一種ddr馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型屬半導(dǎo)體及LED制造領(lǐng)域，具體涉及一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)?；?、機(jī)械臂2、DDR馬達(dá)1，其中，DDR馬達(dá)1固定在基座3上，機(jī)械臂2與DDR馬達(dá)1輸出連接。其中，機(jī)械臂2為兩個(gè)，兩個(gè)機(jī)械臂2一端連接在一起形成120度夾角，機(jī)械臂2連接在一起的一端與DDR馬達(dá)1輸出連接，DDR馬達(dá)1帶動(dòng)機(jī)械臂2在360度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，其中，機(jī)械臂2末連接的一端各有一真空吸嘴8，真空吸嘴8用于吸附晶圓或基片。使用本實(shí)用新型的有益效果是：1.以較低的成本，滿足客戶精度要求較低的需求；2.減少污染，提高效率。
【專利說明】一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬半導(dǎo)體及LED制造領(lǐng)域，具體涉及一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展及集成電路代工廠的長期運(yùn)營，晶圓傳輸機(jī)械手的國產(chǎn)化及現(xiàn)有進(jìn)口設(shè)備維修的需求日益增長，而如何對(duì)研發(fā)及維修后的機(jī)械手進(jìn)行性能測試是最亟需解決的關(guān)鍵問題之一?，F(xiàn)有對(duì)晶圓傳輸機(jī)械手的定位、重復(fù)定位精度及運(yùn)行穩(wěn)定性等性能進(jìn)行測試時(shí)，一般采用位移傳感器或圖像識(shí)別等元件直接對(duì)設(shè)備末端機(jī)械手指表面的幾何特征進(jìn)行測量。顯然，當(dāng)傳輸機(jī)械手的手掌末端的幾何特征或材料發(fā)生變化時(shí)，所需測試元件(如光源設(shè)備)也有所不同，測試單位不僅需要儲(chǔ)備與各種型號(hào)機(jī)械手對(duì)應(yīng)的末端機(jī)械手指，還需要儲(chǔ)備相應(yīng)的測量元件。在半導(dǎo)體及LED制造過程中，傳輸晶圓或基片時(shí)，一般都是通過關(guān)節(jié)式機(jī)械手或通過皮帶傳送材料。同時(shí)由于關(guān)節(jié)式機(jī)械手成本太高。如果采用手動(dòng)方式來拿材料，效率很低，也會(huì)污染生產(chǎn)材料。這樣造成了大量人力及物力的浪費(fèi)。為了避免對(duì)晶圓或基片的污染，同時(shí)為了提高生產(chǎn)效率，采用自動(dòng)化的傳輸機(jī)構(gòu)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型為了避免對(duì)晶圓或基片的污染，同時(shí)為了提高生產(chǎn)效率，設(shè)計(jì)了本實(shí)用新型一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，具體解決方案如下:
[0004]一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括:基座、機(jī)械臂、DDR馬達(dá)，其中，所述DDR馬達(dá)固定在所述基座上，所述機(jī)械臂在所述DDR馬達(dá)上部且所述機(jī)械臂與所述DDR馬達(dá)輸出連接。
[0005]上述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其中，所述機(jī)械臂為兩個(gè)，兩個(gè)所述機(jī)械臂一端連接形成120度夾角，所述機(jī)械臂連接的一端與所述DDR馬達(dá)輸出連接。
[0006]上述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其中，所述機(jī)械臂末端有一真空吸嘴，所述真空吸嘴用于吸附晶圓或基片。
[0007]上述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其中，還包括真空接頭一和真空接頭二，所述真空接頭一和所述真空接頭二固定在所述基座上且分別接真空到兩所述真空吸嘴。
[0008]上述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),其中，還包括一零位傳感器，所述零位傳感器固定在所述DDR馬達(dá)一側(cè)的所述基座上，所述零位傳感器定位所述機(jī)械臂的位置。
[0009]上述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其中，所述馬達(dá)接收到零位傳感器發(fā)出的信號(hào)，所述DDR馬達(dá)將帶動(dòng)所述機(jī)械臂向相反的方向旋轉(zhuǎn)，所述機(jī)械臂能夠停留在360度的范圍內(nèi)。
[0010]上述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其中，還包括X向?qū)к壓蚘向?qū)к?，所述Y向?qū)к壴赬向?qū)к壣喜垦厮鯴向軌道滑動(dòng)，所述基座在所述Y向?qū)к壣锨已厮鯵向軌道滑動(dòng)。
[0011]上述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其中，還包括DDR馬達(dá)上的光柵尺，所述DDR馬達(dá)上的光柵尺保證馬達(dá)旋轉(zhuǎn)的精確度。
[0012]使用本實(shí)用新型的有益效果是:1、以較低的成本，滿足客戶精度要求較低的需求；
2、減少污染，提聞效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖1和具體事例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明，但不作為本實(shí)用新型的限定。
[0015]如圖1所示，一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括:基座3、機(jī)械臂2、DDR馬達(dá)1，其中，DDR馬達(dá)I固定在基座3上，機(jī)械臂2與DDR馬達(dá)I輸出連接，DDR馬達(dá)輸出軸與基座的平面相互垂直。其中，機(jī)械臂2為兩個(gè)，兩個(gè)機(jī)械臂2 —端連接在一起形成120度夾角，機(jī)械臂2連接在一起的一端與DDR馬達(dá)I輸出連接，DDR馬達(dá)I帶動(dòng)機(jī)械臂2在360度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，其中，機(jī)械臂2末連接的一端各有一真空吸嘴8，真空吸嘴8用于吸附晶圓或基片。
[0016]如圖1所示，還包括真空接頭一 5和真空接頭二 6，真空接頭一 5和真空接頭6 二固定在基座3上，并且分別連接真空到兩真空吸嘴8，并且能分別控制真空吸嘴8，當(dāng)真空吸嘴8吸附到晶圓或者基片時(shí)，真空傳感器將能檢測到晶圓或者基片。
[0017]如圖1所示,還包括一零位傳感器4,零位傳感器4固定在DDR馬達(dá)I 一側(cè)的基座上，零位傳感器4定位機(jī)械臂2的位置，當(dāng)機(jī)械臂2到達(dá)零位時(shí)，DDR馬達(dá)I接收到零位傳感器4發(fā)出的信號(hào)，DDR馬達(dá)I將帶動(dòng)機(jī)械臂2向相反的方向旋轉(zhuǎn)，機(jī)械臂2能夠停留在360度的范圍內(nèi)。在本實(shí)例中，當(dāng)真空吸嘴8吸附到晶圓或者基片時(shí)，真空傳感器檢測到晶圓或者基片，并且真空傳感器將信號(hào)發(fā)送到DDR馬達(dá)I控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)將輸出信號(hào)使機(jī)械臂2旋轉(zhuǎn)到固定的位置，然后將所吸附到的晶圓或者基片放置到固定的位置。
[0018]如圖1所示，本實(shí)用新型還包括X向?qū)к?和Y向?qū)к?0，Y向?qū)к?0在X向?qū)к?上沿X向軌道9滑動(dòng)，基座3在Y向?qū)к?0上并且沿Y向軌道10滑動(dòng)。
[0019]在本實(shí)例中，基座3沿Y向軌道10滑動(dòng)，Y向軌道10沿X向軌道9滑動(dòng)，這樣使機(jī)械臂2能在一個(gè)固定的水平面內(nèi)移動(dòng)，真空吸嘴能將這個(gè)固定平面內(nèi)的晶圓或者基片一一吸附。
[0020]本實(shí)用新型還包括DDR馬達(dá)上的光柵尺7，DDR馬達(dá)上的光柵尺7保證DDR馬達(dá)I旋轉(zhuǎn)的精確度，能夠保證DDR馬達(dá)I精確的到達(dá)零位。
[0021]本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)例的使用方法:
[0022]基座3沿Y向軌道10滑動(dòng)，Y向軌道10沿X向軌道9滑動(dòng)，機(jī)械臂2也隨著基座在X向軌道9和Y向軌道10組成的平面內(nèi)移動(dòng)。DDR馬達(dá)I的輸出帶動(dòng)機(jī)械臂2旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)的過程中，真空接頭一 5和真空接頭二 6向真空吸嘴8不斷的輸入真空，真空吸嘴8在固定的平面內(nèi)吸附晶圓或者基片，通過真空傳感器檢測真空吸嘴8是否吸附到晶圓或者基片，如果吸附到了晶圓或者基片，真空傳感器將發(fā)送信號(hào)給DDR馬達(dá)I控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)控制DDR馬達(dá)1，將吸附到的晶圓或者基片送到固定的位置。當(dāng)機(jī)械臂2到達(dá)零位時(shí)，零位傳感器4發(fā)送信號(hào)到DDR馬達(dá)I控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)控制DDR馬達(dá)I，使其向相反的方向旋轉(zhuǎn)，這樣，機(jī)械臂2在360度的范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
[0023]以上所述僅為本實(shí)用新型較佳的事例，并非因此限制本實(shí)用新型的實(shí)施方式及保護(hù)范圍，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，應(yīng)當(dāng)能夠意識(shí)到凡運(yùn)用本實(shí)用新型說明書及圖示內(nèi)容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括:基座、機(jī)械臂、DDR馬達(dá)，其特征在于，所述DDR馬達(dá)固定在所述基座上，所述機(jī)械臂在所述DDR馬達(dá)上部且所述機(jī)械臂與所述DDR馬達(dá)輸出連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述機(jī)械臂為兩個(gè)，兩個(gè)所述機(jī)械臂一端連接形成120度夾角，所述機(jī)械臂連接的一端與所述DDR馬達(dá)輸出連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述機(jī)械臂末端有一真空吸嘴，所述真空吸嘴用于吸附晶圓或基片。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括真空接頭一和真空接頭二，所述真空接頭一和所述真空接頭二固定在所述基座上且分別接真空到兩所述真空吸嘴。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括一零位傳感器，所述零位傳感器固定在所述DDR馬達(dá)一側(cè)的所述基座上，所述零位傳感器定位所述機(jī)械臂的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述馬達(dá)接收到零位傳感器發(fā)出的信號(hào)，所述DDR馬達(dá)將帶動(dòng)所述機(jī)械臂向相反的方向旋轉(zhuǎn)，所述機(jī)械臂能夠停留在360度的范圍內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括X向?qū)к壓蚘向?qū)к墸鯵向?qū)к壴赬向?qū)к壣喜垦厮鯴向軌道滑動(dòng)，所述基座在所述Y向?qū)к壣锨已厮鯵向軌道滑動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種DDR馬達(dá)構(gòu)成的機(jī)械手旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括DDR馬達(dá)上的光柵尺，所述DDR馬達(dá)上的光柵尺保證馬達(dá)旋轉(zhuǎn)的精確度。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK203644744SQ201320842258
【公開日】2014年6月11日 申請(qǐng)日期:2013年12月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月19日
【發(fā)明者】蔡良斌, 丁天祥 申請(qǐng)人:常熟晶悅半導(dǎo)體設(shè)備有限公司