一種干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制方法和裝置及干燥區(qū)間設(shè)備的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供一種干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制方法和裝置及干燥空間設(shè)備，包括：在干燥區(qū)間和工藝腔之間，設(shè)置開(kāi)關(guān)閥門(mén)，在干燥區(qū)間排氣門(mén)處設(shè)置聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，根據(jù)所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)的狀態(tài)控制所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，使得所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)和所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)滿足互鎖關(guān)系。本發(fā)明實(shí)施例有效降低了干燥區(qū)間的污染程度，減少了玻璃基板背面污染物的發(fā)生率，提高了設(shè)備維護(hù)的便利性和產(chǎn)品品質(zhì)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制方法和裝置及干燥區(qū)間設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制方法和裝置及干燥區(qū)間設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管(Thin Film Transistor, TFT)-液晶顯示器(LiquidCrystal Display, IXD)制造業(yè)中，工藝腔(Process Chamber)前的干燥區(qū)間被藥液蒸汽污染的問(wèn)題一直困擾著濕法刻蝕和剝離設(shè)備。干燥區(qū)間排氣門(mén)的作用是為了保持區(qū)間內(nèi)的空氣干燥，但是，在圖1中的結(jié)構(gòu)中，當(dāng)干燥區(qū)間I和工藝腔2之間的閥門(mén)5開(kāi)啟，藥液蒸汽經(jīng)實(shí)線箭頭所示路徑自干燥區(qū)間I進(jìn)入工藝腔2時(shí)，由于干燥區(qū)間排氣門(mén)3和工藝腔排氣門(mén)4均為開(kāi)啟狀態(tài)，一部分藥液蒸汽會(huì)反向經(jīng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)5被干燥區(qū)間排氣門(mén)3吸入干燥區(qū)間I中，如圖1虛線所示。此時(shí)，干燥區(qū)間I內(nèi)藥液蒸汽中的藥液會(huì)遇冷凝結(jié)在干燥區(qū)間I的滾筒和腔壁上，易形成結(jié)晶或污染物。例如，剝離液凝結(jié)會(huì)使得玻璃基板產(chǎn)生與滾筒寬度匹配的線狀Mura痕跡，并且不容易洗掉，宏觀觀測(cè)的污染物示意圖如圖2所示。
[0003]在現(xiàn)有技術(shù)中，一般采用如下兩種方法以盡量減少或避免污染物的出現(xiàn):一種方法是增大工藝腔排氣門(mén)的壓力，使其遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于干燥區(qū)間排氣門(mén)的壓力；另一種方法則是去除干燥區(qū)間的排氣門(mén)。但是，上述兩種方法均無(wú)法較好地達(dá)到目的:第一種方法雖然可以減少污染現(xiàn)象卻不可能完全避免，并且會(huì)給廢氣處理環(huán)節(jié)增加非常大的處理壓力和處理成本；而第二種方法會(huì)導(dǎo)致少量進(jìn)入干燥區(qū)間的污染性藥液蒸汽或水汽無(wú)法排出，長(zhǎng)時(shí)間積累依然會(huì)使干燥區(qū)間慢慢被污染。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一)要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0005]本發(fā)明提供干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制方法和裝置及一種干燥區(qū)間設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中藥液蒸汽易污染干燥區(qū)間的技術(shù)問(wèn)題。
[0006](二)技術(shù)方案
[0007]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制方法，包括:
[0008]在干燥區(qū)間和工藝腔之間，設(shè)置開(kāi)關(guān)閥門(mén)，在干燥區(qū)間排氣門(mén)處設(shè)置聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，根據(jù)所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)的狀態(tài)控制所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，使得所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)和所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)滿足互鎖關(guān)
系O
[0009]進(jìn)一步地，所述互鎖關(guān)系為:
[0010]當(dāng)所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)開(kāi)啟時(shí)，控制所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉干燥區(qū)間排氣門(mén)；當(dāng)所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，控制所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)開(kāi)啟干燥區(qū)間排氣門(mén)。
[0011]另一方面，本發(fā)明還提供一種干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制裝置，包括:
[0012]開(kāi)關(guān)閥門(mén)，位于干燥區(qū)間和工藝腔之間，用于控制氣流流向；
[0013]聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，設(shè)置于干燥區(qū)間排氣門(mén)處，用于控制干燥區(qū)間排氣門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉；[0014]互鎖裝置，與所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)和所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)相連，用于控制所述關(guān)閥門(mén)和所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)滿足互鎖關(guān)系。
[0015]進(jìn)一步地，
[0016]所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)位于干燥區(qū)間排氣門(mén)的干燥區(qū)間腔體內(nèi)側(cè)。
[0017]進(jìn)一步地，所述互鎖關(guān)系為:
[0018]當(dāng)所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)開(kāi)啟時(shí)，控制所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉干燥區(qū)間排氣門(mén)；當(dāng)所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，控制所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)開(kāi)啟干燥區(qū)間排氣門(mén)。
[0019]再一方面，本發(fā)明還提供一種干燥區(qū)間設(shè)備:包括上述任一項(xiàng)干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制裝置。
[0020](三)有益效果
[0021]可見(jiàn)，在本發(fā)明提出的一種干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制方法和裝置及干燥區(qū)間設(shè)備中，在干燥區(qū)間排氣門(mén)的腔體內(nèi)側(cè)設(shè)置了與開(kāi)關(guān)閥門(mén)聯(lián)動(dòng)的一個(gè)聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，以控制當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)打開(kāi)時(shí)聯(lián)動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉排氣門(mén)，當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)關(guān)閉時(shí)聯(lián)動(dòng)閥門(mén)打開(kāi)排氣門(mén)。當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)打開(kāi)時(shí)，藥液蒸汽通過(guò)開(kāi)關(guān)閥門(mén)經(jīng)干燥區(qū)間進(jìn)入工藝腔，此時(shí)聯(lián)動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉，干燥區(qū)間排氣門(mén)關(guān)閉，藥液蒸汽不易因干燥區(qū)間排氣門(mén)作用倒吸回干燥區(qū)間內(nèi)；而當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，聯(lián)動(dòng)閥門(mén)開(kāi)啟，干燥區(qū)間排氣門(mén)開(kāi)啟，少量留存在干燥區(qū)間內(nèi)的藥液蒸汽或水汽會(huì)隨干燥區(qū)間排氣門(mén)排出，使得干燥區(qū)間內(nèi)不會(huì)有藥液污染殘留。本發(fā)明有效降低了干燥區(qū)間的污染程度，減少了玻璃基板背面污染物的發(fā)生率，提高了設(shè)備維護(hù)的便利性和產(chǎn)品品質(zhì)。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0023]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中干燥區(qū)間和工藝腔之間的藥液蒸汽氣流示意圖；
[0024]圖2是現(xiàn)有技術(shù)中干燥區(qū)間宏觀觀測(cè)的roller污染物示意圖；
[0025]圖3是本發(fā)明實(shí)施例中當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)開(kāi)啟時(shí)，干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制裝置示意圖；
[0026]圖4是本發(fā)明實(shí)施例中當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制裝置示意圖；
[0027]圖中:1、干燥區(qū)間；2、工藝腔；3、干燥區(qū)間排氣門(mén)；4、工藝腔排氣門(mén)；5、開(kāi)關(guān)閥門(mén)；
6、聯(lián)動(dòng)閥門(mén)；7、互鎖裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0028]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0029]本發(fā)明實(shí)施例首先提供一種干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制方法，包括:
[0030]在干燥區(qū)間和工藝腔之間，設(shè)置開(kāi)關(guān)閥門(mén)，在干燥區(qū)間排氣門(mén)處設(shè)置聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，根據(jù)所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)的狀態(tài)控制所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，使得所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)和所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)滿足互鎖關(guān)系O
[0031]其中互鎖關(guān)系為當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)開(kāi)啟時(shí)，控制聯(lián)動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉干燥區(qū)間排氣門(mén)；當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，控制聯(lián)動(dòng)閥門(mén)開(kāi)啟干燥區(qū)間排氣門(mén)。
[0032]可見(jiàn)，在本發(fā)明實(shí)施例提出的一種干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制方法中，在干燥區(qū)間排氣門(mén)處設(shè)置有與開(kāi)關(guān)閥門(mén)聯(lián)動(dòng)的一個(gè)聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，以控制開(kāi)關(guān)閥門(mén)和聯(lián)動(dòng)閥門(mén)互鎖。當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)打開(kāi)時(shí)，藥液蒸汽通過(guò)開(kāi)關(guān)閥門(mén)經(jīng)干燥區(qū)間進(jìn)入工藝腔，此時(shí)聯(lián)動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉，干燥區(qū)間排氣門(mén)關(guān)閉，藥液蒸汽不易因干燥區(qū)間排氣門(mén)作用倒吸回干燥區(qū)間內(nèi)；而當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，聯(lián)動(dòng)閥門(mén)開(kāi)啟，干燥區(qū)間排氣門(mén)開(kāi)啟，少量留存在干燥區(qū)間內(nèi)的藥液蒸汽或水汽會(huì)隨干燥區(qū)間排氣門(mén)排出，使得干燥區(qū)間內(nèi)不會(huì)有藥液污染殘留。本發(fā)明實(shí)施例有效降低了干燥區(qū)間的污染程度，減少了玻璃基板背面污染物的發(fā)生率，提高了設(shè)備維護(hù)的便利性和產(chǎn)品品質(zhì)。
[0033]優(yōu)選地，開(kāi)關(guān)閥門(mén)和聯(lián)動(dòng)閥門(mén)滿足互鎖關(guān)系包括:當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)開(kāi)啟時(shí)，控制聯(lián)動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉干燥區(qū)間排氣門(mén)；當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，控制聯(lián)動(dòng)閥門(mén)開(kāi)啟干燥區(qū)間排氣門(mén)。
[0034]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制裝置，參見(jiàn)圖3、圖4，包括:
[0035]開(kāi)關(guān)閥門(mén)5，位于干燥區(qū)間I和工藝腔2之間，用于控制氣流流向；
[0036]聯(lián)動(dòng)閥門(mén)6，設(shè)置于干燥區(qū)間排氣門(mén)3處，用于控制干燥區(qū)間排氣門(mén)3的開(kāi)啟和關(guān)閉；
[0037]互鎖裝置7，與開(kāi)關(guān)閥門(mén)5和聯(lián)動(dòng)閥門(mén)6相連，用于控制開(kāi)關(guān)閥門(mén)5和聯(lián)動(dòng)閥門(mén)6滿足互鎖關(guān)系。
[0038]優(yōu)選地，聯(lián)動(dòng)閥門(mén)6可以位于干燥區(qū)間排氣門(mén)3的干燥區(qū)間I腔體內(nèi)側(cè)。
[0039]優(yōu)選地，互鎖關(guān)系具體為:當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)5開(kāi)啟時(shí)，控制聯(lián)動(dòng)閥門(mén)6關(guān)閉干燥區(qū)間排氣門(mén)3 ;當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)5關(guān)閉時(shí)，控制聯(lián)動(dòng)閥門(mén)6開(kāi)啟干燥區(qū)間排氣門(mén)3。
[0040]圖3表示當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)5開(kāi)啟時(shí)的氣流流向示意圖。開(kāi)關(guān)閥門(mén)5開(kāi)啟時(shí)，控制藥液蒸汽氣流自干燥區(qū)間I流向工藝腔2，此時(shí)，互鎖裝置7控制聯(lián)動(dòng)閥門(mén)6關(guān)閉，也即關(guān)閉干燥區(qū)間排氣門(mén)3，則氣流會(huì)自干燥區(qū)間I向工藝腔2沿虛線方向單向流動(dòng)，而不會(huì)被回吸至干燥區(qū)間I中。
[0041]圖4表示當(dāng)開(kāi)關(guān)閥門(mén)5關(guān)閉時(shí)的氣流流向示意圖。開(kāi)關(guān)閥門(mén)5關(guān)閉時(shí)，互鎖裝置7控制聯(lián)動(dòng)閥門(mén)6開(kāi)啟，也開(kāi)啟了干燥區(qū)間排氣門(mén)3，此時(shí)少量留存在干燥區(qū)間I內(nèi)的藥液蒸汽或水汽會(huì)隨干燥區(qū)間排氣門(mén)3排出，見(jiàn)虛線所示氣流方向，使得干燥區(qū)間內(nèi)不會(huì)有藥液污染殘留。
[0042]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種干燥區(qū)間設(shè)備，包括如上干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制裝置。
[0043]可見(jiàn)，本發(fā)明實(shí)施例具有如下有益效果:
[0044]在本發(fā)明實(shí)施例提出的干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制方法和裝置及一種干燥區(qū)間設(shè)備中，在干燥區(qū)間排氣門(mén)處設(shè)置了與開(kāi)關(guān)閥門(mén)聯(lián)動(dòng)的一個(gè)聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，有效降低了玻璃基板背面Roller痕跡的發(fā)生率，提高了產(chǎn)品品質(zhì)，同時(shí)也減少了干燥區(qū)間被污染的程度，這樣可以提高設(shè)備維護(hù)的便利性，方便定期維護(hù)和清理污染物。
[0045]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制方法，其特征在于，包括: 在干燥區(qū)間和工藝腔之間，設(shè)置開(kāi)關(guān)閥門(mén)，在干燥區(qū)間排氣門(mén)處設(shè)置聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，根據(jù)所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)的狀態(tài)控制所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，使得所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)和所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)滿足互鎖關(guān)系。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制方法，其特征在于，所述互鎖關(guān)系為: 當(dāng)所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)開(kāi)啟時(shí)，控制所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉干燥區(qū)間排氣門(mén)；當(dāng)所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，控制所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)開(kāi)啟干燥區(qū)間排氣門(mén)。
3.一種干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制裝置，其特征在于，包括: 開(kāi)關(guān)閥門(mén)，位于干燥區(qū)間和工藝腔之間，用于控制氣流流向； 聯(lián)動(dòng)閥門(mén)，設(shè)置于干燥區(qū)間排氣門(mén)處，用于控制干燥區(qū)間排氣門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉； 互鎖裝置，與所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)和所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)相連，用于控制所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)和所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)滿足互鎖關(guān)系。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制裝置，其特征在于: 所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)位于干燥區(qū)間排氣門(mén)的干燥區(qū)間腔體內(nèi)側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制裝置，其特征在于，所述互鎖關(guān)系為: 當(dāng)所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)開(kāi)啟時(shí)，控制所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉干燥區(qū)間排氣門(mén)；當(dāng)所述開(kāi)關(guān)閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，控制所述聯(lián)動(dòng)閥門(mén)開(kāi)啟干燥區(qū)間排氣門(mén)。
6.一種干燥區(qū)間設(shè)備，其特征在于:包括如權(quán)利要求3至5中任一項(xiàng)所述的干燥區(qū)間排氣門(mén)的控制裝置。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK103887211SQ201410081087
【公開(kāi)日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2014年3月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月6日
【發(fā)明者】寇克瑜, 于凱, 李偉, 宋泳珍, 白忠飛, 王其輝, 鄭云亮, 董志學(xué), 徐國(guó)軍, 徐言龍 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司