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      顯示面板以及顯示面板的制作方法與流程

      文檔序號(hào):40238583發(fā)布日期:2024-12-06 17:02閱讀:15來(lái)源:國(guó)知局
      顯示面板以及顯示面板的制作方法與流程

      本技術(shù)涉及顯示,尤其是涉及一種顯示面板以及顯示面板的制作方法。


      背景技術(shù):

      1、micro-led具有應(yīng)用于下一代高清顯示面板的潛力,與現(xiàn)有的lcd、oled相比,micro-led具有亮度高、壽命長(zhǎng)、功耗低等優(yōu)勢(shì)。micro-led顯示屏的優(yōu)點(diǎn)是可以將多個(gè)小顯示面板用拼接工藝粘貼成大屏幕顯示屏,此時(shí),使面板和面板之間的間隔最小化的關(guān)鍵工藝是背板雙面工藝和側(cè)邊走線工藝。

      2、背板雙面工藝是在襯底基板的一面形成tft和布線后,翻轉(zhuǎn)基板,在相反面上形成布線的工藝,此時(shí),基板底面容易受到物理沖擊或化學(xué)損傷。因此,為了保護(hù)已形成的器件和布線免受這種沖擊或損壞,必須形成保護(hù)層,工藝數(shù)量隨之增加;另一方面,即使有保護(hù)層,也會(huì)存在不良的危險(xiǎn)。

      3、側(cè)邊走線工藝是為了電連接基板兩面的金屬線路而做的玻璃側(cè)面布線工藝。需要用現(xiàn)有的濺射設(shè)備進(jìn)行3次以上(上面/側(cè)面/背面)沉積,也可以使用新開(kāi)發(fā)的側(cè)面專(zhuān)用設(shè)備;但是,這種方法存在工藝數(shù)量增加或工藝成本增加的問(wèn)題。


      技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

      1、本技術(shù)主要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種顯示面板以及顯示面板的制作方法,以簡(jiǎn)化工藝,減少不良發(fā)生。

      2、為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本技術(shù)采用的第一技術(shù)方案是提供一種顯示面板,所述顯示面板包括:第一絕緣層;第一布線層,所述第一布線層包括主體部和延伸部,所述主體部位于所述第一絕緣層的一側(cè),所述延伸部自所述主體部向所述第一絕緣層一側(cè)延伸,并穿過(guò)所述第一絕緣層到達(dá)所述第一絕緣層遠(yuǎn)離所述主體部的一側(cè),形成邦定區(qū);柔性襯底層,所述柔性襯底層設(shè)置于所述第一絕緣層的具有所述主體部的一側(cè),所述柔性襯底層覆蓋所述第一布線層;薄膜晶體管層,所述薄膜晶體管層設(shè)置于所述柔性襯底層遠(yuǎn)離所述第一布線層的一側(cè);第二布線層,所述第二布線層設(shè)置于所述薄膜晶體管層遠(yuǎn)離所述柔性襯底層的一側(cè),所述第二布線層與所述薄膜晶體管層電連接;連接件,所述連接件自所述第一布線層穿過(guò)所述柔性襯底層,并朝向所述薄膜晶體管層一側(cè)延伸,所述薄膜晶體管層通過(guò)所述連接件與所述第一布線層電連接;發(fā)光器件,所述發(fā)光器件位于所述第二布線層遠(yuǎn)離所述薄膜晶體管層的一側(cè),所述發(fā)光器件與所述第二布線層電連接;柔性電路板,所述柔性電路板設(shè)置于所述第一絕緣層遠(yuǎn)離所述主體部的一側(cè),所述柔性電路板與所述邦定區(qū)電連接。

      3、其中,所述顯示面板還包括鈍化保護(hù)層,所述薄膜晶體管層遠(yuǎn)離所述柔性襯底層的一側(cè)依次層疊設(shè)置有所述鈍化保護(hù)層和所述第二布線層;所述薄膜晶體管層包括第二絕緣層和多個(gè)薄膜晶體管,所述第二絕緣層層疊設(shè)置于所述柔性襯底層上,所述薄膜晶體管的至少部分位于所述第二絕緣層內(nèi),所述薄膜晶體管分別與所述第一布線層和所述第二布線層電連接。

      4、其中,所述連接件包括第一連接部、第二連接部和第三連接部;所述鈍化保護(hù)層上與所述第一布線層對(duì)應(yīng)的位置開(kāi)設(shè)有第一盲孔,所述第一盲孔自所述鈍化保護(hù)層依次穿過(guò)所述第二絕緣層和所述柔性襯底層到達(dá)所述第一布線層,所述第一盲孔中形成有所述第一連接部,所述第一連接部的兩端分別與所述第一布線層和所述第二布線層電連接;所述鈍化保護(hù)層上與所述薄膜晶體管的源極和漏極對(duì)應(yīng)的位置分別開(kāi)設(shè)有第二盲孔和第三盲孔,所述第二盲孔和所述第三盲孔分別到達(dá)所述薄膜晶體管的源極和漏極,所述第二盲孔中形成有所述第二連接部,所述第三盲孔中形成有所述第三連接部,所述第二連接部的兩端分別與所述源極和所述第二布線層電連接,所述第三連接部的兩端分別與所述漏極和所述第二布線層電連接;

      5、或,所述連接件包括第一連接部和金屬連接層;所述第二絕緣層包括沿遠(yuǎn)離所述柔性襯底層的方向依次層疊設(shè)置的第一絕緣子層、第二絕緣子層和第三絕緣子層,所述薄膜晶體管包括有源層、柵極、源極和漏極;所述有源層設(shè)置于所述第一絕緣子層遠(yuǎn)離所述柔性襯底層的一側(cè),所述第二絕緣子層覆蓋所述有源層,所述柵極設(shè)置于所述第二絕緣子層遠(yuǎn)離所述第一絕緣子層的一側(cè),所述第三絕緣子層覆蓋所述柵極,所述第三絕緣子層遠(yuǎn)離所述第二絕緣子層的一側(cè)設(shè)置有所述金屬連接層;所述第三絕緣子層上與所述第一布線層對(duì)應(yīng)的位置開(kāi)設(shè)有第一盲孔,所述第一盲孔自所述第三絕緣子層依次穿過(guò)所述第二絕緣子層、所述第一絕緣子層和所述柔性襯底層到達(dá)所述第一布線層,所述金屬連接層延伸至所述第一盲孔內(nèi)形成所述第一連接部,所述第一連接部遠(yuǎn)離所述金屬連接層的一端與所述第一布線層電連接;所述第三絕緣子層上與所述有源層的兩側(cè)對(duì)應(yīng)的位置分別開(kāi)設(shè)有第二盲孔和第三盲孔,所述第二盲孔和所述第三盲孔分別自所述第三絕緣子層依次穿過(guò)所述第二絕緣子層和所述第一絕緣子層到達(dá)所述有源層上,所述金屬連接層延伸至所述第二盲孔內(nèi)形成所述源極,所述金屬連接層延伸至所述第三盲孔內(nèi)形成所述漏極;所述鈍化保護(hù)層覆蓋所述金屬連接層,所述鈍化保護(hù)層上與所述漏極對(duì)應(yīng)的位置開(kāi)設(shè)有第四盲孔,所述第四盲孔到達(dá)所述漏極,所述第二布線層延伸至所述第四盲孔內(nèi),并與所述第二布線層電連接;

      6、或,所述連接件包括第一連接部和金屬連接層;所述第二絕緣層包括沿遠(yuǎn)離所述柔性襯底層的方向依次層疊設(shè)置的第一絕緣子層、第二絕緣子層和第三絕緣子層,所述薄膜晶體管包括有源層、柵極、源極和漏極;所述有源層設(shè)置于所述第一絕緣子層遠(yuǎn)離所述柔性襯底層的一側(cè),所述第二絕緣子層覆蓋所述有源層,所述柵極和所述金屬連接層設(shè)置于所述第二絕緣子層遠(yuǎn)離所述第一絕緣子層的一側(cè),所述柵極和所述金屬連接層之間電連接,所述第三絕緣子層覆蓋所述柵極和所述金屬連接層;所述第二絕緣子層上與所述第一布線層對(duì)應(yīng)的位置開(kāi)設(shè)有第一盲孔,所述第一盲孔自所述第二絕緣子層依次穿過(guò)所述第一絕緣子層和所述柔性襯底層到達(dá)所述第一布線層,所述金屬連接層延伸至所述第一盲孔內(nèi)形成所述第一連接部,所述第一連接部遠(yuǎn)離所述金屬連接層的一端與所述第一布線層電連接;所述第三絕緣子層上與所述有源層的兩側(cè)對(duì)應(yīng)的位置分別開(kāi)設(shè)有第二盲孔和第三盲孔,所述第二盲孔和所述第三盲孔分別自所述第三絕緣子層依次穿過(guò)所述第二絕緣子層和所述第一絕緣子層到達(dá)所述有源層上,所述第二盲孔內(nèi)形成所述源極,所述第三盲孔內(nèi)形成所述漏極;所述鈍化保護(hù)層上與所述漏極對(duì)應(yīng)的位置開(kāi)設(shè)有第四盲孔,所述第四盲孔到達(dá)所述漏極,所述第二布線層延伸至所述第四盲孔內(nèi),并與所述第二布線層電連接。

      7、其中,所述顯示面板還包括第三絕緣層,所述第三絕緣層設(shè)置于所述第一絕緣層和所述柔性襯底層之間,所述第三絕緣層覆蓋所述第一布線層,所述第三絕緣層上形成有遮光層,所述柔性襯底層覆蓋所述遮光層。

      8、其中,所述第一布線層包括導(dǎo)電連接子層和金屬導(dǎo)電子層;所述第一絕緣層上開(kāi)設(shè)有第一通孔,所述導(dǎo)電連接子層位于所述第一絕緣層靠近所述柔性襯底層的一側(cè),并填充所述第一通孔;所述金屬導(dǎo)電子層層疊設(shè)置在所述導(dǎo)電連接子層靠近所述柔性襯底層的一側(cè)。

      9、為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本技術(shù)采用的第二技術(shù)方案是提供一種顯示面板的制作方法,所述顯示面板的制作方法包括:提供襯底基板,并在所述襯底基板的一側(cè)形成犧牲層;在所述犧牲層上依次形成第一絕緣層和第一布線層,且所述第一布線層上的部分位置穿過(guò)所述第一絕緣層到達(dá)所述犧牲層的表面,形成邦定區(qū);在所述第一絕緣層上形成覆蓋所述第一布線層的柔性襯底層;在所述柔性襯底層上依次形成薄膜晶體管層和第二布線層,并使所述薄膜晶體管層與所述第一布線層電連接、所述第二布線層與所述薄膜晶體管層電連接;在所述第二布線層上貼附發(fā)光器件;去除所述犧牲層和所述襯底基板;在所述第一絕緣層遠(yuǎn)離所述柔性襯底層的一側(cè)設(shè)置柔性電路板,所述柔性電路板與所述邦定區(qū)電連接。

      10、其中,所述在所述犧牲層上依次形成第一絕緣層和第一布線層,且所述第一布線層上的部分位置穿過(guò)所述第一絕緣層到達(dá)所述犧牲層的表面,形成邦定區(qū),包括:在所述犧牲層遠(yuǎn)離所述襯底基板的一側(cè)形成所述第一絕緣層;在所述第一絕緣層上開(kāi)設(shè)第一通孔,所述第一通孔延伸至所述犧牲層的表面;在所述第一絕緣層遠(yuǎn)離所述犧牲層的一側(cè)以及所述第一通孔中形成所述第一布線層,所述第一布線層自所述第一通孔延伸至所述犧牲層的表面形成所述邦定區(qū)。

      11、其中,所述在所述柔性襯底層上依次形成薄膜晶體管層和第二布線層,并使所述薄膜晶體管層與所述第一布線層電連接、所述第二布線層與所述薄膜晶體管層電連接,包括:在所述柔性襯底層上形成所述薄膜晶體管層;所述薄膜晶體管層包括第二絕緣層和多個(gè)薄膜晶體管,所述薄膜晶體管的至少部分位于所述第二絕緣層內(nèi);在所述薄膜晶體管層上形成鈍化保護(hù)層;在所述鈍化保護(hù)層上與所述第一布線層對(duì)應(yīng)的位置開(kāi)設(shè)第一盲孔,在所述鈍化保護(hù)層上與所述薄膜晶體管的源極和漏極對(duì)應(yīng)的位置分別開(kāi)設(shè)第二盲孔和第三盲孔,所述第一盲孔自所述鈍化保護(hù)層依次穿過(guò)所述第二絕緣層和所述柔性襯底層到達(dá)所述第一布線層,所述第二盲孔和所述第三盲孔分別到達(dá)所述薄膜晶體管的源極和漏極;在所述鈍化保護(hù)層上形成所述第二布線層,并使所述第二布線層填充所述第一盲孔、所述第二盲孔和所述第三盲孔;

      12、或,所述薄膜晶體管層包括第二絕緣層和多個(gè)薄膜晶體管,所述第二絕緣層包括沿遠(yuǎn)離所述柔性襯底層的方向依次層疊設(shè)置的第一絕緣子層、第二絕緣子層和第三絕緣子層,所述薄膜晶體管包括有源層、柵極、源極和漏極;所述在所述柔性襯底層上依次形成薄膜晶體管層和第二布線層,并使所述薄膜晶體管層與所述第一布線層電連接、所述第二布線層與所述薄膜晶體管層電連接,包括:在所述柔性襯底層上形成所述第一絕緣子層;在所述第一絕緣子層上形成所述有源層;在所述第一絕緣子層上形成覆蓋所述有源層的所述第二絕緣子層;在所述第二絕緣子層上形成所述柵極;在所述第二絕緣子層上形成覆蓋所述柵極的所述第三絕緣子層;在所述第三絕緣子層上與所述第一布線層對(duì)應(yīng)的位置開(kāi)設(shè)第一盲孔,在所述第三絕緣子層上與所述有源層的兩側(cè)對(duì)應(yīng)的位置分別開(kāi)設(shè)第二盲孔和第三盲孔,所述第一盲孔自所述第三絕緣子層依次穿過(guò)所述第二絕緣子層、所述第一絕緣子層和所述柔性襯底層到達(dá)所述第一布線層,所述第二盲孔和所述第三盲孔分別自所述第三絕緣子層依次穿過(guò)所述第二絕緣子層和所述第一絕緣子層到達(dá)所述有源層上;在所述第三絕緣子層上以及所述第一盲孔、所述第二盲孔和所述第三盲孔內(nèi)形成金屬連接層,以在所述第二盲孔和所述第三盲孔內(nèi)形成所述源極和所述漏極,并通過(guò)所述金屬連接層連接所述源極和所述第一布線層;在所述第三絕緣子層上形成覆蓋所述金屬連接層的鈍化保護(hù)層;在所述鈍化保護(hù)層上與所述漏極對(duì)應(yīng)的位置開(kāi)設(shè)第四盲孔,所述第四盲孔到達(dá)所述漏極;在所述鈍化保護(hù)層上形成所述第二布線層,并使所述第二布線層填充所述第四盲孔;

      13、或,所述薄膜晶體管層包括第二絕緣層和多個(gè)薄膜晶體管,所述第二絕緣層包括沿遠(yuǎn)離所述柔性襯底層的方向依次層疊設(shè)置的第一絕緣子層、第二絕緣子層和第三絕緣子層,所述薄膜晶體管包括有源層、柵極、源極和漏極;所述在所述柔性襯底層上依次形成薄膜晶體管層和第二布線層,并使所述薄膜晶體管層與所述第一布線層電連接、所述第二布線層與所述薄膜晶體管層電連接,包括:在所述柔性襯底層上形成所述第一絕緣子層;在所述第一絕緣子層上形成所述有源層;在所述第一絕緣子層上形成覆蓋所述有源層的所述第二絕緣子層;在所述第二絕緣子層上與所述第一布線層對(duì)應(yīng)的位置開(kāi)設(shè)第一盲孔,所述第一盲孔自所述第二絕緣子層依次穿過(guò)所述第一絕緣子層和所述柔性襯底層到達(dá)所述第一布線層;在所述第二絕緣子層上以及所述第一盲孔內(nèi)形成金屬連接層,以在所述第二絕緣子層上形成所述柵極,并通過(guò)所述金屬連接層連接所述柵極和所述第一布線層;在所述第二絕緣子層上形成覆蓋所述金屬連接層的所述第三絕緣子層;在所述第三絕緣子層上與所述有源層的兩側(cè)對(duì)應(yīng)的位置分別開(kāi)設(shè)第二盲孔和第三盲孔,所述第二盲孔和所述第三盲孔分別自所述第三絕緣子層依次穿過(guò)所述第二絕緣子層和所述第一絕緣子層到達(dá)所述有源層上;在所述第三絕緣子層上以及所述第二盲孔和所述第三盲孔內(nèi)形成所述源極和所述漏極;在所述第三絕緣子層上形成覆蓋所述源極和所述漏極的鈍化保護(hù)層;在所述鈍化保護(hù)層上與所述源極或漏極對(duì)應(yīng)的位置開(kāi)設(shè)第四盲孔,所述第四盲孔到達(dá)所述源極或漏極;在所述鈍化保護(hù)層上形成所述第二布線層,并使所述第二布線層填充所述第四盲孔。

      14、其中,所述在所述第一絕緣層上形成覆蓋所述第一布線層的柔性襯底層,包括:在所述第一絕緣層上形成覆蓋所述第一布線層的第三絕緣層;在所述第三絕緣層上形成遮光層;在所述第三絕緣層上形成覆蓋所述遮光層的所述柔性襯底層。

      15、其中,所述第一布線層包括導(dǎo)電連接子層和金屬導(dǎo)電子層;所述在所述犧牲層上依次形成第一絕緣層和第一布線層,且所述第一布線層上的部分位置穿過(guò)所述第一絕緣層到達(dá)所述犧牲層的表面,形成邦定區(qū),包括:在所述犧牲層上形成所述第一絕緣層;在所述第一絕緣層上開(kāi)設(shè)第一通孔,所述第一通孔到達(dá)所述犧牲層的表面;在所述第一絕緣層上和所述第一通孔內(nèi)形成所述導(dǎo)電連接子層;在所述導(dǎo)電連接子層上形成所述金屬導(dǎo)電子層。

      16、本技術(shù)的有益效果是:區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù),本技術(shù)提供一種顯示面板以及顯示面板的制作方法,通過(guò)設(shè)置穿過(guò)柔性襯底層的連接件來(lái)使薄膜晶體管層與第一布線層電連接,并且通過(guò)將第一布線層上的部分位置穿過(guò)第一絕緣層形成邦定區(qū),使得可以在邦定區(qū)直接貼附柔性電路板,無(wú)需側(cè)邊走線工藝,由此能夠取消邦定區(qū)域,從而實(shí)現(xiàn)顯示面板的無(wú)邊框顯示并實(shí)現(xiàn)較小拼縫的拼接屏顯示。

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