專利名稱：晶圓固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路芯片處理技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種晶圓固定裝置。
背景技術(shù)：
CIS芯片是一種圖像信號(hào)處理器芯片，該芯片專為圖像傳感器芯片，它對(duì)接受的光線(圖像)進(jìn)行處理，被廣泛用在掃描儀、傳真機(jī)、數(shù)碼攝像機(jī)、照相機(jī)中。對(duì)CIS芯片的晶圓的測(cè)試是通過(guò)成測(cè)機(jī)完成的，在測(cè)試過(guò)程中，要將晶圓進(jìn)行固定而實(shí)施光學(xué)測(cè)試，現(xiàn)有的固定方式是通過(guò)壓針將晶圓壓緊在固定架上，由于晶圓的精度要求高，現(xiàn)有的壓緊固定方式很容易對(duì)晶圓產(chǎn)生物理性損傷，造成晶圓的浪費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，提供一種晶圓固定裝置，以期能夠快速安全地固定晶圓，以便對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試。本發(fā)明采取的技術(shù)方案是:
一種晶圓固定裝置，其 特征是，包括承載板、限位板和移動(dòng)板，所述承載板中間開(kāi)有圓孔，在所述圓孔的邊緣設(shè)有環(huán)形放置槽，在所述環(huán)形放置槽內(nèi)設(shè)置光學(xué)玻璃，所述限位板為半圓環(huán)形，所述限位板固定設(shè)置在所述承載板的第一側(cè)，所述限位板的內(nèi)圓弧的弧度小于180度，所述限位板的內(nèi)圓弧位于所述光學(xué)玻璃的上方，所述限位板的內(nèi)徑小于所述圓孔的半徑，所述移動(dòng)板設(shè)置在所述承載板的第二側(cè)，所述移動(dòng)板為半圓環(huán)形，所述移動(dòng)板的內(nèi)圓弧的弧度小于180度，所述移動(dòng)板的內(nèi)圓弧位于所述光學(xué)玻璃的上方，所述移動(dòng)板的內(nèi)徑和所述限位板的內(nèi)徑相等，在所述承載板的第二側(cè)設(shè)置導(dǎo)向槽和固定部件，所述移動(dòng)板通過(guò)導(dǎo)向件能夠在所述導(dǎo)向槽內(nèi)移動(dòng)，所述移動(dòng)板的移動(dòng)方向?yàn)樗鱿尬话宓膬?nèi)圓弧的中點(diǎn)與所述移動(dòng)板的內(nèi)圓弧的中點(diǎn)的連線方向，所述固定部件能夠?qū)⑺鲆苿?dòng)板固定在某一位置上，所述限位板和所述移動(dòng)板的內(nèi)圓弧的邊緣設(shè)有壓圈。進(jìn)一步，在所述限位板和所述移動(dòng)板的內(nèi)圓弧的邊緣還設(shè)有齒紋，所述齒紋設(shè)置在所述壓圈的下方，所述齒紋的高度小于晶圓的厚度。進(jìn)一步，所述導(dǎo)向槽和導(dǎo)向件分別為多個(gè)，對(duì)稱設(shè)置在所述移動(dòng)板的對(duì)稱軸的兩側(cè)。進(jìn)一步，所述固定部件為設(shè)置在所述承載板第二側(cè)側(cè)邊的固定銷。進(jìn)一步，所述固定銷內(nèi)設(shè)有拉力彈簧，所述拉力彈簧使所述固定銷對(duì)所述移動(dòng)板產(chǎn)生一個(gè)向所述承載板第一側(cè)方向的壓力。進(jìn)一步，所述固定銷為兩個(gè)，對(duì)稱設(shè)置于所述移動(dòng)板的對(duì)稱軸的兩側(cè)。進(jìn)一步，所述限位板的內(nèi)圓弧的圓心與所述承載板中間的圓孔的圓心的連線垂直于所述承載板的表面。本發(fā)明的有益效果是:
(I)通過(guò)側(cè)邊壓緊方式，使晶圓表面不受損傷；(2)齒紋限位方式使晶圓精確定位，避免移動(dòng)磨損；
(3)彈簧鎖定的固定方式，減小晶圓的應(yīng)力變形。


附圖1為本發(fā)明的主視 附圖2為本發(fā)明的后視 附圖3為附圖2的A的局部放大圖。附圖中的標(biāo)記分別為:
1.承載板；2.圓孔；
3.環(huán)形放置槽；4.光學(xué)玻璃；
5.限位板；6.移動(dòng)板；
7.導(dǎo)向槽；8.導(dǎo)向件；
9.固定銷；10.壓圈；
I1.齒紋。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明晶圓固定裝置的具體實(shí)施方式
作詳細(xì)說(shuō)明。參見(jiàn)附圖1、2，承載板I為類似于圓形形狀，也可以設(shè)計(jì)成其它形狀，使其有利于通過(guò)成測(cè)機(jī)進(jìn)行測(cè)試，承載板I的中間開(kāi)有圓孔2，在圓孔2的邊緣設(shè)有環(huán)形放置槽3，在環(huán)形放置槽3內(nèi)設(shè)置光學(xué)玻璃4，在承載板I的第一側(cè)，即圖1中的左側(cè)，固定設(shè)置限位板5，限位板5呈半圓環(huán)形，其內(nèi)圓弧的弧度小于180度，限位板5的內(nèi)圓弧位于光學(xué)玻璃4的上方，限位板5的內(nèi)徑小于圓孔2的半徑，優(yōu)選地，限位板5的內(nèi)圓弧的圓心與承載板I中間的圓孔2的圓心的連線垂直于承載板I的表面。在承載板I的第二側(cè)，即圖1中的右側(cè)，設(shè)置移動(dòng)板6,移動(dòng)板6呈半圓環(huán)形,其內(nèi)圓弧的弧度小于180度,移動(dòng)板6的內(nèi)圓弧位于光學(xué)玻璃4的上方，移動(dòng)板6的內(nèi)徑小于圓孔2的半徑，移動(dòng)板6的內(nèi)徑和限位板5的內(nèi)徑相等。在承載板I的右側(cè)或兩側(cè)設(shè)置導(dǎo)向槽7，導(dǎo)向槽為橫向，移動(dòng)板6通過(guò)固定設(shè)置在其上的導(dǎo)向件8能夠在導(dǎo)向槽7內(nèi)移動(dòng)，移動(dòng)板6的移動(dòng)方向?yàn)閳D中的橫向，即限位板5的內(nèi)圓弧的中點(diǎn)與移動(dòng)板6的內(nèi)圓弧的中點(diǎn)的連線方向，在承載板I的右側(cè)側(cè)邊設(shè)置固定銷9，固定銷9為兩個(gè),對(duì)稱于移動(dòng)板6的對(duì)稱軸，固定銷用于固定移動(dòng)板6,待測(cè)晶圓放置于圓2內(nèi)的光學(xué)玻璃4上，通過(guò)移動(dòng)板7的橫向移動(dòng)將晶圓卡于限位板5和移動(dòng)板6之間，這時(shí)通過(guò)固定銷9將移動(dòng)板6固定，導(dǎo)致晶圓被穩(wěn)定地固定。在固定銷9內(nèi)設(shè)有拉力彈簧(圖中未示出)，拉力彈簧使固定銷9對(duì)移動(dòng)板產(chǎn)生一個(gè)向承載板左側(cè)方向的壓力。合適的彈簧力不僅能夠保證晶圓固定的牢固，又不會(huì)損傷晶圓。在限位板5和移動(dòng)板6的內(nèi)圓弧的邊緣設(shè)有壓圈10和齒紋11 (參見(jiàn)附圖3)，齒紋11設(shè)置于壓圈10的下方，兩者均可選用橡膠等軟質(zhì)材料，齒紋11的高度小于晶圓的厚度。在對(duì)晶圓進(jìn)行固定時(shí)，齒紋11先對(duì)晶圓進(jìn)行限位，然后通過(guò)移動(dòng)板6的移動(dòng)，使壓圈對(duì)晶圓進(jìn)行側(cè)邊壓緊固定。由于限位板5的移動(dòng)板6的內(nèi)徑圓弧都小于180度，因此，當(dāng)兩者合攏時(shí)，可以固定住半徑小于它們內(nèi)徑的晶圓，甚至略大于它們內(nèi)徑的晶圓也可以固定。繼續(xù)參見(jiàn)附圖本發(fā)明的使用過(guò)程是，拉出固定銷9，將移動(dòng)板6向右側(cè)移動(dòng)后，在光學(xué)玻璃4上放置晶圓，將移動(dòng)板6向左側(cè)移動(dòng)，齒形10將晶圓定位在光學(xué)玻璃4的某個(gè)位置后，推入固定銷9，使壓圈10將晶圓壓緊在限位板5和移動(dòng)板6之間。將固定好晶圓的裝置送到晶圓成測(cè)機(jī)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)完成后，將固定銷9拉出，將移動(dòng)板6向右側(cè)移開(kāi)，取下已測(cè)晶圓，更換上未測(cè)試的晶圓。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。`
權(quán)利要求
1.一種晶圓固定裝置，其特征在于:包括承載板、限位板和移動(dòng)板，所述承載板中間開(kāi)有圓孔，在所述圓孔的邊緣設(shè)有環(huán)形放置槽，在所述環(huán)形放置槽內(nèi)設(shè)置光學(xué)玻璃，所述限位板為半圓環(huán)形，所述限位板固定設(shè)置在所述承載板的第一側(cè)，所述限位板的內(nèi)圓弧的弧度小于180度，所述限位板的內(nèi)圓弧位于所述光學(xué)玻璃的上方，所述限位板的內(nèi)徑小于所述圓孔的半徑，所述移動(dòng)板設(shè)置在所述承載板的第二側(cè)，所述移動(dòng)板為半圓環(huán)形，所述移動(dòng)板的內(nèi)圓弧的弧度小于180度,所述移動(dòng)板的內(nèi)圓弧位于所述光學(xué)玻璃的上方,所述移動(dòng)板的內(nèi)徑和所述限位板的內(nèi)徑相等，在所述承載板的第二側(cè)設(shè)置導(dǎo)向槽和固定部件，所述移動(dòng)板通過(guò)導(dǎo)向件能夠在所述導(dǎo)向槽內(nèi)移動(dòng)，所述移動(dòng)板的移動(dòng)方向?yàn)樗鱿尬话宓膬?nèi)圓弧的中點(diǎn)與所述移動(dòng)板的內(nèi)圓弧的中點(diǎn)的連線方向，所述固定部件能夠?qū)⑺鲆苿?dòng)板固定在某一位置上，所述限位板和所述移動(dòng)板的內(nèi)圓弧的邊緣設(shè)有壓圈。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定裝置，其特征在于:在所述限位板和所述移動(dòng)板的內(nèi)圓弧的邊緣還設(shè)有齒紋，所述齒紋設(shè)置在所述壓圈的下方，所述齒紋的高度小于晶圓的厚度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶圓固定裝置，其特征在于:所述導(dǎo)向槽和導(dǎo)向件分別為多個(gè)，對(duì)稱設(shè)置在所述移動(dòng)板的對(duì)稱軸的兩側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶圓固定裝置，其特征在于:所述固定部件為設(shè)置在所述承載板第二側(cè)側(cè)邊的固定銷。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓固定裝置，其特征在于:所述固定銷內(nèi)設(shè)有拉力彈簧，所述拉力彈簧使所述固定銷對(duì)所述移動(dòng)板產(chǎn)生一個(gè)向所述承載板第一側(cè)方向的壓力。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓固定裝置，其特征在于:所述固定銷為兩個(gè)，對(duì)稱設(shè)置于所述移動(dòng)板的對(duì)稱軸的兩側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶圓固定裝置，其特征在于:所述限位板的內(nèi)圓弧的圓心與所述承載板中間的圓孔 的圓心的連線垂直于所述承載板的表面。
全文摘要
本發(fā)明涉及集成電路芯片處理技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種晶圓固定裝置，包括承載板、限位板和移動(dòng)板，承載板中間開(kāi)有圓孔并設(shè)置光學(xué)玻璃，限位板為半圓環(huán)形，限位板固定設(shè)置在承載板的第一側(cè)，移動(dòng)板設(shè)置在承載板的第二側(cè)，移動(dòng)板的內(nèi)徑和限位板的內(nèi)徑相等，在承載板的第二側(cè)設(shè)置導(dǎo)向槽和固定部件，移動(dòng)板通過(guò)導(dǎo)向件能夠在導(dǎo)向槽內(nèi)移動(dòng)，移動(dòng)板的移動(dòng)方向?yàn)橄尬话宓膬?nèi)圓弧的中點(diǎn)與移動(dòng)板的內(nèi)圓弧的中點(diǎn)的連線方向，固定部件能夠?qū)⒁苿?dòng)板固定在某一位置上，限位板和移動(dòng)板的內(nèi)圓弧的邊緣設(shè)有壓圈。本發(fā)明通過(guò)側(cè)邊壓緊方式，使晶圓表面不受損傷。
文檔編號(hào)H01L21/687GK103236414SQ20131018445
公開(kāi)日2013年8月7日 申請(qǐng)日期2013年5月17日 優(yōu)先權(quán)日2013年5月17日
發(fā)明者朱玉萍, 岑剛 申請(qǐng)人:嘉興景焱智能裝備技術(shù)有限公司