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      一種橫流氣體脈沖激光器的制作方法

      文檔序號:11927265閱讀:721來源:國知局
      一種橫流氣體脈沖激光器的制作方法與工藝

      本發(fā)明涉及脈沖激光器的實(shí)現(xiàn)方法,具體地說是一種橫流氣動(dòng)激光脈沖化(MOPA結(jié)構(gòu))的方法,主要用于CO2激光器、化學(xué)氧碘激光器(COIL)、HF/DF激光器等氣體激光器上。



      背景技術(shù):

      按照激光出光工作時(shí)間可將激光器分為脈沖激光和連續(xù)激光,兩種形式的激光具有各自不同應(yīng)用和不同技術(shù)優(yōu)勢。一般情況下,脈沖激光要比連續(xù)波激光器復(fù)雜,需要相應(yīng)的調(diào)Q方法,以實(shí)現(xiàn)脈沖激光。另一方面,脈沖激光具有較高的峰值功率,但整體激光效率不高。

      目前連續(xù)波脈沖化的調(diào)Q方法較多,如:聲光調(diào)Q、染料調(diào)Q、斬波調(diào)Q等方法,這些方法都需要一定特殊裝置,不是實(shí)施過程較復(fù)雜,就是能量損失較大。而在高能橫流氣動(dòng)激光器上,直接采用這些方法,其光學(xué)元件較易達(dá)到損失閾值,造成光學(xué)調(diào)Q器件的損傷或損壞。因此人們一直探尋實(shí)現(xiàn)高能激光調(diào)Q的實(shí)現(xiàn)方法,尤其像氧碘化學(xué)激光這樣以化學(xué)原料為能源的激光體,激光輸出能量較高,增益系數(shù)低,但模體積大,能量高的體系,實(shí)現(xiàn)調(diào)Q脈沖激光是一項(xiàng)重大難題。。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      為了解決上述不足,本發(fā)明的目的是提供一種橫流高能氣體脈沖激光器的實(shí)現(xiàn)方法,減小激光的能量損失,提高激光器脈沖能量。

      為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:

      一種橫流氣體MOPA結(jié)構(gòu)脈沖激光器的實(shí)現(xiàn)方法,用于橫流氣體激光器,在增益區(qū)增益介質(zhì)流動(dòng)方向上,將橫流氣體激光器的增益區(qū)分為上游增益區(qū)和下游增益區(qū),在下游增益區(qū)兩側(cè)設(shè)置有激光諧振腔組件A,在增益介質(zhì)流過該區(qū)域時(shí)通過聲光調(diào)Q器實(shí)現(xiàn)脈沖激光輸出,作為激光器系統(tǒng)的種子激光,注入到上游增益區(qū)的諧振腔組件B中,進(jìn)行激光能量和光斑尺寸的放大,最終經(jīng)過刮刀鏡,輸出高能脈沖激光,構(gòu)成激光器體系;

      下游增益區(qū)左側(cè)設(shè)有第一凹面全反鏡,右側(cè)從左至右依次設(shè)有擴(kuò)束鏡組、聲光調(diào)Q器、偏振透過鏡和耦合輸出鏡,第一凹面全反鏡與耦合輸出鏡相對設(shè)置,由第一凹面全反鏡、擴(kuò)束鏡組、聲光調(diào)Q器、偏振透過鏡和耦合輸出鏡形成光學(xué)諧振腔A。在增益介質(zhì)流經(jīng)光學(xué)諧振腔A時(shí),將形成 激光震蕩,輸出脈沖激光。由于聲光調(diào)Q器的尺寸限制,采用擴(kuò)束鏡組增大激光模體積,縮小激光輸出光斑尺寸,擴(kuò)束鏡組包括沿光路方向依次設(shè)置的聚焦透鏡和發(fā)散透鏡。在下游輸出直徑為0.5-3mm脈沖激光光束,經(jīng)過偏振反射鏡、透過1/4波片、通過全反鏡,將脈沖激光通過第二凹面全反鏡的小孔注入到上游增益區(qū)作為種子激光,種子激光在上游增益區(qū)由四個(gè)腔鏡構(gòu)成的折疊正支非穩(wěn)腔內(nèi),進(jìn)行來回反射,其能量和光斑均得到放大,最后激光光束照射到刮刀鏡上得到激光輸出,實(shí)現(xiàn)增益區(qū)上游的能量提取,實(shí)現(xiàn)高能量脈沖輸出。

      所述增益介質(zhì)由設(shè)置于上游增益區(qū)外側(cè)的增益介質(zhì)發(fā)生器提供;增益介質(zhì)發(fā)生器可為電泵浦CO2、超音速氧碘激光增益發(fā)生器或HF/DF燃燒氣動(dòng)增益發(fā)生器等,對應(yīng)的橫流氣體激光器可為CO2激光器、氧碘化學(xué)激光器或HF/DF激光器等;

      所述光學(xué)諧振腔A內(nèi)垂直于激光光軸方向通入有增益介質(zhì)形成下游增益區(qū),增益區(qū)增益介質(zhì)流動(dòng)方向垂直于激光光軸方向;于光學(xué)諧振腔A外部增益介質(zhì)的流入方向上設(shè)有光學(xué)諧振腔B,于光學(xué)諧振腔B內(nèi)垂直于激光光軸方向流經(jīng)有增益介質(zhì)形成上游增益區(qū),增益區(qū)增益介質(zhì)流動(dòng)方向垂直于激光光軸方向;即在增益區(qū)增益介質(zhì)流動(dòng)方向上,將橫流氣體激光器的增益區(qū)分為上游增益區(qū)和下游增益區(qū);

      所述激光器主要是下游增益區(qū)與上游增益區(qū)相比較,上游增益區(qū)的增益較高,適合于激光能量的放大;

      所述在上游增益區(qū)一側(cè)設(shè)置有凸面全反鏡、第二凹面全反鏡,在另一側(cè)設(shè)有二個(gè)成對垂直設(shè)置的45度全反鏡,45度全反鏡分別與凸面全反鏡、第二凹面全反鏡相對應(yīng)放置,于上游增益區(qū)與凸面全反鏡間設(shè)有刮刀鏡,形成非穩(wěn)腔,即光學(xué)諧振腔B;該非穩(wěn)腔耦合輸出率大于腔內(nèi)增益,因此在增益介質(zhì)流入到該非穩(wěn)腔時(shí)不能形成自激振蕩,只有在種子激光注入后,通過腔鏡來回反射,使得種子激光多次往返于上流增益區(qū),因此其能量和束斑得到放大,最后在刮刀鏡得到激光能量輸出;

      所述在下游增益區(qū)通體聲光調(diào)Q的方法產(chǎn)生具有較高能量的脈沖激光,此光束為小束斑激光,作為在上游增益區(qū)于光學(xué)諧振腔B內(nèi)激光放大的種子激光;

      所述種子激光通過上游增益區(qū)一側(cè)凹面反射鏡上的小孔,注入到上游增益區(qū)中,注入種子激光一側(cè)的反射鏡中心留有小孔,小孔的中心與非穩(wěn)腔光軸重合,其直徑略大于種子激光斑直徑;

      所述諧振反射鏡設(shè)置于增益區(qū)的外側(cè)。激光光學(xué)諧振腔A的放大率根據(jù)激光器的實(shí)際情況及需求選取,本發(fā)明下游增益區(qū)諧振腔既可以采用穩(wěn)定腔型又可采用非穩(wěn)腔型。本發(fā)明采用MOPA式結(jié)構(gòu),實(shí)施結(jié)構(gòu)簡單,而光學(xué)諧振腔的具體形式可以根據(jù)實(shí)際情況自行選擇。

      本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):

      1.實(shí)施簡單。采用激光自身的諧振腔設(shè)計(jì)和優(yōu)化,即能夠?qū)崿F(xiàn)本方案,無須其他相關(guān)技術(shù)手段。

      2.光學(xué)諧振采用振-放式結(jié)構(gòu)(即MOPA結(jié)構(gòu))。該方案激光振蕩在下游,再將下游的振蕩產(chǎn)生的脈沖激光反饋給上游,注入種子激光的多次放大和能量提取,實(shí)現(xiàn)高能氣體脈沖激光。

      3.采用自身產(chǎn)生的高功率密度激光光束,對自身存儲(chǔ)能量的提取,能量提取效率高、光波長匹配性好。

      4.充分利用增益介質(zhì)流動(dòng)性,在增益低的下游區(qū)域產(chǎn)生種子脈沖激光,而在增益高的上游區(qū)域進(jìn)行種子激光的放大,充分利用整個(gè)填充區(qū)域的增益介質(zhì)能量,所利用激光模體積大,有利于實(shí)現(xiàn)高能量脈沖激光輸出,同時(shí)減低了對激光元件的特殊要求。

      附圖說明

      圖1為橫流氣體MOPA結(jié)構(gòu)折疊光腔提取能量脈沖激光器原理示意圖;

      圖2為橫流氣體MOPA結(jié)構(gòu)單次光腔提取能量脈沖激光器原理示意圖。

      具體實(shí)施方式

      本發(fā)明依據(jù)橫流氣動(dòng)激光器增益介質(zhì)流動(dòng)的特點(diǎn),在空間上充分考慮激光模體積,即激光增益介質(zhì)的空間體積,已增加其脈沖能量。由于增益介質(zhì)的自發(fā)輻射、淬滅等因素帶來介質(zhì)增益的衰減,在增益介質(zhì)流動(dòng)方向上逐漸衰減,因此需要根據(jù)增益介質(zhì)性質(zhì)及介質(zhì)流速的具體條件來確定介質(zhì)流動(dòng)方向的尺度。而橫流激光器增益介質(zhì)的特點(diǎn)是上游增益介質(zhì)增益高,下游增益低。所以提出了下游光腔采用聲光調(diào)Q實(shí)現(xiàn)脈沖激光(如圖1所示),再使其在高增益的上游得到激光能量的放大,實(shí)現(xiàn)較高能量的脈沖輸出。而上、下游增益區(qū)增益下降,通過多次脈沖能量的輸出,提取增益區(qū)的存儲(chǔ)能量,當(dāng)這部分存儲(chǔ)能量提取盡后讓其流出增量空間,同時(shí)增益區(qū)內(nèi)填充新的、未進(jìn)行能量提取的高增益介質(zhì),再次實(shí)現(xiàn)脈沖激光序列的輸出,然后再經(jīng)過上游增益區(qū)放大,形成循環(huán)反復(fù)的脈沖激光輸出過程。其脈沖激光輸出既有聲光調(diào)Q器實(shí)現(xiàn)的脈沖激光,由于增益介質(zhì)填充周期引入時(shí)間調(diào)制周期。

      本發(fā)明工作原理是:采用振-放的工作模式(MOPA結(jié)構(gòu)),利用光學(xué)諧振腔的巧妙設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)高能激光脈沖在高增益區(qū)內(nèi)多次振蕩放大,以實(shí)現(xiàn)激光上游增益區(qū)能量的有效提取。

      下面通過實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

      實(shí)施例1

      本發(fā)明由增益介質(zhì)發(fā)生器1,上游增益區(qū)14,下游增益區(qū)3,下游激光諧振腔A,擴(kuò)束鏡組4,聲光調(diào)Q器5、偏振透過鏡6和耦合輸出鏡7形成光學(xué)諧振腔A;(如圖1所示)。

      在上游增益區(qū)14一側(cè)設(shè)置有凸面全反鏡12、第二凹面全反鏡11,在另一側(cè)設(shè)有二個(gè)成對垂直設(shè)置的45度全反鏡1,45度全反鏡16分別與凸面全反鏡、第二凹面全反鏡相對應(yīng)放置,于上游增益區(qū)2與凸面全反鏡間設(shè)有刮刀鏡,形成非穩(wěn)腔,即光學(xué)諧振腔B;

      在聲光調(diào)Q器5調(diào)Q作用下,光學(xué)諧振腔A內(nèi)形成調(diào)Q脈沖激光經(jīng)耦合輸出鏡輸出。

      增益介質(zhì)發(fā)生器1對于不同體系的激光器其形式不同,主要是產(chǎn)生具有橫流特性的激光增益介質(zhì),其具體形式不受限制,如:電泵浦CO2,超音速氧碘激光增益發(fā)生器,HF/DF燃燒氣動(dòng)增益發(fā)生器等(本例采用超音速氧碘激光增益發(fā)生器)。增益介質(zhì)發(fā)生器1產(chǎn)生的增益介質(zhì)流經(jīng)上游增益區(qū)14,再流經(jīng)下游增益區(qū)3,最后流出增益區(qū)。激光諧振腔A位于下游增益區(qū)3的兩側(cè),是下游增益區(qū)3的諧振腔,提出下游增益區(qū)能量輸出脈t沖激光。下游輸出的脈沖激光為0.5-3mm的光束,經(jīng)過偏振反射鏡8、透過1/4波片9、通過全反鏡10,注入光學(xué)諧振腔B內(nèi),經(jīng)過上游非穩(wěn)腔組件B中第二凹面全反鏡11中心開有的、與光軸同軸的小孔,其小孔直徑比光束直徑大0.1mm左右,進(jìn)入到上游增益區(qū)中,在上游非穩(wěn)光學(xué)諧振腔B的兩面反射鏡之間往復(fù)振蕩,實(shí)現(xiàn)增益區(qū)能量的多次提取。上游非穩(wěn)光學(xué)諧振腔B由凹面鏡11、凸面鏡12、45度全反鏡1,45度全反鏡16和刮刀鏡13構(gòu)成。根據(jù)對激光模式的不同需求和激光增益介質(zhì)的特性,可以選擇不同激光諧振腔B,構(gòu)成穩(wěn)定腔或非穩(wěn)腔。所有激光波長反射鏡均鍍制高反膜。上游非穩(wěn)光學(xué)諧振腔B的放大率選取依據(jù)上游增益長度和增益介質(zhì)的增益系數(shù),在無光注入時(shí),上游增益介質(zhì)在上游非穩(wěn)光學(xué)諧振腔B的條件下,不能構(gòu)成起振,因此由上游非穩(wěn)光學(xué)諧振腔B產(chǎn)生放大衍射輸出大于上游區(qū)的增益。脈沖激光出光周期為增益介質(zhì)流動(dòng)速度v比增益區(qū)在流動(dòng)方向的長度L,出光頻率和脈寬通過聲光調(diào)Q器控制。

      實(shí)施例2

      如圖2所示,與實(shí)施例1不同之處在于:如果上游增益區(qū)14沿氣流方向縮短,可以采用單次非穩(wěn)腔,使上游增益區(qū)沿增益介質(zhì)流動(dòng)方向長度減小一倍。這樣上游非穩(wěn)光學(xué)諧振腔B由第二凹面全反鏡11、凸面全反鏡12和刮刀鏡13構(gòu)成。第二凹面全反鏡11和凸面全反鏡12對設(shè)置在上游增益區(qū)14兩側(cè),于上游增益區(qū)14與凸面全反鏡間設(shè)有刮刀鏡13。

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