本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以及數(shù)據(jù)信息技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，本發(fā)明涉及一種提高良率提升缺陷監(jiān)測效率的方法。

背景技術(shù)：

隨著華力工藝技術(shù)的進步以及生產(chǎn)效率的提高，憑借著業(yè)界先進工廠水平，獲得了大批的生產(chǎn)訂單，生產(chǎn)規(guī)模日益過大，生產(chǎn)量逐步增加，工廠內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備數(shù)量超過300臺，三大量產(chǎn)工藝平臺的缺陷監(jiān)控步驟接近1000道，如果只按產(chǎn)品尾數(shù)的抽樣規(guī)則無法保證每臺設(shè)備都被有效監(jiān)控到。需要一個自動控制系統(tǒng)，使每臺設(shè)備在一定時間或產(chǎn)品數(shù)量范圍內(nèi)被缺陷監(jiān)控到，如果設(shè)備發(fā)生異常，能夠把受影響的產(chǎn)品數(shù)量控制在合理范圍內(nèi)。

為此，良率提升(Yield Enhancement，YE)提出申請，在現(xiàn)有制造執(zhí)行系統(tǒng)基礎(chǔ)上結(jié)合MES(制造執(zhí)行系統(tǒng))、DSP已有的功能模塊開發(fā)一個能夠自動執(zhí)行觸發(fā)、選擇產(chǎn)品、安排加檢并提高優(yōu)先級等動作的系統(tǒng)，即SIMS系統(tǒng)(Smart inline monitor system，智能在現(xiàn)監(jiān)控系統(tǒng))。

SIMS系統(tǒng)設(shè)定了工藝步驟和良率提升步驟的對應(yīng)關(guān)系、設(shè)置組以及按機器(Machine)、次機器(Sub Machine)設(shè)定“持續(xù)未監(jiān)控時間”和“持續(xù)未監(jiān)控產(chǎn)品數(shù)量(批數(shù)、片數(shù))”的控制線等，從而提高監(jiān)控數(shù)據(jù)的有效性，實現(xiàn)自動加減，控制影響數(shù)量。但由于SIMS系統(tǒng)建立以來，獲取的數(shù)據(jù)并為得到有效的分析和監(jiān)控，另外，工廠內(nèi)產(chǎn)生的數(shù)據(jù)量太大，人工手動是無法進行全面處理分析的。SIMS系統(tǒng)本身是自動化控制系統(tǒng)，但是建立在人為設(shè)置上，需要良率提升工程師手動進行維護，在其功能界面上提供有效的設(shè)置。目前，良率提升工程師只在SIMS系統(tǒng)內(nèi)做了少量數(shù)據(jù)的設(shè)置，在缺乏數(shù)據(jù)分析的情況下，SIMS系統(tǒng)設(shè)置的有效性與精準性是受到很大限制的。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷，提供一種能夠?qū)嵤α悸侍嵘龣z測機臺的監(jiān)控，而且高缺陷檢測效率以及缺陷檢測數(shù)據(jù)的有效性的方法。

為了實現(xiàn)上述技術(shù)目的，根據(jù)本發(fā)明，提供了一種提高良率提升缺陷監(jiān)測效率的方法，包括：

第一步驟：通過SIMS系統(tǒng)對缺陷檢測控制進行設(shè)定，并且獲取SIMS系統(tǒng)的相關(guān)設(shè)定參數(shù)；

第二步驟：通過SIMS系統(tǒng)對缺陷檢測控制進行設(shè)定，并且獲取SIMS系統(tǒng)的相關(guān)設(shè)定參數(shù)；

第三步驟：創(chuàng)建第一數(shù)據(jù)表來存放符合SIMS系統(tǒng)內(nèi)設(shè)定的工藝步驟和良率提升步驟的對應(yīng)關(guān)系、被檢測過的工藝批次數(shù)據(jù)、以及對應(yīng)的掃描數(shù)據(jù)；

第四步驟：創(chuàng)建第二數(shù)據(jù)表來存放所有工藝批次的數(shù)據(jù)信息，同時判斷處理信息；

第五步驟：編寫新腳本來處理所有涉及的相關(guān)數(shù)據(jù)表，并且向第一數(shù)據(jù)表和第二數(shù)據(jù)表中導(dǎo)入數(shù)據(jù)；

第六步驟：利用SIMS系統(tǒng)獲取查詢信息；

第七步驟：通過SIMS系統(tǒng)，查看良率提升機臺的跑貨情況以及掃描情況，監(jiān)察SIMS系統(tǒng)內(nèi)的各項設(shè)定的實施效果，判斷設(shè)定的合理性。

優(yōu)選地，在第一步驟，由良率提升工程師通過SIMS系統(tǒng)對缺陷檢測控制進行設(shè)定，并且獲取SIMS系統(tǒng)的相關(guān)設(shè)定參數(shù)。

優(yōu)選地，在第一步驟，在后臺獲取SIMS系統(tǒng)的相關(guān)設(shè)定參數(shù)。

優(yōu)選地，工藝批次的數(shù)據(jù)信息包括：批次名、工藝步驟順序和工作區(qū)。

優(yōu)選地，處理信息包括是否被掃描、關(guān)鍵批次是否是由SIMS抓取的、以及是否被人為跳站。

優(yōu)選地，在第六步驟取查詢信息包括：按工作區(qū)域和/或機臺實時查詢各區(qū)域和/或機臺的實時缺陷檢測信息、選擇時段內(nèi)的過貨信息以及缺陷檢測信息。

優(yōu)選地，在第六步驟，開發(fā)SIMS系統(tǒng)數(shù)據(jù)報表的新功能界面，并按工作區(qū)域和/或機臺實時查詢各區(qū)域和/或機臺的實時缺陷檢測信息、選擇時段內(nèi)的過貨信息以及缺陷檢測信息。

優(yōu)選地，在第七步驟，通過SIMS系統(tǒng)數(shù)據(jù)報表的查詢信息，查看良率提升機臺的跑貨情況以及掃描情況，監(jiān)察SIMS系統(tǒng)內(nèi)的各項設(shè)定的實施效果，判斷設(shè)定的合理性。

本發(fā)明提供了一種基于SIMS系統(tǒng)以及MES系統(tǒng)的批次數(shù)據(jù)分析方法，能夠?qū)嵤α悸侍嵘龣z測機臺的監(jiān)控，并根據(jù)數(shù)據(jù)結(jié)果，完善SIMS系統(tǒng)中所設(shè)定的檢測條件，從而有效的提高缺陷檢測效率以及缺陷檢測數(shù)據(jù)的有效性，控制影響數(shù)量。

附圖說明

結(jié)合附圖，并通過參考下面的詳細描述，將會更容易地對本發(fā)明有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點和特征，其中：

圖1示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的提高良率提升缺陷監(jiān)測效率的方法的流程圖。

圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的提高良率提升缺陷監(jiān)測效率的方法的一個具體示例的流程圖。

需要說明的是，附圖用于說明本發(fā)明，而非限制本發(fā)明。注意，表示結(jié)構(gòu)的附圖可能并非按比例繪制。并且，附圖中，相同或者類似的元件標有相同或者類似的標號。

具體實施方式

為了使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚和易懂，下面結(jié)合具體實施例和附圖對本發(fā)明的內(nèi)容進行詳細描述。

本發(fā)明針對缺乏缺陷檢測數(shù)據(jù)分析問題，提出一種基于SIMS系統(tǒng)，通過數(shù)據(jù)分析，提高良率提升缺陷監(jiān)測效率的方案。從多個視角，本發(fā)明對工廠內(nèi)所有良率提升監(jiān)測數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計，在此基礎(chǔ)上，結(jié)合SIMS系統(tǒng)，實現(xiàn)一種能有效地提高良率提升缺陷監(jiān)測效率的方案。

圖1示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的提高良率提升缺陷監(jiān)測效率的方法的流程圖。

如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的提高良率提升缺陷監(jiān)測效率的方法包括：

第一步驟S1：由良率提升工程師通過SIMS系統(tǒng)對缺陷檢測控制進行設(shè)定，并且獲取SIMS系統(tǒng)的相關(guān)設(shè)定參數(shù)；

例如，在第一步驟S1，在后臺獲取SIMS系統(tǒng)的相關(guān)設(shè)定參數(shù)。

第二步驟S2：分析MES系統(tǒng)中的對應(yīng)批次信息表以及SIMS系統(tǒng)的對應(yīng)數(shù)據(jù)表，并整合數(shù)據(jù)；

第三步驟S3：創(chuàng)建第一數(shù)據(jù)表來存放符合SIMS系統(tǒng)內(nèi)設(shè)定的工藝步驟和良率提升步驟的對應(yīng)關(guān)系、被檢測過的工藝批次數(shù)據(jù)、以及對應(yīng)的掃描數(shù)據(jù)；

第四步驟S4：創(chuàng)建第二數(shù)據(jù)表來存放所有工藝批次的數(shù)據(jù)信息，同時判斷處理信息；

例如，工藝批次的數(shù)據(jù)信息包括：批次名、工藝步驟順序和工作區(qū)。

例如，處理信息包括是否被掃描、關(guān)鍵批次是否是由SIMS抓取的、以及是否被人為跳站。

第五步驟S5：編寫新腳本來處理所有涉及的相關(guān)數(shù)據(jù)表，并且向第一數(shù)據(jù)表和第二數(shù)據(jù)表中導(dǎo)入數(shù)據(jù)；

第六步驟S6：利用SIMS系統(tǒng)獲取查詢信息；

例如，在第六步驟S6，獲取查詢信息包括：按工作區(qū)域和/或機臺實時查詢各區(qū)域和/或機臺的實時缺陷檢測信息、選擇時段內(nèi)的過貨信息以及缺陷檢測信息。

例如，在第六步驟S6，開發(fā)SIMS系統(tǒng)數(shù)據(jù)報表的新功能界面，并按工作區(qū)域和/或機臺實時查詢各區(qū)域和/或機臺的實時缺陷檢測信息、選擇時段內(nèi)的過貨信息以及缺陷檢測信息。

例如，SIMS系統(tǒng)數(shù)據(jù)報表的新功能界面可包含下述參數(shù)選項：

Workarea：批次所在的區(qū)域

NoScanLotCnt：(當前時間)各機臺機距離上次掃描時間內(nèi)的過貨批次數(shù)量總和/或機臺總數(shù)

NoScanWaferCnt：(當前時間)各機臺機距離上次掃描時間內(nèi)的過貨晶圓數(shù)量總和/或機臺總數(shù)

RiskHour：(當前時間)各機臺機距離上次掃描時間的時間差總和/機臺總數(shù)

MaxNoScanLotCnt：(當前區(qū)域，當前時間)各機臺機距離上次掃描時間內(nèi)的過貨批次數(shù)量的最大值

MinNoScanLotCnt：(當前時間)各機臺機距離上次掃描時間內(nèi)的過貨批次數(shù)量的最小值

KeyLot(Top 5)：(當前時間)SIMS系統(tǒng)內(nèi)按設(shè)定條件產(chǎn)生的前5批關(guān)鍵批次的名稱

ProcessLotCnt：(選擇時間段內(nèi))過貨批次總量

ScanLotCnt：(選擇時間段內(nèi))被掃描的批次總量

ScanRate：(選擇時間段內(nèi))被掃描的批次總量/過貨批次總量

SkipLotCnt：(選擇時間段內(nèi))被人為跳站的關(guān)鍵批次總量

KeyLotCnt：(選擇時間段內(nèi))SIMS系統(tǒng)內(nèi)按設(shè)定條件抓取的關(guān)鍵批次總量

NoScanLotCnt(Max)：(選擇時間段內(nèi))各機臺前次掃描距離下一次掃描時間內(nèi)的過貨批次數(shù)量的最大值

NoScanLotCnt(Min)：(選擇時間段內(nèi))各機臺前次掃描距離下一次掃描時間內(nèi)的過貨批次數(shù)量的最小值

第七步驟S7：通過SIMS系統(tǒng)，查看良率提升機臺的跑貨情況以及掃描情況，監(jiān)察SIMS系統(tǒng)內(nèi)的各項設(shè)定的實施效果，判斷設(shè)定的合理性。

例如，在第七步驟S7，通過SIMS系統(tǒng)數(shù)據(jù)報表的查詢信息，查看良率提升機臺的跑貨情況以及掃描情況，監(jiān)察SIMS系統(tǒng)內(nèi)的各項設(shè)定的實施效果，判斷設(shè)定的合理性。

在具體實施時，可以對上述方法進行具體調(diào)整。例如，圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的提高良率提升缺陷監(jiān)測效率的方法的一個具體示例的流程圖。

由此，本發(fā)明利用腳本的編寫，實現(xiàn)將SIMS系統(tǒng)相關(guān)數(shù)據(jù)與MES所有跑貨的數(shù)據(jù)信息整合分析，同時查看工藝批次信息以及掃描信息、SIMS系統(tǒng)數(shù)據(jù)信息。同時，SIMS數(shù)據(jù)報表功能界面的開發(fā)，對腳本實現(xiàn)的數(shù)據(jù)源進行了進一步的處理，提供給良率提升工程師準確高效的查詢方式，并依據(jù)查詢結(jié)果，更改完善SIMS系統(tǒng)的設(shè)定條件，逐步實現(xiàn)每臺設(shè)備/工藝腔每24小時具備有效缺陷檢測數(shù)據(jù)，控制影響數(shù)量。

可以看出，本發(fā)明針對當前良率提升工程師基本通過人工解析缺陷檢測機臺的實時監(jiān)測數(shù)據(jù)，無法獲取SIMS系統(tǒng)產(chǎn)生的詳細數(shù)據(jù)信息，缺乏缺陷檢測數(shù)據(jù)分析問題，提出一種基于SIMS系統(tǒng)，通過數(shù)據(jù)分析，提高良率提升缺陷監(jiān)測效率的方案。在大量數(shù)據(jù)分析的基礎(chǔ)上，更加準確有效的對SIMS系統(tǒng)做系統(tǒng)設(shè)定，從而達到最低檢測頻度要求，對相應(yīng)機臺選擇增減檢測批次，最終實現(xiàn)各設(shè)備/工藝腔每24小時具備有效缺陷檢測數(shù)據(jù)，控制影響數(shù)量，以滿足客戶的需求。

此外，需要說明的是，除非特別說明或者指出，否則說明書中的術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”等描述僅僅用于區(qū)分說明書中的各個組件、元素、步驟等，而不是用于表示各個組件、元素、步驟之間的邏輯關(guān)系或者順序關(guān)系等。

可以理解的是，雖然本發(fā)明已以較佳實施例披露如上，然而上述實施例并非用以限定本發(fā)明。對于任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護的范圍內(nèi)。