具有加熱功能的工件傳輸裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種具有加熱功能的工件傳輸裝置，涉及半導體加工制造【技術領域】。該工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置。其中，所述工件傳輸裝置包括：設置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件；設置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動組件；設置在所述支撐組件上、用于為所述傳動組件提供傳送動力的動力組件；設置在所述傳動組件側，用于對所述工件進行加熱處理的加熱組件。本發(fā)明的技術方案對工件采用傳送的方式，另外在傳送過程中還可以對工件進行加熱處理，能夠減少工件傳遞和加熱處理的時間消耗，提高工件處理效率。
【專利說明】具有加熱功能的工件傳輸裝置

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體加工制造【技術領域】，特別是指一種具有加熱功能的工件傳輸裝置。

【背景技術】
[0002]半導體器件(如集成電路、LED等)處理加工過程中，在一個加工工位對工件完成相應處理后，往往需要從當前加工工位轉移到另外一個加工工位進行下一步處理，現(xiàn)有技術中一般是由工件處理裝置在加工工位之間搬運工件，由于加工工位之間存在一定距離，而工件處理裝置的運動速度有限，因此工件的傳輸和處理效率比較低，進而導致工件的生產成本比較高。
[0003]另外，在工件進入工件處理裝置之前，還需要對工件進行各種預處理，進一步增加了時間消耗。


【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種具有加熱功能的工件傳輸裝置，對工件采用傳送的方式，并在傳送過程中對工件進行加熱處理，能夠減少工件傳遞和加熱處理的時間消耗，提高工件處理效率。
[0005]為解決上述技術問題，本發(fā)明的實施例提供技術方案如下:
[0006]一方面，提供一種工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置，所述工件傳輸裝置包括:
[0007]設置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件；
[0008]設置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動組件；
[0009]設置在所述支撐組件上、用于為所述傳動組件提供傳送動力的動力組件；
[0010]設置在所述傳動組件側，用于對所述工件進行加熱處理的加熱組件。
[0011 ] 具體地,所述傳動組件包括:
[0012]設置在所述支撐組件上的導軌；
[0013]設置在所述導軌上、能夠沿所述導軌滑動的滑塊；
[0014]固定在所述滑塊上、用于承載所述工件的工件支具；
[0015]設置在所述導軌內側、用于帶動所述工件支具旋轉從而帶動所述滑塊沿所述導軌滑動的同步帶。
[0016]進一步地，所述導軌為圓形導軌、橢圓形導軌或直曲導軌。
[0017]進一步地，所述傳動組件由動力組件驅動，實現(xiàn)自動和準確的工件傳輸。
[0018]進一步地,所述動力組件包括:
[0019]電機；
[0020]與所述電機連接的第一輪軸、以及與所述第一輪軸對應連接的第一帶輪；
[0021]與所述第一輪軸相對設置的第二輪軸、以及與所述第二輪軸對應連接的第二帶輪；
[0022]其中，所述第一帶輪和第二帶輪與所述同步帶嚙合，所述第一帶輪能夠在所述電機的作用下旋轉，通過與所述同步帶的嚙合帶動所述同步帶轉動，進而傳動所述第二帶輪旋轉。
[0023]進一步地，所述第一輪軸通過聯(lián)軸器與所述電機連接。
[0024]進一步地，所述支撐組件包括:
[0025]支撐基板；
[0026]設置在所述支撐基板上的上支板立柱；
[0027]設置在所述上支板立柱上的上支板；
[0028]其中，所述電機固定在所述上支板上，所述第一輪軸和第二輪軸設置在所述上支板和支撐基板之間。
[0029]具體地,所述傳動組件包括:
[0030]設置在所述支撐組件上的導軌，所述導軌為圓形導軌、橢圓形導軌或直曲導軌；
[0031]位于所述導軌上、能夠沿所述導軌滑動的滑塊；
[0032]固定在所述滑塊上，用于承載所述工件的工件支具；
[0033]所述動力組件包括:
[0034]設置在所述支撐組件上，以所述導軌為定子，以所述滑塊為動子的電機。進一步地，所述滑塊作為電機動子能夠帶動工件支具實現(xiàn)自動和準確的工件傳輸。
[0035]進一步地，所述支撐組件包括:
[0036]支撐基板；
[0037]其中，所述電機固定在所述支撐基板上。
[0038]其中，所述加熱組件包括:
[0039]設置在所述導軌上方的至少一個加熱器。
[0040]進一步地，當所述加熱組件包括有至少兩個加熱器時，在所述傳動組件的傳動方向上，所述至少兩個加熱器的設定溫度逐漸升高。
[0041]本發(fā)明的實施例具有以下有益效果:
[0042]上述方案中，對工件采用傳送的方式，能夠減少工件的傳遞時間，提高工件處理效率。另外在傳送過程中還可以對工件進行加熱預處理，進一步節(jié)省工件的生產時間，提高工件的生產效率，從而最終能夠降低工件的生產成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0043]圖1為本發(fā)明實施例一的工件傳輸裝置的結構示意圖；
[0044]圖2為圖1所示工件傳輸裝置的爆炸示意圖；
[0045]圖3為本發(fā)明實施例一的工件傳輸裝置的另一結構示意圖；
[0046]圖4為本發(fā)明實施例二的工件傳輸裝置的結構示意圖。

【具體實施方式】
[0047]為使本發(fā)明的實施例要解決的技術問題、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。
[0048]本發(fā)明的實施例針對現(xiàn)有技術中工件的傳輸方式導致工件處理效率比較低的問題，提供一種具有加熱功能的工件傳輸裝置，對工件采用傳送的方式，并在傳送過程中對工件進行加熱處理，能夠減少工件傳遞和預處理的時間消耗，提高工件處理效率。
[0049]本發(fā)明實施例的工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置，所述工件傳輸裝置包括:
[0050]設置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件；
[0051]設置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動組件；
[0052]設置在所述支撐組件上、用于為所述傳動組件提供傳送動力的動力組件；
[0053]設置在所述傳動組件側，用于對所述工件進行加熱處理的加熱組件。
[0054]具體地,所述傳動組件包括:
[0055]設置在所述支撐組件上的導軌；
[0056]設置在所述導軌上、能夠沿所述導軌滑動的滑塊；
[0057]固定在所述滑塊上、用于承載所述工件的工件支具；
[0058]設置在所述導軌內側、用于帶動所述工件支具旋轉從而帶動所述滑塊沿所述導軌滑動的同步帶。
[0059]進一步地，所述導軌為圓形導軌、橢圓形導軌或直曲導軌。
[0060]進一步地,所述動力組件包括:
[0061]電機；
[0062]與所述電機連接的第一輪軸、以及與所述第一輪軸對應連接的第一帶輪；
[0063]與所述第一輪軸相對設置的第二輪軸、以及與所述第二輪軸對應連接的第二帶輪；
[0064]其中，所述第一帶輪和第二帶輪與所述同步帶嚙合，所述第一帶輪能夠在所述電機的作用下旋轉，通過與所述同步帶的嚙合帶動所述同步帶轉動，進而傳動所述第二帶輪旋轉。
[0065]進一步地，所述第一輪軸通過聯(lián)軸器與所述電機連接。
[0066]進一步地，所述支撐組件包括:
[0067]支撐基板；
[0068]設置在所述支撐基板上的上支板立柱；
[0069]設置在所述上支板立柱上的上支板；
[0070]其中，所述電機固定在所述上支板上，所述第一輪軸和第二輪軸設置在所述上支板和支撐基板之間。
[0071 ] 具體地,所述傳動組件包括:
[0072]設置在所述支撐組件上的導軌，所述導軌為圓形導軌、橢圓形導軌或直曲導軌；
[0073]位于所述導軌上、能夠沿所述導軌滑動的滑塊；
[0074]固定在所述滑塊上，用于承載所述工件的工件支具；
[0075]所述動力組件包括:
[0076]設置在所述支撐組件上，以所述導軌為定子，以所述滑塊為動子的電機。
[0077]進一步地，所述滑塊作為電機動子能夠帶動工件支具實現(xiàn)自動和準確的工件傳輸。
[0078]進一步地，所述支撐組件包括:
[0079]支撐基板；
[0080]其中，所述電機固定在所述支撐基板上。
[0081 ] 具體地，所述加熱組件包括:
[0082]設置在所述導軌上方的至少一個加熱器。
[0083]進一步地，當所述加熱組件包括有至少兩個加熱器時，在所述傳動組件的傳動方向上，所述至少兩個加熱器的設定溫度逐漸升高。
[0084]其中，所述加熱器包括但不限于電加熱器和紅外加熱器。
[0085]本發(fā)明的具有加熱功能的工件傳輸裝置，對工件采用傳送的方式，能夠減少工件的傳遞時間，提高工件處理效率。另外在傳送過程中還可以對工件進行加熱預處理，進一步節(jié)省工件的生產時間，提高工件的生產效率，從而最終能夠降低工件的生產成本。
[0086]下面結合具體的實施例以及附圖對本發(fā)明的具有加熱功能的工件傳輸裝置進行進一步地說明:
[0087]實施例一
[0088]如圖1?圖3所示，本發(fā)明的工件傳輸裝置中，包括有支撐組件、傳動組件、動力組件和用于對所述工件進行加熱處理的加熱組件3。
[0089]其中，支撐組件包括:設置在整機臺板14上的支撐基板16 ;固定設置在支撐基板16上的上支板立柱7 ;通過螺釘固定在上支板立柱7上的上支板5。
[0090]傳動組件包括:設置在支撐基板16上方的導軌10 ;設置在導軌10上、能夠沿導軌10滑動的滑塊11 ;固定在滑塊11上的工件支具2 ;設置在導軌10內側的同步帶17，工件支具2通過螺釘夾緊在同步帶17上，這樣同步帶17能夠帶動工件支具2旋轉從而帶動滑塊11沿導軌10滑動。其中導軌10可以為圓形導軌、橢圓形導軌或直曲導軌，本實施例中，具體地，導軌10可以為橢圓形直曲導軌。
[0091]動力組件包括:固定在上支板5上的電機13 ;通過聯(lián)軸器9與電機13連接的第一輪軸15，與第一輪軸15對應連接的第一帶輪8 ;與第一輪軸15相對設置的第二輪軸4 ;與第二輪軸4對應連接的第二帶輪6。其中,第一輪軸15和第二輪軸4位于上支板5和支撐基板16之間,第一帶輪8和第二帶輪6與同步帶17哨合。當然,應當理解的是,還可以采用本領域技術人員容易想到的其他安裝結構來安裝第一帶輪8和第二帶輪6，均不影響本實施例技術方案的實施。
[0092]加熱組件3包括:設置在導軌10上方的至少一個加熱器31。當加熱組件包括有至少兩個加熱器31時，每個加熱器31可以設定不同的溫度，使工件在經過不同的加熱器31后達到不同的溫度，具體地，在導軌10的傳動方向上，加熱器的設定溫度逐漸升高，這樣可以實現(xiàn)工件均勻升溫。
[0093]在本實施例的工件傳輸裝置工作時，電機13旋轉時，通過第一輪軸15帶動第一帶輪8旋轉，第一帶輪8通過與同步帶17的嚙合帶動同步帶17轉動，進而傳動第二帶輪6旋轉，工件支具2通過螺釘夾緊在同步帶17上，同步帶17轉動時帶動工件支具2旋轉，工件支具2帶動滑塊11沿導軌10滑動，在工件支具2旋轉至加熱器31下方時，位于工件支具2上的工件被加熱，當導軌10上方設置有多個加熱器31，并且在導軌10的傳動方向上，多個加熱器31的設定溫度逐漸升高時，工件支具2上的工件在依次經過多個加熱器31后，逐漸升溫。之后，下一個工件支具2又被旋轉到加熱器31下方，再完成加熱動作。如此反復進行，實現(xiàn)對工件的加熱預處理后，將工件傳送至工件處理裝置。
[0094]其中，導軌10的一端靠近工件提供裝置，另一端靠近工件處理裝置。在工件提供裝置端，工件提供裝置將待處理的工件放置在工件支具2上，通過工件傳輸裝置將工件傳送到工件處理裝置端；在工件處理裝置端，工件處理裝置將工件從工件支具2上取下，并對工件進行處理。
[0095]本實施例中所述的工件包括但不限于晶片、芯片等。
[0096]本實施例的工件傳輸裝置在進行安裝時，各部分結構可用螺釘進行連接，例如:用螺釘將支撐基板16固定在整機臺板14上，調平導軌10和滑塊11，使滑塊11的上基準面在要求的誤差范圍內；用螺釘連接上支板立柱7與支撐基板16，用螺釘連接上支板立柱7與上支板5 ;通過軸承及軸承壓蓋安裝第一帶輪8、第二帶輪6、第一輪軸15和第二輪軸4到上支板5與支撐基板16，用螺釘連接電機13到上支板5，通過聯(lián)軸器9連接電機軸和第一輪軸15，安裝同步帶17與第一帶輪8、第二帶輪6，用螺釘連接工件支具2到滑塊11，用螺釘夾緊同步帶17與工件支具2，通過同步帶17的驅動可以帶動工件支具2及滑塊11沿導軌10運動。
[0097]本實施例中，工件在工件提供裝置端被裝載到工件支具上，并經過配置在導軌外側的加熱組件接受加熱處理，然后在工件處理裝置端被工件處理裝置獲取進行下一步操作。這樣的方式一方面保證工件處理裝置可以在較短的距離獲得工件；另一方面由于多個工件在工件傳輸裝置上可以并行接受加熱預處理，能夠進一步節(jié)省工件的加工時間，使得工件處理裝置能夠持續(xù)不斷地獲得已經完成加熱預處理的工件，提高了工件的生產效率，最終能夠降低工件的生產成本。
[0098]實施例二
[0099]本發(fā)明的工件傳輸裝置中，包括有支撐組件、傳動組件、動力組件和用于對所述工件進行加熱處理的加熱組件。
[0100]其中，支撐組件包括設置在整機臺板上的支撐基板。
[0101]如圖4所示，傳動組件包括:固定設置在支撐基板上的導軌21 ;設置在導軌21上，能夠沿導軌21滑動的滑塊22 ;固定在滑塊22上的工件支具23。
[0102]動力組件包括:固定設置在支撐基板上，以導軌21為定子、以滑塊22為動子的電機。電機可以驅動所有動子滑塊22沿定子導軌21移動，從而帶動工件支具23移動。其中導軌21可以為圓形導軌、橢圓形導軌或直曲導軌。本實施例中，具體地，如圖4所示，導軌21可以為橢圓形直曲導軌。
[0103]加熱組件包括:設置在導軌21上方的至少一個加熱器。
[0104]進一步地，當所述加熱組件包括有至少兩個加熱器時，在導軌21的傳動方向上，所述至少兩個加熱器的設定溫度逐漸升高。
[0105]在本實施例的工件傳輸裝置工作時，電機動子滑塊22帶動工件支具23從而帶動工件由工件提供裝置端移動到工件處理裝置端。在工件提供裝置端，工件提供裝置24將待處理的工件放置在動子滑塊22上的工件支具23中，工件支具23在電機的帶動下沿導軌21移動，在工件支具23旋轉至加熱器下方時，位于工件支具23上的工件被加熱，當導軌21上方設置有多個加熱器，并且在導軌21的傳動方向上，多個加熱器的設定溫度逐漸升高時，工件支具23上的工件在依次經過多個加熱器后，逐漸升溫。之后，下一個工件支具23又被旋轉到加熱器下方，再完成加熱動作。如此反復進行，實現(xiàn)對工件的加熱預處理后，將工件傳送至工件處理裝置25。在工件處理裝置端，工件處理裝置25將工件從工件支具中取下，并對工件進行處理。
[0106]本實施例中所述的工件包括但不限于晶片、芯片等。
[0107]本實施例的工件傳輸裝置在進行安裝時，直曲定子導軌21可用螺釘固定在支撐基板上或者直接連接在整機臺板上，以使整個傳輸裝置固定。承載工件用的工件支具23，與動子滑塊22的連接可以用螺釘連接或其他連接方式，例如磁力連接。工件提供裝置24、工件處理裝置25和加熱組件用螺釘固定在整機臺板上。
[0108]本實施例中，工件在工件提供裝置端被裝載到工件支具上，并經過配置在導軌外側的加熱組件接受加熱處理，然后在工件處理裝置端被工件處理裝置獲取進行下一步操作。這樣的方式一方面保證工件處理裝置可以在較短的距離獲得工件；另一方面由于多個工件在工件傳輸裝置上可以并行接受加熱預處理，能夠進一步節(jié)省工件的加工時間，使得工件處理裝置能夠持續(xù)不斷地獲得已經完成加熱預處理的工件，提高了工件的生產效率，最終能夠降低工件的生產成本。
[0109]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干變形、改進和潤飾，這些變形、改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。
【權利要求】
1.一種具有加熱功能的工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置，其特征在于，所述工件傳輸裝置包括: 設置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件； 設置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動組件； 設置在所述支撐組件上、用于為所述傳動組件提供傳送動力的動力組件； 設置在所述傳動組件側，用于對所述工件進行加熱處理的加熱組件。
2.根據權利要求1所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述傳動組件包括: 設置在所述支撐組件上的導軌； 設置在所述導軌上、能夠沿所述導軌滑動的滑塊； 固定在所述滑塊上、用于承載所述工件的工件支具； 設置在所述導軌內側、用于帶動所述工件支具旋轉從而帶動所述滑塊沿所述導軌滑動的同步帶。
3.根據權利要求2所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述導軌為圓形導軌、橢圓形導軌或直曲導軌。
4.根據權利要求2所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述傳動組件由動力組件驅動，實現(xiàn)自動和準確的工件傳輸。
5.根據權利要求2所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述動力組件包括: 電機； 與所述電機連接的第一輪軸、以及與所述第一輪軸對應連接的第一帶輪； 與所述第一輪軸相對設置的第二輪軸、以及與所述第二輪軸對應連接的第二帶輪；其中，所述第一帶輪和第二帶輪與所述同步帶嚙合，所述第一帶輪能夠在所述電機的作用下旋轉，通過與所述同步帶的嚙合帶動所述同步帶轉動，進而傳動所述第二帶輪旋轉。
6.根據權利要求5所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述第一輪軸通過聯(lián)軸器與所述電機連接。
7.根據權利要求5所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述支撐組件包括: 支撐基板； 設置在所述支撐基板上的上支板立柱； 設置在所述上支板立柱上的上支板； 其中，所述電機固定在所述上支板上，所述第一輪軸和第二輪軸設置在所述上支板和支撐基板之間。
8.根據權利要求1所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述傳動組件包括: 設置在所述支撐組件上的導軌，所述導軌為圓形導軌、橢圓形導軌或直曲導軌； 位于所述導軌上、能夠沿所述導軌滑動的滑塊； 固定在所述滑塊上，用于承載所述工件的工件支具； 所述動力組件包括: 設置在所述支撐組件上，以所述導軌為定子，以所述滑塊為動子的電機。
9.根據權利要求8所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述滑塊作為電機動子能夠帶動工件支具實現(xiàn)自動和準確的工件傳輸。
10.根據權利要求8所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述支撐組件包括: 支撐基板； 其中，所述電機固定在所述支撐基板上。
11.根據權利要求2或8所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述加熱組件包括: 設置在所述導軌上方的至少一個加熱器。
12.根據權利要求11所述的工件傳輸裝置，其特征在于，當所述加熱組件包括有至少兩個加熱器時，在所述傳動組件的傳動方向上，所述至少兩個加熱器的設定溫度逐漸升高。
【文檔編號】H01L21/677GK104183526SQ201310203119
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2013年5月28日 優(yōu)先權日:2013年5月28日
【發(fā)明者】唐亮, 朱偉, 葉樂志, 郎平 申請人:北京中電科電子裝備有限公司