陽電極在工作氣體流動(dòng)方向設(shè)置喇叭口流道,適當(dāng)增大工作氣體流速;熱交換器用來帶走放電腔內(nèi)的熱量;放電腔腔體內(nèi)壁可以布置有吸聲材料(圖中未畫出)。為了增加散熱面積、保證系統(tǒng)散熱效率,熱交換器采用翅片管束形式。內(nèi)孔通有冷卻水流,內(nèi)孔為圓形、橢圓形、方形等形狀;外部翅片采用流線型以減小熱交換器的流阻;熱交換器的材料需導(dǎo)熱性能良好,且與放電腔內(nèi)工作氣體不相互反應(yīng);同一區(qū)域放置的熱交換器組由多根熱交換器交錯(cuò)排列形成。單根熱交換器的軸截面如圖5a所示,單根熱交換器的橫截面如圖5b所示。圖1所示的新型放電腔截面圖可以進(jìn)一步擴(kuò)展,如但不限如的舉例,可擴(kuò)展成圖6所示的典型氣體放電腔截面圖。圖6所示的典型氣體放電腔為方形流道截面,每邊都相同布置有風(fēng)機(jī)、熱交換器、電極、導(dǎo)流吸塵板和均勻絲網(wǎng),導(dǎo)流片布置在方形四角上。當(dāng)四組陰陽電極同時(shí)加電時(shí)可以實(shí)現(xiàn)四個(gè)陰陽電極間放電區(qū)域同時(shí)放電和出光。也可以通過調(diào)整四組陰陽電極的加電時(shí)序來調(diào)整四個(gè)陰陽電極間放電區(qū)域的放電和出光時(shí)間。以上所述的具體實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明,應(yīng)理解的是,以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已,并不用于限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的 精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
      權(quán)利要求1.一種氣體激光光源的放電腔,包括風(fēng)機(jī)、導(dǎo)流片、熱交換器、電極、導(dǎo)流吸塵板和均勻絲網(wǎng),其特征在于,所述風(fēng)機(jī)為雙轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī),所述雙轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī)依靠一個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)雙轉(zhuǎn)子的正反方向旋轉(zhuǎn)。
      2.如權(quán)利要求1所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,在光軸方向上布置多個(gè)風(fēng)機(jī),通過調(diào)節(jié)不同風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速,達(dá)到陰陽電極間工作氣體光軸方向流速的均勻性要求。
      3.如權(quán)利要求1所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,所述導(dǎo)流吸塵板是由多組薄板組成,使放電區(qū)域流場(chǎng)更均勻。
      4.如權(quán)利要求3所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,所述導(dǎo)流吸塵板間隔交錯(cuò)分別與該氣體放電腔的上下基板相連,可以在上下基板上分別加載不同電壓,在薄板間流過的工作氣體中的放電雜質(zhì)被靜電吸附在薄板上,達(dá)到凈化全部工作氣體的目的。
      5.如權(quán)利要求4所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,所述導(dǎo)流吸塵板加載電壓后形成平板電容陣,可以部分電離工作氣體。
      6.如權(quán)利要求1所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,所述雙轉(zhuǎn)子的每個(gè)轉(zhuǎn)子上都有扇葉,安裝于一個(gè)轉(zhuǎn)子上的扇葉為一組扇葉,安裝于另一個(gè)轉(zhuǎn)子上的扇葉為另一組扇葉,通過不同的扇葉面型及安裝方式,使正反方向旋轉(zhuǎn)的兩組扇葉在同一方向上驅(qū)動(dòng)氣體流動(dòng)。
      7.如權(quán)利要求1所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,所述電機(jī)為陶瓷電機(jī)。
      8.如權(quán)利要求1所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,通過外部遙控操作電機(jī)。
      9.如權(quán)利要求1所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,遠(yuǎn)離電機(jī)端的轉(zhuǎn)子上安裝有整流頭,且該整流頭通過連接軸與電機(jī)輸出軸相連;連接軸上固定有外齒輪,與連接軸及遠(yuǎn)離電機(jī)端的轉(zhuǎn)子一起轉(zhuǎn)動(dòng);外齒輪驅(qū)動(dòng)圓心固定的4組行星齒輪運(yùn)轉(zhuǎn);行星齒輪驅(qū)動(dòng)內(nèi)齒輪運(yùn)轉(zhuǎn);內(nèi)齒輪與靠近電機(jī)端的轉(zhuǎn)子固定在一起。
      10.如權(quán)利要求1所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,所述氣體放電腔內(nèi)壁布置吸聲材料。
      11.如權(quán)利要求1所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,所述氣體放電腔為方形流道截面,每邊都相同布置有風(fēng)機(jī)、熱交換器、電極、導(dǎo)流吸塵板和均勻絲網(wǎng),導(dǎo)流片布置在方形四角上。
      12.如權(quán)利要求11所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,通過調(diào)整四組陰陽電極的加電時(shí)序來調(diào)整四個(gè)陰陽電極間放電區(qū)域的放電和出光時(shí)間。
      13.如權(quán)利要求2所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,所述風(fēng)機(jī)為多級(jí)風(fēng)機(jī)。
      14.如權(quán)利要求2所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,所述每級(jí)風(fēng)機(jī)的多個(gè)風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速為從光軸中央到兩端遞增。
      15.如權(quán)利要求1所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,所述導(dǎo)流片布置在放電腔截面彎曲程度較大的地方,減少流阻,減少氣體流速損失。
      16.如權(quán)利要求1所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,所述熱交換器熱采用翅片管束形式。
      17.如權(quán)利要求16所述的氣體激光光源的放電腔,其特征還在于,所述熱交換器的內(nèi)孔通有冷卻水流,內(nèi)孔為圓形、橢圓形、方形;外部翅片采用流線型以減小熱交換器的流阻;熱 交換器的材料導(dǎo)熱性能良好,且與放電腔內(nèi)工作氣體不相互反應(yīng);同一區(qū)域放置的熱交換器組由多根熱交換器交錯(cuò)排列形成。
      專利摘要本實(shí)用新型公開了一種新型氣體放電腔,包括風(fēng)機(jī)、導(dǎo)流片、熱交換器、電極、導(dǎo)流吸塵板和均勻絲網(wǎng)。該氣體放電腔采用軸流風(fēng)機(jī)、導(dǎo)流吸塵板和均勻絲網(wǎng)等,降低了噪音和激波的產(chǎn)生,減少了聲場(chǎng)對(duì)放電腔的影響,并使放電區(qū)域流速更大、流場(chǎng)更均勻。布置在放電腔體內(nèi)部的導(dǎo)流吸塵板除導(dǎo)流作用外,能對(duì)全部工作氣體清潔除塵,同時(shí)能達(dá)到預(yù)電離效果且不會(huì)產(chǎn)生熱積累和流速損失。
      文檔編號(hào)H01S3/041GK202872166SQ201220465438
      公開日2013年4月10日 申請(qǐng)日期2012年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月13日
      發(fā)明者陳進(jìn)新, 王宇 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院光電研究院
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