本發(fā)明涉及半導(dǎo)體和新型非馮諾依曼計(jì)算技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種支持非易失“與非”邏輯的三端憶阻器及實(shí)現(xiàn)方法。

背景技術(shù)：

憶阻器是一種具有記憶功能的非線性電阻。1971年，美籍華裔科學(xué)家蔡少棠在研究電壓、電流、磁通量、電荷四者之間的關(guān)系時(shí)，發(fā)現(xiàn)除電阻器、電感器、電容器之外，還應(yīng)該存在有一種基本的無(wú)源電子器件，將其命名為憶阻器，并指出憶阻器代表了電荷量和磁通量之間的關(guān)系。由于當(dāng)時(shí)納米技術(shù)還不夠成熟，憶阻器的研究因此被擱淺。直到2008年，惠普公司在《自然》雜志上發(fā)表文章，報(bào)道其成功研制出了世界首個(gè)憶阻器，至此其優(yōu)異性能受到廣泛的關(guān)注。憶阻器具有簡(jiǎn)單的“三明治”結(jié)構(gòu)，在可微縮性、工藝兼容性、響應(yīng)速度等方面具有明顯的優(yōu)勢(shì)，并能夠出色完成存儲(chǔ)、處理信息的雙重功能。

基于憶阻器實(shí)現(xiàn)非易失邏輯功能近年來(lái)受到廣泛的關(guān)注，逐漸成為新的研究熱點(diǎn)。傳統(tǒng)計(jì)算機(jī)由于采用分離的存儲(chǔ)、計(jì)算單元，面臨性能、功耗等多重挑戰(zhàn)。而基于憶阻器的非易失邏輯單元具有小尺寸、低功耗等特點(diǎn)，且能融合存儲(chǔ)與計(jì)算功能，有望克服馮諾依曼瓶頸，降低數(shù)據(jù)交互所產(chǎn)生的能量、時(shí)間耗費(fèi)。因此有望突破傳統(tǒng)計(jì)算架構(gòu)的速度和能耗瓶頸，進(jìn)而推動(dòng)新一代高能效計(jì)算的發(fā)展。

目前，基于憶阻器實(shí)現(xiàn)非易失邏輯功能的研究已經(jīng)有了階段性的進(jìn)展。但當(dāng)前采用憶阻器實(shí)現(xiàn)“與非”等完備性邏輯往往需要多個(gè)憶阻器單元搭建成憶阻器邏輯電路，或者需要單個(gè)憶阻器單元通過(guò)大量的邏輯步驟來(lái)實(shí)現(xiàn)(≥3步)，因此不利于其應(yīng)用于較大規(guī)模的邏輯電路或?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜邏輯級(jí)聯(lián)。本發(fā)明僅使用單個(gè)新型三端憶阻器，在2步之內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)邏輯功能完備的“與非”邏輯門(mén)，為非易失邏輯器件的發(fā)展提供了重要突破。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決以上現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本發(fā)明提出了一種支持非易失“與非”邏輯的三端憶阻器及實(shí)現(xiàn)方法。

本發(fā)明的一個(gè)目的在于提出一種支持非易失“與非”邏輯的三端憶阻器。

本發(fā)明的支持非易失“與非”邏輯的三端憶阻器包括：襯底、底電極、阻變層、頂電極、絕緣調(diào)制層和調(diào)制電極；其中，在襯底上定義出底電極的圖形，在襯底上依次形成底電極、阻變層和頂電極，底電極、阻變層和頂電極形成mim(金屬-絕緣體-金屬)納米堆垛結(jié)構(gòu)；在襯底和mim納米堆垛結(jié)構(gòu)上形成絕緣調(diào)制層，絕緣調(diào)制層覆蓋襯底、mim納米堆垛結(jié)構(gòu)的頂面和兩個(gè)側(cè)壁；在絕緣調(diào)制層上形成調(diào)制電極及與其相連接的調(diào)制電極引出端，調(diào)制電極環(huán)繞mim納米堆垛結(jié)構(gòu)；在絕緣調(diào)制層、頂電極和阻變層中形成底電極引出孔，底電極引出孔暴露出來(lái)的那部分底電極作為底電極引出端；在絕緣調(diào)制層中形成頂電極引出孔，并在絕緣調(diào)制層上形成頂電極引出端，在頂電極引出孔中淀積金屬?gòu)亩鴮㈨旊姌O連接至頂電極引出端；調(diào)制電極通過(guò)絕緣調(diào)制層與阻變層在側(cè)壁發(fā)生作用；將分別施加在頂電極和調(diào)制電極的電壓信號(hào)定義為邏輯輸入變量，高電平為邏輯“1”，低電平為邏輯“0”，將在電學(xué)操作之后的電阻狀態(tài)定義為邏輯輸出變量，高電阻為邏輯“1”，低電阻為邏輯“0”；只有在調(diào)制電極和頂電極同時(shí)施加高電壓時(shí)，兩個(gè)疊加電場(chǎng)共同作用，使得阻變層中的離子發(fā)生輸運(yùn)，形成局域的導(dǎo)電通道，導(dǎo)致電阻降低，由高阻態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榈妥钁B(tài)，邏輯運(yùn)算的結(jié)果通過(guò)電阻狀態(tài)以非易失的形式存儲(chǔ)在三端憶阻器當(dāng)中，從而實(shí)現(xiàn)非易失“與非”邏輯功能。

襯底為硅襯底或柔性有機(jī)材料襯底。

頂電極、底電極和調(diào)制電極由金屬材料通過(guò)半導(dǎo)體cmos工藝實(shí)現(xiàn)。頂電極、底電極和調(diào)制電極可采用多種金屬材料，如ti、al、au、w、cu、pt和tin中的一種；厚度為20nm～200nm。

阻變層采用taox、hfox、tiox或者srtio3，厚度在5nm～100nm之間；或者采用有機(jī)材料，如parylene等，厚度在30nm～500nm之間。

絕緣調(diào)制層采用sio2、tio2、al2o3、hfo2或ta2o5，厚度在5～200nm之間。

本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提供一種支持非易失“與非”邏輯的三端憶阻器的實(shí)現(xiàn)方法。

本發(fā)明的支持非易失“與非”邏輯的三端憶阻器的實(shí)現(xiàn)方法，包括以下步驟：

1)將施加在頂電極和調(diào)制電極的電壓信號(hào)作為邏輯輸入變量，高電平為邏輯“1”，低電平為邏輯“0”，將在電學(xué)操作之后的三端憶阻器的電阻作為邏輯輸出變量，高電阻為邏輯“1”，低電阻為邏輯“0”；

2)向頂電極施加邏輯初始化脈沖，邏輯初始化脈沖為反向電壓，將三端憶阻器初始化至高阻態(tài)，即邏輯“1”；

3)向頂電極施加讀電壓脈沖，讀取流經(jīng)三端憶阻器的頂電極和底電極之間的脈沖電流，從而判斷三端憶阻器在進(jìn)行運(yùn)算之前的邏輯狀態(tài)；

4)將當(dāng)前的邏輯輸入值(p、q)以脈沖形式分別輸入三端憶阻器的頂電極和調(diào)制電極，進(jìn)行非易失邏輯運(yùn)算；

5)向頂電極施加讀電壓脈沖，讀取流經(jīng)三端憶阻器的頂電極和底電極之間的脈沖電流，判斷三端憶阻器在進(jìn)行運(yùn)算之后的邏輯狀態(tài)，從而得出邏輯運(yùn)算結(jié)果，并且邏輯運(yùn)算結(jié)果通過(guò)電阻狀態(tài)以非易失的形式存儲(chǔ)在三端憶阻器當(dāng)中。

其中，在步驟3)中，讀電壓脈沖的幅值小于邏輯初始化脈沖。

在步驟5)中，只有在調(diào)制電極和頂電極同時(shí)施加高電壓，即兩個(gè)邏輯輸入同時(shí)為“1”時(shí)，兩個(gè)疊加電場(chǎng)共同作用，阻變層中的離子發(fā)生輸運(yùn)，形成局域的導(dǎo)電通道，導(dǎo)致電阻降低，由高阻態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榈妥钁B(tài)，邏輯輸出為“0”，從而實(shí)現(xiàn)非易失“與非”邏輯功能。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明采用底電極、阻變層和頂電極形成mim納米堆垛結(jié)構(gòu)，再覆蓋絕緣調(diào)制層，在絕緣調(diào)制層上形成調(diào)制電極，調(diào)制電極環(huán)繞mim納米堆垛結(jié)構(gòu)；只有在調(diào)制電極和頂電極同時(shí)施加高電壓時(shí)，兩個(gè)疊加電場(chǎng)共同作用，阻變層中的離子發(fā)生輸運(yùn)，形成局域的導(dǎo)電通道，導(dǎo)致電阻降低，由高阻態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榈妥钁B(tài)，邏輯運(yùn)算的結(jié)果通過(guò)電阻狀態(tài)以非易失的形式存儲(chǔ)在三端憶阻器當(dāng)中，從而實(shí)現(xiàn)非易失“與非”邏輯功能；本發(fā)明中的非易失“與非”邏輯門(mén)實(shí)現(xiàn)僅需單個(gè)三端憶阻器，有利于提高非易失電路集成密度，降低邏輯級(jí)聯(lián)的復(fù)雜度，并有利于降低電路的功耗。此外，本發(fā)明涉及的三端憶阻器制備工藝與傳統(tǒng)cmos工藝相兼容。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的支持非易失“與非”邏輯的三端憶阻器的一個(gè)實(shí)施例的示意圖；

圖2為本發(fā)明的支持非易失“與非”邏輯的三端憶阻器的實(shí)現(xiàn)方法的一個(gè)實(shí)施例的輸入電壓波形圖；

圖3為本發(fā)明的支持非易失“與非”邏輯的三端憶阻器的一個(gè)實(shí)施例的運(yùn)算結(jié)果圖，其中，(a)為輸入為(0,0)，(b)為輸入為(0,1)，(c)為輸入為(1,0)，(d)為輸入為(1,1)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，通過(guò)具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。

如圖1所示，本實(shí)施例的支持非易失“與非”邏輯的三端憶阻器包括：襯底1、底電極3、阻變層4、頂電極5、絕緣調(diào)制層2和調(diào)制電極6；其中，在襯底1上定義出底電極3的圖形，在襯底1上依次形成底電極3、阻變層4和頂電極5，底電極3、阻變層4和頂電極5形成mim(金屬-絕緣體-金屬)納米堆垛結(jié)構(gòu)；在襯底1和mim納米堆垛結(jié)構(gòu)上形成絕緣調(diào)制層2，絕緣調(diào)制層2覆蓋襯底1、mim納米堆垛結(jié)構(gòu)的頂面和兩個(gè)側(cè)壁；在絕緣調(diào)制層2上形成調(diào)制電極6以及與其相連接的調(diào)制電極引出端61，調(diào)制電極6環(huán)繞mim納米堆垛結(jié)構(gòu)；在絕緣調(diào)制層2、頂電極5和阻變層4中形成底電極引出孔，底電極引出孔暴露出來(lái)的那部分底電極作為底電極引出端31；在絕緣調(diào)制層2中形成頂電極引出孔，并在絕緣調(diào)制層上形成頂電極引出端51，在頂電極引出孔淀積金屬?gòu)亩鴮㈨旊姌O5連接至頂電極引出端51。調(diào)制電極通過(guò)絕緣調(diào)制層與阻變層在側(cè)壁發(fā)生作用。

“與非”門(mén)真值表如下表所示：

本實(shí)施例的支持非易失“與非”邏輯的三端憶阻器的實(shí)現(xiàn)方法，包括以下步驟：

1)將施加在頂電極和調(diào)制電極的電壓信號(hào)作為邏輯輸入變量，分別為p和q，高電平為邏輯“1”，低電平為邏輯“0”，將在三端憶阻器的阻值作為邏輯輸出變量s，高電阻為邏輯“1”，低電阻為邏輯“0”；

2)向頂電極施加邏輯初始化脈沖v0，邏輯初始化脈沖為反向電壓，將三端憶阻器初始化至高阻態(tài)，即邏輯“1”；

3)向頂電極施加讀電壓脈沖v1，同時(shí)讀取流經(jīng)三端憶阻器的頂電極和底電極之間的脈沖電流，從而判斷三端憶阻器在進(jìn)行運(yùn)算之前的邏輯狀態(tài)；

4)將當(dāng)前的邏輯輸入值(p、q)以脈沖形式分別輸入三端憶阻器的頂電極和調(diào)制電極，分別為v2和v3，進(jìn)行非易失邏輯運(yùn)算步驟；

5)向頂電極施加讀電壓脈沖v1，讀取流經(jīng)三端憶阻器的頂電極和底電極之間的脈沖電流，判斷三端憶阻器在進(jìn)行運(yùn)算之后的邏輯狀態(tài)，從而得出邏輯運(yùn)算結(jié)果，并且邏輯運(yùn)算結(jié)果通過(guò)電阻狀態(tài)以非易失的形式存儲(chǔ)在三端憶阻器當(dāng)中：

本實(shí)施例的輸入電壓波形圖如圖2所示。在圖2中，t1為輸入電壓脈沖的脈寬，t2為輸入電壓脈沖之間的時(shí)間間隔。

如圖3(a)～(c)所示，當(dāng)邏輯輸入變量(p，q)為(p＝0，q＝0)、(p＝0，q＝1)、(p＝1，q＝0)時(shí)，三端憶阻器的頂電極和調(diào)制電極所施加的電壓至多只有一個(gè)為高電平，三端憶阻器的狀態(tài)無(wú)法改變，邏輯操作后仍處于高阻態(tài)，即邏輯“1”；當(dāng)邏輯輸入變量(p，q)為(p＝1，q＝1)時(shí)，如圖3(d)所示，頂電極和調(diào)制電極所施加的電壓同時(shí)為高電平，三端憶阻器的狀態(tài)由高阻態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榈妥钁B(tài)，只有頂電極和調(diào)制電極同時(shí)施加高電壓時(shí)，阻變層形成了導(dǎo)電通道，導(dǎo)致電阻降低，邏輯操作后器件輸出狀態(tài)為“0”，因此實(shí)現(xiàn)了非易失“與非”邏輯門(mén)功能。

最后需要注意的是，公布實(shí)施例的目的在于幫助進(jìn)一步理解本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解：在不脫離本發(fā)明及所附的權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)，各種替換和修改都是可能的。因此，本發(fā)明不應(yīng)局限于實(shí)施例所公開(kāi)的內(nèi)容，本發(fā)明要求保護(hù)的范圍以權(quán)利要求書(shū)界定的范圍為準(zhǔn)。