本發(fā)明涉及變壓器和電感，尤其涉及一種螺旋狀堆疊式集成變壓器和螺旋狀堆疊式集成電感。

背景技術(shù)：

電感以及變壓器為射頻集成電路中用來實現(xiàn)單端至差動信號轉(zhuǎn)換、信號耦合、阻抗匹配等功能的重要元件，隨著集成電路向系統(tǒng)單晶片(System on Chip，SoC)發(fā)展，集成電感(integrated inductor)和集成變壓器(integrated transformer)已逐漸取代傳統(tǒng)的分離式元件，而被廣泛地使用在射頻集成電路中。然而，集成電路中的電感和變壓器，往往會占用大量的芯片面積，因此，如何縮小集成電路中的電感和變壓器的面積，并同時維持元件的特性，例如電應(yīng)值、品質(zhì)因數(shù)(quality factor，Q)及耦合系數(shù)(coupling coefficient，K)等等，成為一個重要的課題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

鑒于現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種螺旋狀堆疊式集成變壓器和螺旋狀堆疊式集成電感，以縮小元件面積和提高元件效能。

本發(fā)明公開了一種螺旋狀堆疊式集成變壓器，由一第一電感和一第二電感所組成，包含：一第一螺旋狀線圈，具有一第一外部線圈和一第一內(nèi)部線圈，該第一內(nèi)部線圈位于該第一外部線圈內(nèi)；一第二螺旋狀線圈，與該第一螺旋狀線圈具有一重疊范圍，具有一第二外部線圈和一第二內(nèi)部線 圈，該第二內(nèi)部線圈位于該第二外部線圈內(nèi)；以及一連接結(jié)構(gòu)，用來連接該第一螺旋狀線圈和該第二螺旋狀線圈；其中，該第一電感包含該第一螺旋狀線圈的一部分和該第二螺旋狀線圈的一部分，該第二電感包含該第一螺旋狀線圈的一部分和該第二螺旋狀線圈的一部分。

本發(fā)明還公開一種螺旋狀堆疊式集成電感，具有一第一感應(yīng)單元和一第二感應(yīng)單元，包含：一第一螺旋狀線圈，具有一第一外部線圈和一第一內(nèi)部線圈，該第一內(nèi)部線圈位于該第一外部線圈內(nèi)，且第一螺旋狀線圈包含一第一端點和一第二端點；一第二螺旋狀線圈，與該第一螺旋狀線圈具有一重疊范圍，具有一第二外部線圈和一第二內(nèi)部線圈，該第二內(nèi)部線圈位于該第二外部線圈內(nèi)，且第二螺旋狀線圈包含一第三端點；以及一連接結(jié)構(gòu)，用來連接該第一螺旋狀線圈和該第二螺旋狀線圈；其中，該第一感應(yīng)單元包含該第一螺旋狀線圈的一部分和該第二螺旋狀線圈的一部分，并以該第一端點和該第三端點作為該第一感應(yīng)單元的兩個端點，該第二感應(yīng)單元包含該第一螺旋狀線圈的一部分和該第二螺旋狀線圈的一部分，并以該第二端點和該第三端點作為該第二感應(yīng)單元的兩個端點。

本發(fā)明的螺旋狀堆疊式集成變壓器和螺旋狀堆疊式集成電感具有集成化的對稱結(jié)構(gòu)，提供高對稱性的兩個電感，更適合使用于集成電路中的被動元件。

有關(guān)本發(fā)明的特征、實踐與效果，現(xiàn)在結(jié)合附圖對實施例進行詳細說明。

附圖說明

圖1A為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成變壓器的一實施例的結(jié)構(gòu)圖；

圖1B為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成變壓器的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖；

圖1C為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成變壓器的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖；

圖1D和圖1E為圖1C的開關(guān)模塊在不同的切換狀態(tài)下螺旋狀堆疊式集成變壓器所對應(yīng)的橫截面圖；

圖2A和圖2B為圖1B的螺旋狀堆疊式集成變壓器200的電感值與Q值的模擬結(jié)果；

圖3A和圖3B為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成變壓器的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖；

圖4為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成變壓器的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖；

圖5為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成電感的一實施例的結(jié)構(gòu)圖；以及

圖6A至圖6C為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成變壓器的另一實施例的立體結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式

以下說明內(nèi)容的技術(shù)用語是參照本技術(shù)領(lǐng)域的習(xí)慣用語，如果本說明書對部分用語有說明或定義，該部分用語的解釋是以本說明書的說明或定義為準(zhǔn)。

圖1A為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成變壓器的一實施例的結(jié)構(gòu)圖。螺旋狀堆疊式集成變壓器100由螺旋狀線圈110和螺旋狀線圈120所組成，螺旋狀線圈110的開口方向與螺旋狀線圈120的開口方向相差90度，螺旋狀線圈110大多數(shù)的金屬線段位于半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的第一金屬層，螺旋狀線圈120的大多數(shù)金屬線段位于半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的第二金屬層。螺旋狀線圈110具有端點117和端點118，并且包含金屬線段111、金屬線段112、金屬線段113以及金屬線段114。金屬線段111的左半部以及金屬線段113構(gòu)成螺旋狀線圈110的外部線圈，而金屬線段111的右半部以及金屬線段112構(gòu)成螺旋狀線圈110的內(nèi)部線圈。螺旋狀線圈120具有端點127和端 點128，并且包含金屬線段121、金屬線段122、金屬線段123、金屬線段124、金屬線段125、金屬線段131、金屬線段132以及金屬線段133。螺旋狀線圈120同樣包含外部線圈與內(nèi)部線圈。其外部線圈包含金屬線段121、金屬線段131、金屬線段122以及金屬線段124的下半部；其內(nèi)部線圈包含金屬線段125、金屬線段133、金屬線段124的上側(cè)部分以及金屬線段123。

在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中，金屬線段111、金屬線段112和金屬線段113屬于第一金屬層，金屬線段114、金屬線段121、金屬線段122、金屬線段123、金屬線段124以及金屬線段125屬于第二金屬層，金屬線段131、金屬線段132以及金屬線段133屬于第三金屬層，三個金屬層實質(zhì)上為平行的結(jié)構(gòu)。金屬線段114通過垂直于金屬層的貫穿結(jié)構(gòu)(位于圖中所示的貫穿位置)連接金屬線段112與金屬線段113，所以金屬線段114可視為螺旋狀線圈110的一部分。同理，雖然金屬線段131、金屬線段132以及金屬線段133位于第三金屬層，但實際上是分別通過多個貫穿結(jié)構(gòu)來分別連接金屬線段121與金屬線段122、金屬線段122與金屬線段123以及金屬線段124與金屬線段125，所以金屬線段131、金屬線段132以及金屬線段133可視為螺旋狀線圈120的一部分。螺旋狀線圈110與螺旋狀線圈120為上下堆疊的結(jié)構(gòu)，兩者的外部線圈實質(zhì)上重疊，兩者的內(nèi)部線圈實質(zhì)上重疊，也就是說除了貫穿位置的部分，螺旋狀線圈110與螺旋狀線圈120互不接觸，但在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中具有一重疊范圍。

螺旋狀堆疊式集成變壓器100還包含連接結(jié)構(gòu)160，連接結(jié)構(gòu)160位于螺旋狀線圈110與螺旋狀線圈120的重疊范圍內(nèi)。連接結(jié)構(gòu)160包含金屬線段161和金屬線段162，請注意，在此實施例中，雖然金屬線段161與金屬線段123相連且金屬線段162與金屬線段125相連，但為了清楚定義螺旋狀線圈的內(nèi)部線圈以更加容易闡釋本發(fā)明，本發(fā)明特地將金屬線段161和金屬線段162定義為連接結(jié)構(gòu)160，以與內(nèi)部線圈區(qū)分。連接結(jié)構(gòu)160的主要用來連接螺旋狀線圈110的內(nèi)部線圈與螺旋狀線圈120的內(nèi)部 線圈，因此設(shè)置在螺旋狀線圈110和螺旋狀線圈120所重疊的范圍中。在這個實施例中，連接結(jié)構(gòu)160位于第二金屬層，所以金屬線段161直接與金屬線段123連接，金屬線段162直接與金屬線段125連接，并且金屬線段161與金屬線段162通過貫穿位置150-3與貫穿位置150-4上的貫穿結(jié)構(gòu)來分別與位于第一金屬層的金屬線段112與金屬線段111相連接(貫穿位置150-3對應(yīng)貫穿位置140-3以及貫穿位置150-4對應(yīng)貫穿位置140-4)，所以實際上金屬線段112與金屬線段161相連接以及金屬線段111與金屬線段162相連接。在不同的實施例中，連接結(jié)構(gòu)160可以制成于不同的金屬層，并且通過貫穿結(jié)構(gòu)來連接屬于不同層的金屬線段。

分析螺旋狀堆疊式集成變壓器100的結(jié)構(gòu)可以發(fā)現(xiàn)，螺旋狀堆疊式集成變壓器100實際上包含2個電感。第一電感以端點117為其中一個端點，主要包含金屬線段111、金屬線段125、金屬線段133及金屬線段124，并以端點128為另一個端點，簡要地說，第一電感包含螺旋狀線圈110之外部線圈的左半部與內(nèi)部線圈的右半部，以及螺旋狀線圈120的內(nèi)部線圈的上半部與外部線圈的下半部，即包含圖1A中以淺灰色表示的金屬線段；相似地，第二電感以端點118為其中一個端點，主要包含金屬線段113、金屬線段114、金屬線段112、金屬線段123、金屬線段132、金屬線段122、金屬線段131及金屬線段121，并以端點127為另一個端點，簡要地說，第二電感包含螺旋狀線圈110的外部線圈的右半部與內(nèi)部線圈的左半部，以及螺旋狀線圈120的內(nèi)部線圈的下半部與外部線圈的上半部，即包含圖1A中以深灰色表示的金屬線段。螺旋狀堆疊式集成變壓器100通過兩電感的磁場的交互作用，實現(xiàn)變壓器的功能。

圖1B為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成變壓器的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖?；旧?，螺旋狀堆疊式集成變壓器200仍然由2個螺旋狀線圈(螺旋狀線圈210及螺旋狀線圈220)所組成，與螺旋狀堆疊式集成變壓器100不同的是，螺旋狀線圈120的金屬線段123在螺旋狀線圈220中由金屬線段123-1(第二金屬層)、金屬線段123-2(第二金屬層)和金屬線段134(第三金 屬層)所組成，且螺旋狀堆疊式集成變壓器200的連接結(jié)構(gòu)170也與連接結(jié)構(gòu)160有些許差異。連接結(jié)構(gòu)170包含金屬線段171、金屬線段172、金屬線段173以及金屬線段174，其中除了金屬線段174位于第一金屬層之外，其他的金屬線段皆位于第二金屬層，也就是說本實施例的連接結(jié)構(gòu)170分布于不只一層金屬層。貫穿位置140-5對應(yīng)貫穿位置150-5以及貫穿位置140-6對應(yīng)貫穿位置150-6，使得金屬線段112通過貫穿結(jié)構(gòu)與金屬線段171相連接，且金屬線段111通過貫穿結(jié)構(gòu)與金屬線段173相連接。雖然螺旋狀堆疊式集成變壓器100與螺旋狀堆疊式集成變壓器200的連接結(jié)構(gòu)不同，但第一電感和第二電感在螺旋狀堆疊式集成變壓器100與螺旋狀堆疊式集成變壓器200實質(zhì)上具有相同的配置。

圖1C為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成變壓器的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖。在這個實施例中，螺旋狀堆疊式集成變壓器300的連接結(jié)構(gòu)180除了金屬線段161與金屬線段162之外，還包含開關(guān)模塊181。開關(guān)模塊181可以通過內(nèi)部的多個開關(guān)單元決定貫穿位置150-3和貫穿位置150-4與金屬線段161的端點和金屬線段162的端點的連接方式，例如切換狀態(tài)(1)：貫穿位置150-3和貫穿位置150-4分別與金屬線段162的端點和金屬線段161的端點連接；以及切換狀態(tài)(2)：貫穿位置150-3和貫穿位置150-4分別與金屬線段161的端點和金屬線段162的端點連接。開關(guān)模塊181的其中一種實施方式包含4個開關(guān)單元，以執(zhí)行上述的切換，開關(guān)單元可以例如通過金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSEFT)實踐。圖1D和圖1E為圖1C的開關(guān)模塊在不同的切換狀態(tài)下螺旋狀堆疊式集成變壓器所對應(yīng)的橫截面圖，圖1D和圖1E是根據(jù)圖1C的A-A’橫截面繪制，圖中還另外標(biāo)示第一電感和第二電感在內(nèi)部線圈和外部線圈的電流方向(此處以2電感的電流分別從端點117和端點118流入為例)。圖1D對應(yīng)上述的切換狀態(tài)(1)，圖1E對應(yīng)上述的切換狀態(tài)(2)。可以發(fā)現(xiàn)，開關(guān)模塊181的切換造成2個電感中的電流方向改變，使得2個電感的自感與互感產(chǎn)生變化，各自的電感值也就跟著變化。也就是說，實作上可以通過開關(guān)模塊181來調(diào)整螺旋狀堆疊式集成變壓器300的2個電感的電感值。另外由圖中可以發(fā)現(xiàn)，在 此實施例中，第一螺旋狀線圈所屬的第一金屬層位于第二螺旋狀線圈所屬的第二金屬層之上，例如第一金屬層和第二金屬層分別為半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的重布層(redistribution layer，RDL)及超厚金屬(Ultra-Thick Metal，UTM)層，而金屬線段131、金屬線段132和金屬線段133所屬的第三金屬層則利用UTM層下方的金屬層制作。

圖2A和圖2B顯示圖1B的螺旋狀堆疊式集成變壓器200的電感值與Q值的模擬結(jié)果，其線寬為4μm、圈數(shù)為4圈、內(nèi)徑38μm、線距為2μm，圖2A所對應(yīng)的結(jié)構(gòu)不包含圖案接地屏蔽(patterned ground shield)，而圖2B則包含。圖2A中，曲線311代表第一電感和第二電感的電感值(單位：nH)，兩者的電感值曲線實質(zhì)上重疊，曲線312和曲線313分別代表第一電感和第二電感Q值；類似地，圖2B中，曲線314代表第一電感和第二電感的電感值(單位：nH)，兩者的電感值曲線實質(zhì)上重疊，曲線315和曲線316分別代表第一電感和第二電感Q值。如預(yù)期的，在有圖案接地屏蔽的情況下電感值和Q值都有較好的表現(xiàn)，此外，更可以看出，在上述的集成變壓器的結(jié)構(gòu)下，第一電感和第二電感有實質(zhì)上相等的電感值和幾乎相同的Q值。由以上的說明可以發(fā)現(xiàn)，雖然在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中第一金屬層與第二金屬層的電阻值通常不相同，且螺旋狀線圈的內(nèi)部線圈與外部線圈可能遭遇不同的物理特性，但因為第一電感和第二電感均勻地分布在第一金屬層與第二金屬層以及螺旋狀線圈的內(nèi)部線圈與外部線圈，所以兩者的電感值與Q值幾乎完全相同，具有極佳的對稱性。

圖3A和圖3B為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成變壓器的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖。螺旋狀堆疊式集成變壓器400由螺旋狀線圈410和螺旋狀線圈420所構(gòu)成，螺旋狀線圈410的開口與螺旋狀線圈420的開口朝同一方向。金屬線段411應(yīng)用于第四金屬層，用來連接金屬線段412和金屬線段413，金屬線段421應(yīng)用于第三金屬層，用來連接金屬線段424和金屬線段423。本實施例的連接結(jié)構(gòu)460同樣位于螺旋狀線圈410與螺旋狀線圈420的重疊范圍中，包含開關(guān)模塊461。開關(guān)模塊461用來將金屬線段422與金屬 線段423的各一端點與貫穿位置450-1和貫穿位置450-2連接，貫穿位置450-1與貫穿位置450-2分別對應(yīng)貫穿位置440-1與貫穿位置440-2。類似地，開關(guān)模塊461可以通過內(nèi)部的多個開關(guān)單元的切換狀態(tài)決定貫穿位置450-1和貫穿位置450-2與金屬線段422的端點和金屬線段423的端點的連接情形。圖3A顯示金屬線段422的端點與貫穿位置450-2相連接以及金屬線段423的端點與貫穿位置450-1相連接，因此第一電感包含螺旋狀線圈410的外部線圈的左半部與內(nèi)部線圈的右半部以及螺旋狀線圈420的外部線圈的右半部與內(nèi)部線圈的左半部，也就是對應(yīng)淺灰色的金屬線段，第二電感包含螺旋狀線圈410的外部線圈的右半部與內(nèi)部線圈的左半部以及螺旋狀線圈420的外部線圈的左半部與內(nèi)部線圈的右半部，也就是對應(yīng)深灰色的金屬線段。

圖3B顯示螺旋狀堆疊式集成變壓器400的另一種切換狀態(tài)：金屬線段422的端點與貫穿位置450-1相連接以及金屬線段423的端點與貫穿位置450-2相連接，因此第一電感包含螺旋狀線圈410的外部線圈的左半部與內(nèi)部線圈的右半部以及螺旋狀線圈420的外部線圈的左半部與內(nèi)部線圈的右半部，也就是對應(yīng)淺灰色的金屬線段，第二電感包含螺旋狀線圈410的外部線圈的右半部與內(nèi)部線圈的左半部以及螺旋狀線圈420的外部線圈的右半部與內(nèi)部線圈的左半部，也就是對應(yīng)深灰色的金屬線段。當(dāng)?shù)谝浑姼泻偷诙姼械呐渲酶淖儠r，其內(nèi)部的電流方向和兩個電感的自感與互感都發(fā)生變化，因此可以調(diào)整兩個電感的電感值。

圖4為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成變壓器的另一實施例的結(jié)構(gòu)圖。螺旋狀堆疊式集成變壓器500由螺旋狀線圈510和螺旋狀線圈520所構(gòu)成，螺旋狀線圈510的開口與螺旋狀線圈520的開口朝相反方向，即兩螺旋狀線圈的開口方向相差180度。金屬線段511雖位于第二金屬層，但屬于螺旋狀線圈510的一部分，所以螺旋狀線圈510的大部分位于第一金屬層，少部分位于第二金屬層；類似的，金屬線段531雖位于第三金屬層，但屬于螺旋狀線圈520的一部分，所以螺旋狀線圈520的大部分位于第二金屬層， 少部分位于第三金屬層。貫穿位置540-1和貫穿位置540-2分別對應(yīng)貫穿位置550-1與貫穿位置550-2。連接結(jié)構(gòu)560位于螺旋狀線圈510與螺旋狀線圈520的重疊范圍中，包含多個金屬線段和開關(guān)模塊561。通過改變開關(guān)模塊561的切換狀態(tài)，可以改變第一電感與第二電感的配置。圖4中的淺灰色線段構(gòu)成第一電感，深灰色線段構(gòu)成第二電感。請注意，本實施例中金屬線段531雖制作于第三金屬層，但由于其在第一金屬層的相對應(yīng)位置(如區(qū)域515所示)沒有金屬線段，所以在此情況下金屬線段531也可以制作于第一金屬層，以減少螺旋狀堆疊式集成變壓器500所占用的金屬層數(shù)。

除了上述的螺旋狀堆疊式集成變壓器之外，本發(fā)明還公開了螺旋狀堆疊式集成電感。對于上述的任一種螺旋狀堆疊式集成變壓器結(jié)構(gòu)，如果將其中一個螺旋狀線圈的兩個端點相連接，即可得到螺旋狀堆疊式集成電感。以圖1A所示的螺旋狀堆疊式集成變壓器100為例，將螺旋狀線圈120的端點127和端點128相連接后，即可得到如圖5所示的結(jié)構(gòu)。新形成的端點129可以作為電感的中央抽頭(center tap)，中央抽頭可以連接至采用該螺旋狀堆疊式集成電感的電路的電壓源或接地。更詳細地說，集成電感包含兩個感應(yīng)單元，并且以中央抽頭為對稱中心。第一感應(yīng)單元(淺灰色金屬線段)以端點117和端點129作為其兩個端點，第二感應(yīng)單元(深灰色金屬線段)以端點118和端點129作為其兩個端點。由對螺旋狀堆疊式集成變壓器的分析可知，以此結(jié)構(gòu)所形成的第一感應(yīng)單元和第二感應(yīng)單元具有良好的對稱性，適合作為集成電路中的被動元件。上述的作法可以套用至螺旋狀堆疊式集成變壓器200、螺旋狀堆疊式集成變壓器300、螺旋狀堆疊式集成變壓器400及螺旋狀堆疊式集成變壓器500，以形成螺旋狀堆疊式集成電感。

請注意，本發(fā)明的螺旋狀堆疊式集成變壓器或螺旋狀堆疊式集成電感不限于前面實施例的2圈結(jié)構(gòu)，實際上任一螺旋狀線圈可以應(yīng)用更多圈。圖6A～6C為本發(fā)明螺旋狀堆疊式集成變壓器的另一實施例的立體結(jié)構(gòu)圖， 圖6A顯示制作于第一金屬層的金屬線段，圖6B顯示制作于第二金屬層和第三金屬層的金屬線段，圖6C則顯示疊合的兩個金屬層。結(jié)構(gòu)中位于第三金屬層的金屬線段于圖6B中以扁平的線段表示，例如金屬線段134。雖然本實施例的兩個螺旋狀線圈都實踐為4圈，但仍可與圖1B的螺旋狀堆疊式集成變壓器200互相參照以更加了解本發(fā)明，其中相對應(yīng)的元件具有相同的元件符號。值得注意的是，圖1B中的金屬線段131在圖6B中制作于第二金屬層，貫穿結(jié)構(gòu)601用來連接位于其對應(yīng)貫穿位置的金屬線段，可以利用導(dǎo)孔(via)結(jié)構(gòu)或是導(dǎo)孔陣列(via array)來實踐。而如果貫穿結(jié)構(gòu)601所連接的上下兩層金屬層之間還包含硅晶層，則貫穿結(jié)構(gòu)601為一直通硅晶導(dǎo)孔(through silicon via,TSV)。若除去貫穿結(jié)構(gòu)，則第一金屬層的金屬線段與第二金屬層的金屬線段不相連。本發(fā)明的螺旋狀堆疊式集成變壓器或螺旋狀堆疊式集成電感也不限于四邊形的結(jié)構(gòu)，螺旋狀線圈可以為其他的多邊形結(jié)構(gòu)。圖6B中的金屬線段602雖制作于第三金屬層，但也可如圖1A或1B所示制作于第二金屬層。

請注意，前述圖示中，元件的形狀、尺寸以及比例等僅是示意性的，即僅供本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員了解本發(fā)明之用，非用以限制本發(fā)明。雖然本發(fā)明的實施例如上所述，然而這些實施例并非用來限定本發(fā)明，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可根據(jù)本發(fā)明明示或隱含的內(nèi)容對本發(fā)明的技術(shù)特征施以變化，這些變化均可能屬于本發(fā)明所保護的范圍，換言之，本發(fā)明的專利保護范圍需根據(jù)本說明書的申請專利范圍來界定。

【符號說明】

100、200、300、400、500 螺旋狀堆疊式集成變壓器

110、120、210、220、410、420、510、520 螺旋狀線圈

111、112、113、114、121、122、123、123-1、123-2、124、125、131、132、133、134、161、162、171、172、173、174、411、412、413、421、422、423、424、511、531、602 金屬線段

117、118、127、128、129 端點

160、170、180、460、560 連接結(jié)構(gòu)

140-3、140-4、140-5、140-6、150-3、150-4、150-5、150-6、440-1、440-2、450-1、450-2、540-1、540-2、550-1、550-2 貫穿位置

181、461、561 開關(guān)模塊

311、312、313、314、315、316 曲線

515 區(qū)域

601 貫穿結(jié)構(gòu)