一種多晶硅片的脫膠噴淋裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型具體公開一種多晶硅片的脫膠噴淋裝置，包括脫膠槽、往復(fù)氣缸及第一噴淋管、第二噴淋管和第三噴淋管，第一噴淋管和第二噴淋管的同側(cè)端分別水平穿出脫膠槽并分別在其穿出部分上套接有齒輪；往復(fù)氣缸水平設(shè)置在脫膠槽外，往復(fù)氣缸的活塞桿固接有水平設(shè)置的齒條，齒條與兩個(gè)齒輪嚙合連接；第三噴淋管與第一噴淋管之間連接第一直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭，第三噴淋管與第二噴淋管之間連接有第二直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭，且第一直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭的兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有相互嚙合的傘齒輪組。本實(shí)用新型第一噴淋管、第二噴淋管和第三噴淋管由同一往復(fù)氣缸驅(qū)動而同步往復(fù)旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)向硅片多角度上下擺動沖淋，沖淋后不會產(chǎn)生砂漿或膠的殘留，提高工作效率。
【專利說明】
一種多晶硅片的脫膠噴淋裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽能硅片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種多晶硅片的脫膠噴淋裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]光電領(lǐng)域中，硅是非常重要和常用的半導(dǎo)體原料，是太陽能電池最理想的原材料。硅原料一般要經(jīng)過清洗、鑄錠、切塊、粘膠、切片、脫膠、清洗等工序后，才能用于太陽能電池。生產(chǎn)操作中，多晶硅塊切成片后，必須要經(jīng)過脫膠和清洗后才能使用。目前操作過程中，多晶硅片脫膠時(shí)，常常因?yàn)闆_淋裝置僅能夠進(jìn)行單向沖淋，所以無法將多晶硅片表面殘留的砂漿以及脫膠時(shí)產(chǎn)生的膠進(jìn)行有效沖淋，造成沖淋后還需要進(jìn)行后續(xù)清洗，增加了生產(chǎn)成本，延長了生產(chǎn)時(shí)間，降低了工作效率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為克服現(xiàn)有技術(shù)存在的技術(shù)缺陷，本實(shí)用新型提供一種多晶硅片的脫膠噴淋裝置，沖淋后不會產(chǎn)生砂漿或膠的殘留，可直接進(jìn)行下一道工序，節(jié)省了生產(chǎn)時(shí)間、降低了生產(chǎn)成本。
[0004]本實(shí)用新型采用的技術(shù)解決方案是:
[0005]—種多晶硅片的脫膠噴淋裝置，包括脫膠槽、往復(fù)氣缸以及相互平行且水平設(shè)置在脫膠槽的內(nèi)壁頂端同一高度處的第一噴淋管、第二噴淋管和第三噴淋管，所述第一噴淋管和第二噴淋管的同側(cè)端分別水平穿出脫膠槽并分別在其穿出部分上套接有齒輪;所述往復(fù)氣缸水平設(shè)置在脫膠槽外，所述往復(fù)氣缸的活塞桿固接有水平設(shè)置的齒條，所述齒條與兩個(gè)齒輪嚙合連接;所述第三噴淋管與第一噴淋管之間連接第一直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭，所述第三噴淋管與第二噴淋管之間連接有第二直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭，且所述第一直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭的兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有相互嚙合的傘齒輪組。
[0006]優(yōu)選地，所述脫膠槽外固接有支撐座，所述往復(fù)氣缸的缸體固設(shè)在支撐座上。
[0007]優(yōu)選地，所述第一噴淋管、第二噴淋管和第三噴淋管分別軸向間隔設(shè)置有多個(gè)噴口，所述多個(gè)噴口在同一直線上，且所述多個(gè)噴口由往復(fù)氣缸的往復(fù)驅(qū)動而在相對水平面向下且向脫膠槽內(nèi)部傾斜15°?75°范圍內(nèi)往復(fù)擺動。
[0008]優(yōu)選地，所述脫膠槽呈方形，包括第一側(cè)壁、第二側(cè)壁、第三側(cè)壁和第四側(cè)壁，所述第一側(cè)壁和第二側(cè)壁相對置，所述第三側(cè)壁和第四側(cè)壁相對置，所述第一噴淋管沿脫膠槽的第一側(cè)壁內(nèi)面延伸設(shè)置，所述第二噴淋管沿脫膠槽的第二側(cè)壁內(nèi)面設(shè)置，所述第三噴淋管沿脫膠槽的第三側(cè)壁內(nèi)面設(shè)置，所述第一噴淋管和第二噴淋管分別穿出第四側(cè)壁。
[0009]優(yōu)選地，所述第四側(cè)壁外面設(shè)有安裝座，所述安裝座的縱截面形狀呈L型，所述安裝座頂部靠近第四側(cè)壁的一側(cè)設(shè)為向下凹陷的安裝槽，所述齒條滑動設(shè)置在安裝座內(nèi)。
[0010]優(yōu)選地，所述第二直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭的彎頭連接供水管，所述供水管連接水栗，所述水栗通過水管連接脫膠槽底部。
[0011]本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型用于沖淋的管道設(shè)有第一噴淋管、第二噴淋管和第三噴淋，第一噴淋管、第二噴淋管和第三噴淋管分設(shè)在脫膠槽的三個(gè)側(cè)面，增加沖淋方位，且由于第一噴淋管和第三噴淋管之間連接有第一直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭，第二噴淋管和第三噴淋管之間連接有第二直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭，第一噴淋管的穿出端和第二噴淋管的穿出端分別通過相互嚙合的齒輪和齒條與往復(fù)氣缸相接，通過往復(fù)氣缸的往復(fù)直線運(yùn)動直接帶動第一噴淋管和第二噴淋管的往復(fù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，同時(shí)通過第一直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭上的傘齒輪組間接帶動第三噴淋管往復(fù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，由此實(shí)現(xiàn)第一噴淋管、第二噴淋管和第三噴淋管由同一往復(fù)氣缸驅(qū)動而同步往復(fù)旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)向硅片多角度上下擺動沖淋，沖淋后不會產(chǎn)生砂漿或膠的殘留，既節(jié)省時(shí)間、降低生產(chǎn)成本，又能保證多晶硅片的沖淋效果，提高了工作效率。
【附圖說明】

[0012]圖1為本實(shí)用新型主視圖。
[0013]圖2為本實(shí)用新型俯視圖。
[0014]附圖標(biāo)記說明:
[0015]10、脫膠槽；11、支撐座；12、安裝座;21、第一噴淋管;22、第二噴淋管;23、第三噴淋管；24、第一直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭；25、第二直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭；26、傘齒輪組;31、往復(fù)氣缸；32、齒條;33、齒輪;41、供水管;42、水栗。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0017]如圖1-2所示，本實(shí)施例提供一種多晶硅片的脫膠噴淋裝置，包括脫膠槽10、往復(fù)氣缸31以及相互平行且水平設(shè)置在脫膠槽10的內(nèi)壁頂端同一高度處的第一噴淋管21、第二噴淋管22和第三噴淋管23，所述第一噴淋管21和第二噴淋管22的同側(cè)端分別水平穿出脫膠槽10并分別在其穿出部分上套接有齒輪33。所述往復(fù)氣缸31水平設(shè)置在脫膠槽10外，所述往復(fù)氣缸31的活塞桿固接有水平設(shè)置的齒條32，所述齒條32與兩個(gè)齒輪33嚙合連接。
[0018]在本實(shí)施例中，所述脫膠槽10呈方形，包括第一側(cè)壁、第二側(cè)壁、第三側(cè)壁和第四側(cè)壁，所述第一側(cè)壁和第二側(cè)壁相對置，所述第三側(cè)壁和第四側(cè)壁相對置，所述第一噴淋管21沿脫膠槽10的第一側(cè)壁內(nèi)面延伸設(shè)置，所述第二噴淋管22沿脫膠槽10的第二側(cè)壁內(nèi)面設(shè)置，所述第三噴淋管23沿脫膠槽10的第三側(cè)壁內(nèi)面設(shè)置，所述第一噴淋管21和第二噴淋管22分別穿出第四側(cè)壁。所述第三噴淋管23與第一噴淋管21之間連接第一直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭24，所述第三噴淋管23與第二噴淋管22之間連接有第二直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭25，且所述第一直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭24的兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有相互嚙合的傘齒輪組26，所述第二直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭25的彎頭連接供水管41，所述供水管41連接水栗42，所述水栗42通過水管連接脫膠槽10底部，如此循環(huán)利用脫膠槽10內(nèi)的水進(jìn)行噴淋，節(jié)水又節(jié)能，可充分利用脫膠槽10內(nèi)加熱后的脫膠水增強(qiáng)沖淋效果。
[0019]在本實(shí)施例中，所述脫膠槽10外固接有支撐座11，所述往復(fù)氣缸31的缸體固設(shè)在支撐座11上，所述第四側(cè)壁外面設(shè)有安裝座12，所述安裝座12的縱截面形狀呈L型，所述安裝座12頂部靠近第四側(cè)壁的一側(cè)設(shè)為向下凹陷的安裝槽，所述齒條32滑動設(shè)置在安裝座12內(nèi)。
[0020]在本實(shí)施例中，所述第一噴淋管21、第二噴淋管22和第三噴淋管23分別軸向間隔設(shè)置有多個(gè)噴口，所述多個(gè)噴口在同一直線上，且所述多個(gè)噴口由往復(fù)氣缸31的往復(fù)驅(qū)動而在相對水平面向下且向脫膠槽10內(nèi)部傾斜15°?75°范圍內(nèi)往復(fù)擺動。
[0021]本實(shí)用新型不局限于上述最佳實(shí)施方式，任何人應(yīng)該得知在本實(shí)用新型的啟示下作出的結(jié)構(gòu)變化，凡是與本實(shí)用新型具有相同或相近的技術(shù)方案，均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種多晶硅片的脫膠噴淋裝置，其特征在于，包括脫膠槽、往復(fù)氣缸以及相互平行且水平設(shè)置在脫膠槽的內(nèi)壁頂端同一高度處的第一噴淋管、第二噴淋管和第三噴淋管，所述第一噴淋管和第二噴淋管的同側(cè)端分別水平穿出脫膠槽并分別在其穿出部分上套接有齒輪;所述往復(fù)氣缸水平設(shè)置在脫膠槽外，所述往復(fù)氣缸的活塞桿固接有水平設(shè)置的齒條，所述齒條與兩個(gè)齒輪嚙合連接;所述第三噴淋管與第一噴淋管之間連接第一直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭，所述第三噴淋管與第二噴淋管之間連接有第二直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭，且所述第一直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭的兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有相互嚙合的傘齒輪組。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅片的脫膠噴淋裝置，其特征在于，所述脫膠槽外固接有支撐座，所述往復(fù)氣缸的缸體固設(shè)在支撐座上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅片的脫膠噴淋裝置，其特征在于，所述第一噴淋管、第二噴淋管和第三噴淋管分別軸向間隔設(shè)置有多個(gè)噴口，所述多個(gè)噴口在同一直線上，且所述多個(gè)噴口由往復(fù)氣缸的往復(fù)驅(qū)動而在相對水平面向下且向脫膠槽內(nèi)部傾斜15°?75°范圍內(nèi)往復(fù)擺動。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅片的脫膠噴淋裝置，其特征在于，所述脫膠槽呈方形，包括第一側(cè)壁、第二側(cè)壁、第三側(cè)壁和第四側(cè)壁，所述第一側(cè)壁和第二側(cè)壁相對置，所述第三側(cè)壁和第四側(cè)壁相對置，所述第一噴淋管沿脫膠槽的第一側(cè)壁內(nèi)面延伸設(shè)置，所述第二噴淋管沿脫膠槽的第二側(cè)壁內(nèi)面設(shè)置，所述第三噴淋管沿脫膠槽的第三側(cè)壁內(nèi)面設(shè)置，所述第一噴淋管和第二噴淋管分別穿出第四側(cè)壁。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅片的脫膠噴淋裝置，其特征在于，所述第四側(cè)壁外面設(shè)有安裝座，所述安裝座的縱截面形狀呈L型，所述安裝座頂部靠近第四側(cè)壁的一側(cè)設(shè)為向下凹陷的安裝槽，所述齒條滑動設(shè)置在安裝座內(nèi)。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的多晶硅片的脫膠噴淋裝置，其特征在于，所述第二直角雙向旋轉(zhuǎn)接頭的彎頭連接供水管，所述供水管連接水栗，所述水栗通過水管連接脫膠槽底部。
【文檔編號】H01L31/08GK205692848SQ201620640427
【公開日】2016年11月16日
【申請日】2016年6月25日 公開號201620640427.2, CN 201620640427, CN 205692848 U, CN 205692848U, CN-U-205692848, CN201620640427, CN201620640427.2, CN205692848 U, CN205692848U
【發(fā)明人】吳自強(qiáng)
【申請人】吳自強(qiáng)