熱處理裝置用的腔室及熱處理裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供熱處理裝置用的腔室及熱處理裝置，對于熱處理裝置用的腔室，即使是大型的，也能夠進一步減少制作所花費的勞力和時間。熱處理裝置(1)的腔室(4)具有：筒狀的側(cè)壁(12)，其用于包圍被處理物；以及端壁(13)，其封閉側(cè)壁(12)的一方的開口部(12b)。腔室(4)是將以氧化硅為主要成分的多個部件(側(cè)壁(12)、端壁(13)、第1連結(jié)部件(14)、第2連結(jié)部件(15))機械結(jié)合起來而形成的。
【專利說明】熱處理裝置用的腔室及熱處理裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于在被加熱的環(huán)境下對被處理物進行處理的熱處理裝置的腔室、以及熱處理裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]公知有用于對玻璃基板等處理基板進行熱處理的熱處理裝置(例如，參照專利文獻I)。作為熱處理裝置的一個例子，專利文獻I中記載的熱處理裝置具有熱處理容器。該熱處理容器是石英管。
[0003]在先技術(shù)文獻
[0004]專利文獻1:日本特開2010 — 177653號公報(0017段)
[0005]近年來，隨著處理基板的大型化，石英管的尺寸也有大型化的傾向。其中，由于強度方面的理由等，難以用金屬制的管來代替石英管。因此，謀求更大尺寸的石英管。然而，制作大型的石英管難易程度高。具體來說，上述的石英管是單獨一個部件。因此，例如在制作石英管時，會產(chǎn)生這樣的作業(yè):分別制作石英管的側(cè)壁和端壁，然后，將這些大型的側(cè)壁和端壁焊接起來。這樣的焊接作業(yè)是花費勞力和時間的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明鑒于上述情況，其目的在于，對于熱處理裝置用的腔室，即使是大型的，也能夠進一步減少制作所花費的勞力和時間。
[0007](I)為了解決上述課題，該發(fā)明的某個方面的熱處理裝置用的腔室的特征在于，其具備:筒狀的側(cè)壁，其用于包圍被處理物；以及端壁，其封閉所述側(cè)壁的一方的開口部，所述腔室是將以氧化硅為主要成分的多個部件機械結(jié)合起來而形成的。
[0008]另外，上述的“機械結(jié)合”是指，將多個部件在維持彼此為單個部件的(能夠分離的)狀態(tài)的狀態(tài)下，相互結(jié)合起來。
[0009]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，腔室由以氧化硅為主要成分的部件形成。由此，腔室的強度和耐熱性優(yōu)異，能夠充分地承受在高溫環(huán)境下的使用。并且，腔室是將多個部件機械結(jié)合起來而形成的。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在制作腔室時，能夠盡可能減少焊接多個部件這樣的花費勞力和時間的作業(yè)。因此，能夠不受腔室的尺寸的限制，進一步減少腔室的制作所花費的勞力和時間。依照上述內(nèi)容，根據(jù)本發(fā)明，對于熱處理裝置用的腔室，即使是大型的，也能夠進一步減少制作所花費的勞力和時間。
[0010](2)優(yōu)選的是，所述多個部件的材質(zhì)包括玻璃、石英和陶瓷中的至少一種。
[0011]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠比較容易地實現(xiàn)強度和耐熱性優(yōu)異的腔室。
[0012](3)優(yōu)選的是，所述多個部件包括多個平板狀部件和多個第I連結(jié)部件，多個所述平板狀部件以整體上構(gòu)成筒形的方式排列，所述第I連結(jié)部件將鄰接的所述平板狀部件彼此連結(jié)起來。
[0013]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過組合多個平板狀部件，能夠?qū)崿F(xiàn)筒狀的側(cè)壁。并且，多個平板狀部件例如能夠以重疊的狀態(tài)進行輸送。因此，能夠容易地進行平板狀部件的輸送作業(yè)、即側(cè)壁的輸送作業(yè)。并且，通過組合平面形狀的平板狀部件，能夠形成立體形狀的側(cè)壁。由此，能夠進一步減少側(cè)壁的制造所花費的勞力和時間。
[0014](4)更優(yōu)選的是，所述多個部件包括梁狀的第2連結(jié)部件，所述第2連結(jié)部件以將多個所述平板狀部件彼此連結(jié)起來的方式架設(shè)于多個所述平板狀部件。
[0015]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，多個平板狀部件利用梁部件而相互結(jié)合。由此，能夠防止側(cè)壁的平板狀部件傾倒。
[0016](5)優(yōu)選的是，所述端壁形成為平板狀，并被載置于所述側(cè)壁的一端。
[0017]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過在側(cè)壁的一端載置平板狀的端壁這樣的簡易的作業(yè)就能夠?qū)崿F(xiàn)利用端壁覆蓋側(cè)壁的一端的結(jié)構(gòu)。
[0018](6)為了解決上述課題，該發(fā)明的某個方面的熱處理裝置具備:上述的熱處理裝置用的腔室；以及氣壓調(diào)整機構(gòu)，其用于使所述腔室內(nèi)的空間的氣壓比所述腔室外的空間的氣壓高。
[0019]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，腔室由以氧化硅為主要成分的部件形成。由此，腔室的強度和耐熱性優(yōu)異，能夠充分地承受在高溫環(huán)境下的使用。并且，腔室是將多個部件機械結(jié)合起來而形成的。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在制作腔室時，能夠盡可能減少焊接多個部件這樣的花費勞力和時間的作業(yè)。因此，能夠不受腔室的尺寸的限制，進一步減少腔室的制作所花費的勞力和時間。依照上述內(nèi)容，根據(jù)本發(fā)明，對于熱處理裝置用的腔室，即使是大型的，也能夠進一步減少制作所花費的勞力和時間。并且，氣壓調(diào)整機構(gòu)以使腔室內(nèi)的空間的氣壓比腔室外的空間的氣壓高的方式進行動作。由此，能夠抑制在腔室的外部存在的異物(顆粒)侵入到腔室內(nèi)的空間。因此，即使在組裝式的腔室的側(cè)壁和端壁之間等產(chǎn)生間隙，也能夠抑制腔室的外部的異物侵入到腔室內(nèi)的空間。因此，能夠抑制上述異物附著于被處理物的情況。由此，根據(jù)本發(fā)明的熱處理措施，與腔室形成為單獨一個部件的情況同樣地，能夠抑制因異物附著到被處理物造成的、被處理物產(chǎn)生不良的情況。
[0020]發(fā)明效果
[0021]根據(jù)本發(fā)明，對于熱處理裝置用的腔室，即使是大型的，也能夠進一步減少制作所花費的勞力和時間。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是本發(fā)明的實施方式的熱處理裝置的剖視圖。
[0023]圖2是熱處理裝置的腔室的立體圖。
[0024]圖3是腔室的分解立體圖。
[0025]圖4是腔室的剖視圖，并示出從上方觀察腔室的狀態(tài)。
[0026]圖5是圖3的主要部分的放大圖。
[0027]圖6是變形例的主要部分的剖視圖。
[0028]標號說明
[0029]1:熱處理裝置；
[0030]4:腔室；
[0031]9:氣體供給裝置(氣壓調(diào)整機構(gòu));
[0032]12:側(cè)壁(多個部件)；
[0033]13:端壁(多個部件);
[0034]14:第I連結(jié)部件(多個部件)；
[0035]15:第2連結(jié)部件(多個部件)；
[0036]16:平板狀部件；
[0037]100:被處理物。

【具體實施方式】
[0038]下面，參照附圖對用于實施本發(fā)明的方式進行說明。另外，本發(fā)明能夠廣泛適用于對被處理物進行熱處理的熱處理裝置。
[0039]圖1是本發(fā)明的實施方式的熱處理裝置I的剖視圖，示出了從側(cè)方觀察熱處理裝置I的狀態(tài)。圖2是熱處理裝置I的腔室4的立體圖。圖3是腔室4的分解立體圖。圖4是腔室4的剖視圖，并示出從上方觀察腔室4的狀態(tài)。
[0040]參照圖1，熱處理裝置I構(gòu)成為能夠?qū)Ρ惶幚砦?00的表面實施熱處理。更具體來說，熱處理裝置I構(gòu)成為，能夠通過朝向被處理物100供給被加熱的氣體，來對被處理物100的表面實施熱處理。
[0041]被處理物100例如是玻璃基板或半導(dǎo)體基板等，在本實施方式中，形成為矩形的平板狀。
[0042]熱處理裝置I具有:基板2、加熱器3、腔室4、密封部件5、6、支承體(boat) 7、升降機構(gòu)8以及氣體供給裝置9。
[0043]基板2被設(shè)置為支承加熱器3和腔室4的部件。在基板2的中央形成有貫通孔。加熱器3被配置成從上方蓋住該貫通孔。
[0044]加熱器3例如是電熱加熱器，在本實施方式中，構(gòu)成為能夠?qū)怏w加熱至600°C左右。加熱器3整體上形成為箱狀，并具有朝下敞開的開口部3a。加熱器3的開口部3a被基板2支承。在被加熱器3包圍的空間配置有腔室4。
[0045]腔室4構(gòu)成為用于對被處理物100進行熱處理的處理室。腔室4整體上形成為箱狀，并具有朝下敞開的開口部4a。腔室4的開口部4a與密封部件5接觸，并經(jīng)由該密封部件5而支承于基板2。密封部件5是具有耐熱性的環(huán)狀部件，其將腔室4的開口部4a和基板2的上表面之間氣密地密封起來。腔室4內(nèi)的空間4b穿過基板2的貫通孔而連續(xù)至基板2的下方的空間。腔室4的詳細結(jié)構(gòu)在后面敘述。在熱處理裝置I進行熱處理動作時，在腔室4內(nèi)的空間4b配置有被處理物100。被處理物100例如以垂直地立起的狀態(tài)被支承于支承體7。
[0046]支承體7是為了將被處理物100配置在腔室4內(nèi)而設(shè)置的。支承體7例如形成為圓板狀，并在中央具有臺座。在該臺座上固定多個被處理物100的下端部。各被處理物100以相互平行地排列的狀態(tài)被支承于臺座。在支承體7的外周部的上表面配置有密封部件6。密封部件6是具有耐熱性的環(huán)狀部件，其將支承體7的外周部的上表面和基板2的下表面之間氣密地密封起來。支承體7被升降機構(gòu)8支承，借助升降機構(gòu)8的動作而能夠與被處理物100 —起在上下方向上移位。在支承體7安裝有氣體供給裝置9。
[0047]氣體供給裝置9構(gòu)成為向腔室4的內(nèi)部供給用于熱處理的氣體。氣體供給裝置9是本發(fā)明的“氣壓調(diào)整裝置”的一個例子。氣體供給裝置9具有氣體管10和泵11。氣體管10貫穿支承體7，氣體管10的一端向腔室4內(nèi)的空間4b敞開。泵11將來自未圖示的氣罐的氣體通過氣體管10而供給到腔室4內(nèi)的空間4b。由此，腔室4內(nèi)的空間4b被略微加壓(微加壓)。由此，腔室4內(nèi)的空間4b的氣壓比腔室4外的氣壓高。
[0048]作為熱處理裝置I進行熱處理時的動作，首先，將被處理物100在被支承體7支承的狀態(tài)下配置到腔室4內(nèi)的空間4b中。接著，氣體供給裝置9將氣體供給到空間4b內(nèi)并進行加熱器3的加熱動作。由此，腔室4內(nèi)的空間4b被加熱，從而進行被處理物100的熱處理。
[0049]接著，對腔室4的詳細結(jié)構(gòu)進行說明。參照圖1?圖4，腔室4是將以氧化硅(S12)為主要成分的多個部件機械地結(jié)合起來而形成的。
[0050]具體來說，腔室4具有:側(cè)壁12、端壁13、第I連結(jié)部件14以及第2連結(jié)部件15。
[0051]在本實施方式中，腔室4的各部件(側(cè)壁12、端壁13、第I連結(jié)部件14、第2連結(jié)部件15)都是石英制的材料。另外，腔室4的各部件的材質(zhì)不限于石英，也可以是玻璃，還可以是陶瓷。這樣，腔室4例如包括玻璃、石英和陶瓷中的至少一種即可。
[0052]側(cè)壁12是為了包圍被處理物100而設(shè)置的，其整體上形成為筒狀。在本實施方式中，側(cè)壁12整體上形成為多邊形形狀(八邊形形狀)。側(cè)壁12形成為具有能夠容納多個被處理物100的大小。
[0053]側(cè)壁12具有多個(在本實施方式中為8個)平板狀部件16 (16a?16h)。另外，在統(tǒng)稱多個平板狀部件16a?16h的情況下，簡單稱作平板狀部件16。
[0054]各平板狀部件16形成為矩形的平板狀。各平板狀部件16的厚度例如為幾mm左右。平板狀部件16能夠以相互重疊的狀態(tài)進行輸送。各平板狀部件16的緣部是通過機械加工而整形而成的。平板狀部件16以整體上形成為筒狀的方式排列起來。具體來說，相鄰的2個平板狀部件16以在俯視觀察時彼此傾斜的狀態(tài)進行配置。相鄰的2個平板狀部件16利用第I連結(jié)部件14而相互連結(jié)。
[0055]圖5是圖3的主要部分的放大圖。參照圖3?圖5，在本實施方式中，第I連結(jié)部件14的數(shù)量與平板狀部件16的數(shù)量相同。第I連結(jié)部件14配置在相鄰的2個平板狀部件16之間。
[0056]各第I連結(jié)部件14是沿上下細長地延伸的柱部件，在本實施方式中，形成為四棱柱狀。各第I連結(jié)部件14具有一對槽部14a、14b。
[0057]槽部14a、14b被設(shè)置為將鄰接的2個平板狀部件16連結(jié)起來的部分。槽部14a、14b形成于第I連結(jié)部件14的一對側(cè)面，并從第I連結(jié)部件14的上端延伸至下端。在俯視觀察時，槽部14a、14b形成在彼此傾斜的方向上。槽部14a、14b與對應(yīng)的平板狀部件16的一個緣部嵌合。由此，鄰接的2個平板狀部件16經(jīng)由第I連結(jié)部件14連結(jié)起來。在各第I連結(jié)部件14的上表面形成有凸部14c。該凸部14c被設(shè)置為嵌入于端壁13的后述的貫通孔中的突起。根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，多個平板狀部件16利用柱狀的第I連結(jié)部件14沿側(cè)壁12的周向被依次連結(jié)起來，形成多邊形狀(筒狀)的閉合的側(cè)面。
[0058]第2連結(jié)部件15被設(shè)置為將2個平板狀部件16a、16e連結(jié)起來的梁狀的部件，其被架設(shè)于所述平板狀部件16a、16e。
[0059]在本實施方式中，設(shè)有2個第2連結(jié)部件15。各第2連結(jié)部件15將相互平行地并列的2個平板狀部件16a、16e彼此連結(jié)起來。
[0060]各第2連結(jié)部件15具有梁部15a和一對端部15b、15c。
[0061]梁部15a形成為細長的桿狀，在本實施方式中，形成為四棱柱狀。梁部15a被配置在相互平行地并列的2個平板狀部件16a、16e的上端部之間。在梁部15a上形成有一對端部 15b、15c。
[0062]一對端部15b、15c被設(shè)置為與對應(yīng)的平板狀部件16a、16e結(jié)合的部分。一對端部15b、15c分別形成為塊狀。一對端部15b、15c分別與對應(yīng)的平板狀部件16a、16e的上端部彡口口 ?
[0063]具體來說，在平板狀部件16a的上端部形成有槽部18a、18a，在平板狀部件16e的上端部形成有槽部18b、18b。槽部18a、18a以與第2連結(jié)部件15的一方的端部15b、15b對應(yīng)的方式形成。各槽部18a、18a例如是側(cè)視觀察時形成為矩形的槽。一方的端部15b、15b嵌入于槽部18a、18a。在一方的端部15b、15b的下表面分別形成有凹陷部15d。該凹陷部15d支承于對應(yīng)的槽部18a、18a的底部。另外，對于各第2連結(jié)部件15的另一方的端部15c與平板狀部件16e的對應(yīng)的槽部18b的機械結(jié)合的方式，由于也與上述相同，所以省略說明。
[0064]根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，第I連結(jié)部件14的上表面的高度、第2連結(jié)部件15的上表面的高度、和平板狀部件16 (16a?16h)的上端部的高度是平齊的。在各第2連結(jié)部件15的一對端部15b、15c的上表面例如形成有2個凸部15e。該凸部15e被設(shè)置為嵌入于端壁13的后述的貫通孔中的突起。
[0065]參照圖2、圖3和圖5，端壁13被設(shè)置為封閉側(cè)壁12的上部的開口部12a的部分。端壁13整體上形成為平板狀，并被載置于側(cè)壁12的上端。在俯視觀察時，端壁13的形狀與側(cè)壁12的形狀對應(yīng)。具體來說，在本實施方式中，端壁13形成為八邊形形狀。在本實施方式中，端壁13的厚度被設(shè)定為與側(cè)壁12的厚度相同。
[0066]端壁13具有多個(在本實施方式中為3個)平板狀部件19 (19a?19c)。另外，在統(tǒng)稱平板狀部件19a?19c的情況下，簡單稱作平板狀部件19。
[0067]平板狀部件19b形成為矩形的平板狀。平板狀部件19a、19c形成為大致梯形形狀。按照平板狀部件19a、19b、19c的順序，配置這些平板狀部件19，由此，整體上形成了八邊形形狀的端壁13。平板狀部件19a?19c能夠以相互重疊的狀態(tài)進行輸送。各平板狀部件19a?19c的緣部是通過機械加工而整形而成的。
[0068]在端壁13的平板狀部件19上形成有與第I連結(jié)部件14的凸部14c嵌合的貫通孔、以及與第2連結(jié)部件15的凸部15e嵌合的貫通孔。在端壁13的平板狀部件19的所述貫通孔中嵌入有對應(yīng)的凸部14c、15e。并且，端壁13的平板狀部件19被支承于側(cè)壁12的平板狀部件16、第I連結(jié)部件14和第2連結(jié)部件15。
[0069]由此，端壁13與第I連結(jié)部件14、第2連結(jié)部件15以及側(cè)壁12的平板狀部件16機械地結(jié)合起來。根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，被側(cè)壁12和端壁13圍成的空間成為腔室4內(nèi)的空間4b 0
[0070]在腔室4的各部件(側(cè)壁12、端壁13、第I連結(jié)部件14、第2連結(jié)部件15)之間，并未特別地設(shè)置密封機構(gòu)。因此，考慮到在腔室4的外部的空間中飄浮的顆粒等例如有可能從平板狀部件16與第I連結(jié)部件14之間、或者平板狀部件I與端壁13之間侵入。然而，利用圖1所示的氣體供給裝置9，腔室4內(nèi)的空間4b的氣壓被設(shè)定得比腔室4的外部的氣壓高。由此，即使沒有在腔室4的各部件之間設(shè)置密封構(gòu)造，也能夠抑制顆粒侵入到腔室4內(nèi)的空間4b。
[0071]具有上述的結(jié)構(gòu)的腔室4在輸送時成為被分解的狀態(tài)。在輸送腔室4時，側(cè)壁12的各平板狀部件16和端壁13的各平板狀部件19例如以重合的狀態(tài)被輸送。而且，在作業(yè)人員組裝腔室4時，作業(yè)人員首先使用第I連結(jié)部件14將鄰接的2個平板狀部件16之間相互結(jié)合。由此，側(cè)壁12完成。接著，作業(yè)人員在側(cè)壁12的相互平行的2個平板狀部件16aU6e之間架設(shè)第2連結(jié)部件15。由此，能夠防止側(cè)壁12的各平板狀部件16傾倒。接著，作業(yè)人員將端壁13設(shè)置在側(cè)壁12的上端。端壁13由于被第I連結(jié)部件14、第2連結(jié)部件15和平板狀部件16支承而抑制了撓曲。由此，腔室4完成。
[0072]如以上說明那樣，根據(jù)本實施方式的熱處理裝置1，腔室4由以氧化硅為主要成分的部件(側(cè)壁12、端壁13、第I連結(jié)部件14和第2連結(jié)部件15)形成。由此，腔室4的強度和耐熱性優(yōu)異，能夠充分地承受在高溫環(huán)境下的使用。并且，腔室4是將多個部件(側(cè)壁12、端壁13、第I連結(jié)部件14和第2連結(jié)部件15)機械結(jié)合起來而形成的。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在制作腔室4時，能夠盡可能減少焊接多個部件這樣的花費勞力和時間的作業(yè)。因此，能夠不受腔室4的尺寸的限制，進一步減少腔室4的制作所花費的勞力和時間。依照以上內(nèi)容，對于熱處理裝置I的腔室4，即使是大型的，也能夠進一步減少制作所花費的勞力和時間。
[0073]這里，對利用焊接等將多個部件一體化而成的現(xiàn)有的石英制的大型腔室進行說明，根據(jù)這樣的腔室，在制作時工具等容易與石英接觸，從而石英腔室容易發(fā)生破損。并且，現(xiàn)有的大型腔室在進行輸送時，無法分解，從而需要謹慎地處理以便不發(fā)生因接觸等造成的破損，處理困難。并且，大型腔室的制造成本增高。
[0074]與此相對，根據(jù)本實施方式的腔室4，在制作腔室4時，分別地形成腔室4的各個部件(側(cè)壁12、端壁13、第I連結(jié)部件14、第2連結(jié)部件15)。因此，能夠減少在制作腔室4時工具等發(fā)生接觸的可能性，其結(jié)果是，腔室4不易發(fā)生破損。并且，在輸送腔室4時，能夠分別地輸送上述各個部件。由此，在輸送腔室4時，能夠容易地抑制上述各個部件與工具等接觸而發(fā)生破損。由此，腔室4的處理容易。并且，不需要通過焊接等將腔室4的上述各個部件一體化，從而能夠進一步降低腔室4的制造成本。
[0075]并且，根據(jù)熱處理裝置1，腔室4的材質(zhì)包括玻璃、石英和陶瓷中的至少一種(在本實施方式中為石英)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠比較容易地實現(xiàn)強度和耐熱性優(yōu)異的腔室。
[0076]并且，根據(jù)熱處理裝置I，通過組合多個平板狀部件16 (16a?16h)，能夠?qū)崿F(xiàn)筒狀的側(cè)壁12。并且，各平板狀部件16a?16h例如能夠以重疊的狀態(tài)進行輸送。因此，能夠容易地進行平板狀部件16的輸送作業(yè)、即側(cè)壁12的輸送作業(yè)。并且，通過組合平面形狀的平板狀部件16，能夠形成立體形狀的側(cè)壁12。由此，能夠進一步減少側(cè)壁12的制造所花費的勞力和時間。
[0077]并且，根據(jù)熱處理裝置I，多個平板狀部件16a、16e利用梁狀的第2連結(jié)部件15而相互結(jié)合。由此，能夠防止側(cè)壁12的平板狀部件16傾倒。
[0078]并且，根據(jù)熱處理裝置1，端壁13形成為平板狀，并被載置于側(cè)壁12的上端。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過在側(cè)壁12的上端載置平板狀的端壁13這樣的簡易的作業(yè)就能夠?qū)崿F(xiàn)利用端壁13覆蓋側(cè)壁12的上端的結(jié)構(gòu)。
[0079]并且，根據(jù)熱處理裝置I，氣體供給裝置9以使腔室4內(nèi)的空間4b的氣壓比腔室4外的空間的氣壓高的方式進行動作。由此，能夠抑制在腔室4的外部存在的異物(顆粒)侵入到腔室4內(nèi)的空間4b。因此，即使在組裝式的腔室的側(cè)壁12和端壁13之間等產(chǎn)生間隙，也能夠抑制腔室4的外部的異物侵入到腔室4的內(nèi)部的空間。因此，能夠抑制上述異物附著于被處理物100的情況。由此，與腔室4形成為單獨一個部件的情況同樣地，能夠抑制因異物附著到被處理物100造成的、被處理物100產(chǎn)生不良的情況。
[0080]以上，對本發(fā)明的實施方式進行了說明，但本發(fā)明并不限于上述的實施方式。本發(fā)明在權(quán)利要求書記載的范圍內(nèi)能夠進行各種各樣的變更。
[0081](I)在上述實施方式中，以利用在腔室4的下方配置的氣體供給裝置9來對腔室4內(nèi)的空間4b的氣體加壓的方式為例進行了說明。然而，也可以不是這樣。例如，也可以采用向柱狀的第I連結(jié)部件14和側(cè)壁12的平板狀部件16之間導(dǎo)入氮氣等惰性氣體的結(jié)構(gòu)。如果是將惰性氣體導(dǎo)入到腔室4內(nèi)的空間4b的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒈景l(fā)明適用于低氧濃度的工序。
[0082](2)此外，在上述的實施方式中，以俯視觀察時側(cè)壁12為八邊形形狀的方式為例進行了說明。然而，也可以不是這樣。例如，側(cè)壁12在俯視觀察時也可以是四邊形形狀。在該情況下，如圖6所示，第I連結(jié)部件14的槽部14a、14b形成為俯視觀察時相互垂直。在該情況下，使用4張平板狀部件16，并將端壁13形成為矩形。
[0083]本發(fā)明作為用于在被加熱的環(huán)境下對被處理物進行處理的熱處理裝置用的腔室、以及熱處理裝置能夠得到廣泛應(yīng)用。
【權(quán)利要求】
1.一種熱處理裝置用的腔室，其特征在于， 所述熱處理裝置用的腔室具備: 筒狀的側(cè)壁，其用于包圍被處理物；以及 端壁，其封閉所述側(cè)壁的一方的開口部， 所述腔室是將以氧化硅為主要成分的多個部件機械結(jié)合起來而形成的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置用的腔室，其特征在于， 所述多個部件的材質(zhì)包括玻璃、石英和陶瓷中的至少一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置用的腔室，其特征在于， 所述多個部件包括多個平板狀部件和多個第I連結(jié)部件， 多個所述平板狀部件以整體上構(gòu)成筒形的方式排列， 所述第I連結(jié)部件將鄰接的所述平板狀部件彼此連結(jié)起來。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱處理裝置用的腔室，其特征在于， 所述多個部件包括梁狀的第2連結(jié)部件， 所述第2連結(jié)部件以將多個所述平板狀部件彼此連結(jié)起來的方式架設(shè)于多個所述平板狀部件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置用的腔室，其特征在于， 所述端壁形成為平板狀，并被載置于所述側(cè)壁的一端。
6.一種熱處理裝置，其特征在于， 所述熱處理裝置具備: 權(quán)利要求1?權(quán)利要求5中的任一項所述的熱處理裝置用的腔室；以及 氣壓調(diào)整機構(gòu)，其用于使所述腔室內(nèi)的空間的氣壓比所述腔室外的空間的氣壓高。
【文檔編號】H01L21/67GK104347454SQ201410356050
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年7月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月26日
【發(fā)明者】笠次克尚, 西村圭介, 浦崎義彥, 森川清彥, 中西裕也 申請人:光洋熱系統(tǒng)股份有限公司