技術(shù)特征：

1.一種將晶圓分為n份固定尺寸的裝置，其特征在于，包括主框架、氣缸、固定板、活動板、上壓頭和下壓頭，所述主框架頂部開設(shè)有圓孔，圓孔內(nèi)安裝有氣缸，所述氣缸的伸縮桿端部安裝上壓頭；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的將晶圓分為n份固定尺寸的裝置，其特征在于，所述下壓頭表面帶有光源，方便確認待分離區(qū)域晶粒。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的將晶圓分為n份固定尺寸的裝置，其特征在于，所述上壓頭為一硅膠圓盤。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的將晶圓分為n份固定尺寸的裝置，其特征在于，所述下壓頭側(cè)面設(shè)置有螺紋孔，下壓頭與固定柱之間通過螺絲固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的將晶圓分為n份固定尺寸的裝置，其特征在于，所述下沉區(qū)域為在固定板內(nèi)部挖除部分厚度形成，挖除的厚度為固定板厚度的一半。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的將晶圓分為n份固定尺寸的裝置，其特征在于，所述崩環(huán)包括相互嵌套的內(nèi)環(huán)和外環(huán)，所述內(nèi)環(huán)和外環(huán)之間用于卡緊藍膜，所述活動板的圓孔周圍設(shè)置有三個用于固定崩環(huán)的限位柱。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的將晶圓分為n份固定尺寸的裝置，其特征在于，所述下沉區(qū)域的邊緣設(shè)置有刻度。

8.一種基于權(quán)利要求7所述的將晶圓分為n份固定尺寸的裝置的工作方法，其特征在于，包括如下步驟：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種將晶圓分為N份固定尺寸的裝置及其工作方法，屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，主框架頂部開設(shè)有圓孔，圓孔內(nèi)安裝有氣缸，氣缸的伸縮桿端部安裝上壓頭；固定板底部設(shè)置有固定柱，用于安裝不同尺寸的下壓頭；固定板安裝于主框架內(nèi)且位于下壓頭上方，固定板內(nèi)部設(shè)置有一下沉區(qū)域，該下沉區(qū)域中心設(shè)置有孔洞，活動板放置于固定板的下沉區(qū)域內(nèi)，并能夠在下沉區(qū)域內(nèi)活動；活動板中心設(shè)置有一貫穿的圓孔，圓孔上固定設(shè)置有用于夾取藍膜的崩環(huán)。本發(fā)明協(xié)助人工進行固定尺寸晶圓的分離作業(yè)裝置，晶粒直接粘附到藍膜上，提高了粘附效果，且能夠?qū)崿F(xiàn)晶粒的快速分離，并對分離后單個晶粒的快速倒膜，提高對切割后單個晶粒的分離以及倒膜的效率。

技術(shù)研發(fā)人員：解華斌,鄭軍
受保護的技術(shù)使用者：山東浪潮華光光電子股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19