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      晶圓盒輸送裝置的制作方法

      文檔序號(hào):12724979閱讀:244來源:國知局
      晶圓盒輸送裝置的制作方法

      本發(fā)明涉及一種晶圓盒輸送裝置。



      背景技術(shù):

      半導(dǎo)體制造工廠中,晶圓通常需要在生產(chǎn)線上不同的工藝模塊之間進(jìn)行高效的傳輸和定位,設(shè)備前端裝置(Equipment Front End Module,簡稱EFEM)正是完成這一任務(wù)的關(guān)鍵裝備,是連接物料搬運(yùn)系統(tǒng)與晶圓處理系統(tǒng)的橋梁,能夠使晶圓在不受污染的條件下被準(zhǔn)確的傳輸。

      設(shè)備前端裝置至少包括用于存儲(chǔ)晶圓的晶圓盒(Front Opening Unified Pod,簡稱Foup)、用于承載晶圓盒的裝載端口(Load Port)以及用于將晶圓從晶圓盒內(nèi)取出和收納至晶圓盒內(nèi)的操作機(jī)械手,該裝載端口包括開門器和設(shè)置在開門器上的承載機(jī)構(gòu),當(dāng)半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的運(yùn)輸小車移至裝載端口前,通過人工或機(jī)械將晶圓盒放置到裝載端口的承載機(jī)構(gòu)上,然后由開門器執(zhí)行晶圓盒的開盒動(dòng)作,進(jìn)而由操作機(jī)械手取出晶圓盒內(nèi)的晶圓并輸送至機(jī)臺(tái)進(jìn)行相應(yīng)的制程,待晶圓加工處理后,再由操作機(jī)械手將晶圓收納至晶圓盒內(nèi)。

      晶圓盒在運(yùn)輸小車和裝載端口的搬運(yùn)過程中,人工搬運(yùn)費(fèi)時(shí)費(fèi)力,且自動(dòng)化程度不高。機(jī)械搬運(yùn)可通過一部多關(guān)節(jié)機(jī)器人實(shí)現(xiàn),雖然機(jī)械搬運(yùn)滿足了全自動(dòng)生產(chǎn)線的需求,但是多關(guān)節(jié)機(jī)器人具有占用面積大、成本高和耗電量大等問題,另外,多關(guān)節(jié)機(jī)器人還必須進(jìn)行特殊處理以保證潔凈度,大大提高了使用成本。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足和問題的技術(shù)方案是:提供了一種將承載機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)結(jié)合的晶圓盒輸送裝置,其省去了從輸送機(jī)構(gòu)上搬運(yùn)到開門器上這一工序,有效提高了生產(chǎn)效率,大大減少了設(shè)備成本。

      為達(dá)到以上目的,本發(fā)明提供了一種晶圓盒輸送裝置,包括:

      承載機(jī)構(gòu),用于放置晶圓盒;

      平移機(jī)構(gòu),用于帶動(dòng)所述承載機(jī)構(gòu)分別在第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向平移;

      輸送機(jī)構(gòu),用于輸送平移機(jī)構(gòu);

      其中,所述平移機(jī)構(gòu)包括:

      第一平移機(jī)構(gòu),用于帶動(dòng)所述承載機(jī)構(gòu)在第一軸方向平移:

      第二平移機(jī)構(gòu),用于帶動(dòng)所述承載機(jī)構(gòu)在第二軸方向平移:

      第三平移機(jī)構(gòu),用于帶動(dòng)所述承載機(jī)構(gòu)在第三軸方向平移;

      所述第一軸方向、所述第二軸方向和所述第三軸方向構(gòu)成空間笛卡爾直角坐標(biāo)系或空間笛卡爾斜角坐標(biāo)系。

      進(jìn)一步,所述第一平移機(jī)構(gòu)包括第一安裝件、第一驅(qū)動(dòng)件和第一導(dǎo)向件,所述第一導(dǎo)向件平行于所述第一軸方向,所述承載機(jī)構(gòu)和所述第一安裝件之間通過所述第一導(dǎo)向件連接,使所述承載機(jī)構(gòu)和所述第一安裝件相互滑動(dòng),所述第一驅(qū)動(dòng)件能夠驅(qū)動(dòng)所述承載機(jī)構(gòu)沿著所述第一軸方向移動(dòng);

      所述第二平移機(jī)構(gòu)包括第二安裝件、第二驅(qū)動(dòng)件和第二導(dǎo)向件,所述第二導(dǎo)向件平行于所述第二軸方向,所述第一安裝件和所述第二安裝件之間通過所述第二導(dǎo)向件連接,使所述第一安裝件和所述第二安裝件相互滑動(dòng),所述第二驅(qū)動(dòng)件能夠驅(qū)動(dòng)所述第一安裝件沿所述第二軸方向移動(dòng);

      所述第三平移機(jī)構(gòu)包括第三安裝件、第三驅(qū)動(dòng)件和第三導(dǎo)向件,所述第三導(dǎo)向件平行于所述第三軸方向,所述第二安裝件和所述第三安裝件之間通過所述第三導(dǎo)向件連接,使所述第二安裝件和所述第三安裝件相互滑動(dòng),所述第三驅(qū)動(dòng)件能夠驅(qū)動(dòng)所述第二安裝件沿所述第三軸方向移動(dòng)。

      進(jìn)一步,所述第一安裝件呈方體結(jié)構(gòu),該呈方體結(jié)構(gòu)的所述第一安裝件一側(cè)開口,所述開口用于所述承載機(jī)構(gòu)的滑入和滑出;

      所述承載機(jī)構(gòu)包括第一承載件和第二承載件,所述第一承載件連接所述第二承載件,所述第一承載件位于所述第一安裝件外側(cè),且用于放置所述晶圓盒,所述第二承載件用于滑入和滑出所述開口。

      進(jìn)一步,所述第一安裝件具有一位于所述第一承載件和所述第二承載件之間的底面,所述底面的相對(duì)面可為兩個(gè)連接板,該兩個(gè)所述連接板用于連接所述第二平移機(jī)構(gòu)。

      進(jìn)一步,所述第一導(dǎo)向件設(shè)置在所述第一承載件和所述第一安裝件之間,所述第一導(dǎo)向件為導(dǎo)軌,且所述導(dǎo)軌的數(shù)量為兩個(gè);

      所述第一平移機(jī)構(gòu)還包括第一絲杠和第一導(dǎo)向塊,所述第一驅(qū)動(dòng)件和所述第一絲杠分別位于所述第一安裝件內(nèi)部,所述第一驅(qū)動(dòng)件為電機(jī),所述第一驅(qū)動(dòng)件皮帶傳動(dòng)連接所述第一絲杠,所述第一絲杠的軸線與所述第一軸方向平行,所述第一絲杠上螺紋連接有所述第一導(dǎo)向塊,所述第一導(dǎo)向塊穿出所述第一安裝件外側(cè),并與所述第一承載件連接,通過所述第一驅(qū)動(dòng)件可帶動(dòng)所述承載機(jī)構(gòu)沿著所述第一軸方向移動(dòng),所述第一安裝件上還設(shè)置有與所述第一導(dǎo)向塊配合的第一避讓孔。

      進(jìn)一步,所述第二導(dǎo)向件為導(dǎo)軌,且所述導(dǎo)軌的數(shù)量為兩個(gè),每個(gè)所述連接板與所述第二安裝件之間分別設(shè)置有一所述導(dǎo)軌;

      所述第二平移機(jī)構(gòu)還包括第二絲杠和第二導(dǎo)向塊,所述第二驅(qū)動(dòng)件和所述第二絲杠分別設(shè)置在所述第二安裝件的外側(cè),且所述第二驅(qū)動(dòng)件和所述第二絲杠位于兩個(gè)所述連接板之間,所述第二驅(qū)動(dòng)件為電機(jī),所述第二驅(qū)動(dòng)件皮帶傳動(dòng)連接所述第二絲杠,所述第二絲杠的軸線與所述第二軸方向平行,所述第二絲杠上螺紋連接有所述第二導(dǎo)向塊,所述第二導(dǎo)向塊連接一所述連接板,通過所述第二驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)所述第一平移機(jī)構(gòu)沿著所述第二軸方向移動(dòng)。

      進(jìn)一步,所述第三平移機(jī)構(gòu)還包括第三絲杠、第三導(dǎo)向塊和滑板,所述第三驅(qū)動(dòng)件、所述第三絲杠、所述第三導(dǎo)向塊、所述第三導(dǎo)向件和所述滑板分別設(shè)置在所述第三安裝件內(nèi)部;

      所述第三驅(qū)動(dòng)件為電機(jī),所述第三驅(qū)動(dòng)件皮帶傳動(dòng)連接所述第三絲杠,所述第三絲杠的軸線與所述第三軸方向平行,所述第三絲杠上螺紋連接有所述第三導(dǎo)向塊,所述第三導(dǎo)向塊連接有所述滑板,所述滑板連接第三導(dǎo)向件,所述第三導(dǎo)向件為導(dǎo)軌,且所述導(dǎo)軌的數(shù)量為兩個(gè),所述第二安裝件穿進(jìn)所述第三安裝件連接所述滑板,所述第三安裝件上設(shè)置有所述第二安裝件配合的第二避讓孔,通過所述第三驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)所述第二平移機(jī)構(gòu)沿著所述第三軸方向移動(dòng)。

      進(jìn)一步,所述輸送機(jī)構(gòu)為自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)輸車,所述第三安裝件固定在所述自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)輸車上。

      進(jìn)一步,還包括控制器,所述控制器分別與所述第一驅(qū)動(dòng)件、所述第二驅(qū)動(dòng)件和所述第三驅(qū)動(dòng)件電連接;

      所述控制器設(shè)置在所述第三安裝件內(nèi)部,通過一個(gè)隔板將所述控制器與所述第三絲杠和所述第三驅(qū)動(dòng)件隔開。

      進(jìn)一步,所述第一驅(qū)動(dòng)件、所述第二驅(qū)動(dòng)件和所述第三驅(qū)動(dòng)件可分別為氣缸或液壓缸。

      據(jù)優(yōu)選實(shí)施例,本發(fā)明提供了如下優(yōu)點(diǎn):

      本發(fā)明通過承載機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)結(jié)合的方式,直接由輸送機(jī)構(gòu)移至開門器前,并通過平移機(jī)構(gòu)將晶圓盒準(zhǔn)確的送到開門器上,因此省去了人工或機(jī)械搬運(yùn)晶圓盒之一步驟,提高了效率,降低了成本,且自動(dòng)化程度高。

      以下結(jié)合附圖及實(shí)施例進(jìn)一步說明本發(fā)明。

      附圖說明

      圖1為本發(fā)明所述晶圓盒輸送裝置的示意圖;

      圖2為本發(fā)明所述承載機(jī)構(gòu)和第一平移機(jī)構(gòu)裝配的示意圖;

      圖3為圖2后視的斷開剖視圖;

      圖4為本發(fā)明所述第一平移機(jī)構(gòu)和第二平移機(jī)構(gòu)裝配的示意圖;

      圖5為圖4的主視圖;

      圖6為圖5中沿A-A向的剖視圖;

      圖7為本發(fā)明所述第二平移機(jī)構(gòu)和第三平移機(jī)構(gòu)裝配的立體圖;

      圖8為圖7的右視圖;

      圖9為圖8中沿B-B向的剖視圖;

      圖10為圖7的后視圖;

      圖11為圖10中沿C-C向的剖視圖。

      具體實(shí)施方式

      以下描述用于揭露本發(fā)明以使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明。以下描述中的優(yōu)選實(shí)施例只作為舉例,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以想到其他顯而易見的變型。在此描述的發(fā)明不局限于輸送晶圓盒,舉例來說,本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例也可以被應(yīng)用于和/或適用于搬運(yùn)標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口盒、光柵盒、平板顯示器或其它任何容器或加工設(shè)備。該容器被定義為用于承載物品的任何類型構(gòu)件,上述物品包括但不局限于晶圓。為了描述本發(fā)明,將只參照用于輸送晶圓盒。

      參照?qǐng)D1,示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例所述的一種晶圓盒輸送裝置,包括承載機(jī)構(gòu)200、平移機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)600,承載機(jī)構(gòu)200用于放置晶圓盒100,平移機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)承載機(jī)構(gòu)200分別在第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向平移,輸送機(jī)構(gòu)600,用于輸送平移機(jī)構(gòu),具體地,輸送機(jī)構(gòu)600將平移機(jī)構(gòu)輸送至開門器前。該平移機(jī)構(gòu)包括第一平移機(jī)構(gòu)300、第二平移機(jī)構(gòu)400和第三平移機(jī)構(gòu)500,第一平移機(jī)構(gòu)300用于帶動(dòng)承載機(jī)構(gòu)200在第一軸方向平移,第二平移機(jī)構(gòu)400用于帶動(dòng)承載機(jī)構(gòu)200在第二軸方向平移,第三平移機(jī)構(gòu)500用于帶動(dòng)承載機(jī)構(gòu)200在第三軸方向平移,該第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向構(gòu)成空間笛卡爾坐標(biāo)系,該空間笛卡爾坐標(biāo)系包括空間笛卡爾直角坐標(biāo)系和空間笛卡爾斜角坐標(biāo)系,其中,第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向互相垂直被稱為空間笛卡爾直角坐標(biāo)系,否則被稱為空間笛卡爾斜角坐標(biāo)系。

      當(dāng)?shù)谝惠S方向、第二軸方向和第三軸方向構(gòu)成空間笛卡爾直角坐標(biāo)系時(shí),第一軸方向可視為圖1中的Y軸方向,第二軸方向?yàn)閄軸方向,第三軸方向?yàn)閆軸方向。

      在本實(shí)施例中,承載機(jī)構(gòu)200設(shè)置于第一平移機(jī)構(gòu)300上,第一平移機(jī)構(gòu)300設(shè)置于第二平移機(jī)構(gòu)400上,第二平移機(jī)構(gòu)400設(shè)置于第三平移機(jī)構(gòu)500上。

      在其它實(shí)施例中,該第一平移機(jī)構(gòu)300、第二平移機(jī)構(gòu)400和第三平移機(jī)構(gòu)500之間的安裝位置可進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整,只要滿足其能夠帶動(dòng)承載機(jī)構(gòu)200分別朝三個(gè)軸方向移動(dòng),例如:第一平移機(jī)構(gòu)300設(shè)于第三平移機(jī)構(gòu)500上,第三平移機(jī)構(gòu)500設(shè)于第二平移機(jī)構(gòu)400上。

      在本實(shí)施例中,第一平移機(jī)構(gòu)300、第二平移機(jī)構(gòu)400和第三平移機(jī)構(gòu)500可依次移動(dòng)。

      在其它實(shí)施例中,第一平移機(jī)構(gòu)300、第二平移機(jī)構(gòu)400和第三平移機(jī)構(gòu)500中至少兩者同時(shí)移動(dòng)。

      參考圖2和圖3,第一安裝件301呈方體結(jié)構(gòu),該呈方體結(jié)構(gòu)的第一安裝件301一側(cè)開口,該開口用于承載機(jī)構(gòu)200的滑入和滑出。該承載機(jī)構(gòu)200可包括第一承載件201和第二承載件202,第一承載件201連接第二承載件202,該第一承載件201位于第一安裝件301外側(cè),且用于放置晶圓盒100,該第二承載件202用于滑入和滑出該開口,因此,第一安裝件301具有一位于第一承載件201和第二承載件202之間的底面,該底面的相對(duì)面可為兩個(gè)連接板306,該兩個(gè)連接板306用于連接第二平移機(jī)構(gòu)400。

      另外,前述的第一安裝件301的側(cè)面可采用鈑金材料制成,即通過折彎或拼接的方式成型。

      在其它實(shí)施例中,該兩個(gè)連接板306可為一體化結(jié)構(gòu)。

      在其它實(shí)施例中,第一安裝件301還可呈其它結(jié)構(gòu),只要滿足第一安裝件301和承載機(jī)構(gòu)200相互滑動(dòng)。

      當(dāng)晶圓盒100放置在第一承載件201上時(shí),可通過定位銷203進(jìn)行定位。具體地,第一承載件201上設(shè)置有三個(gè)定位銷203,晶圓盒100底部設(shè)置有與定位銷203配合的定位孔,該定位孔可呈長孔狀。

      在其它實(shí)施例中,定位銷203的數(shù)量可以是其它數(shù)。

      在其他實(shí)施例中,晶圓盒100和承載機(jī)構(gòu)200還可采用其它限位的方式進(jìn)行定位,例如:限位塊或限位槽等。

      參考圖1至圖11,第一平移機(jī)構(gòu)300包括第一安裝件301、第一驅(qū)動(dòng)件302和第一導(dǎo)向件,第一導(dǎo)向件平行于第一軸方向,承載機(jī)構(gòu)200和第一安裝件301之間通過第一導(dǎo)向件連接,使承載機(jī)構(gòu)200和第一安裝件301可滑動(dòng),第一驅(qū)動(dòng)件302能夠驅(qū)動(dòng)承載機(jī)構(gòu)200沿著第一軸方向移動(dòng)。

      第二平移機(jī)構(gòu)400包括第二安裝件401、第二驅(qū)動(dòng)件402和第二導(dǎo)向件405,第二導(dǎo)向件405平行于第二軸方向,第一安裝件301和第二安裝件401之間通過第二導(dǎo)向件405連接,使第一安裝件301和第二安裝件401可滑動(dòng),第二驅(qū)動(dòng)件402能夠驅(qū)動(dòng)第一安裝件301沿第二軸方向移動(dòng)。

      第三平移機(jī)構(gòu)500包括第三安裝件501、第三驅(qū)動(dòng)件502和第三導(dǎo)向件505,第三導(dǎo)向件505平行于第三軸方向,第二安裝件401和第三安裝件501之間通過第三導(dǎo)向件505連接,使第二安裝件401和第三安裝件501可滑動(dòng),第三驅(qū)動(dòng)件502能夠驅(qū)動(dòng)第二安裝件401沿第三軸方向移動(dòng)。

      更具體地,參考圖2和圖3,第一導(dǎo)向件設(shè)置在第一承載件201和第一安裝件301之間,即第一導(dǎo)向件位于第一安裝件301的外側(cè),第一導(dǎo)向件可為導(dǎo)軌,且導(dǎo)軌的數(shù)量可為兩個(gè)。第一平移機(jī)構(gòu)300還包括第一絲杠303和第一導(dǎo)向塊304等,其中,第一驅(qū)動(dòng)件302和第一絲杠303分別位于第一安裝件301內(nèi)部,該第一驅(qū)動(dòng)件302可為電機(jī),第一驅(qū)動(dòng)件302皮帶傳動(dòng)連接第一絲杠303,該第一絲杠303的軸線與第一軸方向平行,第一絲杠303上螺紋連接有第一導(dǎo)向塊304,第一導(dǎo)向塊304穿出第一安裝件301外側(cè),并與第一承載件201連接,通過第一驅(qū)動(dòng)件302可帶動(dòng)承載機(jī)構(gòu)200沿著第一絲杠303軸線方向(即第一軸方向)移動(dòng),其中,第一安裝件301上設(shè)置有與第一導(dǎo)向塊304配合的第一避讓孔305。通過將第一驅(qū)動(dòng)件302和第一絲杠303等內(nèi)置于第一安裝件301內(nèi)部,不僅使結(jié)構(gòu)變得緊湊,還起到保護(hù)零件的作用。

      在其它實(shí)施例中,該第一驅(qū)動(dòng)件302和第一絲杠303可設(shè)置在第一安裝件301的外側(cè)。

      參考圖4至圖6,第二安裝件401可呈箱體,第二導(dǎo)向件405為導(dǎo)軌,且導(dǎo)軌的數(shù)量為兩個(gè),每個(gè)連接板306與第二安裝件401之間分別設(shè)置有一導(dǎo)軌。第二平移機(jī)構(gòu)400還包括第二絲杠403和第二導(dǎo)向塊404,其中,第二驅(qū)動(dòng)件402和第二絲杠403可分別設(shè)置在第二安裝件401的外側(cè),且第二驅(qū)動(dòng)件402和第二絲杠403位于兩個(gè)連接板306之間,該第二驅(qū)動(dòng)件402為電機(jī),第二驅(qū)動(dòng)件402皮帶傳動(dòng)連接第二絲杠403,該第二絲杠403的軸線與第二軸方向平行,第二絲杠403上螺紋連接有第二導(dǎo)向塊404,該第二導(dǎo)向塊404可連接一連接板306,此時(shí),通過第二驅(qū)動(dòng)件402帶動(dòng)第一平移機(jī)構(gòu)300沿著第二軸方向移動(dòng)。

      在其它實(shí)施例中,第二安裝件401可為一塊板。

      參考圖7至圖9,第三平移機(jī)構(gòu)500還包括第三絲杠503、第三導(dǎo)向塊504和滑板506,該第三驅(qū)動(dòng)件502、第三絲杠503、第三導(dǎo)向塊504、第三導(dǎo)向件505和滑板506可分別設(shè)置在第三安裝件501內(nèi)部,該第三安裝件501可呈L形,其中,第三驅(qū)動(dòng)件502為電機(jī),第三驅(qū)動(dòng)件502皮帶傳動(dòng)連接第三絲杠503,第三絲杠503的軸線與第三軸方向平行,第三絲杠503上螺紋連接有第三導(dǎo)向塊504,該第三導(dǎo)向塊504連接有滑板506,滑板506連接第三導(dǎo)向件505,該第三導(dǎo)向件505可為導(dǎo)軌,且導(dǎo)軌的數(shù)量為兩個(gè),第二安裝件401可穿進(jìn)第三安裝件501連接滑板506,該第三安裝件501上設(shè)置有第二安裝件40配合的第二避讓孔507,此時(shí),通過第三驅(qū)動(dòng)件502帶動(dòng)第二平移機(jī)構(gòu)400沿著第三軸方向移動(dòng)。

      在其它實(shí)施例中,第一平移機(jī)構(gòu)300、第二平移機(jī)構(gòu)400和第三平移機(jī)構(gòu)500還分別包括傳感器和防撞機(jī)構(gòu)等,其中,以第一平移機(jī)構(gòu)300舉例來說,該傳感器用于測(cè)量承載機(jī)構(gòu)200移動(dòng)距離,該防撞機(jī)構(gòu)可設(shè)置在第一絲杠303的兩端,用于防止承載機(jī)構(gòu)200沿第一絲杠303軸線方向移動(dòng)因超出行程而無法復(fù)位。

      在其它實(shí)施例中,第一驅(qū)動(dòng)件302可通過聯(lián)軸器與第一絲杠303直接連接;第二驅(qū)動(dòng)件402可通過聯(lián)軸器與第二絲杠403直接連接;第三驅(qū)動(dòng)件502可通過聯(lián)軸器與第三絲杠503直接連接。

      在其它實(shí)施例中,第一導(dǎo)向件、第二導(dǎo)向件405和第三導(dǎo)向件505可分別為滑條和滑槽配合的結(jié)構(gòu)。

      在其它實(shí)施例中,第一導(dǎo)向件、第二導(dǎo)向件405和第三導(dǎo)向件505可分別為導(dǎo)向桿和導(dǎo)向孔配合的結(jié)構(gòu)。

      在其它實(shí)施例中,第一驅(qū)動(dòng)件302、第二驅(qū)動(dòng)件402和第三驅(qū)動(dòng)件502可分別為氣缸。

      在其它實(shí)施例中,第一驅(qū)動(dòng)件302、第二驅(qū)動(dòng)件402和第三驅(qū)動(dòng)件502可分別為液壓缸。

      在本實(shí)施例中,所述輸送機(jī)構(gòu)600可為自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)輸車(AGV),第三安裝件501固定在自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)輸車上,由于自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)輸車裝備有電磁或光學(xué)等自動(dòng)導(dǎo)引裝置,它能夠沿規(guī)定的導(dǎo)引路徑行駛,因此,自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)輸車能夠?qū)⒕A盒輸送到開盒器前,提高了自動(dòng)化程度。

      自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)輸車600四周可設(shè)置有罩殼800,該罩殼800可用來防止碰撞。

      在其它實(shí)施例中,所述輸送機(jī)構(gòu)600可為輸送帶,通過輸送帶將晶圓盒100運(yùn)送到開盒器前。

      參考圖10和圖11,所述晶圓盒輸送裝置還包括控制器700,控制器700分別與自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)輸車600、第一驅(qū)動(dòng)件302、第二驅(qū)動(dòng)件402和第三驅(qū)動(dòng)件502電連接,通過位置識(shí)別系統(tǒng)(例如電子視覺系統(tǒng))偵測(cè)出開門器和晶圓盒100的相對(duì)位置,然后控制器700分別通過第一驅(qū)動(dòng)件302、第二驅(qū)動(dòng)件402和第三驅(qū)動(dòng)件502調(diào)節(jié)晶圓盒100在三軸上的位置,進(jìn)而將晶圓盒100準(zhǔn)確的送到開門器上,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)晶圓盒100全自動(dòng)搬運(yùn)以及送盒功能。

      該控制器700可設(shè)置在第三安裝件501內(nèi)部,通過一個(gè)隔板508將其與第三絲杠503和第三驅(qū)動(dòng)件502隔開,該第三絲杠503和第三驅(qū)動(dòng)件502可固定在該隔板508上。

      參照?qǐng)D1,第三安裝件501上還可設(shè)置警示燈701和按鍵702,該警示燈701和按鍵702分別與控制器700電連接,警示燈701可用來顯示晶圓盒輸送裝置運(yùn)動(dòng)狀態(tài),該狀態(tài)包括待機(jī)或故障等,按鍵702可用來自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)輸車600、第一平移機(jī)構(gòu)300、第二平移機(jī)構(gòu)400和第三平移機(jī)構(gòu)500等的啟閉。

      晶圓盒輸送裝置上還可設(shè)置有球形連接器,實(shí)現(xiàn)小角度的自由調(diào)整,保證對(duì)接時(shí)的完全精度。

      晶圓盒輸送裝置上可設(shè)置視頻讀寫器,當(dāng)晶圓盒100到位后,控制器700利用自身的無線傳輸系統(tǒng)將晶圓盒100上的標(biāo)簽信息傳輸?shù)骄A廠的自動(dòng)化系統(tǒng),完成信息對(duì)比需求。

      本發(fā)明利用了開盒器的工作原理,將開門器上的承載機(jī)構(gòu)與輸送機(jī)構(gòu)結(jié)合,其中,承載端口取消承載機(jī)構(gòu)后,只留下了開門器,該輸送機(jī)構(gòu)將承載機(jī)構(gòu)輸送到開門器上后,由平移機(jī)構(gòu)將晶圓盒準(zhǔn)確的送到開門器上,因此省去了通過人工或機(jī)械將輸送小車上的晶圓盒放置在帶有承載機(jī)構(gòu)的開門器上這一步驟,提高了效率,降低了工藝設(shè)備成本,且達(dá)到全自動(dòng)生產(chǎn)線的需求。

      以上所述的實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明的技術(shù)思想及特點(diǎn),其目的在于使本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施,不能僅以本實(shí)施例來限定本發(fā)明的專利范圍采用,即凡依本發(fā)明所揭示的精神所作的同等變化或修飾,仍落在本發(fā)明的專利范圍內(nèi)。

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