無線傳輸模塊及應(yīng)用其的充氣座以及充氣柜的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種無線傳輸模塊及應(yīng)用其的充氣座以及充氣柜，該模塊包含有一微處理單元、一無線廣播單元、一天線單元、一電源管理單元及一流量端口，且天線單元通過無線廣播單元與微處理單元連接，又電源管理單元亦與微處理單元連接，以提供整個(gè)模塊所需的電力，再者該流量端口可用于接收一充氣座對應(yīng)流量計(jì)的流量信號(hào)。借此，可利用本實(shí)用新型無線傳輸模塊檢知充氣座的氣體流量，并以無線方式傳遞數(shù)據(jù)，且通過本實(shí)用新型的模塊化設(shè)計(jì)，可有效減少信號(hào)線的使用量，如此不僅可便于裝配，且進(jìn)一步可易于查檢與維修，能有效降低安裝、維護(hù)與維修的成本。
【專利說明】無線傳輸模塊及應(yīng)用其的充氣座以及充氣柜
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型關(guān)于一種無線傳輸?shù)谋O(jiān)控技術(shù)，具體而言涉及一種可簡化配線的無線傳輸模塊及應(yīng)用其的充氣座以及充氣柜，借以能達(dá)到易于安裝與檢修的目的。
【背景技術(shù)】
[0002]為了滿足電子產(chǎn)品輕薄短小、高頻、高效能等特性的發(fā)展，用于電子產(chǎn)品中的核心芯片就需微小化與具有高效能，而欲使芯片微小化、且具高效能，則需使芯片上的集成電路線徑微細(xì)化。而在集成電路微細(xì)化及降低成本的考慮下，晶圓的尺寸越來越大，且每一晶圓上的芯片數(shù)量也越來越多，因此晶圓的價(jià)值不斷提高，故制程中晶圓上的任何問題都可能造成極大的損失。
[0003]然而，晶圓/光罩于制作、清洗、操作與儲(chǔ)存、運(yùn)輸?shù)倪^程中，主要置于移轉(zhuǎn)容器內(nèi)部或無塵室環(huán)境中，其均存在有不少的微粒、水氣、氣體、化學(xué)溶劑分子等有害物質(zhì)，這些有害物質(zhì)在經(jīng)長時(shí)間儲(chǔ)存或曝光制程的加熱后，會(huì)于晶圓或光罩表面產(chǎn)生微粒附著、結(jié)晶、又或霧化等現(xiàn)象，以光罩應(yīng)用于黃光微影制程為例，其會(huì)直接影響到光罩的透光率，使光罩上的圖形失真，造成晶圓良率降低的現(xiàn)象，且增加清理與改善的時(shí)間，降低生產(chǎn)效率，相對上也會(huì)提聞營運(yùn)的成本。
[0004]為了解決這個(gè)問題，而在半導(dǎo)體制程中，運(yùn)用自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AutomatedMaterial Handling System, AMHS),與隔離進(jìn)出料標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口(Standard MechanicalInterface, SMIF)設(shè)備，來進(jìn)行光罩于不使用期間的維護(hù)與運(yùn)送，不但能取代傳統(tǒng)人工搬運(yùn)、降低無塵室設(shè)備的建置與維護(hù)成本，還能提升晶圓/光罩的潔凈度，達(dá)到超高生產(chǎn)良率，故近年來，AMHS與SMIF已被列為是國際間半導(dǎo)體廠的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備規(guī)范。
[0005]根據(jù)上述技術(shù)概念，晶圓/光罩除了在制程使用中，于一般運(yùn)送或保存期間，都必須將晶圓/光罩放置在一個(gè)高潔凈度、氣密性佳與低氣體逸出(Outgassing)的密封式載具內(nèi)，如晶圓傳送盒(F0UP)、晶圓運(yùn)輸盒(F0SB)、光罩傳送盒(Reticle SMIF Pod, RSP)，例如美國專利第US 4532970號(hào)與美國專利第US 4534389號(hào)的晶圓、光置密閉移轉(zhuǎn)系統(tǒng)，有效防止晶圓與光罩受到污染，以確保周圓環(huán)境的微粒不致進(jìn)入緊鄰光罩與晶圓的環(huán)境中。而為了提高前述密封式載具的潔凈度，通常會(huì)在前述密封式載具內(nèi)充填干凈的氣體(例如氮?dú)?N2))，使該載具內(nèi)部形成正壓，以減少有害氣體滲入為害，然受限于載具氣密性不足的問題，通常在一段時(shí)間后，即會(huì)因漏氣而失去效果，故近年來業(yè)界進(jìn)一步在其運(yùn)送設(shè)備上或儲(chǔ)存設(shè)備上設(shè)置一充氣座，通過充氣座不斷的對各該密封式載具進(jìn)行持續(xù)性的充氣，以維持該密封式載具內(nèi)部的潔凈。
[0006]然而現(xiàn)有的充氣座因設(shè)計(jì)問題，其僅能進(jìn)行持續(xù)性的充氣，使氣體不斷的連續(xù)性排出，造成不必要的惰性氣體浪費(fèi),不僅增加材料成本，同時(shí)大量的惰性氣體排入工作環(huán)境中，也會(huì)對工作人員的健康造成威脅。另外充氣座一般會(huì)在進(jìn)氣回路上設(shè)計(jì)流量計(jì)，以監(jiān)控其充氣的流量，避免因流量過大造成氣流損傷晶圓/光罩、又或因流量過小無法形成正壓，但一個(gè)大型的晶圓/光罩儲(chǔ)存柜體通常具有數(shù)百個(gè)充氣座，每一個(gè)充氣座設(shè)一個(gè)流量計(jì)，其數(shù)量極為龐大，造成操作人員查檢的不便，如將其以信號(hào)線逐一拉出至一個(gè)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)上，雖可獲得完整的數(shù)據(jù)，但其光要布置這些信號(hào)線就是極大的工程，且日后維護(hù)、維修上也是極大的不便，因此如何能讓工作人員實(shí)時(shí)掌控每一個(gè)充氣座的充氣狀況，同時(shí)具有易于安裝與維護(hù)之效，是相當(dāng)重要的課題。
[0007]因此，本發(fā)明人乃借由長期從事相關(guān)產(chǎn)業(yè)的研發(fā)與制作經(jīng)驗(yàn)，并依據(jù)前述的需求深入探討，而由本實(shí)用新型經(jīng)不斷努力的改良，終于成功開發(fā)一種無線傳輸模塊及應(yīng)用其的充氣座以及充氣柜，借以克服現(xiàn)有晶圓/光罩充氣座無法進(jìn)行充氣管理的不便與困擾。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0008]本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種可監(jiān)控充氣狀況的無線傳輸模塊及應(yīng)用其的充氣座以及充氣柜，借以使得每一個(gè)晶圓/光罩的載具在儲(chǔ)存過程中，可確保其充氣效率及有效性，進(jìn)而提升制程良率。
[0009]本實(shí)用新型的再一目的在于提供一種可降低成本的無線傳輸模塊及應(yīng)用其的充氣座以及充氣柜，使其能模塊化設(shè)計(jì)，于檢修時(shí)無需進(jìn)行信號(hào)線的查修，有效降低維護(hù)與維修的成本。
[0010]本實(shí)用新型的另一主要目的在于提供一種可提高效能的無線傳輸模塊及應(yīng)用其的充氣座以及充氣柜，其能供遠(yuǎn)程操控與管理，增進(jìn)整體制程管理的效能，并可減少氣材的浪費(fèi)。
[0011]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供一種無線傳輸模塊，其包含有:
[0012]一微處理單元；
[0013]一無線廣播單元，該無線廣播單元連接于微處理單元；
[0014]一天線單元連接該無線廣播單元，以收發(fā)一信號(hào)；
[0015]一流量端口，該流量端口連接該微處理單元，且該流量端口可供與一設(shè)于外部流量計(jì)選擇性連接；
[0016]一數(shù)據(jù)端口，該數(shù)據(jù)端口連接該微處理單元，且該數(shù)據(jù)端口可供與一設(shè)于外部的RFID讀取組件選擇性連接；
[0017]一電源管理單元，該電源管理單元連接前述的微處理單元，該電源管理單元可提供無線傳輸模塊所需的電源。
[0018]該無線廣播單元選自WiFi通訊模式。
[0019]該無線廣播單元選自藍(lán)芽通訊模式。
[0020]該微處理單元具有一氣流控制單元，該氣流控制單元連接一設(shè)于外部的控制驅(qū)動(dòng)組件，控制驅(qū)動(dòng)組件設(shè)于一外部的流量控制閥上，令控制驅(qū)動(dòng)組件可帶動(dòng)流量控制閥調(diào)整
流量大小。
[0021]該控制驅(qū)動(dòng)組件與該流量控制閥分別具有一可相互嚙合的齒輪。
[0022]—種充氣座,其中包含:
[0023]一基體，該基體上分設(shè)有至少一連接供氣回路的充氣閥件及至少一連接排氣回路的排氣閥件，基體上另設(shè)有一連接供氣回路的流量計(jì)，且充氣座的基體上設(shè)有一 RFID的讀取組件；及
[0024]至少一所述的無線傳輸模塊，固設(shè)于該基體中，對應(yīng)地針對流經(jīng)該充氣座的氣體產(chǎn)生并發(fā)射一信號(hào)。
[0025]該基體的供氣回路于流量計(jì)前方設(shè)有一流量控制閥。
[0026]一種充氣柜，其中包含:
[0027]—柜體,該柜體具有至少一架桿,且架桿外部周圍覆設(shè)有一側(cè)板；
[0028]至少一所述的充氣座，固設(shè)于該柜體的架桿中；
[0029]一無線接收模塊，該無線接收模塊設(shè)于柜體內(nèi)部，用以無線接收并傳遞該信號(hào)予各該充氣座的無線傳輸模塊；及
[0030]一處理模塊，該處理模塊設(shè)于柜體外部，且處理模塊利用一信號(hào)連接該無線接收模塊。
[0031]一種充氣柜，其中包含:
[0032]—柜體,該柜體具有至少一架桿,且架桿外部周圍覆設(shè)有一側(cè)板；
[0033]至少一所述的充氣座，固設(shè)于該柜體的架桿中；
[0034]一無線中繼接收器，該無線中繼接收器設(shè)于柜體內(nèi)部，用以無線方式接收并傳遞該信號(hào)予各該充氣座的無線傳輸模塊；
[0035]一無線接收模塊，該無線接收模塊設(shè)于柜體外部，用以無線方式接收并傳遞該信號(hào)予該無線中繼接收器；及
[0036]一處理模塊，該處理模塊設(shè)于柜體外部，且處理模塊利用一信號(hào)連接該無線接收模塊。
[0037]采用上述方案后，本實(shí)用新型通過前述技術(shù)手段的展現(xiàn)，使得本實(shí)用新型無線傳輸模塊在載具置于充氣座上進(jìn)行充氣時(shí)，可通過流量端口實(shí)時(shí)檢知充氣座對載具的供氣狀況，且可通過無線廣播單元實(shí)時(shí)傳遞至外部，而可供遠(yuǎn)程警示監(jiān)控，使得晶圓/光罩的載具在儲(chǔ)存過程中，能被有效的監(jiān)控其儲(chǔ)存狀況，增進(jìn)整體制程管理的效能，且可供遠(yuǎn)程操控與管理，并可減少氣材的浪費(fèi)。
[0038]本實(shí)用新型的進(jìn)一步有益效果是:本實(shí)用新型的充氣座的無線傳輸模塊以無線方式傳遞數(shù)據(jù)，而無需使用信號(hào)線，如此不僅可便于裝配，且由于其模塊化設(shè)計(jì)，故檢修時(shí)無需進(jìn)行信號(hào)線的查修，有效降低維護(hù)與維修的成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0039]圖1為本實(shí)用新型無線傳輸模塊的簡要架構(gòu)示意圖；
[0040]圖2為本實(shí)用新型應(yīng)用無線傳輸模塊的充氣座的外觀示意圖；
[0041]圖3為本實(shí)用新型應(yīng)用無線傳輸模塊的充氣儲(chǔ)存柜體的外觀示意圖；
[0042]圖4為本實(shí)用新型應(yīng)用無線傳輸模塊的充氣儲(chǔ)存柜體的線路配置示意圖；
[0043]圖5為本實(shí)用新型應(yīng)用無線傳輸模塊的充氣儲(chǔ)存柜體另一實(shí)施例的簡要架構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0044]為使審查員能進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的構(gòu)成、特征及其他目的，以下乃舉本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并配合圖式詳細(xì)說明如下，同時(shí)讓熟悉該項(xiàng)【技術(shù)領(lǐng)域】者能夠具體實(shí)施。
[0045]本實(shí)用新型無線傳輸模塊及應(yīng)用其的充氣座以及充氣柜，隨附圖例示的本實(shí)用新型具體實(shí)施例及其構(gòu)件中，所有關(guān)于前與后、左與右、頂部與底面、上部與下部、以及水平與垂直的參考，僅用于方便進(jìn)行描述，并非限制本實(shí)用新型，亦非將其構(gòu)件限制于任何位置或空間方向。圖式與說明書中所指定的尺寸，當(dāng)可在不離開本實(shí)用新型的申請專利范圍內(nèi)，根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例的設(shè)計(jì)與需求而進(jìn)行變化。
[0046]而應(yīng)用本實(shí)用新型無線傳輸模塊的充氣座以及充氣柜的詳細(xì)構(gòu)成，則請參照圖1、圖2及圖3所示，該充氣設(shè)備可為一柜體10、又或一充氣座20，其中充氣座20可對一載具80充氣，且每一柜體10內(nèi)可分層設(shè)有多個(gè)充氣座20，供儲(chǔ)存大量的晶圓/光罩的載具80置放，而各該載具80可以是，但不限于晶圓傳送盒(FOUP )、晶圓運(yùn)輸盒(FOSB )、光罩傳送盒(Reticle SMIF Pod，RSP)等。載具80底面具有至少一進(jìn)氣閥81及至少一排氣閥82，又載具80周緣另設(shè)有一供記錄相關(guān)制程數(shù)據(jù)的RFID卷標(biāo)組件85，各該充氣座20上分設(shè)有一無線傳輸模塊30，各該無線傳輸模塊30可供監(jiān)控各該充氣座20對應(yīng)載具80充氣的狀況；
[0047]而柜體10由一框架11所構(gòu)成，且前述各該充氣座20逐一分層矩陣排列于框架11上，又柜體10于框架11外側(cè)設(shè)有封閉內(nèi)部空間的側(cè)板12，且該柜體10于至少其中一側(cè)板12上設(shè)有至少一可供選擇性啟閉的門板15，供擺置及取用載具80 ；
[0048]如圖3所示，又充氣座20，其具有一供載具80擺置的基體21，且基體21上分設(shè)有至少一連接供氣回路的充氣閥件22及至少一連接排氣回路的排氣閥件23，供分別對應(yīng)載具80的進(jìn)氣閥81與排氣閥，令充氣座20可對載具80進(jìn)行充氣、排氣，再者基體21上另設(shè)有一連接供氣回路的流量控制閥24及一流量計(jì)25，用以分別控制及檢知該供氣回路的流量，且充氣座20的基體21上設(shè)有一 RFID的讀取組件27，該讀取組件27可用于對應(yīng)讀取載具80上卷標(biāo)組件85的數(shù)據(jù)；
[0049]再者，如圖4所示，各該無線傳輸模塊30，其具有一微處理單元31，該微處理單元31可供判讀、運(yùn)算與處理相關(guān)信息，且微處理單元31連接有一無線廣播單元32，該無線廣播單元32可選自WiFi通訊模式或藍(lán)芽通訊模式，又無線廣播單元32連接有一天線單元33，用以無線方式接收及傳遞數(shù)據(jù)，另無線傳輸模塊30的微處理單元31的輸入端具有一流量端口 34，該流量端口 34可供與前述充氣座20的流量計(jì)25選擇性連接，供接收流量計(jì)25所檢知供氣回路流量的信號(hào)，又無線傳輸模塊30的微處理單元31另具有一數(shù)據(jù)端口 35，該數(shù)據(jù)端口 35可供選擇性連接前述充氣座20的RFID的讀取組件27，供通過讀取組件27接收載具80上卷標(biāo)組件85的數(shù)據(jù)信號(hào)，再者，無線傳輸模塊30具有一連接微處理單元31的電源管理單元37，該電源管理單元37可為一提供整個(gè)無線傳輸模塊30電源的蓄電池，且電源管理單元37可對前述的流量計(jì)25提供電源，另外無線傳輸模塊30的微處理單元31具有一氣流控制單元38，而氣流控制單元38連接一控制驅(qū)動(dòng)組件40，該控制驅(qū)動(dòng)組件40設(shè)于前述充氣座20的流量控制閥24 —側(cè)，且控制驅(qū)動(dòng)組件40與流量控制閥24分別具有一可相互嚙合的齒輪41和齒輪240，令控制驅(qū)動(dòng)組件40可帶動(dòng)流量控制閥24調(diào)整該供氣回路的流量大??；
[0050]借此,該柜體10的各充氣座20具有一無線傳輸模塊30,供通過該無線傳輸模塊30讓工作人員于遠(yuǎn)程進(jìn)行監(jiān)控，從而組構(gòu)成一無線傳輸模塊及應(yīng)用其的充氣座以及充氣柜。
[0051]而本實(shí)用新型于實(shí)際應(yīng)用時(shí)，則如圖1、圖2所示，該柜體10的各該充氣座20連接有一無線傳輸模塊30，且柜體10內(nèi)另設(shè)有一無線接收模塊50，該無線接收模塊50可用于接收前述各該充氣座20的無線傳輸模塊30所傳遞來的數(shù)據(jù)，進(jìn)一步可減少信號(hào)線路的配置，且令無線信號(hào)僅于柜體10內(nèi)部傳遞，又該無線接收模塊50可利用一連接線51與一設(shè)于柜體10外部的處理模塊60連接，其中連接線51可選自RJ45信號(hào)線，以避免柜體10金屬屏蔽的干擾問題，有效確保數(shù)據(jù)傳輸?shù)恼_性及有效性，且處理模塊60具有邏輯、運(yùn)算等功能，又處理模塊60可內(nèi)建充氣管理程序，該處理模塊60可選自一般計(jì)算機(jī)，再者該處理模塊60連接有一具顯示與操控功能的人機(jī)接口單元65，以顯示及監(jiān)控柜體10內(nèi)各該充氣座20的狀態(tài)供工作人員監(jiān)控之用；
[0052]操作上，則配合參看圖2、圖3及圖4所示，該無線傳輸模塊30利用其流量端口 34、數(shù)據(jù)端口 35及氣流控制單元38與充氣座20的流量計(jì)25、讀取組件27及流量控制閥24的控制驅(qū)動(dòng)組件40，當(dāng)流量計(jì)25檢知供氣回路的流量低于默認(rèn)值或?yàn)镺時(shí)，則由無線傳輸模塊30的微處理單元31判定為充氣座20上未放置載具80，此時(shí)可通過電源管理單元37停止讀取組件27的掃描及無線廣播單元32與天線單元33的傳輸動(dòng)作，以達(dá)到節(jié)能的目的；
[0053]而當(dāng)載具80置于充氣座20上，且同步開啟充氣閥件22、排氣閥件23與進(jìn)氣閥81、排氣閥82，使供氣回路中氣流開始流動(dòng)后，可由流量計(jì)25檢知流量，并經(jīng)流量端口 34將流量數(shù)據(jù)傳輸至微處理單元31，同時(shí)經(jīng)微處理單元31判定載具80置上，此時(shí)微處理單元31通過電源管理單元37啟動(dòng)讀取組件27掃描讀取載具80卷標(biāo)組件85上的數(shù)據(jù)，并啟動(dòng)無線廣播單元32與天線單元33進(jìn)行無線數(shù)據(jù)傳遞；
[0054]如此無線傳輸模塊30的微處理單元31于接收相關(guān)信號(hào)后，可經(jīng)微處理單元31的判讀、運(yùn)算后由無線廣播單元32經(jīng)天線單元33傳遞出去，且無線傳輸模塊30可利用氣流控制單元38對充氣座20流量控制閥24的控制驅(qū)動(dòng)組件40同步提供電源及控制信號(hào)，而可依實(shí)際狀況，帶動(dòng)控制驅(qū)動(dòng)組件40同步驅(qū)動(dòng)流量控制閥24，以調(diào)整該供氣回路的氣體流量，而能提供各該充氣座20不同的充氣時(shí)間與充氣效率，滿足不同的充氣需求；
[0055]使本實(shí)用新型能利用設(shè)于遠(yuǎn)程的處理模塊60顯示及監(jiān)控該柜體10內(nèi)各該充氣座20的充氣與使用狀態(tài)，讓工作人員可依實(shí)際狀況進(jìn)行操作，以提高充氣速率，確保載具80內(nèi)部氣體的循環(huán)穩(wěn)定性，以達(dá)到節(jié)省氣體之功效，進(jìn)一步可控制載具80內(nèi)部的環(huán)境條件，如濕度、溫度等。
[0056]又本實(shí)用新型另一實(shí)施例，其如圖5所示，前述的無線接收模塊50可設(shè)于柜體10外部，且于柜體10內(nèi)部另設(shè)有一無線中繼接收器55，該無線中繼接收器55可供接收前述各該充氣座20的各該無線傳輸模塊30所傳遞來的數(shù)據(jù)，并且傳遞給外部的無線接收模塊50，又該無線接收模塊50可利用一連接線52與前述的處理模塊60連接，其中連接線52可選自RS232的信號(hào)線，以降低柜體10金屬屏蔽的干擾問題，從而提高數(shù)據(jù)傳輸?shù)恼_性及有效性，其一樣與前述具有相同的功效及實(shí)用價(jià)值。
[0057]經(jīng)由前述技術(shù)手段的實(shí)現(xiàn)，本實(shí)用新型除了前述之效能外，進(jìn)一步具有下列的效能與功效增進(jìn):
[0058]1、本實(shí)用新型的充氣座20與無線傳輸模塊30可分別模塊化設(shè)計(jì)，且由于無線傳輸模塊30屬無線傳輸?shù)脑O(shè)計(jì)，可簡化整體線路的配置與安裝，從而降低系統(tǒng)的安裝成本；
[0059]2、其次，承前所述本實(shí)用新型的充氣座20與無線傳輸模塊30呈模塊化設(shè)計(jì)，大幅減少電源線路與信號(hào)線路的配置，故在檢修時(shí)無需進(jìn)行電力線路或信號(hào)線路的查修，有效降低維護(hù)與維修的成本；[0060]3、本實(shí)用新型無線傳輸模塊30可利用檢知流量計(jì)25的流量大小，來判斷載具80是否置于充氣座20的基體21上，用以當(dāng)放置載具80時(shí)才啟動(dòng)無線傳輸模塊30的無線廣播單元32與天線單元33，并帶動(dòng)充氣座20的RFID讀取組件27進(jìn)行掃描，無需持續(xù)性的掃描、讀取及傳送數(shù)據(jù)，而達(dá)到節(jié)能的目的；
[0061]4、本實(shí)用新型無線傳輸模塊30設(shè)有一連接流量控制閥24的控制驅(qū)動(dòng)組件40的氣流控制單元38，供選擇性操控供氣回路的流量大小，使其能依實(shí)際狀況啟動(dòng)充氣回路、充氣量與充氣速率，而無需不斷注入干凈的氣體，無效降低氣體成本。
[0062]以上所述實(shí)施例僅是為充分說明本實(shí)用新型而所舉的較佳的實(shí)施例，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不限于此。本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實(shí)用新型基礎(chǔ)上所作的等同替代或變換，均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種無線傳輸模塊，其特征在于:其包含有: 一微處理單兀； 一無線廣播單元，該無線廣播單元連接于微處理單元； 一天線單元連接該無線廣播單元，以收發(fā)一信號(hào)； 一流量端口，該流量端口連接該微處理單元，且該流量端口可供與一設(shè)于外部流量計(jì)選擇性連接； 一數(shù)據(jù)端口，該數(shù)據(jù)端口連接該微處理單元，且該數(shù)據(jù)端口可供與一設(shè)于外部的RFID讀取組件選擇性連接； 一電源管理單元，該電源管理單元連接前述的微處理單元，該電源管理單元可提供無線傳輸模塊所需的電源。
2.如權(quán)利要求1所述的無線傳輸模塊，其特征在于:該無線廣播單元選自WiFi通訊模式。
3.如權(quán)利要求1所述的無線傳輸模塊，其特征在于:該無線廣播單元選自藍(lán)芽通訊模式。
4.如權(quán)利要求1所述的無線傳輸模塊，其特征在于:該微處理單元具有一氣流控制單元，該氣流控制單元連接一設(shè)于外部的控制驅(qū)動(dòng)組件，控制驅(qū)動(dòng)組件設(shè)于一外部的流量控制閥上，令控制驅(qū)動(dòng)組件可帶動(dòng)流量控制閥調(diào)整流量大小。
5.如權(quán)利要求4所述的無 線傳輸模塊，其特征在于:該控制驅(qū)動(dòng)組件與該流量控制閥分別具有一可相互嚙合的齒輪。
6.一種充氣座，其特征在于:包含: 一基體，該基體上分設(shè)有至少一連接供氣回路的充氣閥件及至少一連接排氣回路的排氣閥件，基體上另設(shè)有一連接供氣回路的流量計(jì)，且充氣座的基體上設(shè)有一 RFID的讀取組件；及 至少一如權(quán)利要求1所述的無線傳輸模塊，固設(shè)于該基體中，對應(yīng)地針對流經(jīng)該充氣座的氣體產(chǎn)生并發(fā)射一信號(hào)。
7.如權(quán)利要求6所述的充氣座，其特征在于:該基體的供氣回路于流量計(jì)前方設(shè)有一流量控制閥。
8.一種充氣柜，其特征在于:包含: 一柜體，該柜體具有至少一架桿，且架桿外部周圍覆設(shè)有一側(cè)板； 至少一如權(quán)利要求6所述的充氣座，固設(shè)于該柜體的架桿中； 一無線接收模塊，該無線接收模塊設(shè)于柜體內(nèi)部，用以無線接收并傳遞該信號(hào)予各該充氣座的無線傳輸模塊 '及 一處理模塊，該處理模塊設(shè)于柜體外部，且處理模塊利用一信號(hào)連接該無線接收模塊。
9.一種充氣柜，其特征在于:包含: 一柜體，該柜體具有至少一架桿，且架桿外部周圍覆設(shè)有一側(cè)板； 至少一如權(quán)利要求6所述的充氣座，固設(shè)于該柜體的架桿中； 一無線中繼接收器，該無線中繼接收器設(shè)于柜體內(nèi)部，用以無線方式接收并傳遞該信號(hào)予各該充氣座的無線傳輸模塊； 一無線接收模塊，該無線接收模塊設(shè)于柜體外部，用以無線方式接收并傳遞該信號(hào)予該無線中繼接收器；及一處理模塊，該處理模塊 設(shè)于柜體外部，且處理模塊利用一信號(hào)連接該無線接收模塊。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK203588984SQ201320658797
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年10月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月24日
【發(fā)明者】陳明生, 劉宏偉, 鄭友玄 申請人:陳明生, 劉宏偉, 鄭友玄