激光束照射裝置、基板密封及制造有機(jī)發(fā)光顯示器的方法本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2011年1月5日、申請(qǐng)?zhí)枮?01110006551.5、名稱為“激光束照射裝置、基板密封及制造有機(jī)發(fā)光顯示器的方法”的發(fā)明專(zhuān)利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。優(yōu)先權(quán)要求本申請(qǐng)參考早先于2010年1月7日遞交韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局并被按時(shí)分配序列號(hào)No.10-2010-0001310的申請(qǐng)，將其合并于此，并要求其所有權(quán)益。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及激光束照射裝置、對(duì)基板進(jìn)行密封的方法以及制造有機(jī)發(fā)光顯示器的方法。

背景技術(shù)：
近來(lái)，顯示器正被便攜式薄平板顯示器取代。在平板顯示器之中，電致發(fā)光顯示器是自發(fā)射顯示器，其具有寬的視角、高的對(duì)比率以及快的響應(yīng)速度，因此被認(rèn)為是下一代顯示器。而且，與無(wú)機(jī)發(fā)光顯示器相比，包括由有機(jī)材料形成的發(fā)射層的有機(jī)發(fā)光顯示器具有極好的發(fā)光度、驅(qū)動(dòng)電壓以及響應(yīng)速度特性，并且可以實(shí)現(xiàn)多色彩。有機(jī)發(fā)光顯示器具有在兩個(gè)電極之間插入包括發(fā)射層的至少一個(gè)有機(jī)層的結(jié)構(gòu)。當(dāng)來(lái)自外部的水或氧氣透過(guò)有機(jī)發(fā)光顯示器時(shí)，電極材料可能被氧化，或者可能發(fā)生脫落，這可能降低有機(jī)發(fā)光器件的壽命和發(fā)光效率，從而可能使發(fā)光色彩劣化。相應(yīng)地，當(dāng)制造有機(jī)發(fā)光顯示器時(shí)，通常對(duì)有機(jī)發(fā)光器件進(jìn)行密封以便將有機(jī)發(fā)光器件與外部隔離，從而使得水不會(huì)滲透到有機(jī)發(fā)光器件中。密封工藝的實(shí)例包括將無(wú)機(jī)薄膜和諸如聚酯(PET)之類(lèi)的有機(jī)聚合物層壓在有機(jī)發(fā)光顯示器的第二電極上的方法，以及在封裝基板中形成吸收劑并且將氮?dú)馓畛涞椒庋b基板中、而后使用諸如環(huán)氧樹(shù)脂之類(lèi)的密封劑對(duì)封裝基板的邊界進(jìn)行密封的方法。然而，不可能完全阻止諸如水或氧氣之類(lèi)的元素從外部滲透，這會(huì)毀壞利用上述方法進(jìn)行密封的有機(jī)發(fā)光器件，因而該方法不能應(yīng)用于特別易受水影響的有機(jī)發(fā)光顯示器，并且用于實(shí)現(xiàn)該方法的工藝也是復(fù)雜的。為了解決這些問(wèn)題，已設(shè)計(jì)了將玻璃料用作密封劑以改善有機(jī)發(fā)光器件的基板與封裝基板之間的粘合特性的方法。通過(guò)將玻璃料涂覆在玻璃基板上而對(duì)有機(jī)發(fā)光顯示器進(jìn)行密封，可以將有機(jī)發(fā)光器件的基板和封裝基板完全密封，從而有效地保護(hù)有機(jī)發(fā)光顯示器。通過(guò)將玻璃料涂覆在每個(gè)有機(jī)發(fā)光顯示器的密封單元上、并且通過(guò)移動(dòng)激光束照射裝置將激光束照射到每個(gè)有機(jī)發(fā)光顯示器的密封單元上，利用玻璃料對(duì)基板進(jìn)行密封，從而使玻璃料變硬并且對(duì)基板進(jìn)行密封。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明提供一種包括用于改善玻璃料截面的溫度均勻性的束分布曲線的激光束照射裝置、對(duì)基板進(jìn)行密封的方法以及制造有機(jī)發(fā)光顯示器的方法。根據(jù)本發(fā)明的一方面，一種激光束照射裝置，將激光束照射到布置在第一基板與第二基板之間的密封單元上以密封所述第一基板和所述第二基板，其中所述激光束在與所述激光束的行進(jìn)方向垂直的表面上具有從所述激光束的中央部分向末端部分增大的束強(qiáng)度，并且所述激光束的中央部分處的束強(qiáng)度是所述激光束的末端部分處的束強(qiáng)度的一半或更小，并且所述激光束具有相對(duì)于所述激光束的行進(jìn)方向?qū)ΨQ的束分布曲線。所述激光束可以順次包括束強(qiáng)度從所述激光束的中央部分向末端部分慢慢增大的第一段，和束強(qiáng)度增大率比所述第一段高的第二段。所述激光束可以相對(duì)于與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面對(duì)稱。位于所述第一段與所述第二段之間的邊界上的拐點(diǎn)可以相對(duì)于所述激光束的中央部分對(duì)稱分布。所述激光束可以進(jìn)一步包括束強(qiáng)度快速降低的第三段，并且所述第三段被布置在所述第二段的外部。所述激光束可以進(jìn)一步包括束強(qiáng)度均勻的第三段，并且所述第三段被布置在所述第二段的外部。所述激光束可以以點(diǎn)波束的形式照射。所述激光束可以在與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面上具有均勻的束強(qiáng)度。位于所述第一段與所述第二段之間的邊界處的拐點(diǎn)可以在與所述激光束的行進(jìn)方向垂直的表面上對(duì)稱。在與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面上可以不存在位于所述第一段與所述第二段之間的邊界處的拐點(diǎn)。所述激光束的截面可以是矩形。所述激光束在所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面上可以具有與垂直于所述激光束的行進(jìn)方向的表面上的束分布曲線的束強(qiáng)度增大率不同的束強(qiáng)度增大率，并且可以具有相對(duì)于所述激光束的中心完全對(duì)稱的束分布曲線。與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面上的束分布曲線可以具有從所述激光束的中央部分到末端部分降低的束強(qiáng)度。與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面上的束分布曲線可以具有從所述激光束的中央部分到末端部分增大的束強(qiáng)度。所述激光束可以以點(diǎn)波束的形式照射。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，一種對(duì)基板進(jìn)行密封的方法，所述方法通過(guò)將激光束照射到布置在第一基板與第二基板之間的密封單元上而對(duì)基板進(jìn)行密封，所述方法包括：在所述第一基板與所述第二基板之間形成密封單元；將激光束照射到所述密封單元上，其中所述激光束的束強(qiáng)度在與所述激光束的行進(jìn)方向垂直的表面上從所述激光束的中央部分到末端部分增大，并且所述激光束的中央部分的束強(qiáng)度是所述激光束的末端部分處的束強(qiáng)度的一半或更小，并且所述激光束具有關(guān)于所述激光束的行進(jìn)方向?qū)ΨQ的束分布曲線；以及沿著所述密封單元的密封線照射所述激光束。所述激光束的中央部分可以聚焦于所述密封線的中心線上，并且所述激光束可以沿著所述密封線的中心線進(jìn)行掃描以便照射所述激光束。所述激光束的束寬度(BW)可以大于所述密封單元的寬度。所述激光束的束寬度(BW)可以是所述密封單元的寬度的4/3至2倍。所述激光束的束寬度(BW)基本上可以與所述密封單元的寬度相同。作為沿著所述密封線的中心線進(jìn)行掃描并照射的所述激光束的束強(qiáng)度相對(duì)于時(shí)間的積分值的熱通量，可以在所述密封單元的末端部分處大于所述密封單元的中央部分處。所述密封單元可以包括玻璃料。所述激光束可以順次包括束強(qiáng)度從所述激光束的中央部分到末端部分慢慢增大的第一段，和束強(qiáng)度增大率比所述第一段高的第二段。所述激光束可以相對(duì)于與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面對(duì)稱。位于所述第一段與所述第二段之間的邊界處的拐點(diǎn)可以相對(duì)于所述激光束的中央部分對(duì)稱分布。所述激光束可以進(jìn)一步包括布置在所述第二段的外部的第三段，其中束強(qiáng)度在所述第三段中快速降低。所述激光束可以進(jìn)一步包括布置在所述第二段的外部的第三段，其中束強(qiáng)度在所述第三段中是均勻的。所述激光束可以沿著密封線以點(diǎn)波束的形式照射到所述密封單元上。所述激光束可以在與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面上具有均勻的束強(qiáng)度。位于所述第一段與所述第二段之間的邊界處的拐點(diǎn)可以相對(duì)于與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面對(duì)稱分布。在與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面上可以不存在位于所述第一段與所述第二段之間的邊界處的拐點(diǎn)。照射到所述密封單元上的所述激光束沿所述密封線的截面可以是矩形。所述激光束在與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面上可以具有與垂直于所述激光束的行進(jìn)方向的表面上的束分布曲線的束強(qiáng)度增大率不同的束強(qiáng)度增大率，并且可以具有相對(duì)于所述激光束的中心完全對(duì)稱的束分布曲線。與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面上的束分布曲線可以具有從所述激光束的中央部分到末端部分降低的束強(qiáng)度。與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面上的束分布曲線可以具有從所述激光束的中央部分到所述激光束的末端部分增大的束強(qiáng)度。所述激光束可以沿著所述密封線以點(diǎn)波束的形式照射到所述密封單元上。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，一種制造有機(jī)發(fā)光顯示器的方法，包括：在第一基板與第二基板之間形成有機(jī)發(fā)光單元；在所述第一基板與所述第二基板之間形成密封單元，以便環(huán)繞所述有機(jī)發(fā)光單元；將所述第一基板與所述第二基板對(duì)準(zhǔn)；將激光束照射到所述密封單元上，其中所述激光束的束強(qiáng)度在與所述激光束的行進(jìn)方向垂直的表面上從所述激光束的中央部分到末端部分增大，并且所述激光束的中央部分處的束強(qiáng)度是所述激光束的末端部分處的束強(qiáng)度的一半或更小，并且所述激光束具有相對(duì)于所述激光束的行進(jìn)方向?qū)ΨQ的束分布曲線；以及沿著所述密封單元的密封線照射所述激光束。在將所述激光束的中央部分聚焦于所述密封線的中心線上之后，所述激光束可以通過(guò)沿著所述密封線的中心線進(jìn)行掃描而被照射到所述密封線的中心線上。所述有機(jī)發(fā)光單元可以包括至少一個(gè)有機(jī)發(fā)光器件，在所述有機(jī)發(fā)光器件中，包括發(fā)射層的至少一個(gè)有機(jī)層插入第一電極與第二電極之間。所述激光束可以順次包括束強(qiáng)度從所述束的中央部分到末端部分慢慢增大的第一段，和束強(qiáng)度增大率比所述第一段高的第二段。所述激光束可以相對(duì)于與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面對(duì)稱。所述激光束可以在與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面上具有均勻的束強(qiáng)度。所述激光束在與所述激光束的行進(jìn)方向平行的表面上可以具有與垂直于所述激光束的行進(jìn)方向的表面上的束分布曲線的束強(qiáng)度增大率不同的束強(qiáng)度增大率，并且可以具有關(guān)于所述激光束的中心完全對(duì)稱的束分布曲線。所述密封單元可以包括玻璃料。所述玻璃料可以形成閉合環(huán)路以便環(huán)繞所述有機(jī)發(fā)光單元。所述閉合環(huán)路的每個(gè)邊緣可以是具有預(yù)定曲率的曲線。所述閉合環(huán)路的每個(gè)邊緣可以是直角。附圖說(shuō)明通過(guò)參考以下結(jié)合附圖進(jìn)行考慮時(shí)的詳細(xì)描述，本發(fā)明的更完整理解及其許多附加的優(yōu)點(diǎn)將更加明顯，同時(shí)變得更好理解，其中相同的附圖痕跡表示相同或類(lèi)似的組件，其中：圖1是示出通過(guò)使用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光束照射裝置對(duì)有機(jī)發(fā)光顯示器的密封單元進(jìn)行密封的方法的截面圖；圖2是圖1的有機(jī)發(fā)光器件的俯視圖；圖3示出根據(jù)比較例的高斯束分布曲線，用于與根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光束照射裝置所照射的束分布曲線進(jìn)行比較；圖4示出當(dāng)圖3的高斯束分布曲線照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料上時(shí)根據(jù)玻璃料的截面的溫度分布；圖5示出第二比較例的平頂束分布曲線，用于與根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光束照射裝置所照射的束分布曲線進(jìn)行比較；圖6示出當(dāng)圖5的平頂束分布曲線和圖3的高斯束分布曲線照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料上時(shí)，在有效密封寬度FWeff內(nèi)根據(jù)玻璃料截面的歸一化溫度分布；圖7是示出從根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光束照射裝置照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料上的激光束的束分布曲線的示意圖；圖8是示出圖7的束分布曲線的與激光束的行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)的截面圖；圖9是示出圖7的束分布曲線的與激光束的行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)的截面圖；圖10是圖7的束分布曲線的俯視圖；圖11是示出根據(jù)本發(fā)明改進(jìn)實(shí)例的激光束分布曲線的示意圖；圖12是圖11的束分布曲線的與圖11的激光束的行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)的截面圖；圖13是示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的激光束分布曲線的示意圖；圖14是示出圖13的束分布曲線的與圖13的激光束的行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)的截面圖；圖15是當(dāng)具有圖7、11和13的束分布曲線的激光束照射到玻璃料上時(shí)根據(jù)玻璃料的截面的歸一化溫度分布圖；圖16和圖17示出根據(jù)α的變化拐點(diǎn)區(qū)域的變化，用于將有效密封寬度(FWeff)內(nèi)玻璃料的中央部分和末端部分之間的溫差保持為小于15％；圖18是示出在根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的激光束照射裝置中照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料上的激光束的束分布曲線的示意圖；圖19是示出圖18的束分布曲線的與激光束的行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)的截面圖；圖20是示出圖18的束分布曲線的與激光束的行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)的截面圖；圖21是圖18的束分布曲線的俯視圖；圖22是示出當(dāng)具有圖18的束分布曲線的激光束照射到玻璃料上時(shí)根據(jù)玻璃料截面的歸一化溫度分布的圖，其中激光束的長(zhǎng)度被改變；圖23示出拐點(diǎn)可能存在的區(qū)域，用于在有效密封寬度(FWeff)內(nèi)將玻璃料的中央部分與末端部分之間的溫差保持為小于15％；圖24是示出在根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的激光束照射裝置中照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料上的激光束的束分布曲線的示意圖；圖25是圖24的束分布曲線的與激光束的行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)的截面圖；圖26是圖24的束分布曲線的與激光束的行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)的截面圖；圖27是示出圖24的束分布曲線的俯視圖；圖28是示出當(dāng)具有圖24的束分布曲線的激光束照射到玻璃料上時(shí)根據(jù)玻璃料截面的歸一化溫度分布的圖；圖29是示出束分布曲線的形狀根據(jù)α與1/δ之間的關(guān)系而變化的區(qū)域的圖；圖30是示出滿足不等式δ<1/α的實(shí)例的圖，而圖31是示出滿足不等式δ>1/α的實(shí)例的圖；以及圖32至圖34示出根據(jù)激光束的各種掃描速度的拐點(diǎn)區(qū)域，用于將滿足不等式δ<1/α的激光束以及滿足不等式δ>1/α的激光束的有效密封寬度內(nèi)玻璃料的中央部分與末端部分之間的溫差保持為小于15％。具體實(shí)施方式現(xiàn)在將參照附圖更充分地描述本發(fā)明，其中本發(fā)明的示例性實(shí)施例在附圖中示出。圖1是示出通過(guò)使用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光束照射裝置對(duì)有機(jī)發(fā)光顯示器的密封單元進(jìn)行密封的方法的截面圖，而圖2是圖1的有機(jī)發(fā)光器件的俯視圖。參見(jiàn)圖1和圖2，有機(jī)發(fā)光單元130和環(huán)繞有機(jī)發(fā)光單元130的密封單元140被布置在第一基板110與第二基板120之間，并且從激光束照射裝置150照射的激光束160被照射到密封單元140上。有機(jī)發(fā)光單元130形成在第一基板110上。第一基板110可以是玻璃基板。第二基板120是封裝基板，其對(duì)形成于第一基板110上的有機(jī)發(fā)光單元130進(jìn)行封裝，并且后面描述的激光束可以透過(guò)該封裝基板。第二基板120優(yōu)選可以是玻璃基板。有機(jī)發(fā)光單元130包括至少一個(gè)有機(jī)發(fā)光器件(OLED)(未示出)，其中包括發(fā)射層的至少一個(gè)有機(jī)層(未示出)插入第一電極(未示出)與第二電極(未示出)之間。第一電極(未示出)和第二電極(未示出)可以分別用作注入空穴的陽(yáng)極和注入電子的陰極。根據(jù)OLED是否使用薄膜晶體管(TFT)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，可以將OLED(未示出)分類(lèi)為無(wú)源矩陣(PM)OLED和有源矩陣(AM)OLED。根據(jù)本發(fā)明的當(dāng)前實(shí)施例，既可以使用PM型OLED也可以使用AM型OLED。密封單元140被布置在第二基板120上以便環(huán)繞以上所述的有機(jī)發(fā)光單元130。密封單元140可以是閉合環(huán)路，以便防止有機(jī)發(fā)光單元130與來(lái)自外部的水或氧氣之間的接觸。形成圖2中閉合環(huán)路的密封單元140的邊緣是具有預(yù)定曲率的曲線，但本發(fā)明的當(dāng)前實(shí)施例并不限于此。也就是說(shuō)，密封單元140的邊緣可以是不具有任何曲率的直角。當(dāng)密封單元140的邊緣的每一個(gè)都具有預(yù)定曲率時(shí)，包括激光束照射裝置150的光學(xué)系統(tǒng)(未示出)的頭部(未示出)可以沿著包括密封單元140的邊緣的密封線行進(jìn)以直接并連續(xù)地進(jìn)行掃描，從而照射激光束160。以下將激光束照射裝置150的頭部(未示出)行進(jìn)的方向稱為激光束的行進(jìn)方向。當(dāng)密封單元140的邊緣是直角時(shí)，激光束照射裝置150的頭部(未示出)可以在第一方向上沿著密封單元140的第一邊緣進(jìn)行掃描以便照射激光束160，并且圖1中未示出的位于第一基板110下面的載物臺(tái)還被旋轉(zhuǎn)90度。當(dāng)載物臺(tái)旋轉(zhuǎn)時(shí)，第一基板110和第二基板120也隨著載物臺(tái)旋轉(zhuǎn)。在對(duì)載物臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)之后，激光束160在以上所述的第一方向上進(jìn)行掃描并照射，因而激光束160照射到密封單元140的第二邊緣上。密封單元140可以通過(guò)采用以上所述的方式在旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)(未示出)的同時(shí)照射激光束160來(lái)密封。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，密封單元140由玻璃料形成，以便在第一基板110與第二基板120之間提供氣密性，從而有效地保護(hù)有機(jī)發(fā)光單元130。玻璃料通過(guò)使用諸如絲網(wǎng)印刷方法或者筆分發(fā)方法之類(lèi)的各種方法形成，以便具有預(yù)定的玻璃料寬度(FW)。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，密封單元140形成在第二基板120上，并且有機(jī)發(fā)光單元130形成在第一基板110上，以便將第一基板110和第二基板120對(duì)準(zhǔn)，但本發(fā)明并不限于此。例如，密封單元140可以形成在其上形成有有機(jī)發(fā)光單元130的第一基板110上，并且可以與第二基板120對(duì)準(zhǔn)和粘合。盡管圖1和圖2中示出一個(gè)有機(jī)發(fā)光單元130，但在第一基板110與第二基板120之間也可以布置多個(gè)有機(jī)發(fā)光單元130和環(huán)繞多個(gè)有機(jī)發(fā)光單元130的多個(gè)密封單元140。激光束照射裝置150以具有根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的束分布曲線的點(diǎn)波束的形式將激光束照射到布置在第一基板110與第二基板120之間的密封單元140上。將在后面詳細(xì)描述這種束照射。盡管在圖1和圖2中并未詳細(xì)示出，但激光束照射裝置150可以包括產(chǎn)生激光的激光振蕩器(未示出)、勻束器(未示出)以及掃描器(未示出)。激光振蕩器可以是束型多核源，其是通常用于激光密封的高輸出激光源。當(dāng)使用束型多核源時(shí)，每個(gè)核的輸出可能變化，因此以上非均勻的輸出可以通過(guò)使用勻束器(未示出)來(lái)解決。掃描器(未示出)可以包括反射單元(未示出)，其反射從激光振蕩器照射的激光束以便將激光束照射到密封單元140上，掃描器還包括對(duì)反射單元進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)單元(未示出)以及聚集所反射的激光束的透鏡單元(未示出)。透過(guò)透鏡單元(未示出)的激光束160以具有根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的束分布曲線的點(diǎn)波束的形式被照射到密封單元140上。透鏡單元(未示出)可以布置在掃描器中或者布置在掃描器之下，以便面向密封單元140。盡管在圖1和圖2中未示出，但當(dāng)從激光照射裝置150照射的激光束160的寬度LW大于密封單元140的寬度FW時(shí)，在激光束照射裝置150與第二基板120之間布置激光掩模(未示出)，以便對(duì)照射到密封單元140的寬度FW上的激光束160的寬度LW進(jìn)行調(diào)整。圖3示出根據(jù)第一比較例的高斯束分布曲線，用于與根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光束照射裝置所照射的束分布曲線進(jìn)行比較，而圖4示出當(dāng)圖3的高斯束分布曲線照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料上時(shí)根據(jù)玻璃料的截面的溫度分布。參見(jiàn)圖3，具有高斯分布的高斯束分布曲線G之每單位表面的束強(qiáng)度(I)朝著束的中央部分增大，并且高斯束分布曲線G具有軸對(duì)稱分布。在圖3的圖中，平面上的x和y分別指束分布曲線的水平維度和豎直維度，即使在利用激光掩模切斷高斯束分布曲線(G)中圍繞中央軸的一部分時(shí)，高斯束分布曲線的中央部分與利用激光掩模切斷的外圍部分之間仍然存在大約15％或更多的差。當(dāng)將在束分布曲線的中央部分與外圍部分之間具有束強(qiáng)度差的激光束照射到構(gòu)成密封單元140的玻璃料上時(shí)，玻璃料的中央部分(位于水平軸上的0處)與玻璃料的末端部分(位于水平軸的±FW/2處)之間具有45％或更大的溫差，如圖4所示，并且在與總密封寬度FW的80％對(duì)應(yīng)的有效密封寬度FWeff內(nèi)，玻璃料的中央部分和末端部分之間具有34％的最大溫差。需要增大激光輸出以將玻璃料末端部分保持在玻璃料的轉(zhuǎn)變溫度(Tg)430℃或更高，而在這種情況下，玻璃料中由高斯束分布曲線的中央部分密封的中央部分的溫度升高至大約650℃或更高，從而產(chǎn)生過(guò)多的熱量，因此玻璃料達(dá)到過(guò)焊接狀態(tài)。然后，存在于玻璃料中被照射過(guò)多能量的中央部分上的小孔穴膨脹超過(guò)玻璃料的末端部分，并且膨脹后的小孔穴被再次快速冷卻，從而留下看起來(lái)是沸騰氣泡的痕跡。這些氣泡痕跡顯著減小有機(jī)發(fā)光顯示器的粘合力。殘余應(yīng)力由熱膨脹率和溫度被降低的玻璃料的中央部分與末端部分之間的玻璃料溫差確定，其溫度被減小，并且由于玻璃料的中央部分被加熱至比玻璃料的末端部分更高的溫度，又冷卻得比玻璃料的末端部分較晚，因此玻璃料中央部分的張應(yīng)力增大，從而在發(fā)生外部沖擊時(shí)，玻璃料中可能會(huì)發(fā)生斷裂。為了解決這個(gè)問(wèn)題，可以考慮向玻璃料照射具有均勻束強(qiáng)度的分布曲線的激光束。圖5示出平頂束分布曲線，其是用于與根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光束照射裝置所照射的束分布曲線進(jìn)行比較的第二比較例，并且圖6示出當(dāng)圖5的平頂束分布曲線和圖3的高斯束分布曲線照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料上時(shí)，在有效密封寬度FWeff內(nèi)玻璃料截面的歸一化溫度分布。參見(jiàn)圖5，具有平頂分布的激光束分布曲線F具有磚形分布，其中束的中央部分每單位表面和束的外圍部分每單位表面的束強(qiáng)度(I)是均勻的。圖6的水平軸表示有效密封寬度FWeff內(nèi)的玻璃料位置，并且豎直軸NT表示歸一化溫度。參見(jiàn)圖5和圖6，即使在具有均勻束強(qiáng)度的平頂激光束F被照射到玻璃料上時(shí)，玻璃料截面的溫度均勻性從34％減小至32％，即減小了大約2％，這表明溫度均勻性幾乎沒(méi)有改善。這是因?yàn)榕c玻璃料的中央部分相比，熱量更容易沿著玻璃料的末端部分耗散。為了解決以上問(wèn)題，不需要將均勻束強(qiáng)度的激光束照射到玻璃料上，而是在照射激光束之后，需要將玻璃料截面中的溫度分布調(diào)整為均勻的。為此，需要向玻璃料的末端部分額外供應(yīng)比玻璃料的中央部分較大量的能量。下文中，將參照?qǐng)D7至圖34描述在對(duì)有機(jī)發(fā)光顯示器的基板進(jìn)行密封時(shí)，可以用于通過(guò)使用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光束照射裝置來(lái)改善玻璃料截面的溫度分布均勻性的激光束分布曲線?！緦?shí)施例1】圖7是示出從根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光束照射裝置照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料上的激光束的束分布曲線的示意圖，圖8是示出圖7的束分布曲線的與激光束的行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)的截面圖，圖9是示出圖7的束分布曲線的與激光束的行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)的截面圖，以及圖10是圖7的束分布曲線的俯視圖。水平軸(x)和豎直軸(y)表示束分布曲線相對(duì)于玻璃料寬度(FW)的位置，并且高度(歸一化強(qiáng)度，NI)表示歸一化束強(qiáng)度。參見(jiàn)圖7至圖10，激光束160在根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的激光束照射裝置150中照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料140上，其具有束強(qiáng)度朝著束的末端部分(E)增大的分布曲線。束的中央部分(C)中的束強(qiáng)度優(yōu)選可以是束的末端部分(E)處束強(qiáng)度的一半或更小。根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的激光束160的分布曲線相對(duì)于激光束行進(jìn)方向(L)和與激光束行進(jìn)方向垂直的方向(H)對(duì)稱。激光束160的分布曲線包括第一段(Ix,Iy)和第二段(IIx,IIy)，在第一段(Ix,Iy)中，束強(qiáng)度從束的中央部分(C)向束的末端部分(E)慢慢增大，并且在第二段(IIx,IIy)中，束強(qiáng)度的增大率高于第一段。根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的激光束160的分布曲線包括位于第一段(Ix,Iy)與第二段(IIx,IIy)之間的邊界處相對(duì)于激光束的中央部分(C)對(duì)稱的拐點(diǎn)(I)。拐點(diǎn)(I)可以由參數(shù)α、β和γ定義，其中α表示最大束強(qiáng)度相對(duì)于最小束強(qiáng)度的比率。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，最小束強(qiáng)度是位于束的中央部分(C)處的0.1，并且最大束強(qiáng)度是位于激光束的末端部分(E)處的1.0，因此α是10。β表示拐點(diǎn)處的束強(qiáng)度相對(duì)于最小束強(qiáng)度的比率。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，最小束強(qiáng)度是位于束的中央部分(C)處的0.1，并且拐點(diǎn)(I)處的束強(qiáng)度是0.2，因此β是2。γ表示束的中央部分與拐點(diǎn)(I)之間的水平距離相對(duì)于總的束寬度的比率。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，總的束寬度是0.6mm，并且激光束的中央部分與拐點(diǎn)(I)之間的水平距離是0.18mm，因此γ是0.3。參見(jiàn)圖10，其是根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的束分布曲線的俯視圖，激光束160相對(duì)于激光束行進(jìn)方向(L)和與激光束行進(jìn)方向垂直的方向(H)對(duì)稱，因此束寬度(BW)相對(duì)于激光束行進(jìn)方向(L)和與激光束行進(jìn)方向垂直的方向(H)也對(duì)稱。相應(yīng)地，激光束160可以以具有圓形截面的斑點(diǎn)的形式進(jìn)行照射。激光束160以點(diǎn)波束的形式進(jìn)行照射，并且可以在沿著密封單元140的密封線進(jìn)行掃描的同時(shí)移動(dòng)。在這點(diǎn)上，激光束160的中心線聚焦于密封線的中心線上，并且激光束160沿著密封線的中心線進(jìn)行掃描。相應(yīng)地，當(dāng)將具有強(qiáng)度從束的中央部分(C)朝著束的末端部分(E)增大的束分布曲線的激光束160照射到密封單元140時(shí)，熱通量，即沿著密封線的中心線進(jìn)行照射的激光束的強(qiáng)度關(guān)于時(shí)間的積分值，在密封單元140的末端部分處比在密封單元140的中央部分處更大。結(jié)果，向密封單元140的末端部分供應(yīng)比密封單元140的中央部分更多的能量，因此玻璃料截面的溫度均勻性可以得到增強(qiáng)。密封單元140可以由玻璃料形成。激光束寬度(BW)可以被設(shè)計(jì)為基本上與玻璃料寬度(FW)相同。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，激光束寬度(BW)和玻璃料寬度(FW)都是600μm。然而，本發(fā)明并不限于此。因此，激光束160的束寬度(BW)可以大于玻璃料寬度(FW)。然而，當(dāng)束寬度(BW)過(guò)大時(shí)，則即使在使用激光掩模(未示出)阻擋激光束160時(shí)，透射到激光掩模的能量也會(huì)增加，并且圍繞玻璃料的布線單元或者有機(jī)發(fā)光單元130可能被損壞，因此束寬度(BW)優(yōu)選可以是玻璃料寬度(FW)的兩倍或更小，例如是玻璃料寬度(FW)的4/3倍。圖11是示出根據(jù)本發(fā)明改進(jìn)實(shí)例的激光束分布曲線的示意圖，而圖12是圖11的束分布曲線的與圖11的激光束行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)的截面圖。如在之前描述的實(shí)施例中那樣，激光束161也具有相對(duì)于激光束行進(jìn)方向(L)和與激光束行進(jìn)方向(L)垂直的方向(H)對(duì)稱的束分布曲線。在圖12中，僅僅示出其中束強(qiáng)度與激光束行進(jìn)方向(L)垂直的表面(yz表面)的截面圖。從激光束的中央部分(C)到激光束的末端部分(E)，激光束161順次包括束強(qiáng)度慢慢增大的第一段(Ix)、束強(qiáng)度增大率比第一段高的第二段(IIx)，以及處于第二段(IIx,IIy)的外部且束強(qiáng)度快速減小的第三段(IIIx)。根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的激光束寬度(BW)是800μm，其大于600μm的玻璃料寬度(FW)。圖13是示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的激光束分布曲線的示意圖，而圖14是示出圖13的束分布曲線的與激光束行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)的截面圖。如在之前描述的實(shí)施例中那樣，激光束162也具有相對(duì)于激光束行進(jìn)方向(L)和與激光束行進(jìn)方向(L)垂直的方向(H)對(duì)稱的束分布曲線。在圖14中，僅僅示出其中束強(qiáng)度與激光束行進(jìn)方向(L)垂直的表面(yz表面)的截面圖。從激光束的中央部分(C)到激光束的末端部分(E)，激光束162順次包括束強(qiáng)度慢慢增大的第一段(Ix)、束強(qiáng)度增大率比第一段高的第二段(IIx)，以及位于第二截面(IIx,IIy)的外部且束強(qiáng)度均勻的第三段(IIIx)。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，激光束寬度(BW)是800μm，其大于600μm的玻璃料寬度。圖15是當(dāng)具有圖7、11和13的束分布曲線的激光束照射到玻璃料上時(shí)沿著玻璃料截面的歸一化溫度分布圖。參見(jiàn)圖15，在針對(duì)具有圖7的束分布曲線的激光束160的溫度分布(T160)中，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有30％的溫差，并且在有效密封寬度(FWeff)內(nèi)，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有小于3％的溫差。在針對(duì)具有圖11的束分布曲線的激光束161的溫度分布(T161)中，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有25％的溫差，并且在有效密封寬度(FWeff)內(nèi)，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有小于3％的溫差。在具有圖13的束分布曲線的溫度分布(T162)中，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有25％的溫差，并且在有效密封寬度(FWeff)內(nèi)，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有小于3％的溫差。關(guān)于圖3和圖4的高斯束分布曲線，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有45％或更大的溫差，并且在有效密封寬度(FWeff)內(nèi)，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有最大值34％的最大溫差。而且，當(dāng)具有根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例和改進(jìn)示例的束分布曲線的激光束被照射時(shí)，沿玻璃料末端部分的溫度分布的均勻性得到改善。圖16和圖17示出根據(jù)α的變化拐點(diǎn)區(qū)域的變化，用于將有效密封寬度(FWeff)內(nèi)玻璃料的中央部分和末端部分之間的溫差保持為小于15％。圖16示出當(dāng)以20mm/sec的掃描速度照射參數(shù)α為5的激光束時(shí)，可以存在拐點(diǎn)(I′)的區(qū)域AREA5，并且圖17示出以20mm/sec的掃描速度照射參數(shù)α為10的激光束時(shí)，可以存在拐點(diǎn)(I″)的區(qū)域AREA10。參見(jiàn)圖16和圖17，當(dāng)掃描速度相同時(shí)，拐點(diǎn)的區(qū)域隨著α增大而增大。相應(yīng)地，隨著拐點(diǎn)的區(qū)域增大，β和γ的選擇寬度也增大，因此選擇激光束的參數(shù)以改善玻璃料末端部分的溫度均勻性的自由度增大。盡管在圖16和17中未示出，但當(dāng)激光束的掃描速度增大而其它條件相同時(shí)，供選擇拐點(diǎn)的區(qū)域增大。然而，當(dāng)束掃描速度是5mm/sec或更小時(shí)，可以利用合適的激光源對(duì)玻璃料進(jìn)行密封，但處理效率由于標(biāo)記(tag)時(shí)間增加而降低。另一方面，與束掃描速度是5mm/sec時(shí)相比，當(dāng)束掃描速度是50mm/sec或更大時(shí)，需要增大束的強(qiáng)度以獲得合適的玻璃料熔化溫度，并且存在這樣的可能性：由于熱沖擊隨著玻璃料熔化而后由于束的高速度的增大被固化而產(chǎn)生，因此產(chǎn)生微斷裂。考慮到此，束的掃描速度優(yōu)選可以大于5mm/sec且小于50mm/sec?！緦?shí)施例2】圖18是示出在根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的激光束照射裝置中被照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料上的激光束的束分布曲線的示意圖，圖19是示出圖18的束分布曲線的與激光束的行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)的截面圖，圖20是示出圖18的束分布曲線的與激光束的行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)的截面圖，以及圖21是圖18的束分布曲線的俯視圖。水平軸(x)和豎直軸(y)表示束分布曲線關(guān)于玻璃料寬度(FW)的位置，并且高度(歸一化強(qiáng)度，NI)表示歸一化束強(qiáng)度。參見(jiàn)圖18至圖21，激光束260從根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的激光束照射裝置150照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料140上，并且具有這樣的束分布曲線：其在與激光束行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)上具有從束的中央部分(C)向末端部分(E)增大的束強(qiáng)度。激光束中央部分(C)的束強(qiáng)度優(yōu)選可以是激光束末端部分(E)的束強(qiáng)度的一半或更小。根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的激光束260的束分布曲線在與激光束行進(jìn)方向(L)垂直的表面(yz表面)上是對(duì)稱的，并且束強(qiáng)度朝著激光束的末端部分(E)增大。然而，根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的激光束260的束強(qiáng)度在與激光束行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)上是均勻的。也就是說(shuō)，盡管之前實(shí)施例的激光束160相對(duì)于激光束的中央部分對(duì)稱，但根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的激光束260相對(duì)于激光束行進(jìn)方向(L)對(duì)稱。參見(jiàn)圖19，根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的激光束260的束分布曲線包括第一段(Ix)和第二段(IIx)，在第一段(Ix)中，束強(qiáng)度從束的中央部分(C)向束的末端部分(E)慢慢增大，并且在第二段(IIx)中，束強(qiáng)度的增大率高于第一段。根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的激光束260的分布曲線包括在第一段(Ix)與第二段(IIx)之間的邊界處確定的拐點(diǎn)(I)，其與激光束行進(jìn)方向(L)平行，并關(guān)于激光束行進(jìn)方向(L)對(duì)稱。然而，由于束強(qiáng)度在與激光束行進(jìn)方向(L)平行的表面(xz表面)上是均勻的，因此在與激光束行進(jìn)方向(L)平行的表面(xz表面)上并不存在拐點(diǎn)(I)。拐點(diǎn)(I)可以被定義為參數(shù)α、β和γ，其中α表示最大束強(qiáng)度相對(duì)于最小束強(qiáng)度的比率。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，最小束強(qiáng)度是位于束的中央部分(C)處的0.1，并且最大束強(qiáng)度是位于激光束的末端部分(E)處的1.0，因此α是5。β表示拐點(diǎn)處的束強(qiáng)度相對(duì)于最小束強(qiáng)度的比率。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，最小束強(qiáng)度是位于束的中央部分(C)處的0.2，并且在拐點(diǎn)(I)處的束強(qiáng)度是0.4，因此β是2。γ表示束的中央部分與拐點(diǎn)(I)之間的水平距離相對(duì)于總的束寬度的比率。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，總的束寬度是0.6mm，并且激光束的中央部分與拐點(diǎn)(I)之間的水平距離是0.18mm，因此γ是0.3。參見(jiàn)圖21，其是根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的束分布曲線的俯視圖，根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的激光束260具有相對(duì)于激光束行進(jìn)方向(L)對(duì)稱的束分布曲線。激光束260可以以束長(zhǎng)度(BL)比束寬度(BW)長(zhǎng)的矩形形式進(jìn)行照射。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，束長(zhǎng)度(BL)是2mm，但也可以改變。激光束260可以以矩形線束的形式進(jìn)行照射，并且沿著密封單元140的密封線直接進(jìn)行掃描。這里，激光束260的中心線聚焦于密封線的中心線上，然后激光束260沿著密封線的中心線進(jìn)行掃描。相應(yīng)地，當(dāng)將具有強(qiáng)度從束的中央部分(C)朝著束的末端部分(E)增大的束分布曲線的激光束260照射到密封單元140時(shí)，熱通量，即沿著密封線的中心線進(jìn)行照射的激光束的強(qiáng)度關(guān)于時(shí)間的積分值，在密封單元140的末端部分處比在密封單元140的中央部分處更大。結(jié)果，向密封單元140的末端部分供應(yīng)比密封單元140的中央部分更多的能量，因此玻璃料截面的溫度均勻性可以得到增強(qiáng)。密封單元140可以由玻璃料形成。激光束寬度(BW)可以被設(shè)計(jì)為基本上與玻璃料寬度(FW)相同。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，激光束寬度(BW)和玻璃料寬度(FW)都是600μm。然而，本發(fā)明并不限于此。因此，激光束260的束寬度(BW)可以大于玻璃料寬度(FW)。然而，當(dāng)束寬度(BW)過(guò)大時(shí)，則即使在使用激光掩模(未示出)阻擋激光束260時(shí)，透射到激光掩模的能量也會(huì)增加，并且圍繞玻璃料的布線單元或者有機(jī)發(fā)光單元130可能被損壞，因此束寬度(BW)優(yōu)選可以是玻璃料寬度(FW)的兩倍或更小，例如是玻璃料寬度(FW)的4/3倍。圖22是示出將具有圖18的束分布曲線的激光束照射到玻璃料上同時(shí)改變激光束的束長(zhǎng)度時(shí)，沿著玻璃料截面的歸一化溫度分布的圖。參見(jiàn)圖22，在關(guān)于具有0.3mm束長(zhǎng)度的激光束的溫度分布(T_0.3)中，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有30％的溫差，并且在玻璃料的中央部分中產(chǎn)生大約19％的溫度下降。在關(guān)于具有1mm束長(zhǎng)度的激光束的溫度分布(T_1)中，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有25％的溫差，并且在玻璃料的中央部分中具有大約6％的溫度下降。在關(guān)于具有2mm束長(zhǎng)度的激光束的溫度分布(T_2)中，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有20％的溫差，并且在玻璃料的中央部分與末端部分之間具有小于3％的溫差。在關(guān)于具有4mm束長(zhǎng)度的激光束的溫度分布(T_4)中，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有2％的溫差，并且在有效密封寬度(FWeff)內(nèi)，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有小于2％的溫差。關(guān)于圖3和圖4的高斯束分布曲線，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有45％或更大的溫差，并且在有效密封寬度(FWeff)內(nèi)，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有34％的最大溫差。而且，當(dāng)具有根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的束分布曲線的激光束被照射時(shí)，沿著玻璃料末端部分的溫度分布的均勻性得到改進(jìn)。圖23示出拐點(diǎn)可能存在的區(qū)域，用于將有效密封寬度FWeff內(nèi)玻璃料的中央部分與末端部分之間的溫差保持為小于15％。圖23示出當(dāng)參數(shù)α為4的激光束被照射到玻璃料上時(shí)，可以存在拐點(diǎn)(I′)的區(qū)域AREA4。通過(guò)選擇區(qū)域AREA4內(nèi)的點(diǎn)，可以確定合適的β和γ。盡管在圖23中未示出，但當(dāng)激光束的掃描速度增大而其它條件相同時(shí)，供選擇拐點(diǎn)的區(qū)域AREA4增大。然而，當(dāng)束掃描速度是5mm/sec或更小時(shí)，可以利用合適的激光源對(duì)玻璃料進(jìn)行密封，但處理效率由于標(biāo)記時(shí)間增加而降低。另一方面，當(dāng)束掃描速度是50mm/sec或更大時(shí)，束強(qiáng)度的累積熱通量隨著時(shí)間增多，從而使玻璃料的溫度升高?？紤]到此，束的掃描速度優(yōu)選可以大于5mm/sec且小于50mm/sec?！緦?shí)施例3】圖24是示出在根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的激光束照射裝置中照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料上的激光束的束分布曲線的示意圖，圖25是圖24的束分布曲線的與激光束的行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)的截面圖，圖26是圖24的束分布曲線的與激光束的行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)的截面圖，以及圖27是示出圖24的束分布曲線的俯視圖。水平軸(x)和豎直軸(y)表示束分布曲線相對(duì)于玻璃料寬度(FW)的位置，并且高度(歸一化強(qiáng)度，NI)是束強(qiáng)度的歸一化值。參見(jiàn)圖24至圖27，激光束360從根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的激光束照射裝置150照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的玻璃料140上，并且具有這樣的分布曲線：其與激光束行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)上具有從束的中央部分(C)向末端部分(E1)增大的束強(qiáng)度。位于束的中央部分(C)處的束強(qiáng)度優(yōu)選可以是位于束的末端部分(E1)處的束強(qiáng)度的一半或更小。然而，根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的激光束360在與激光束行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)上的束強(qiáng)度增大率不同于與激光束行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)。參見(jiàn)圖26，根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的激光束360具有這樣的分布曲線：其束強(qiáng)度在與激光束的激光束行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)上從束的中央部分(C)向末端部分(E2)降低。激光束360在與激光束行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)上以及在與激光束行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)上具有不同的束強(qiáng)度增大率，但具有相對(duì)于激光束的中央部分(C)對(duì)稱的束分布曲線。激光束360可以由參數(shù)α和δ定義，其中α表示在與激光束行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)上最大束強(qiáng)度相對(duì)于最小束強(qiáng)度的比率。參見(jiàn)圖25，在與激光束行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)上的最小束強(qiáng)度是位于激光束中央部分(C)處的0.5，并且位于激光束末端部分(E1)處的最大束強(qiáng)度是1.0，因此α是2。δ表示在與激光束行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)上位于激光束末端部分處的束強(qiáng)度。參見(jiàn)圖27，在與激光束行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)上，位于束的末端部分(E2)處的束強(qiáng)度是0.3，因此δ是0.3。參見(jiàn)圖27，示出根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的束分布曲線的俯視圖，激光束360具有這樣的束分布曲線：其相對(duì)于激光束行進(jìn)方向(L)和與激光束行進(jìn)方向垂直的方向(H)對(duì)稱，因此束寬度(BW)也相對(duì)于激光束行進(jìn)方向(L)和與激光束行進(jìn)方向垂直的方向(H)對(duì)稱，從而激光束360可以以圓斑點(diǎn)的形式進(jìn)行照射。激光束360可以以矩形線束的形式進(jìn)行照射，并且沿著密封單元140的密封線直接進(jìn)行掃描。在這點(diǎn)上，激光束360的中心線聚焦于密封線的中心線上，然后激光束360沿著密封線的中心線進(jìn)行掃描。相應(yīng)地，當(dāng)將具有強(qiáng)度從束的中央部分(C)向束的末端部分(E)增大的束分布曲線的激光束360照射到密封單元140時(shí)，熱通量，即沿著密封線的中心線進(jìn)行照射的激光束的強(qiáng)度在時(shí)間上的積分值，在密封單元140的末端部分處比在密封單元140的中央部分處更大。結(jié)果，向密封單元140的末端部分供應(yīng)比密封單元140的中央部分更多的能量，因此玻璃料截面的溫度均勻性可以得到增強(qiáng)。密封單元140可以由玻璃料形成。激光束寬度(BW)可以被設(shè)計(jì)為基本上與玻璃料寬度(FW)相同。根據(jù)當(dāng)前的實(shí)施例，激光束寬度(BW)和玻璃料寬度(FW)都是600μm。然而，本發(fā)明并不限于此。因此，激光束360的束寬度(BW)可以大于玻璃料寬度(FW)。然而，當(dāng)束寬度(BW)過(guò)大時(shí)，則即使在利用激光掩模(未示出)阻擋激光束360時(shí)，透射到激光掩模的能量也會(huì)增加，并且圍繞玻璃料的布線單元或者有機(jī)發(fā)光單元130可能被損壞，因此束寬度(BW)優(yōu)選可以是玻璃料寬度(FW)的兩倍或更小，例如是玻璃料寬度(FW)的4/3倍。圖28是示出當(dāng)具有圖24的束分布曲線的激光束照射到玻璃料上時(shí)根據(jù)玻璃料截面的歸一化溫度分布的圖。參見(jiàn)圖28，在關(guān)于具有圖24的束分布曲線的激光束360的溫度分布T360中，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有40％的溫差。然而，在有效密封寬度(FWeff)內(nèi)，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有小于9％的溫差。關(guān)于圖3和圖4的高斯束分布曲線，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有45％或更大的溫差，并且在有效密封寬度(FWeff)內(nèi)，玻璃料的中央部分與末端部分之間具有34％的最大溫差。而且，當(dāng)具有根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的束分布曲線的激光束被照射時(shí)，沿著玻璃料末端部分的溫度分布的均勻性得到改善。圖29是示出束分布曲線的形狀根據(jù)α與1/δ之間的關(guān)系而變化的區(qū)域的圖。參見(jiàn)圖29，相對(duì)于δ＝1/α的線，左下區(qū)域(A)滿足不等式δ<1/α，而右上區(qū)域(B)滿足不等式δ>1/α。圖30是示出滿足不等式δ<1/α的實(shí)例的圖，而圖31是示出滿足不等式δ>1/α的實(shí)例的圖。參見(jiàn)圖30，α＝2并且δ＝0.25，因此不等式δ<1/α被滿足。圖24至圖27中示出的激光束360滿足不等式δ<1/α。如上所述，滿足不等式δ<1/α的激光束在與激光束行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)上具有束強(qiáng)度從束的中央部分(C)向束的末端部分(E1)增大的束分布曲線，并且在與激光束行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)上具有束強(qiáng)度從束的中央部分(C)向束的末端部分(E2)降低的束分布曲線。參見(jiàn)圖31，α＝2并且δ＝0.7，因此不等式δ>1/α被滿足。滿足不等式δ>1/α的激光束與激光束行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)上具有束強(qiáng)度從束的中央部分(C′)向束的末端部分(E1′)增大的束分布曲線，并且在與激光束行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)上具有束強(qiáng)度從束的中央部分(C′)向束的末端部分(E2′)增大的束分布曲線。也就是說(shuō)，與以上描述的圖24至圖27中示出的激光束360相同，根據(jù)本發(fā)明當(dāng)前實(shí)施例的激光束的束強(qiáng)度增大率在與激光束行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)上以及在與激光束行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)上不同，并且束強(qiáng)度在與激光束行進(jìn)方向垂直的表面(yz表面)上從激光束的中央部分(C′)向末端部分(E1′)增大，并且與相對(duì)于激光束的中央部分(C′)對(duì)稱的束分布曲線的激光束360類(lèi)似。然而，以上所述的圖24至圖27中示出的激光束360在與激光束行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)上具有束強(qiáng)度從束的中央部分(C)向末端部分(E2)降低的束分布曲線。另一方面，當(dāng)不等式δ>1/α被滿足時(shí)，激光束在與激光束行進(jìn)方向平行的表面(xz表面)上具有束強(qiáng)度從束的中央部分(C′)向末端部分(E2′)增大的束分布曲線。圖32至圖34示出根據(jù)激光束的各種掃描速度的拐點(diǎn)區(qū)域，用于將滿足關(guān)系δ<1/α的激光束以及滿足關(guān)系δ<1/α的激光束的有效密封寬度內(nèi)玻璃料的中央部分與末端部分之間的溫差保持為小于15％。圖32示出當(dāng)激光束以5mm/sec的掃描速度將激光束照射到玻璃料上時(shí)可以存在激光束拐點(diǎn)的區(qū)域AREA_5，用于在有效密封寬度內(nèi)玻璃料的中央部分與末端部分之間保持小于15％的溫差。圖33示出當(dāng)以20mm/sec的掃描速度將激光束照射到玻璃料上時(shí)可以存在激光束拐點(diǎn)的區(qū)域AREA_20，用于在有效密封寬度內(nèi)玻璃料的中央部分與末端部分之間保持小于15％的溫差。圖34示出當(dāng)以50mm/sec的掃描速度將激光束照射到玻璃料上時(shí)可以存在激光束拐點(diǎn)的區(qū)域AREA_50，用于在有效密封寬度內(nèi)玻璃料的中央部分與末端部分之間保持小于15％的溫差。參見(jiàn)圖32至圖34，滿足不等式δ<1/α的激光束以及滿足不等式δ>1/α的激光束都具有可以存在激光束拐點(diǎn)的區(qū)域，其可以將有效密封寬度內(nèi)玻璃料的中央部分與末端部分之間的溫差保持為小于15％，并且隨著掃描速度降低而增大。相應(yīng)地，α和δ的選擇寬度隨著拐點(diǎn)區(qū)域增大而增大，因此，選擇激光束參數(shù)以改善玻璃料末端部分的溫度均勻性的自由度也增大。然而，當(dāng)束掃描速度小于5mm/sec時(shí)，處理效率由于標(biāo)記時(shí)間增加而降低，并且當(dāng)束掃描速度超過(guò)50mm/sec時(shí)，隨著時(shí)間累積的束強(qiáng)度的熱通量增大，從而使玻璃料的溫度升高?？紤]到此，束掃描速度優(yōu)選可以大于5mm/sec且小于50mm/sec。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的密封單元140利用玻璃料形成，但并不限于此。密封單元140還可以利用各種其它材料形成，這對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)是顯而易見(jiàn)的。此外，已參照本發(fā)明的實(shí)施例描述了通過(guò)利用激光束照射裝置密封有機(jī)發(fā)光顯示器的方法，但并不限于此。也就是說(shuō)，只要諸如玻璃料之類(lèi)的密封圖案包括在兩個(gè)基板之間，并且這些基板通過(guò)將激光束照射到密封圖案上而被密封，該方法就可以用于各種設(shè)備中，而不必考慮顯示器的類(lèi)型。通過(guò)將包括根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的束分布曲線的激光束照射到有機(jī)發(fā)光顯示器的密封單元上，可以改善密封單元末端部分的溫度分布均勻性，從而改善有機(jī)發(fā)光顯示器的密封單元的粘合力。盡管已參照本發(fā)明的示例性實(shí)施例具體示出并描述了本發(fā)明，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將會(huì)理解，可以在此處對(duì)形式和細(xì)節(jié)做出各種改變，只要不背離所附權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍。