技術(shù)特征：

1.一種氧化物薄膜的制備方法，其特征在于，包括：

涂布前烘成膜步驟：將含有化學(xué)活性組分的有機(jī)溶液進(jìn)行涂布和前烘形成薄膜，其中，所述化學(xué)活性組分中包括重氮萘醌感光樹脂；

掩膜曝光步驟：在所述薄膜上進(jìn)行掩膜，未掩膜的所述薄膜在曝光后用堿性溶液除去；

氧化物薄膜形成步驟：將掩膜部分經(jīng)高能紫外線照射和臭氧處理后，經(jīng)燒結(jié)固化形成氧化物薄膜。

2.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述重氮萘醌感光樹脂包括式I所示的化合物；

其中，R¹和R²各自獨(dú)立地選自：

n為0、1、2或3，m為0、1、2、或3，且n+m≤3；

x為0、1、2或3，y為0、1、2、或3，且x+y≤3。

3.如權(quán)利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述重氮萘醌感光樹脂選自下述化合物中的一種：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，在所述掩膜曝光步驟中，在365nm紫外光輻照下進(jìn)行曝光。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述氧化物薄膜包括：ITO薄膜、IZO薄膜、IGZO薄膜、ZnON薄膜、ZnO薄膜、ZIZO薄膜和IGZTO薄膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，當(dāng)所述氧化物薄膜為IZO薄膜時，

所述化學(xué)活性組分包括以重量份計的：10-50份重氮萘醌感光樹脂、50-90份成膜樹脂、20-50份乙酰丙酮銦和5-10質(zhì)量份ZnCl₂。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，當(dāng)所述氧化物薄膜為IGZO時，

所述化學(xué)活性組分包括以重量份計的：10-50份重氮萘醌感光樹脂、50-90份成膜樹脂、20-50份乙酰丙酮銦、10-20份Ga(NO₃)₃.H₂O和5-10份ZnCl₂。

8.一種根據(jù)權(quán)利要求1～7任一所述制備方法得到的氧化物薄膜。

9.一種薄膜晶體管的制備方法，其特征在于，該制備方法包括權(quán)利要求1～7任一所述氧化物薄膜的制備步驟。

10.一種薄膜晶體管，其特征在于，該薄膜晶體管包括權(quán)利要求1～7任一所述制備方法得到的氧化物薄膜。