本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)能電池領(lǐng)域，尤其涉及一種硅制結(jié)工藝。

背景技術(shù)：

太陽(yáng)能是一種安全，綠色可重復(fù)利用的再生能源，太陽(yáng)能電池的光伏效應(yīng)是一種利用太陽(yáng)能的有效途徑。硅太陽(yáng)能電池是當(dāng)今主流的太陽(yáng)能電池類(lèi)型，占據(jù)著絕大部分市場(chǎng)份額，硅太陽(yáng)能電池的制備工藝代表著一個(gè)國(guó)家太陽(yáng)能電池的制造水平，如今硅太陽(yáng)能電池已經(jīng)在很多領(lǐng)域有著廣泛的運(yùn)用。低成本、高光電轉(zhuǎn)換效率一直是硅太陽(yáng)能電池制備工藝的發(fā)展方向。作為硅太陽(yáng)能電池的重要工藝，制結(jié)工藝對(duì)太陽(yáng)能電池的性能起著決定性作用。采用摻雜工藝形成P摻雜區(qū)和N摻雜區(qū)，光生電子在PN結(jié)的作用下被有效分離。如今，主流的制結(jié)工藝包括擴(kuò)散、離子注入、外延等。

擴(kuò)散制結(jié)作為主流的制結(jié)工藝，被采用的最多，其具有制造成本低，生產(chǎn)效率高的特點(diǎn)。一般步驟包括：進(jìn)舟-通磷源氣體-高溫?cái)U(kuò)散-降溫出舟。然而，現(xiàn)有的擴(kuò)散制結(jié)工藝也存在一些不足，例如制結(jié)之后的電阻不均勻，表面存在死層，短波響應(yīng)不理想等。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題的不足，發(fā)明提供一種硅太陽(yáng)能電池制結(jié)工藝。該工藝包括步驟：

提供硅片，將硅片置于石英舟內(nèi)，將石英舟固定安置于擴(kuò)散爐內(nèi)，封閉擴(kuò)散爐的爐門(mén)；

向擴(kuò)散爐內(nèi)通入氮?dú)?，氮?dú)饬髁繛?0ml/min，通入10min后開(kāi)始升溫，將爐內(nèi)溫度升溫至1000-1050攝氏度；

當(dāng)溫度升至上述1000-1050攝氏度時(shí)，向爐內(nèi)通入攜三氯氧磷氣體和氧氣，進(jìn)行擴(kuò)散工藝，其中攜三氯氧磷氣體的流量為15L/min，氧氣流量為3L/min；在上述1000-1050攝氏度擴(kuò)散5分鐘后，5分鐘內(nèi)降溫至700-720攝氏度并保持700-720攝氏度擴(kuò)散5分鐘，之后在5分鐘內(nèi)均勻升溫至1000-1050攝氏度并保持1000-1050攝氏度擴(kuò)散5分鐘，之后在5分鐘內(nèi)均勻降溫至800攝氏度，當(dāng)溫度降至所述800攝氏度時(shí)關(guān)閉攜三氯氧磷氣體和氧氣的氣閥，停止通攜磷源氣體和氧氣結(jié)束擴(kuò)散，整個(gè)擴(kuò)散時(shí)間為30分鐘；

在所述800攝氏度的環(huán)境中進(jìn)行推進(jìn)工藝。

推進(jìn)工藝結(jié)束后，降溫出舟，完成制結(jié)工藝。

其中，所述推進(jìn)工藝的時(shí)間為15分鐘。

其中，產(chǎn)生所述攜三氯氧磷氣體的三氯氧磷液體源溫度為20攝氏度。

附圖說(shuō)明

圖1 制結(jié)過(guò)程溫度變化。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明，膽只是本發(fā)明的一個(gè)方面，本發(fā)明不局限于以下實(shí)施例。

實(shí)施例1

提供硅片，將硅片置于石英舟內(nèi)，將石英舟固定安置于擴(kuò)散爐內(nèi)，封閉擴(kuò)散爐的爐門(mén)。

向擴(kuò)散爐內(nèi)通入氮?dú)猓獨(dú)饬髁繛?0ml/min，通入10min后開(kāi)始升溫，將爐內(nèi)溫度升溫至1050攝氏度。

當(dāng)溫度升至上述1050攝氏度時(shí)，向爐內(nèi)通入攜三氯氧磷氣體和氧氣，三氯氧磷液體源溫度為20攝氏度，進(jìn)行擴(kuò)散工藝，其中攜三氯氧磷氣體的流量為15L/min，氧氣流量為3L/min；在上述1050攝氏度擴(kuò)散5分鐘后，5分鐘內(nèi)降溫至700攝氏度并保持700攝氏度擴(kuò)散5分鐘，之后在5分鐘內(nèi)均勻升溫至1050攝氏度并保持1050攝氏度擴(kuò)散5分鐘，之后在5分鐘內(nèi)均勻降溫至800攝氏度，當(dāng)溫度降至該800攝氏度時(shí)關(guān)閉攜三氯氧磷氣體和氧氣的氣閥，停止通攜磷源氣體和氧氣結(jié)束擴(kuò)散，整個(gè)擴(kuò)散時(shí)間為30分鐘。

在上述800攝氏度的環(huán)境中進(jìn)行推進(jìn)工藝，推進(jìn)時(shí)間為15分鐘。

推進(jìn)工藝結(jié)束后，降溫出舟，完成制結(jié)工藝。

參見(jiàn)圖1為本發(fā)明的實(shí)施例一的擴(kuò)散和推進(jìn)過(guò)程中的溫度變化情況。在擴(kuò)散工藝中，采取了高溫-降溫-低溫-升溫-降溫至推進(jìn)溫度的周期改變擴(kuò)散溫度，每個(gè)階段均為5分鐘，整個(gè)擴(kuò)散時(shí)間為30分鐘，不同于現(xiàn)有工藝中擴(kuò)散溫度一般在750-900攝氏度，高溫部分在1000攝氏度或以上，低溫部分低于750攝氏度，并且恒溫升降溫。該方式避免了采用常規(guī)恒溫?cái)U(kuò)散的不足，使得擴(kuò)散溫度周期變化，能夠提高吸雜作用，優(yōu)化擴(kuò)散后活性磷源雜質(zhì)的分布。最后通過(guò)在800攝氏度左右溫度的推進(jìn)，使得較高活性的磷源雜質(zhì)形成為溫度有效的N型雜質(zhì)中心。該方式能有效提高方塊電阻的分布均勻性，并且生產(chǎn)方式簡(jiǎn)單，成本低，條件易控制。

實(shí)施例2

提供硅片，將硅片置于石英舟內(nèi)，將石英舟固定安置于擴(kuò)散爐內(nèi)，封閉擴(kuò)散爐的爐門(mén)。

向擴(kuò)散爐內(nèi)通入氮?dú)猓獨(dú)饬髁繛?0ml/min，通入10min后開(kāi)始升溫，將爐內(nèi)溫度升溫至1000攝氏度。

當(dāng)溫度升至上述1000攝氏度時(shí)，向爐內(nèi)通入攜三氯氧磷氣體和氧氣，三氯氧磷液體源溫度為20攝氏度，進(jìn)行擴(kuò)散工藝，其中攜三氯氧磷氣體的流量為15L/min，氧氣流量為3L/min；在上述1000攝氏度擴(kuò)散5分鐘后，5分鐘內(nèi)降溫至720攝氏度并保持720攝氏度擴(kuò)散5分鐘，之后在5分鐘內(nèi)均勻升溫至1000攝氏度并保持1000攝氏度擴(kuò)散5分鐘，之后在5分鐘內(nèi)均勻降溫至800攝氏度，當(dāng)溫度降至該800攝氏度時(shí)關(guān)閉攜三氯氧磷氣體和氧氣的氣閥，停止通攜磷源氣體和氧氣結(jié)束擴(kuò)散，整個(gè)擴(kuò)散時(shí)間為30分鐘。

在上述800攝氏度的環(huán)境中進(jìn)行推進(jìn)工藝，推進(jìn)時(shí)間為15分鐘。

推進(jìn)工藝結(jié)束后，降溫出舟，完成制結(jié)工藝。

上述詳細(xì)的描述了兩個(gè)實(shí)施例，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)能夠了解本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)之處；上述實(shí)施例僅是實(shí)現(xiàn)本發(fā)明構(gòu)思的一個(gè)具體形式，并不能限制本發(fā)明，與本發(fā)明精神一致的明顯變形的其他實(shí)施方式也應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的構(gòu)思。