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      一種周期加載電容和短路線的可調(diào)慢波傳輸線的制作方法

      文檔序號(hào):11777139閱讀:1412來源:國知局
      一種周期加載電容和短路線的可調(diào)慢波傳輸線的制作方法與工藝

      本發(fā)明涉及一種可調(diào)慢波傳輸線技術(shù),屬于微波毫米波以及通信、雷達(dá)、集成電路技術(shù)領(lǐng)域。



      背景技術(shù):

      隨著電子信息技術(shù)的發(fā)展,和通信、雷達(dá)、計(jì)算機(jī)等信息系統(tǒng)各方面性能的大幅提升,微波毫米波集成電路不斷面臨新的挑戰(zhàn),小型化、寬頻帶工作、可調(diào)諧等需求日益顯著。慢波傳輸線,具有壓縮的傳輸波長和緊束縛的橫向模式分布,可大大縮小器件和電路的尺寸;且慢波具有天然的阻帶,可起到抑制寄生通帶的效應(yīng)。由傳輸線理論可知,為構(gòu)造慢波傳輸線,增大等效的并聯(lián)分布電容,即可得到更大的傳輸常數(shù),即壓縮的波長和緊束縛的橫向場分布。

      對(duì)于微波集成電路中最為常用的微帶線、帶狀線、共面波導(dǎo)等平面雙導(dǎo)體傳輸線,構(gòu)造慢波傳輸線通常采用周期加載電容或開路線(等效電容)的方式。此種慢波微帶線結(jié)構(gòu)簡單,等效電路亦簡單明晰,傳播常數(shù)和阻抗分析遵從微波電路理論。通過周期加載變?nèi)荻?jí)管,即可實(shí)現(xiàn)對(duì)慢波傳輸特性的調(diào)節(jié)。然而,由于加載電容的另一端開路,如何加載偏置電壓,而不影響微波網(wǎng)絡(luò)特性,不造成射頻信號(hào)從直流偏置電路泄露,就成為其中關(guān)鍵的技術(shù)瓶頸。

      本發(fā)明即基于此技術(shù)需求,提出了一種周期加載電容和短路線的可調(diào)慢波傳輸線結(jié)構(gòu)。其中短路線支節(jié)的加入,將射頻的信號(hào)/地和直流偏置的信號(hào)/地統(tǒng)一,便于直流偏置的加載;另外,該慢波傳輸線的慢波特性及傳輸常數(shù)對(duì)可變電容的敏感度相比于周期加載開路線的結(jié)構(gòu)都得到了大幅提升。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      技術(shù)問題:本發(fā)明的目的在于提出一種周期加載電容和短路線的可調(diào)慢波傳輸線,此傳輸線結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)顯著的慢波效應(yīng),通過調(diào)節(jié)周期加載電容還可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳輸常數(shù)大范圍、高靈敏度的調(diào)節(jié);該結(jié)構(gòu)統(tǒng)一了射頻和直流偏置的信號(hào)和地的定義,便于對(duì)可變電容直流偏置電壓的加載。

      技術(shù)方案:本發(fā)明通過對(duì)傳輸線周期加載電容和短路線支節(jié)(通過金屬化過孔和金屬地平面連接),實(shí)現(xiàn)顯著的慢波效應(yīng),通過對(duì)電容的調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)對(duì)傳輸常數(shù)大范圍、高靈敏度的調(diào)節(jié);該結(jié)構(gòu)便于對(duì)可變電容的直流偏置加載,從而實(shí)現(xiàn)一種新型的可調(diào)慢波傳輸線。

      本發(fā)明的一種周期加載電容和短路線的可調(diào)慢波傳輸線,其特征在于:該傳輸線包括大面積的金屬地、介質(zhì)基板、傳輸線、電容、短路線支節(jié);其中,在傳輸線的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)有周期性短路線支節(jié),在各短路線支節(jié)一端與傳輸線之間分別連接有一個(gè)電容,在開路線支節(jié)的另一端與大面積的金屬地連接。

      其中:

      所述的介質(zhì)基板為fr4,f4b,rogers公司生產(chǎn)的ro4003、3003、4350、rt5880、5870、6002、6006、6010、6035、6202,nelco公司生產(chǎn)的n4000-13、n4000-13epsi的印刷電路或微波電路的介質(zhì)基板,或?yàn)閟i、sio2、al2o3、gaas、gan的半導(dǎo)體或介質(zhì)材料,或?yàn)槿嵝杂袡C(jī)介質(zhì)材料。

      所述的大面積的金屬地、傳輸線、短路線支節(jié)、金屬化過孔為銅、錫、金的單一材料或其復(fù)合材料。

      所述的介質(zhì)基板的厚度為1μm~10mm之間。

      所述的大面積的金屬地、傳輸線和短路線支節(jié)的厚度為50nm~1mm之間。

      所述的電容為固定容值電容或變?nèi)荻O管。

      電容、開路線支節(jié)和金屬化過孔遵從相同或不同的周期或準(zhǔn)周期分布規(guī)律。

      傳輸線和短路線支節(jié)位于介質(zhì)基板的上層;金屬地、可以位于介質(zhì)基板的上層、中間層或下層。

      所述的金屬地和短路線支節(jié),由印刷金屬圖形或金屬化過孔連接。

      有益效果:本發(fā)明中的慢波傳輸線結(jié)構(gòu)和相同幾何參數(shù)的周期加載電容和開路線結(jié)構(gòu)相比,具有更顯著的慢波效應(yīng)(更大的傳輸常數(shù)),且其傳輸常數(shù)隨電容的變化具有更大的調(diào)節(jié)范圍和更高的靈敏度。該結(jié)構(gòu)統(tǒng)一了射頻和直流偏置的信號(hào)和地的定義,便于可變電容直流偏置電壓的加載。該慢波傳輸線可用于微波、毫米波、太赫茲的慢波傳輸線及結(jié)構(gòu)、器件、電路,以及小型化的可調(diào)諧器件及電路中。

      附圖說明

      圖1為本發(fā)明的三維結(jié)構(gòu)示意圖。其中有:大面積的金屬地1、介質(zhì)基板2、傳輸線3、電容4、短路線支節(jié)5、金屬化過孔6。

      圖2(a)為實(shí)施例一的幾何參數(shù)示意圖,(b)為實(shí)施例一的色散曲線圖。

      圖3(a)為實(shí)施例二的幾何參數(shù)示意圖,(b)為實(shí)施例二的色散曲線圖。

      圖4(a)為實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖,(b)為幾何參數(shù)示意圖,(c)為實(shí)施例三的色散曲線圖。

      圖5(a)為實(shí)施例四的結(jié)構(gòu)示意圖,(b)為幾何參數(shù)示意圖,(c)為實(shí)施例四的色散曲線圖。

      圖6(a)位實(shí)施例五的上層結(jié)構(gòu)示意圖,(b)為實(shí)施例三的s11參數(shù),(c)為實(shí)施例三的s21參數(shù),(d)為實(shí)施例三的s23參數(shù)。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合附圖和實(shí)例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

      圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖,其中包括大面積的金屬地1、介質(zhì)基板2、傳輸線3、電容4、開路線支節(jié)5、金屬化過孔6。圖1所示結(jié)構(gòu)僅為可能的一種結(jié)構(gòu)示意圖,本發(fā)明的結(jié)構(gòu)電容4和金屬化過孔6的周期可以相同,也可以不同。

      實(shí)施例一

      本發(fā)明實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)和圖1相同,其中采用0.508mm厚的rogersrt5880介質(zhì)基板,銅箔厚0.018mm;其上層圖形的幾何參數(shù)如圖2(a)所示,p=4mm,g=1mm,w=0.6mm,s=0.2mm,h=1.6mm;金屬化過孔直徑0.5mm,位于短路線支節(jié)中心,孔中心距短路線邊緣距離x=0.3mm;介質(zhì)板下層為大面積的金屬地。電容采用變?nèi)荻O管ma46h120,其電容調(diào)節(jié)范圍為0.1pf~1.1pf。

      圖2(a)為不同電容值下,該慢波傳輸線的色散曲線,橫坐標(biāo)為對(duì)π歸一化的傳播常數(shù)實(shí)部,縱坐標(biāo)為頻率(ghz),其中黑色實(shí)線代表同樣介質(zhì)板上微帶線??梢娫摻Y(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)良好的慢波特性;改變電容值,可實(shí)現(xiàn)對(duì)該慢波傳輸線傳輸常數(shù)的大范圍、高靈敏度的調(diào)節(jié)。

      實(shí)施例二

      本發(fā)明實(shí)施例二的上層結(jié)構(gòu)如圖3(a)所示,其中采用0.508mm厚的rogersrt5880介質(zhì)基板,銅箔厚0.018mm;p=8mm,g=1.2mm,g’=1mm,w=0.6mm,s=s’=0.2mm,h=2.1mm,h’=1.6mm;d=d’=2.9mm;金屬化過孔直徑0.5mm,位于短路線支節(jié)中心,孔中心距短路線邊緣距離x=0.3mm;介質(zhì)板下層為大面積的金屬地。電容采用變?nèi)荻O管ma46h120,其電容調(diào)節(jié)范圍為0.1pf~1.1pf。

      圖3(b)為不同電容值下,該慢波傳輸線的色散曲線,橫坐標(biāo)為對(duì)π歸一化的傳播常數(shù)實(shí)部,縱坐標(biāo)為頻率(ghz),其中黑色實(shí)線代表同樣介質(zhì)板上微帶線??梢娫摻Y(jié)構(gòu)亦可實(shí)現(xiàn)良好的慢波特性;改變電容值,可實(shí)現(xiàn)對(duì)該慢波傳輸線傳輸常數(shù)的調(diào)節(jié)。

      實(shí)施例三

      本發(fā)明實(shí)施例三的整體示意圖如圖4(a),上層結(jié)構(gòu)及參數(shù)如圖4(b)所示,其中采用0.508mm厚的rogersrt5880介質(zhì)基板,銅箔厚0.018mm;銅箔厚0.018mm;p=8mm,g=1.2mm,w=0.3mm,s=0.2mm,h=1.6mm;金屬化過孔直徑0.5mm,位于短路線支節(jié)中心,孔中心距短路線邊緣距離x=1.0mm;;介質(zhì)板下層為大面積的金屬地。電容采用變?nèi)荻O管ma46h120,其電容調(diào)節(jié)范圍為0.1pf~1.1pf。

      圖4(c)為不同電容值下,該慢波傳輸線的色散曲線,橫坐標(biāo)為對(duì)π歸一化的傳播常數(shù)實(shí)部,縱坐標(biāo)為頻率(ghz),其中黑色實(shí)線代表同樣介質(zhì)板上微帶線??梢娫摻Y(jié)構(gòu)亦可實(shí)現(xiàn)良好的慢波特性;改變電容值,可實(shí)現(xiàn)對(duì)該慢波傳輸線傳輸常數(shù)的調(diào)節(jié)。

      實(shí)施例四

      本發(fā)明實(shí)施例四的整體示意圖如圖5(a),為一種周期加載的慢波槽線,上層結(jié)構(gòu)及參數(shù)如圖5(b)所示,其中采用0.508mm厚的rogersrt5880介質(zhì)基板,銅箔厚0.018mm;銅箔厚0.018mm;p=8mm,g=1.2mm,w=0.3mm,s=0.2mm,h=1.6mm;連接短路線支節(jié)和金屬地的金屬圖形尺寸為x1=y(tǒng)1=0.2mm。介質(zhì)板下層銅箔全部腐蝕掉。電容采用變?nèi)荻O管ma46h120,其電容調(diào)節(jié)范圍為0.1pf~1.1pf。

      圖5(c)為不同電容值下,該慢波傳輸線的色散曲線,橫坐標(biāo)為對(duì)π歸一化的傳播常數(shù)實(shí)部,縱坐標(biāo)為頻率(ghz),其中黑色實(shí)線代表同樣介質(zhì)板上微帶線??梢娫摻Y(jié)構(gòu)亦可實(shí)現(xiàn)良好的慢波特性;改變電容值,可實(shí)現(xiàn)對(duì)該慢波傳輸線傳輸常數(shù)的調(diào)節(jié)。

      實(shí)施例四中,大面積金屬化地和傳輸線在介質(zhì)基片同一層,只位于傳輸線的一側(cè)。如果金屬化地和傳輸線位于介質(zhì)基片同一層,且在傳輸線左右兩側(cè)都有金屬化地,則為慢波的共面波導(dǎo)結(jié)構(gòu),也有類似的可調(diào)慢波效應(yīng)。

      實(shí)施例五

      實(shí)施例五的結(jié)構(gòu)上層圖形示意圖如圖6(a)所示,是本發(fā)明所述的可調(diào)慢波傳輸線應(yīng)用于器件設(shè)計(jì)的實(shí)例。該結(jié)構(gòu)為一個(gè)工作于1ghz左右的一階威爾金森功分器,其輸入輸出均為50ω微帶線,而1/4波長變換段采用本發(fā)明所述的可調(diào)慢波傳輸線。該結(jié)構(gòu)中介質(zhì)基板采用rogersrt5880介質(zhì)基板,銅箔厚0.018mm,介質(zhì)板下層為大面積金屬地,其輸入輸出均為50ω微帶線(寬1.6mm);隔離電阻100ω,采用0603封裝;1/4波長阻抗變換段采用本發(fā)明所述的慢波傳輸線,各幾何參數(shù)為p=9mm,g=7mm,w=0.5mm,s=0.2mm,h=1.6mm;變?nèi)荻O管采用ma46h120。本實(shí)施例中1/4波長阻抗變換段長度42mm,相比于70.7ω微帶線所需的變換長度56mm大大縮減。由圖6(b-d)的s參數(shù)可見,該威爾金森功分器的工作頻段可由電容值進(jìn)行調(diào)節(jié),且在較大的頻率范圍都保持較低的插入損耗(s21)和隔離度(s23)。本實(shí)施例中電容值僅取到0.1pf和0.5pf,進(jìn)一步加大電容變化范圍,可實(shí)現(xiàn)更寬工作頻帶的調(diào)節(jié)。

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