基板搬運(yùn)機(jī)器人、基板搬運(yùn)系統(tǒng)和基板配置狀態(tài)的檢測方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種基板搬運(yùn)機(jī)器人、基板搬運(yùn)系統(tǒng)和基板配置狀態(tài)的檢測方法，即使基板搬運(yùn)機(jī)器人的臂較短，也能檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)。在該基板搬運(yùn)機(jī)器人（13）中，控制部（133）的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)，在手部（131）相對(duì)于基板收裝中心線（141）向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心（C1）側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部（150）檢測盒（30）內(nèi)的基板（110）的配置狀態(tài)。
【專利說明】基板搬運(yùn)機(jī)器人、基板搬運(yùn)系統(tǒng)和基板配置狀態(tài)的檢測方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及基板搬運(yùn)機(jī)器人、基板搬運(yùn)系統(tǒng)和基板配置狀態(tài)的檢測方法。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，已知一種基板搬運(yùn)裝置(基板搬運(yùn)機(jī)器人)，在其所具有的手上設(shè)有透射型光傳感器，用于檢測基板收裝盒內(nèi)配置的基板的配置狀態(tài)(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。在所述專利文獻(xiàn)I中，基板搬運(yùn)裝置(基板搬運(yùn)機(jī)器人)的搬運(yùn)用臂的前端設(shè)有俯視時(shí)大致呈V字形狀(在前端側(cè)分叉的形狀)的手。另外，在手的前端側(cè)設(shè)有透射型光傳感器，其含有發(fā)射光線的發(fā)光器和接受光線的受光器。而且，在所述專利文獻(xiàn)I中，使大致呈V字形狀的手(發(fā)光器和受光器)位于配置在基板收裝盒內(nèi)的基板的下方后，能夠使該手向上方移動(dòng)。此時(shí)，基于受光器是否接受了光線，能夠檢測出配置在基板收裝盒內(nèi)的基板的配置狀態(tài)(有無基板、基板的姿態(tài)和離開盒時(shí)的狀態(tài))。
[0003]此外，在專利文獻(xiàn)I所述的以往基板搬運(yùn)裝置(基板搬運(yùn)機(jī)器人)中，其結(jié)構(gòu)為在俯視時(shí)，手中心線(連接手的旋轉(zhuǎn)中心與手保持基板時(shí)的基板保持中心的直線)相對(duì)于基板收裝盒的前表面在垂直方向上配置的狀態(tài)下，檢測配置在基板收裝盒內(nèi)的基板的配置狀態(tài)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2010-219209號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明所要解決的問題
[0008]然而，在以往的基板搬運(yùn)裝置(基板搬運(yùn)機(jī)器人)中，由于其結(jié)構(gòu)為，手中心線相對(duì)于基板收裝盒的前表面在垂直方向上配置的狀態(tài)下，檢測配置在基板收裝盒內(nèi)的基板的配置狀態(tài)，因此能想到以下問題，即、由于基板搬運(yùn)機(jī)器人的搬運(yùn)用臂較短，無法使手中心線相對(duì)于基板收裝盒的前表面在垂直方向上配置，從而不能檢測到配置在基板收裝盒(基板載置部)內(nèi)的基板的配置狀態(tài)。
[0009]本發(fā)明是為了解決所述問題而做出的，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種即使在基板搬運(yùn)機(jī)器人的臂較短時(shí)，也能夠檢測基板載置部的基板的配置狀態(tài)的基板搬運(yùn)機(jī)器人、基板搬運(yùn)系統(tǒng)和基板配置狀態(tài)的檢測方法。
[0010]為解決問題的方法
[0011]第一技術(shù)方案中的基板搬運(yùn)機(jī)器人具有手部和控制部，其中，所述手部上設(shè)有用于檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)的檢測部，控制部的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)手部相對(duì)于基板收裝中心線向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于基板載置部的前表面在垂直方向上。
[0012]在第一技術(shù)方案的基板搬運(yùn)機(jī)器人中，如上所述，控制部的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)手部相對(duì)于基板收裝中心線向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于基板載置部的前表面在垂直方向上。由于能在手部接近基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)的狀態(tài)下通過檢測部檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)，從而即使基板搬運(yùn)機(jī)器人的臂較短，也能夠檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)。
[0013]第二技術(shù)方案中的基板搬運(yùn)系統(tǒng)具有基板載置部和基板搬運(yùn)機(jī)器人，該基板搬運(yùn)機(jī)器人配置在被處理裝置包圍的基板搬運(yùn)機(jī)器人設(shè)置區(qū)域，該基板搬運(yùn)機(jī)器人具有手部和控制部，其中，所述手部上設(shè)有用于檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)的檢測部，控制部的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)手部相對(duì)于基板收裝中心線向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于基板載置部的前表面在垂直方向上。
[0014]在第二技術(shù)方案的基板搬運(yùn)系統(tǒng)中，如上所述，控制部的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)手部相對(duì)于基板收裝中心線向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于基板載置部的前表面在垂直方向上。由于能在手部接近基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)的狀態(tài)下通過檢測部檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)，從而即使基板搬運(yùn)機(jī)器人的臂較短，也能夠提供能檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)的基板搬運(yùn)系統(tǒng)。
[0015]第三技術(shù)方案的基板配置狀態(tài)的檢測方法具有移動(dòng)工序和檢測工序，在移動(dòng)工序中移動(dòng)手部，使得在俯視時(shí)手部呈相對(duì)于基板收裝中心線向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于基板載置部的前表面在垂直方向上；在檢測工序中，在手部相對(duì)于基板收裝中心線向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過設(shè)在手部上的檢測部檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于基板載置部的前表面在垂直方向上。
[0016]在第三技術(shù)方案的基板配置狀態(tài)的檢測方法中，如上所述，具有檢測工序，在檢測工序中，在手部相對(duì)于基板收裝中心線向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過設(shè)在手部上的檢測部檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于基板載置部的前表面在垂直方向上。由于能在手部接近基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)的狀態(tài)下通過檢測部檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)，從而即使基板搬運(yùn)機(jī)器人的臂較短，也能夠提供能檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)的基板配置狀態(tài)的檢測方法。
[0017]第四技術(shù)方案中的基板搬運(yùn)機(jī)器人具有手部，所述手部上設(shè)有用于檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)的檢測部，通過檢測部檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)時(shí)，手部的位置被設(shè)定成，在俯視時(shí)，手部相對(duì)于基板收裝中心線向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的位置，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于基板載置部的前表面在垂直方向上。
[0018]在第四技術(shù)方案的基板搬運(yùn)機(jī)器人中，如上所述，在俯視時(shí)，通過檢測部檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)時(shí)，手部的位置被設(shè)定成，在俯視時(shí)，手部相對(duì)于基板收裝中心線向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于基板載置部的前表面在垂直方向上。由于能在手部接近基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)的狀態(tài)下通過檢測部檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)，從而即使基板搬運(yùn)機(jī)器人的臂較短，也能夠檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)。
[0019]發(fā)明效果
[0020]根據(jù)所述基板搬運(yùn)機(jī)器人、基板搬運(yùn)系統(tǒng)和基板配置狀態(tài)的檢測方法，即使基板搬運(yùn)機(jī)器人的臂較短時(shí)，也能夠檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1是表示第一實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0022]圖2是表示第一實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的概要側(cè)視圖。
[0023]圖3是表示第一實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)的基板搬運(yùn)機(jī)器人的立體圖。
[0024]圖4是說明第一實(shí)施方式的基板搬運(yùn)系統(tǒng)檢測動(dòng)作時(shí)的手部位置的圖。
[0025]圖5是說明在盒內(nèi)載置基板時(shí)的手部位置的圖。
[0026]圖6是說明手中心線與基板收裝中心線一致的狀態(tài)時(shí)的手部位置的圖。
[0027]圖7是說明第二實(shí)施方式的基板搬運(yùn)系統(tǒng)檢測動(dòng)作時(shí)的手部位置的圖。
[0028]附圖標(biāo)記說明
[0029]10:基板搬運(yùn)系統(tǒng)
[0030]11:機(jī)器人設(shè)置區(qū)域(基板搬運(yùn)機(jī)器人設(shè)置區(qū)域)
[0031]13:基板搬運(yùn)機(jī)器人
[0032]20:處理裝置
[0033]30:盒(基板載置部)
[0034]110:基板
[0035]131:手部
[0036]132:臂
[0037]133:控制部
[0038]136:第一臂部
[0039]137:第二臂部
[0040]138:基板保持中心
[0041]139:手中心線
[0042]140:基板收裝中心
[0043]141:基板收裝中心線
[0044]150:檢測部
[0045]Cl:旋轉(zhuǎn)中心
[0046]C3:轉(zhuǎn)動(dòng)中心

【具體實(shí)施方式】
[0047]以下基于【專利附圖】

【附圖說明】實(shí)施方式。
[0048](第一實(shí)施方式)
[0049]首先，參照?qǐng)D1至圖4說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)100的結(jié)構(gòu)。
[0050]如圖1和圖2所不，基板處理系統(tǒng)100具有用于搬運(yùn)基板110的基板搬運(yùn)系統(tǒng)10和處理裝置20。另外,基板處理系統(tǒng)100通過基板搬運(yùn)系統(tǒng)10向處理裝置20搬運(yùn)基板110，并且對(duì)通過處理裝置20搬運(yùn)的基板110進(jìn)行半導(dǎo)體裝置的生產(chǎn)過程處理。
[0051]基板搬運(yùn)系統(tǒng)10具有:機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11 ;多個(gè)(四個(gè))載入口 12，用于收裝基板110的盒(基板收裝盒)30設(shè)置在其上；以及基板搬運(yùn)機(jī)器人13，其被配置在機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11內(nèi)?；灏徇\(yùn)系統(tǒng)10用于在盒30與處理裝置20之間通過基板搬運(yùn)機(jī)器人13搬運(yùn)基板110。此外，盒30是“基板載置部”的一個(gè)例子。另外，機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11是“基板搬運(yùn)機(jī)器人設(shè)置區(qū)域”的一個(gè)例子。
[0052]另外，在俯視(從上方觀察)時(shí)，基板搬運(yùn)系統(tǒng)10具有的外形形狀大小是載入口 12的設(shè)置區(qū)域加上用于設(shè)置基板搬運(yùn)機(jī)器人13的機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11 (圖1的虛線表示的外形形狀)。機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11是由配置有載入口 12的前面壁111、處理裝置20的背面壁201和側(cè)壁包圍并且俯視呈長方形形狀的箱狀區(qū)域。另外，基板搬運(yùn)系統(tǒng)10還具有未圖示的FFU(風(fēng)扇過濾單元)，其用于保持機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11內(nèi)的空氣處于潔凈狀態(tài)。以下，在俯視時(shí)，將前面壁111與背面壁201相向的X方向稱為前后方向，沿前面壁111與背面壁201的順長方向(Y方向)稱為橫向方向。機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11具有前后方向的寬為Wl,在橫向方向的寬為W2。
[0053]盒3O 是依照 SEMI (Semiconductor Equipment and Materials Internat1nal)規(guī)格的正面開口型的半導(dǎo)體晶片的收裝容器，被稱為F0UP(Front Open Unified Pod)。另夕卜，如圖1和圖2所示，盒30具有有前表面開口 302的容器主體301和可拆裝地嵌入前表面開口 302的容器門303。盒30由容器主體301和容器門303包圍成內(nèi)部密閉的空間且形成局部性的潔凈區(qū)域，在容器主體301內(nèi)能夠收裝多個(gè)基板110。盒30的結(jié)構(gòu)為能夠在容器主體301內(nèi)的不同高度位置載置多個(gè)基板110。例如，四個(gè)盒30在上下方向的載置位置有25層，能夠最大層疊收裝25張基板110。
[0054]載入口 12具有用于保持收裝基板110的盒30并且使盒30的內(nèi)部相對(duì)于機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11能夠開閉的功能。載入口 12設(shè)置成在機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11的前面?zhèn)?XI方向側(cè))與前面壁111相鄰，沿前面壁111在Y方向并排配置。載入口 12具有設(shè)置臺(tái)121、前面板122和門123。載入口 12的設(shè)置臺(tái)121的上表面分別固定有能夠一個(gè)一個(gè)拆裝(設(shè)置)的盒30。前面板122形成在沿Y方向的垂直面內(nèi)并且構(gòu)成機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11的前面壁111的一部分。另外，前面板122具有形狀呈窗狀(框狀)的開口部124，通過門123對(duì)開口部124進(jìn)行開閉。另外，載入口 12具有未圖示的門開閉機(jī)構(gòu)。門開閉機(jī)構(gòu)對(duì)門123和盒30的容器門303進(jìn)行把持，從開口部124向后方(X2方向)拉出并且使其向下方(Z2方向)移動(dòng)，從而使盒30的內(nèi)部空間向機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11側(cè)開放，在搬出盒30時(shí)，關(guān)閉門123和容器門303。
[0055]如圖1至圖3所示，基板搬運(yùn)機(jī)器人13是一種水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人，具有:手部131，是一種邊緣支承型手部，能夠通過進(jìn)入盒30而保持基板110 ;臂132，用于使手部131移動(dòng)；以及控制部133，其控制基板搬運(yùn)機(jī)器人13的各部。在臂132的前端部連接有手部131，該臂132包含多個(gè)臂，多個(gè)臂能夠從后述的旋轉(zhuǎn)中心(轉(zhuǎn)動(dòng)中心)Cl向前端以各自端部可轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)依次連結(jié)。更具體地講，基板搬運(yùn)機(jī)器人13還具有基座部件134和支承軸135，在本實(shí)施方式中，臂132由第一臂部136和第二臂部137這兩個(gè)臂構(gòu)成。另外，在第一實(shí)施方式中，相比處理裝置20的背面壁201，第一臂部136的轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl被配置在更接近于配置有載入口 12的前面壁111的位置上(參照?qǐng)D1)，但是第一臂部136的轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl也可以被配置在接近背面壁201的位置上。
[0056]支承軸135被基座部件134支承。另外，相對(duì)于基座部件134的上表面，支承軸135形成沿垂直方向延伸。另外，在支承軸135的上端部連接有第一臂部136的一方的端部。第一臂部136能夠以支承軸135作為轉(zhuǎn)動(dòng)軸在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，在第一臂部136的另一端部上連接有第二臂部137的一方的端部。第二臂部137能夠以連接在第一臂部136上的一方的端部作為轉(zhuǎn)動(dòng)中心在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，在第二臂部137的另一端部連接有手部131。手部131能夠以其與第二臂部137的連接部作為轉(zhuǎn)動(dòng)中心在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。另夕卜，手部131能夠支承基板110的邊緣(外周緣)。這樣，基板搬運(yùn)機(jī)器人13以第一臂部136的轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl、第二臂部137的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2和手部131的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C3這三個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)中心為中心，能夠分別使第一臂部136、第二臂部137和手部131單獨(dú)(各自)轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，如上所述，第一臂部136的轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl也是臂132整體繞支承軸135的旋轉(zhuǎn)中心。
[0057]另外，第一臂部136和第二臂部137形成為相互間連桿長度大致相等。即，如圖1所示，從第一臂部136的轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl至第二臂部137的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的第一臂部136的連桿長度、與從第二臂部137的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2至手部131的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C3的第二臂部137的連桿長度大致相等，其長度為L。這樣，與第一臂部136和第二臂部137連桿長度互不相等的情況相比，能夠抑制搬運(yùn)基板110時(shí)各部的動(dòng)作控制變得復(fù)雜。另外，從手部131的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C3至基板保持中心138的手的長度H小于第一臂部136和第二臂部137的連桿長度L，設(shè)定手的長度H為，手部131保持基板110時(shí)包括基板110在內(nèi)的最大長度大致等于第一臂部136 (第二臂部137)的全長。另外，由第一臂部136和第二臂部137組成的臂132的動(dòng)作范圍是在半徑為2L的圓內(nèi)。
[0058]另外，基板搬運(yùn)機(jī)器人13通過使支承軸135進(jìn)行上下移動(dòng)，能夠使第一臂部136、第二臂部137和手部131 —體地進(jìn)行上下移動(dòng)。這樣，基板搬運(yùn)機(jī)器人13能夠?qū)ε渲迷诤?0內(nèi)的不同高度位置上的所有載置位置進(jìn)行基板110的搬出搬入。
[0059]如圖4所示，這里，在第一實(shí)施方式中，手部131設(shè)有檢測部150，其用于檢測盒30內(nèi)(配置在盒30內(nèi))的基板110的配置狀態(tài)。具體地講，手部131在其前端側(cè)構(gòu)成分叉狀，在分叉的手部131的一方的前端側(cè)和另一方的前端側(cè)分別設(shè)有檢測部150。另外，檢測部150含有例如在一方的前端側(cè)配置的由發(fā)光器構(gòu)成的透射型光傳感器、和在另一方的前端側(cè)配置的由受光器構(gòu)成的透射型光傳感器。
[0060]如圖3所示，控制部133預(yù)先示教利用手部131搬運(yùn)基板110時(shí)各部的動(dòng)作。具體地講，控制部133預(yù)先示教各部的動(dòng)作，如分別向四個(gè)盒30搬出搬入基板110的動(dòng)作、和對(duì)配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)進(jìn)行檢測的動(dòng)作(檢測動(dòng)作)，。
[0061]如圖4所示，這里，在第一實(shí)施方式中，控制部133的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)，在手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角Θ (例如，7.1度)向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心(第一臂部136的轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl)側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部150檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)。其中，手中心線139是連接手部131的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C3與手部131保持有基板110時(shí)的基板保持中心138的直線，基板收裝中心線141 (參照?qǐng)D5和圖6)是連接盒30的基板收裝中心140與在盒30載置有基板110時(shí)的手部131的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C3的直線(基板收裝中心線141相對(duì)于盒30 (機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11的前面壁111)的前表面在垂直方向上)。具體地講，控制部133的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)，在連接一對(duì)檢測部150的直線142到達(dá)基板I1并且手部131未抵接基板110的狀態(tài)，且手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141在水平面內(nèi)以規(guī)定的傾角Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部150檢測基板110的配置狀態(tài)。此外，檢測基板110的配置狀態(tài)的詳細(xì)動(dòng)作(檢測動(dòng)作)將在后述。
[0062]另外，在第一實(shí)施方式中，控制部133的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)，在手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)，且手部131的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C3位于基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)的狀態(tài)下，通過檢測部150檢測基板110的配置狀態(tài)。另外，控制部133的結(jié)構(gòu)為，以配置在盒30內(nèi)的基板110的基板收裝中心140為中心，使手部131向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部150檢測基板110的配置狀態(tài)。即，如圖6所示，其結(jié)構(gòu)為，從手中心線139與基板收裝中心線141 一致的狀態(tài)，使手部131以基板110的基板收裝中心140為中心沿R方向在圓周上進(jìn)行移動(dòng)，從而使手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜。
[0063]另外，在第一實(shí)施方式中，其結(jié)構(gòu)為，手部131的位置基于預(yù)先被示教的基板收裝中心140由控制部133計(jì)算得出，使得手中心線139呈相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)，其中，上述手部131的位置是用于通過檢測部150檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)。此外，其結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)，手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141傾斜的規(guī)定傾角Θ，由控制部133在手部131與盒30未抵接的范圍內(nèi)(例如，根據(jù)SEMI規(guī)格設(shè)定的盒30內(nèi)部的禁止進(jìn)入?yún)^(qū)域304，圖4的斜線所示的區(qū)域)計(jì)算得出。具體地講，基于預(yù)先被示教的基板收裝中心140，計(jì)算得出檢測動(dòng)作中的手部131的位置，以使手部131 (基板保持中心138)相對(duì)于盒30以規(guī)定的間隔配置，
[0064]另外，在第一實(shí)施方式中，如圖1所示，從基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl至手部131位于在檢測基板110的配置狀態(tài)時(shí)的手部131的位置時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C3的距離D，在包含第一臂部136和第二臂部137在內(nèi)的臂132的所有連桿長度之和(第一臂部136的連桿長度L十第二臂部137的連桿長度L=2L)以下。具體地講，從基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl至手部131的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C3的距離D小于包含第一臂部136和第二臂部137在內(nèi)的臂132的所有連桿長度之和(D < 2L)。
[0065]如圖1和圖2所示，在配置有基板搬運(yùn)機(jī)器人13和盒30的一側(cè)(XI方向側(cè))，處理裝置20具有背面壁201。背面壁201形成在沿Y方向的垂直面內(nèi)。另外，背面壁201與前面壁111相對(duì)，且相互大致呈平行地配置。另外，在背面壁201上形成有大致矩形形狀的開口部202。如圖1所示，開口部202在水平方向(Y方向)上具有能夠插入基板110的開口寬度B。另外，如圖2所示，開口部202在高度方向上(Z方向)具有開口長度H1，其比基板搬運(yùn)機(jī)器人13的第一臂部136、第二臂部137和手部131在高度方向上的移動(dòng)范圍大。
[0066]基板搬運(yùn)機(jī)器人13采用以上結(jié)構(gòu)，能夠經(jīng)由開口部202將盒30內(nèi)的基板110搬運(yùn)至處理裝置20內(nèi)的載置位置，并且也能夠?qū)⑻幚硌b置20內(nèi)的基板110搬運(yùn)至盒30內(nèi)的規(guī)定的載置位置。
[0067]另外，基板搬運(yùn)機(jī)器人13采用能使手部131移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，使得在俯視時(shí)，在手部131保持有基板110時(shí)的基板保持中心138位于開始進(jìn)入位置(開始進(jìn)入盒30的位置)的狀態(tài)下，使手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141傾斜(參照?qǐng)D4或者圖7)，其中，開始進(jìn)入位置位于載入口 12的盒開閉區(qū)域125 (此為確保載入口 12的門開閉機(jī)構(gòu)(未圖示)對(duì)盒30進(jìn)行開閉的動(dòng)作區(qū)域，即根據(jù)SHMI規(guī)格規(guī)定的寬度(X方向的寬度)W3的區(qū)域)的外緣附近。此后，基板搬運(yùn)機(jī)器人13采用能夠使手部131移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，使得在手中心線139與基板收裝中心線141 一致的狀態(tài)下(參照?qǐng)D5)，使基板保持中心138到達(dá)盒30內(nèi)的基板收裝中心140。例如，基板搬運(yùn)機(jī)器人13進(jìn)入盒30內(nèi)的比盒30a還要遠(yuǎn)的盒30b時(shí)，以手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141傾斜的狀態(tài)進(jìn)入。
[0068]接下來，說明第一實(shí)施方式的基板搬運(yùn)系統(tǒng)10對(duì)配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)進(jìn)行檢測的動(dòng)作(檢測動(dòng)作)。
[0069]首先，如圖4所示，手部131被移動(dòng)(被定位)成如下狀態(tài):在俯視時(shí)，連接一對(duì)檢測部150的直線142到達(dá)基板110且手部131未抵接基板110的狀態(tài)，且手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)。此時(shí)，手部131被配置在基板110的下方(或者上方)。
[0070]接下來，使手部131向上方(或者下方)移動(dòng)，通過檢測部150檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)。具體地講，基于受光器是否接受到從由透射型光傳感器構(gòu)成的檢測部150的發(fā)光器發(fā)射的光，檢測有無基板110。另外，能夠基于發(fā)光器發(fā)射的光被基板110遮光的距離，檢測出基板I1的傾斜狀態(tài)等。例如，當(dāng)基板110的遮光距離比基板未傾斜時(shí)的基板110的遮光距離長時(shí)，判斷為基板110發(fā)生了傾斜。
[0071]在第一實(shí)施方式中，如上所述，控制部133的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)，在手部131相對(duì)于基板收裝中心線141向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部150檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)，其中，基板收裝中心線141相對(duì)于盒30的前表面(機(jī)器人設(shè)置區(qū)域11的前面壁111)在垂直方向上。這樣，由于能在手部131接近基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)的狀態(tài)下通過檢測部150檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)，從而即使基板搬運(yùn)機(jī)器人13的臂132 (第一臂部136和第二臂部137)較短，也能夠檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)。
[0072]另外，在第一實(shí)施方式中，如上所述，控制部133的結(jié)構(gòu)為，在使手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的角度Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部150檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)。這樣，即使由于基板搬運(yùn)機(jī)器人13的臂132 (第一臂部136和第二臂部137)較短，無法使手中心線139與基板收裝中心線141 一致，也能夠檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)，其中，基板收裝中心線141相對(duì)于盒30的前表面在垂直方向上。
[0073]另外，在第一實(shí)施方式中，如上所述，手部131在其前端側(cè)構(gòu)成分叉狀，一對(duì)檢測部150分別被設(shè)置在分叉的手部131的一對(duì)前端側(cè)上，控制部133的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)，連接一對(duì)檢測部150的直線142到達(dá)基板110并且手部131未抵接基板110的狀態(tài)，且手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部150檢測基板110的配置狀態(tài)。這樣，即使在使手部131傾斜的情況下，基于連接一對(duì)檢測部150 (發(fā)光器和受光器)的直線是否到達(dá)基板110 (從發(fā)光器發(fā)射的光是否被受光器接受)，能夠容易地檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)。
[0074]另外，在第一實(shí)施方式中，如上所述，控制部133的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)，在手中心線
139相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)，且在手部131的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C3位于基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)的狀態(tài)下，通過檢測部150檢測基板110的配置狀態(tài)。這樣，即使基板搬運(yùn)機(jī)器人13的臂132(第一臂部136和第二臂部137)較短，通過使手部131的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C3位于基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)，能夠容易地檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)。
[0075]另外，在第一實(shí)施方式中，如上所述，控制部133的結(jié)構(gòu)為，以配置在盒30內(nèi)的基板110的基板收裝中心140為中心，使手部131向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)旋轉(zhuǎn)，從而使手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部150檢測基板110的配置狀態(tài)。這樣，手部131的分叉的一對(duì)前端部以基板收裝中心140為中心沿配置在盒30內(nèi)的基板110的外周，在保持相對(duì)于基板110的外周的一定間隔的同時(shí)在圓周上轉(zhuǎn)動(dòng)移動(dòng)而對(duì)手部131定位，從而能夠抑制手部131的前端接觸基板110。
[0076]另外，在第一實(shí)施方式中，如上所述，從基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl至手部131位于在檢測基板110的配置狀態(tài)時(shí)的手部131的位置時(shí)的旋轉(zhuǎn)中心C3的距離D，在包含第一臂部136和第二臂部137在內(nèi)的臂132的所有連桿長度之和的長度(2L)以下。這樣，能夠抑制因?yàn)楸?32 (第一臂部136和第二臂部137)的長度變短而不能使手部131位于在檢測基板110的配置狀態(tài)時(shí)的手部131的位置，從而能夠切實(shí)地檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)。
[0077]另外，在第一實(shí)施方式中，如上所述，控制部133的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)，在手部131未抵接盒30的范圍內(nèi)，在使手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部150檢測基板110的配置狀態(tài)。這樣，能夠切實(shí)地抑制手部131抵接盒30，也能夠檢測出配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)。
[0078]另外，在第一實(shí)施方式中，如上所述，盒30的基板收裝中心140被預(yù)先示教，控制部133的結(jié)構(gòu)為，手部131的位置基于預(yù)先被示教的基板收裝中心140計(jì)算得出，其中，上述手部131的位置是用于通過檢測部150檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)，使手中心線139呈相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)。這樣，與檢測配置在盒30內(nèi)的基板110的配置狀態(tài)時(shí)由用戶示教手部131位置的情況不同，能夠節(jié)省用戶在將檢測動(dòng)作示教給基板搬運(yùn)機(jī)器人13時(shí)的時(shí)間。
[0079](第二實(shí)施方式)
[0080]接下來，參照?qǐng)D7說明第二實(shí)施方式涉及的用于檢測基板110的配置狀態(tài)的手部131的位置。在上述第一實(shí)施方式中，以配置在上述盒30內(nèi)的基板110的基板收裝中心140為中心，使手部131向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)(參照?qǐng)D4)，在第二實(shí)施方式中與此不同，以手部131保持有基板110時(shí)的基板保持中心138為中心，使手部131向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，第二實(shí)施方式的基板搬運(yùn)系統(tǒng)10的結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式(參照?qǐng)D1至圖3)相同。
[0081]如圖7所示，在第二實(shí)施方式涉及的基板搬運(yùn)系統(tǒng)10中，控制部133的結(jié)構(gòu)為，以手部131保持有基板110時(shí)的基板保持中心138為中心，使手部131向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)，在使手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角0向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部150檢測基板110的配置狀態(tài)。具體地講，從圖6所示的手中心線139與基板收裝中心線141 一致的狀態(tài)將手部131的位置定位在如圖7所示的位置，其中，該位置就是以手部131保持有基板110時(shí)的基板保持中心138為中心，使手部131向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)的位置。在第二實(shí)施方式中，在手部131被移動(dòng)到圖7所示的狀態(tài)下，進(jìn)行與上述第一實(shí)施方式相同的檢測動(dòng)作。
[0082]在第二實(shí)施方式中，如上所述，控制部133的結(jié)構(gòu)為，以手部131保持有基板110時(shí)的基板保持中心138為中心，使手部131向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)，在使手中心線139相對(duì)于基板收裝中心線141以規(guī)定的傾角Θ向基板搬運(yùn)機(jī)器人13的旋轉(zhuǎn)中心Cl側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過檢測部150檢測基板110的配置狀態(tài)。這樣，與以位于遠(yuǎn)離基板搬運(yùn)機(jī)器人13的位置上的基準(zhǔn)點(diǎn)為中心使手部131轉(zhuǎn)動(dòng)的情況不同，由于能夠使手部131以位于基板搬運(yùn)機(jī)器人13附近的基板保持中心138為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，因此能夠使手部131通過較小范圍的移動(dòng)而移動(dòng)至所希望的位置(進(jìn)行定位)。此外，第二實(shí)施方式的其他效果與上述第一實(shí)施方式相同。
[0083]此外，本次公開的實(shí)施方式應(yīng)被認(rèn)為是例示而不用于限定。本發(fā)明的范圍不限于上述說明的實(shí)施方式，而是表示在權(quán)利要求書中，并且包括與權(quán)利要求書的范圍呈同等物的內(nèi)容以及落在范圍內(nèi)的所有變更。
[0084]例如，在上述第一(第二)實(shí)施方式中，例示了以配置在盒內(nèi)的基板的基板收裝中心為中心(以手上保持有基板時(shí)的基板保持中心為中心)，使手向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)，但是也可以以基板收裝中心和基板保持中心以外的基準(zhǔn)點(diǎn)為中心使手轉(zhuǎn)動(dòng)，使手中心線相對(duì)于基板收裝中心線以規(guī)定的傾角向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜。
[0085]另外，在上述第一和第二實(shí)施方式中，例不了一對(duì)由透射型光傳感器構(gòu)成的檢測部(發(fā)光器、受光器)被設(shè)置在分叉的手的前端側(cè)，但是也可以在手上設(shè)置透射型光傳感器以外的檢測部。
[0086]另外，在上述第一和第二實(shí)施方式中，例示了從基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心至位于檢測基板的配置狀態(tài)時(shí)的手的位置的手的轉(zhuǎn)動(dòng)中心的距離D (參照?qǐng)D1)，小于包含第一臂部和第二臂部在內(nèi)的臂的所有連桿長度之和2L，但是也可以使從基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心至手的轉(zhuǎn)動(dòng)中心的距離D與包含第一臂部和第二臂部在內(nèi)的臂的所有連桿長度之和相等(D=2L)。另外，在使基板搬運(yùn)機(jī)器人的結(jié)構(gòu)為，進(jìn)入從基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心最遠(yuǎn)的盒30b (參照?qǐng)D1)內(nèi)時(shí)，只要是使D=2L，那么包含第一臂部和第二臂部在內(nèi)的臂的連桿長度為最短。
[0087]另外，在上述第一和第二實(shí)施方式中，作為基板搬運(yùn)機(jī)器人的一個(gè)例子，例示了具有兩個(gè)臂部(第一臂部和第二臂部)的基板搬運(yùn)機(jī)器人，但是也可以是只具有一個(gè)臂部的基板搬運(yùn)機(jī)器人，或者還可以是具有三個(gè)以上臂部的基板搬運(yùn)機(jī)器人。
[0088]另外，在上述第一和第二實(shí)施方式中，例示了手部具有分叉的前端側(cè)，但是手部也可以是具有分叉的前端側(cè)的形狀以外的形狀。
[0089]另外，在上述第一和第二實(shí)施方式中，作為基板搬運(yùn)機(jī)器人的一個(gè)例子，例示了具有一個(gè)手部的基板搬運(yùn)機(jī)器人，但是也可以是具有兩個(gè)以上手部的基板搬運(yùn)機(jī)器人。
[0090]另外，在上述第一和第二實(shí)施方式中，例示了因具有四個(gè)載入口而能夠設(shè)置四個(gè)盒的基板搬運(yùn)系統(tǒng)，但是盒的設(shè)置數(shù)量(載入口的數(shù)量)也可以是三個(gè)以下或者五個(gè)以上。
[0091]另外，在上述第一和第二實(shí)施方式中，例示了在盒與處理裝置之間通過基板搬運(yùn)機(jī)器人來搬運(yùn)基板的基板搬運(yùn)系統(tǒng)，但是基板搬運(yùn)系統(tǒng)也可以是，例如將基板向?yàn)榱讼蛳聜€(gè)工序轉(zhuǎn)交基板而設(shè)的基板臨時(shí)放置裝置等、半導(dǎo)體裝置的生產(chǎn)過程中的處理裝置以外的裝置搬運(yùn)。
[0092]另外，在上述第一和第二實(shí)施方式中，例示了機(jī)器人設(shè)置區(qū)域是大致呈平行地配置的前面壁和背面壁之間的區(qū)域，但是也可以將由相互交叉配置的第一壁部和第二壁部包圍的區(qū)域作為機(jī)器人設(shè)置區(qū)域。
[0093]另外,在上述第一和第二實(shí)施方式中，例不了對(duì)載置于作為依照SEMI規(guī)格的正面開口型半導(dǎo)體晶片收裝容器的、盒內(nèi)的基板的配置狀態(tài)進(jìn)行檢測，但是也可以是檢測收裝在多層緩沖區(qū)內(nèi)的多張晶片的配置狀態(tài)，或者還可以是檢測配置在處理裝置側(cè)的一張晶片的配置狀態(tài)等。
[0094]另外，在上述第一和第二實(shí)施方式中，例示了將邊緣支承型手部設(shè)在基板搬運(yùn)機(jī)器人上，但是也可以將負(fù)壓(真空)型或靜電型的卡盤方式的手部設(shè)在基板搬運(yùn)機(jī)器人上?；蛘哌€可以將邊緣支承型、負(fù)壓型和靜電型以外的卡盤方式的手部設(shè)在基板搬運(yùn)機(jī)器人上。
【權(quán)利要求】
1.一種基板搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于，具有: 手部，所述手部上設(shè)有用于檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)的檢測部；以及， 控制部， 所述控制部的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)所述手部相對(duì)于基板收裝中心線向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過所述檢測部檢測所述基板載置部上的所述基板的配置狀態(tài)，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于所述基板載置部的前表面在垂直方向上。
2.如權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于， 所述控制部的結(jié)構(gòu)為，在手中心線相對(duì)于基板收裝中心線以規(guī)定的傾角向所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過所述檢測部檢測所述基板載置部上的所述基板的配置狀態(tài)，其中，所述手中心線是連接所述手部的轉(zhuǎn)動(dòng)中心與所述手部保持有所述基板時(shí)的基板保持中心的直線，所述基板收裝中心線是連接所述基板載置部的基板收裝中心與所述基板載置部載置有所述基板時(shí)的所述手部的轉(zhuǎn)動(dòng)中心的直線，所述基板收裝中心線相對(duì)于所述基板載置部的前表面在垂直方向上。
3.如權(quán)利要求2所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于， 所述手部在其前端側(cè)構(gòu)成分叉狀， 一對(duì)所述檢測部分別被設(shè)置在分叉的所述手部的一對(duì)前端側(cè)上， 所述控制部的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)，在連接一對(duì)所述檢測部的直線到達(dá)所述基板并且所述手部未抵接所述基板、且所述手中心線相對(duì)于所述基板收裝中心線以所述規(guī)定的傾角向所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過所述檢測部檢測所述基板的配置狀態(tài)。
4.如權(quán)利要求2或3所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于， 所述控制部的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)，在所述手中心線相對(duì)于所述基板收裝中心線以所述規(guī)定的傾角向所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜、且所述手部的轉(zhuǎn)動(dòng)中心位于所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)的狀態(tài)下，通過所述檢測部檢測所述基板的配置狀態(tài)。
5.如權(quán)利要求2或3所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于， 所述控制部的結(jié)構(gòu)為，以所述基板載置部上的所述基板的基板收裝中心為中心，使所述手部向所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使所述手中心線相對(duì)于所述基板收裝中心線以所述規(guī)定的傾角向所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過所述檢測部檢測所述基板的配置狀態(tài)。
6.如權(quán)利要求2或3所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于， 所述控制部的結(jié)構(gòu)為，以所述手部保持有所述基板時(shí)的基板保持中心為中心，使所述手部向所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使所述手中心線相對(duì)于所述基板收裝中心線以所述規(guī)定的傾角向所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過所述檢測部檢測所述基板的配置狀態(tài)。
7.如權(quán)利要求2或3所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于， 還具有連接于所述手部的臂，所述臂包括第一臂部和第二臂部，所述第一臂部能以所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)的一方端部為轉(zhuǎn)動(dòng)中心在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第二臂部的一方端部連接于所述第一臂部的另一方端部并且能相對(duì)于所述第一臂部在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)， 從所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心至檢測所述基板的配置狀態(tài)時(shí)位于所述手部的位置的、所述手部的旋轉(zhuǎn)中心的距離，在包含所述第一臂部和所述第二臂部在內(nèi)的所述臂的所有連桿長度之和的長度以下。
8.如權(quán)利要求2或3所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于， 所述控制部的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)，在所述手部未抵接所述基板載置部的范圍內(nèi)，在使所述手中心線相對(duì)于所述基板收裝中心線以所述規(guī)定的傾角向所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過所述檢測部檢測所述基板的配置狀態(tài)。
9.如權(quán)利要求2或3所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于， 所述基板載置部的基板收裝中心被預(yù)先示教， 所述控制部的結(jié)構(gòu)為，基于預(yù)先被示教的所述基板收裝中心而計(jì)算得出所述手部的位置，在所述手部的該位置上，能夠在使所述手中心線相對(duì)于所述基板收裝中心線以所述規(guī)定的傾角向所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下、通過所述檢測部檢測所述基板載置部上的所述基板的配置狀態(tài)。
10.一種基板搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于， 具有基板載置部和基板搬運(yùn)機(jī)器人，所述基板搬運(yùn)機(jī)器人被配置在被處理裝置包圍的基板搬運(yùn)機(jī)器人設(shè)置區(qū)域， 所述基板搬運(yùn)機(jī)器人具有手部和控制部，其中，所述手部上設(shè)有用于檢測所述基板載置部上的基板的配置狀態(tài)的檢測部， 所述控制部的結(jié)構(gòu)為，在俯視時(shí)所述手部相對(duì)于基板收裝中心線向所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過所述檢測部檢測所述基板載置部上的所述基板的配置狀態(tài)，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于所述基板載置部的前表面在垂直方向上。
11.一種基板配置狀態(tài)的檢測方法，其特征在于， 具有移動(dòng)工序和檢測工序， 在所述移動(dòng)工序中移動(dòng)所述手部，使得在俯視時(shí)所述手部呈相對(duì)于基板收裝中心線向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于基板載置部的前表面在垂直方向上； 在所述檢測工序中，在所述手部相對(duì)于基板收裝中心線向所述基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜的狀態(tài)下，通過設(shè)在所述手部上的檢測部檢測所述基板載置部上的所述基板的配置狀態(tài)，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于所述基板載置部的前表面在垂直方向上。
12.—種基板搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于， 具有手部，所述手部上設(shè)有用于檢測基板載置部上的基板的配置狀態(tài)的檢測部， 通過所述檢測部檢測所述基板載置部上的所述基板的配置狀態(tài)時(shí)，所述手部的位置被設(shè)定成，在俯視時(shí)，所述手部相對(duì)于基板收裝中心線向基板搬運(yùn)機(jī)器人的旋轉(zhuǎn)中心側(cè)傾斜，其中，所述基板收裝中心線相對(duì)于所述基板載置部的前表面在垂直方向上。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK104183521SQ201410131232
【公開日】2014年12月3日 申請(qǐng)日期:2014年4月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月22日
【發(fā)明者】木村吉希 申請(qǐng)人:株式會(huì)社安川電機(jī)