本公開的實施方式涉及一種用于處理在太陽能電池制造中使用的基板的裝置。本公開的實施方式具體涉及用于將材料沉積到在太陽能電池制造中使用的基板上(諸如太陽能電池的線路圖案或印刷跡線(例如，指狀部和/或母線)的雙重印刷)的裝置。

背景技術(shù)：

太陽能電池是將陽光直接轉(zhuǎn)換成電能的光伏(PV)器件。在這個領(lǐng)域中，已知的是，使用沉積技術(shù)(諸如絲網(wǎng)印刷)在基板(諸如結(jié)晶硅基底層)上生產(chǎn)太陽能電池，從而在太陽能電池的一或多個表面上實現(xiàn)導電線路圖案的結(jié)構(gòu)。線路圖案可以隨后以多個沉積工藝形成。就所制造的太陽能電池的質(zhì)量來說，在沉積工藝期間沉積的線路圖案應(yīng)當相對于彼此對準。舉例來說，線路圖案相對于彼此對準可影響所制造的太陽能電池的電特性，諸如輸出功率。

鑒于上述內(nèi)容，克服本領(lǐng)域的問題中的至少一些問題、用于處理在太陽能電池制造中使用的基板的新裝置是有益的。本公開具體地旨在提供一種允許改進線路圖案相對于彼此的對準的裝置。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

鑒于上述內(nèi)容，提供一種用于處理在太陽能電池制造中使用的基板的裝置。本公開的進一步的方面、益處和特征從權(quán)利要求書、說明書和附圖中顯而易見。

根據(jù)本公開的一個方面，提供一種用于處理在太陽能電池制造中使用的基板(諸如第一基板和第二基板)的裝置。所述裝置包括：檢查組件，所述檢查組件被配置為檢測第一基板上的第一線路圖案的第一尺寸；處理設(shè)備，所述處理設(shè)備被配置為在所述第一線路圖案上方提供第二線路圖案，以便形成組合的線路圖案，其中所述檢查組件還配置為檢測所述組合的線路圖案的第二尺寸；以及對準設(shè)備，所述對準設(shè)備被配置為基于所述第一尺寸和所述第二尺寸來將所述處理設(shè)備和/或所述第二基板對準。

附圖說明

因此，為了能夠詳細理解本公開的上述特征結(jié)構(gòu)所用方式，上文所簡要概述的本公開的更具體的描述可以參考實施方式得出。附圖涉及本公開的實施方式，并且描述如下：

圖1示出根據(jù)本文所述實施方式的用于處理在太陽能電池制造中使用的基板的裝置的示意圖；

圖2示出根據(jù)本文所述實施方式的具有組合的線路圖案的太陽能電池的俯視圖；

圖3示出圖2的太陽能電池的橫截面圖；

圖4A至圖4C示出根據(jù)本文所述實施方式的用于處理在太陽能電池制造中使用的基板的裝置的工作方案；

圖5A至圖5C示出根據(jù)本文所述實施方式的基板上的線路圖案的第一尺寸和第二尺寸的實例；以及

圖6示出根據(jù)本文所述實施方式的用于太陽能電池生產(chǎn)的系統(tǒng)。

具體實施方式

現(xiàn)將詳細參考本公開的各種實施方式，這些實施方式的一或多個實例在附圖中示出。在對附圖的以下描述內(nèi)，相同參考標號指代相同部件。一般來說，僅描述了相對于單獨實施方式的差異。每個實例被提供用于解釋本公開內(nèi)容，而非意謂對本公開的限制。另外，例示或描述為一個實施方式的部分的特征可用于其他實施方式或與其他實施方式結(jié)合以產(chǎn)生另一實施方式。這意味著描述包括這樣的修改和變化。

在太陽能電池制造中，線路圖案可隨后例如在絲網(wǎng)印刷工藝中提供(例如，印刷)于彼此之上。就制造的太陽能電池的質(zhì)量來說，線路圖案應(yīng)當相對于彼此對準。舉例來說，線路圖案相對于彼此對準可影響所制造的太陽能電池的電特性，諸如輸出功率。

本公開的裝置執(zhí)行對提供在基板上的線路圖案的雙重檢查來使將提供在后續(xù)基板上的線路圖案對準。具體來說，檢測第一尺寸，諸如所述第一線路圖案的第一寬度，并且接著在第一線路圖案上提供(例如，沉積)第二線路圖案。隨后，檢測組合的線路圖案的第二尺寸(諸如第二寬度)。處理設(shè)備和/或后續(xù)基板可使用從第一尺寸和第二尺寸獲得的信息來進行對準。舉例來說，可對第一尺寸和第二尺寸進行比較，并且可從比較得知第二線路圖案相對于第一線路圖案的錯位?？蓤?zhí)行對后續(xù)基板的對準以使得針對第二基板校正錯位。具體來說，可以改進后續(xù)基板上的另一第一線路圖案和/或另一第二線路圖案的對準。

圖1示出根據(jù)本文所述實施方式的用于處理在太陽能電池制造中使用的基板10(諸如第一基板和第二基板)的裝置100的示意圖。根據(jù)本公開的裝置100可為連續(xù)生產(chǎn)線路的一部分，并且可配置用于制造太陽能電池。

裝置100包括：檢查組件110，所述檢查組件被配置為檢測(或確定或測量)第一基板上的第一線路圖案的第一尺寸；處理設(shè)備，諸如沉積設(shè)備120，所述處理設(shè)備被配置為在第一線路圖案上方(例如，在第一線路圖案上)提供或沉積第二線路圖案，以便形成組合的線路圖案，其中檢查組件110還配置用于檢測(或確定或測量)組合的線路圖案的第二尺寸；以及對準設(shè)備130，所述對準設(shè)備被配置為基于第一尺寸和第二尺寸來將處理設(shè)備(或是處理設(shè)備的一部分，例如，工藝頭(process head)和/或絲網(wǎng))和/或第二基板對準。第二基板是在第一基板后處理的基板。術(shù)語“尺寸”可與例如“延度(extension)”同義地使用。

以下描述使用沉積設(shè)備120作為處理設(shè)備。然而，本公開并不限制于此，并且處理設(shè)備可以選自包括以下各項的組：印刷頭、被配置用于絲網(wǎng)印刷的印刷頭、噴墨式打印機、激光設(shè)備，以及它們的任何組合。舉例來說，裝置100，以及具體地，處理設(shè)備，可配置用于雙重印刷、多重印刷、噴墨印刷和/或激光刻劃。

在一些實現(xiàn)方式中，可對第一尺寸和第二尺寸進行比較，并且可從比較得知第二線路圖案相對于第一線路圖案的錯位。第一尺寸和第二尺寸可對應(yīng)于彼此，以便能夠進行比較。舉例來說，第一尺寸和第二尺寸兩者可為相應(yīng)線路圖案的寬度和/或長度。在一些實現(xiàn)方式中，當?shù)诙叽绱笥诘谝怀叽鐣r，可以確定錯位。當?shù)谝怀叽缁旧吓c第二尺寸基本上相等時，可以假定基本完美的對準。如果確定錯位，那么可執(zhí)行作為后續(xù)基板的第二基板的對準來使得針對第二基板校正錯位?？梢愿鼫蚀_地執(zhí)行用于形成第一線路圖案和/或第二線路圖案的工藝(諸如沉積工藝和/或激光刻劃工藝)。具體來說，本公開的實施方式可以執(zhí)行閉環(huán)控制。

組合的線路圖案可以形成太陽能電池的導電線路，諸如指狀部和/或母線。舉例來說，第一線路圖案和第二線路圖案可以在雙重印刷工藝中沉積(例如，印刷)于彼此之上，以便形成太陽能電池的指狀部。具有該組合的線路圖案的示例性太陽能電池在圖2和圖3中示出。

在圖1示出的實例中，裝置100包括轉(zhuǎn)臺140，轉(zhuǎn)臺140可圍繞旋轉(zhuǎn)軸線142旋轉(zhuǎn)以便在至少檢查組件110與處理設(shè)備(諸如沉積設(shè)備120)之間移動基板10。然而，本公開不限制于此，并且除了轉(zhuǎn)臺140外的傳輸設(shè)備(諸如線性傳輸設(shè)備)可用于在至少檢查組件110與處理設(shè)備之間傳輸基板10。根據(jù)一些實施方式，檢查組件110可包括于檢查站之中，或作為檢查站。處理設(shè)備可包括于處理站(諸如沉積站、印刷站或激光刻劃站)之中。

在一些實現(xiàn)方式中，基板10定位在基板支撐件(諸如可移動的基板支撐件(“滑梭”))上，所述基板支撐件可附接至轉(zhuǎn)臺140。在其他實現(xiàn)方式中，轉(zhuǎn)臺140具有基板支撐件。舉例來說，轉(zhuǎn)臺140可提供其上可放置基板10的支撐表面。

根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式中，處理設(shè)備被配置為用于絲網(wǎng)印刷。具體來說，處理設(shè)備可為印刷頭，并且裝置100可配置用于雙重印刷或更多重印刷，諸如三重印刷。在一些實現(xiàn)方式中，處理設(shè)備可包括絲網(wǎng)以及具有例如至少一個刮墨刀(squeegee)和任選的至少一個覆墨刀(floodbar)的印刷設(shè)備。絲網(wǎng)可以包括網(wǎng)、印刷掩模、片、金屬片、塑料片、板、金屬板和塑料板中的至少一者。在一些實現(xiàn)方式中，絲網(wǎng)限定對應(yīng)于將印刷在基板10上的結(jié)構(gòu)的絲網(wǎng)圖案或特征，其中絲網(wǎng)圖案或特征可包括孔洞、狹槽、切口或其他孔隙中的至少一者。在一些實施方式中，印刷設(shè)備(諸如刮墨刀)接觸絲網(wǎng)，其中印刷設(shè)備迫使材料穿過絲網(wǎng)、具體是穿過孔隙印刷到基板10上，從而限定例如第一線路圖案和/或第二線路圖案。

根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式，檢查組件110包括一或多個相機，所述一或多個相機被配置為檢測第一尺寸和第二尺寸。在一些實現(xiàn)方式中，一或多個相機可為高分辨率相機。根據(jù)一些實施方式，第一尺寸和/或第二尺寸可以存儲在一或多個相機中，例如以供進一步地處理。舉例來說，第二尺寸可與先前已存儲在相機中的第一尺寸進行比較。

在一些實現(xiàn)方式中，一或多個相機中的至少一個相機可為矩陣相機。舉例來說，一或多個相機中的至少一個相機、以及具體是每個相機，可以具有1兆像素或更高的分辨率，并且可特別地具有2兆像素或更高的分辨率。一或多個相機可具有每像素30微米或更小的分辨率，特別是每像素20微米或更小的分辨率，并更特別是每像素10微米或更小的分辨率。一或多個相機可包括單個相機(諸如一個矩陣相機)或相機系統(tǒng)(諸如多個矩陣相機)。舉例來說，一或多個相機可為2個相機、3個相機或4個相機。在一些實現(xiàn)方式中，第一尺寸和/或第二尺寸可通過計數(shù)示出在線路圖案中的相應(yīng)線路的預(yù)定方向上的像素來檢測(或確定或測量)。

在一些實現(xiàn)方式中，一或多個相機包括一或多個第一相機和一或多個第二相機，所述一或多個第一相機被配置為檢測第一尺寸，所述一或多個第二相機被配置為檢測第二尺寸。換句話說，第一尺寸和第二尺寸可使用不同相機來檢測。舉例來說，檢查組件110可具有至少兩個子組件，所述至少兩個子組件例如被提供在轉(zhuǎn)臺140的不同位置處。具體來說，兩個子組件中的一個子組件(諸如一或多個第一相機)可提供在轉(zhuǎn)臺140的“入口”或是“進入”位置(在圖6中以數(shù)字“1”來表示)處。兩個子組件中的另一子組件(諸如一或多個第二相機)可提供在轉(zhuǎn)臺140的“出口”或是“離開”位置(在圖6中以數(shù)字“3”來表示)處。在一些實現(xiàn)方式中，一或多個第二相機可為高分辨率相機，諸如APPVS(“高級印后視覺系統(tǒng)”)。

在進一步的實現(xiàn)方式中，一或多個相機被配置為檢測第一尺寸和第二尺寸兩者。換句話說，第一尺寸和第二尺寸由相同相機檢測。舉例來說，第一尺寸和第二尺寸可以在基板10處于基本上相同的位置時進行檢測。舉例來說，第一線路圖案可提供在基板10上且在對應(yīng)于處理設(shè)備的位置處。接著，轉(zhuǎn)臺140可旋轉(zhuǎn)以將基板10移動到檢查組件110，以便檢測第一尺寸。轉(zhuǎn)臺140可旋轉(zhuǎn)以將基板10從檢查組件110移動到相同處理設(shè)備或另一處理設(shè)備，以便在第一線路圖案上提供第二線路圖案。舉例來說，第一線路圖案和第二線路圖案可使用相同沉積設(shè)備、以及具體是使用相同絲網(wǎng)來沉積。接著，基板10可通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)臺140來移動回到檢查組件110，以便檢測第二尺寸。

根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式，對準設(shè)備130被配置為定位或改變處理設(shè)備或處理設(shè)備的部分和/或基板10(諸如第一基板和第二基板)的取向。舉例來說，對準設(shè)備130可將基板10相對于處理設(shè)備(例如，相對于印刷設(shè)備和/或絲網(wǎng))來定位。另外或替代地，對準設(shè)備130可將處理設(shè)備的至少一部分(諸如印刷設(shè)備(工藝頭)和/或絲網(wǎng))相對于基板10定位。

在一些實現(xiàn)方式中，基板10定位在基板支撐件(諸如可移動的基板支撐件(“滑梭”))上，所述基板支撐件可附接至轉(zhuǎn)臺140?；?0可使用基板支撐件來對準。具體來說，對準設(shè)備130可配置為對準基板支撐件，從而將定位在其上的基板10對準。對準設(shè)備130可包括于基板支撐件之中。在進一步的實施方式中，對準設(shè)備130可提供在轉(zhuǎn)臺140之上，或包括于所述轉(zhuǎn)臺之中。

根據(jù)一些實現(xiàn)方式，對準設(shè)備130被配置為在X方向和Y方向上定位或?qū)侍幚碓O(shè)備和/或基板10(諸如第二基板)，和/或被配置為將處理設(shè)備和/或基板10的角取向調(diào)整為例如目標取向。X方向和Y方向可為笛卡爾坐標系的X方向和Y方向，并且可具體地限定水平面。該角取向可指基板10、基板支撐件(例如，支撐該基板10的支撐表面)和/或沉積設(shè)備120(例如，絲網(wǎng))的角取向。舉例來說，該角取向可定義為基板10或基板支撐件處的第一參考線路與目標(諸如沉積設(shè)備120)處的第二參考線路之間的角度(例如，θ)。

根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式，對準設(shè)備130被配置為計算X校正值、Y校正值和角校正值中的至少一者來將處理設(shè)備和/或基板10(諸如第二基板)對準。舉例來說，對準設(shè)備130被配置為將第一尺寸和第二尺寸進行比較，并且基于比較結(jié)果計算X校正值、Y校正值和角校正值中的至少一者來將第二基板對準。

在一些實施方式中，對準設(shè)備130被配置為在基板10上提供(例如，沉積或印刷)第一線路圖案之前，調(diào)整處理設(shè)備或處理設(shè)備的部分和/或基板10的位置和角取向中的至少一者。通過在基板上形成第一線路圖案之前執(zhí)行調(diào)整，第一線路圖案可相對于基板10對準?？商岣咚a(chǎn)生的太陽能電池的質(zhì)量。

根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式中，檢查組件110被配置為用于閉環(huán)控制或反饋控制。通過調(diào)整后續(xù)基板的位置和/或角取向，可以提高后續(xù)基板上的線路圖案的位置準確性。

根據(jù)一些實施方式，對準設(shè)備130可包括用于例如在水平面上將處理設(shè)備(例如，工藝頭和/或絲網(wǎng))和/或基板10的位置和/或角取向?qū)实囊换蚨鄠€致動器。一或多個致動器可以包括步進電機、氣動電機和/或伺服電機。舉例來說，對準設(shè)備130可包括三個致動器。第一致動器可被提供用于例如使用基板支撐件在X方向上移動或定位處理設(shè)備或處理設(shè)備的部分和/或基板10。第二致動器可被提供用于例如使用基板支撐件在Y方向上移動或定位處理設(shè)備或處理設(shè)備的部分和/或基板10。第三致動器可被提供用于例如使用基板支撐件成角度地移動或定位處理設(shè)備或處理設(shè)備的部分和/或基板10。在一些實現(xiàn)方式中，第一致動器和第二致動器可為線性致動器，和/或第三致動器可為旋轉(zhuǎn)致動器。

在一些實現(xiàn)方式中，檢查組件110還被配置用于對基板10上的第一線路圖案和/或第二線路圖案進行質(zhì)檢。舉例來說，檢查組件110可使用通過一或多個相機獲得的圖像或數(shù)據(jù)來對基板10上的線路圖案進行質(zhì)檢。換句話說，檢查組件110可用于多個任務(wù)，諸如對準和質(zhì)檢。

圖2和圖3示出根據(jù)本文所述實施方式的具有組合的線路圖案12的太陽能電池。圖2示出太陽能電池的俯視圖，并且圖3示出太陽能電池的側(cè)視圖。圖2和圖3示例性地示出太陽能電池的指狀部。然而，本公開不限制于此，并且本公開可用于太陽能電池的其他線路圖案，諸如母線或刻劃線。

太陽能電池包括基板10，基板10具有提供(例如，沉積)在其上的組合的線路圖案12。組合的線路圖案12包括第一線路圖案13和第二線路圖案14，或由第一線路圖案13和第二線路圖案14組成。第一線路圖案13和第二線路圖案14可例如在雙重印刷工藝或激光刻劃工藝中提供(例如，印刷或激光刻劃)于彼此之上。第一線路圖案13可直接沉積到基板10上和/或第二線路圖案14可直接印刷在第一線路圖案13上。用于印刷第一線路圖案13和第二線路圖案14的印刷材料可包括銀或為銀。根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式，印刷材料可選自包括以下各項的組：銀、鋁、銅、錫、鎳、硅基膏糊，以及它們的任何組合。

當提及術(shù)語“在……上方”，例如第二線路圖案14在第一線路圖案13上方，應(yīng)當理解，從基板10起，第一線路圖案13被提供在基板10上方，而在第一線路圖案13之后提供的第二線路圖案14因此是在第一線路圖案13上方并在基板10上方。換句話說，術(shù)語“在……上方”用于限定線路圖案次序，其中起點就是基板10。這不考慮太陽能電池是否被描繪為上下倒置。

圖4A至圖4C示出根據(jù)本文所述實施方式的用于處理在太陽能電池制造中使用的基板的裝置的工作方案。所述裝置可配置為用于雙重印刷、多重印刷(例如，三重印刷)、激光刻劃或它們的任何組合。舉例來說，第一線路圖案可通過激光刻劃來形成，并且第二線路圖案可通過沉積技術(shù)(諸如絲網(wǎng)印刷)來形成。

所述裝置被配置用于檢測第一基板上的第一線路圖案的第一尺寸，將第二線路圖案提供(例如，沉積)在第一線路圖案上方以便形成組合的線路圖案，檢測組合的線路圖案的第二尺寸，并且基于第一尺寸和第二尺寸對準處理設(shè)備和/或第二基板。第二基板的對準可如關(guān)于圖1所述那樣執(zhí)行。

根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式，所述裝置可配置為在太陽能電池生產(chǎn)期間以預(yù)定次數(shù)執(zhí)行上述工作方案，諸如每天一次或更短時間一次，并且特別是每小時一次或更短時間一次。換句話說，根據(jù)一些實施方式，并非對每個所產(chǎn)生的太陽能電池執(zhí)行本公開提供的閉環(huán)控制。相反，閉環(huán)控制可以規(guī)則或不規(guī)則的時間間隔執(zhí)行，以便改進對準而不降低太陽能電池生產(chǎn)系統(tǒng)的產(chǎn)量。

根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式，對處理設(shè)備和/或第二基板的對準包括在第二基板上提供(例如，沉積)另一第一線路圖案之前，基于第一基板的第一尺寸和第二尺寸來將處理設(shè)備和/或第二基板對準。另外或替代地，根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式，處理設(shè)備和/或第二基板的對準包括在第二基板上的另一第一線路圖案上或其上方提供(例如，沉積)另一第二線路圖案之前，基于第一基板的第一尺寸和第二尺寸來將處理設(shè)備和/或第二基板對準。

在一些實現(xiàn)方式中，所述裝置將第一尺寸和第二尺寸進行比較，并且基于比較結(jié)果計算X校正值、Y校正值和角校正值中的至少一者，以及將處理設(shè)備和/或第二基板對準。

根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式，第一尺寸和第二尺寸的比較包括確定組合的線路圖案相對于第一線路圖案的相對放大。舉例來說，可以確定第二尺寸比第一尺寸大多少。對準可基于所確定的相對放大來執(zhí)行。舉例來說，可計算X校正值、Y校正值和角校正值中的至少一者來補償作為后續(xù)基板的第二基板上的組合的線路圖案的相對放大。

在圖4A中，基板10定位在檢查組件110處，以便檢測第一尺寸。在圖4B中，轉(zhuǎn)臺140旋轉(zhuǎn)以將基板10從檢查組件110移動到處理設(shè)備，諸如沉積設(shè)備120，以便在第一線路圖案上提供第二線路圖案。如圖4C所示，隨后，基板10可通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)臺140來移動回到檢查組件110，以便檢測第二尺寸。

圖5A至圖5C示出根據(jù)本文所述實施方式的設(shè)置在基板10(諸如第一基板和/或第二基板)上的線路圖案的第一尺寸和第二尺寸。

根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式，第一線路圖案的第一尺寸包括第一線路圖案中的例如一或多個單獨線路的寬度和/或長度。舉例來說，第一線路圖案的第一尺寸是第一線路圖案中的例如單獨線路的寬度或長度。組合的線路圖案的第二尺寸可包括組合的線路圖案中的例如單獨線路的寬度和/或長度。舉例來說，組合的線路圖案的第二尺寸是組合的線路圖案中的例如單獨線路的寬度或長度。線路圖案寬度也可稱為“線路寬度”。線路圖案、以及具體是線路圖案中的單獨線路，可以具有先前提及的長度和寬度。在一些實現(xiàn)方式中，線路圖案、以及具體是單獨線路的長度基本上平行于該處理設(shè)備的處理方向(例如，印刷方向)，并且線路圖案的寬度基本上垂直于處理方向。

在一些實現(xiàn)方式中，第一線路圖案和/或組合的線路圖案的寬度可為平均寬度或最大寬度。平均寬度可相對于相應(yīng)線路圖案的長度來確定。舉例來說，可在線路圖案長度的50％或更多、75％或更多、90％或更多，或100％上確定平均寬度。具體來說，可在相應(yīng)線路圖案(諸如第一線路圖案和組合的線路圖案)的基本整個長度上確定平均寬度。

在一些實現(xiàn)方式中，第一線路圖案和/或組合的線路圖案的長度可為平均長度或最大長度。平均長度可相對于相應(yīng)線路圖案寬度(諸如平均寬度或最大寬度)來確定。舉例來說，可在基本整個相應(yīng)線路圖案(諸如第一線路圖案和組合的線路圖案)上確定平均長度。

根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式，第一線路圖案、第二線路圖案和組合的線路圖案的至少一者的寬度可為100微米或更小，特別是80微米或更小，特別是60微米或更小，以及更特別是40微米或更小。由第一線路圖案和疊加在第一線路圖案上的第二線路圖案形成的組合的線路圖案的厚度可為15微米或更大，特別是20微米或更大，以及更特別是30微米或更大。

根據(jù)可與本文所述其他實施方式相結(jié)合的一些實施方式，第一尺寸是針對第一線路圖案中的一或多個線路進行檢測的。第二尺寸可針對第二線路圖案中的一或多個線路進行檢測。舉例來說，第一尺寸和/或第二尺寸可針對基板上的預(yù)定區(qū)域(例如，檢測區(qū)域)中存在的一或多個線路來確定。如果將多于一個線路用于檢測第一尺寸和第二尺寸，那么就可檢測線路圖案中的多于一個線路的每個單獨線路的尺寸。第一尺寸和/或第二尺寸可定義為例如相應(yīng)的線路圖案中的各個線路的每一者的尺寸的平均值。

參考圖5A，第一線路圖案510具有寬度w1和長度l1。第二線路圖案520具有寬度w2和長度l2。第一線路圖案510和第二線路圖案520相對于彼此傾斜。換句話說，第一線路圖案510和第二線路圖案520相對于彼此錯位。組合的線路圖案的寬度tw1可定義為在組合的線路圖案的寬度方向上的組合的線路圖案的最大寬度或最大延度。組合的線路圖案的長度tl1可定義為在組合的線路圖案的長度方向上的組合的線路圖案的最大長度或最大延度。

參考圖5B，第一線路圖案610具有寬度w1和長度l1。第二線路圖案620具有寬度w2和長度l2。第一線路圖案610和第二線路圖案620是在寬度方向上相對于彼此偏移的。組合的線路圖案的寬度tw2可定義為組合的線路圖案在寬度方向上的最大寬度或最大延度。組合的線路圖案的長度tl2可定義為組合的線路圖案在長度方向上的最大長度或最大延度。

參考圖5C，第一線路圖案710具有寬度w1和長度l1。第二線路圖案720具有寬度w2和長度l2。第一線路圖案710和第二線路圖案720是在寬度方向和長度方向上相對于彼此偏移的。組合的線路圖案的寬度tw3可定義為組合的線路圖案在寬度方向上的最大寬度或最大延度。組合的線路圖案的長度tl3可定義為組合的線路圖案在長度方向上的最大長度或最大延度。

關(guān)于例如圖5A至圖5C中示出的線路圖案的錯位的信息可用于改進提供(例如，沉積或印刷)在后續(xù)基板上的線路圖案的對準。具體來說，可執(zhí)行對準來使得提供在后續(xù)基板上的第一線路圖案和第二線路圖案是基本一致的。

圖6示出根據(jù)本文所述實施方式的用于太陽能電池生產(chǎn)的系統(tǒng)。

根據(jù)本文所述實施方式，所述系統(tǒng)包括運輸設(shè)備(諸如轉(zhuǎn)臺1000)、處理設(shè)備910和檢查組件920。根據(jù)一些實施方式，所述系統(tǒng)包括輸入設(shè)備3100和輸出設(shè)備3200，所述輸入設(shè)備3100被配置用于將基板10傳送到轉(zhuǎn)臺1000，所述輸出設(shè)備3200被配置用于從轉(zhuǎn)臺1000處接收基板10，所述基板上印刷有第一線路圖案和第二線路圖案。

如圖所示，輸入設(shè)備3100可具有輸入式輸送裝置。輸入式輸送裝置可具有一或多個第一傳送帶。例如，輸入式輸送裝置可包括平行地布置成例如彼此相距5cm與15cm之間的距離的兩個第一傳送帶3150。輸出設(shè)備3200可配置為從轉(zhuǎn)臺1000處接收基板10，所述基板上印刷有第一線路圖案和第二線路圖案。輸出設(shè)備3200可以具有輸出式輸送裝置。輸出式輸送裝置可以具有一或多個第二傳送帶。例如，輸出式輸送裝置可以包括平行地布置成例如彼此相距在5cm與15cm之間的距離的兩個第二傳送帶3250。輸入設(shè)備3100和輸出設(shè)備3200可為自動化基板搬運設(shè)備，其為較大生產(chǎn)線路的一部分。

所述系統(tǒng)包括根據(jù)本公開的裝置，以及具體是處理設(shè)備910(所述處理設(shè)備可為印刷設(shè)備(例如，被配置用于在基板10上進行絲網(wǎng)印刷))、檢查組件920和對準設(shè)備(未示出)。處理設(shè)備910可在轉(zhuǎn)臺1000上方延伸。提供第一線路圖案和/或第二線路圖案可在基板10位于處理位置2處時完成。

轉(zhuǎn)臺1000可圍繞旋轉(zhuǎn)軸線1050旋轉(zhuǎn)。舉例來說，轉(zhuǎn)臺1000可配置為可圍繞旋轉(zhuǎn)軸線1050至少在基板接收位置1與處理位置2之間旋轉(zhuǎn)。根據(jù)實施方式，轉(zhuǎn)臺1000被配置為可在基板接收位置1、處理位置2，以及基板排出位置3與基板傾卸位置4中的至少一者之間旋轉(zhuǎn)。

轉(zhuǎn)臺1000被配置為沿由轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)運動所限定的軌道(例如，圍繞旋轉(zhuǎn)軸線1050)旋轉(zhuǎn)和運輸基板10。轉(zhuǎn)臺1000可旋轉(zhuǎn)來使得定位在轉(zhuǎn)臺1000上或附接到轉(zhuǎn)臺1000的基板支撐件(例如，可移動的基板支撐件或滑梭)上的基板10按照順時針或逆時針的旋轉(zhuǎn)進行移動。轉(zhuǎn)臺1000可被配置為加速至最大旋轉(zhuǎn)速度，然后使移動減速以再次停止轉(zhuǎn)臺1000。

在一些實現(xiàn)方式中，在相鄰位置(諸如基板接收位置1和處理位置2)之間的旋轉(zhuǎn)角可為約90°。舉例來說，旋轉(zhuǎn)臺1000可旋轉(zhuǎn)90°，以便將基板10從基板接收位置1移動到處理位置2。同樣，旋轉(zhuǎn)臺1000可旋轉(zhuǎn)90°，以便將基板10從處理位置2移動到基板排放位置3。

雖然圖6示出處理設(shè)備910在處理位置2以及檢查組件920在基板接收位置1，但是應(yīng)當理解，本公開不限制于此，并且處理設(shè)備910和/或檢查組件920提供在例如轉(zhuǎn)臺1000的不同位置處。

本公開的裝置被配置為執(zhí)行對提供在基板上的線路圖案的雙重檢查，來使將提供在后續(xù)基板上的線路圖案對準。具體來說，檢測所述第一線路圖案的第一尺寸(諸如第一寬度)，并且接著在第一線路圖案上提供(例如，沉積)第二線路圖案。隨后，檢測組合的線路圖案的第二尺寸(諸如第二寬度)。處理設(shè)備和/或后續(xù)基板可使用從第一尺寸和第二尺寸獲得的信息進行對準。舉例來說，可對第一尺寸和第二尺寸進行比較，并且可從比較得知第一線路圖案相對于第一線路圖案的錯位?？蓤?zhí)行后續(xù)基板對準來使得針對第二基板校正錯位。具體來說，可以改進在后續(xù)基板上的另一第一線路圖案和/或另一第二線路圖案的對準。另外，在一些實施方式中，無需使用APPVS(僅使用了內(nèi)置相機(in-camera))。對雙重印刷和多重印刷來說，不同絲網(wǎng)不是必要的。此外，可最小化因絲網(wǎng)變形而產(chǎn)生的對準問題。

盡管上述內(nèi)容針對本公開的實施方式，但是也可在不脫離本公開的基本范圍的情況下設(shè)計本公開的其他和進一步實施方式，并且本公開的范圍由所附權(quán)利要求書確定。