本技術涉及硅片加工，尤其涉及一種硅片固定夾具。

背景技術：

1、硅片一般用作太陽能電池板，在硅片的生產加工過程中，通常需要對硅片表面進行刻蝕操作，刻蝕最簡單最常用分類是：干法刻蝕和濕法刻蝕，顯而易見，它們的區(qū)別就在于濕法使用溶劑或溶液來進行刻蝕，干法刻蝕主要分成三種：金屬刻蝕、介質刻蝕和硅刻蝕；

2、經檢索公開號為cn203391136u的中國專利，公開了一種硅片再加工夾具。

3、上述的技術方案中：夾具的主體結構為直角梯形的平面立體，其下底面和傾斜的側面夾角為135度，夾具的上底面與直角面處設有直角方形凹槽，凹槽的底面與下底面平行，凹槽的兩端設有擋板。本實用新型可以對硅片固定，將硅片在精密磨床上再加工，在不超出規(guī)定標準的前提下，將硅片從不合格硅片變成合格硅片；

4、但是在上述方案中，該技術將硅片卡在夾具內，從兩側將硅片進行固定，這種方式的設置不能對硅片表面進行加工，夾持效果差，硅片結構強度較差，在調節(jié)的過程中，夾具對硅片的點接觸可能造成硅片破碎，硅片由于應用場景的不同，硅片的尺寸頁較較大差異，單一尺寸的夾具并不適用對不同硅片的加工。

5、為此，我們提出一種硅片固定夾具。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型主要是解決上述現(xiàn)有技術所存在的技術問題，提供一種硅片固定夾具。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術方案，一種硅片固定夾具，包括第一基板，其特征在于：所述第一基板一側對稱設置有第二基板，所述第一基板和第二基板上端開設有卡槽，所述第一基板和第二基板內均設置有固定組件，所述固定組件兩端均固定連接有夾具組件，所述夾具組件可貼合在第一基板或第二基板上；

3、固定組件，所述固定組件包括電磁鐵，所述電磁鐵外纏繞有電磁線圈，所述電磁鐵一側設置有第一電磁板，所述電磁鐵另一側設置有第二電磁板，所述第一電磁板和第二電磁板反向一側均與夾具組件固定連接。

4、作為優(yōu)選，所述電磁鐵一側固定連接有第一彈簧，所述第一彈簧與第一電磁板固定連接，所述電磁鐵另一側固定連接有第二彈簧，所述第二彈簧與第二電磁板固定連接。

5、作為優(yōu)選，所述固定組件還包括用于安裝固定組件的安裝槽，所述夾具組件滑動連接在安裝槽內。

6、作為優(yōu)選，所述夾具組件包括連接桿，所述連接桿伸出安裝槽的一端固定連接有彎頭，所述彎頭一端固定連接有固定塊，所述固定塊內轉動連接有橡膠滾筒。

7、作為優(yōu)選，所述第一基板和第二基板之間固定連接有調距組件，所述調距組件包括固定管，所述固定管內開設有螺紋槽。

8、作為優(yōu)選，所述螺紋槽槽內螺紋連接有螺桿，所述螺桿一側固定連接有調節(jié)塊。

9、作為優(yōu)選，所述調節(jié)塊一側固定連接有支撐桿，所述支撐桿轉動連接在固定座內。

10、本實用新型提供了一種硅片固定夾具，與現(xiàn)有技術相比，具有如下改進及優(yōu)點：

11、(1)本實用新型采用固定組件一端夾具組件對硅片進行固定，設置第一基板一側對稱設置有第二基板，第一基板和第二基板上端開設有卡槽，第一基板和第二基板內均設置有固定組件，固定組件兩端均固定連接有夾具組件，夾具組件可貼合在第一基板或第二基板上；固定組件，固定組件包括電磁鐵，電磁鐵外纏繞有電磁線圈，電磁鐵一側設置有第一電磁板，電磁鐵另一側設置有第二電磁板，第一電磁板和第二電磁板反向一側均與夾具組件固定連接,電磁鐵一側固定連接有第一彈簧，第一彈簧與第一電磁板固定連接，電磁鐵另一側固定連接有第二彈簧，第二彈簧與第二電磁板固定連接,固定組件還包括用于安裝固定組件的安裝槽，夾具組件滑動連接在安裝槽內,夾具組件包括連接桿，連接桿伸出安裝槽的一端固定連接有彎頭，彎頭一端固定連接有固定塊，固定塊內轉動連接有橡膠滾筒，將硅片放置在卡槽上，通過電磁線圈通電，對電磁鐵賦予強磁性，電磁鐵吸引第一電磁板和第二電磁板向其靠近，第一電磁板或第二電磁板的靠近帶動夾具組件向內移動，從而將橡膠滾筒移動到硅片上，對硅片進行固定，橡膠滾筒的設置能夠減少與硅片接觸處的壓強，避免壓碎硅片，能夠將硅片表面裸漏出來，便于對硅片表面進行加工，橡膠滾筒的設置能夠保護硅片不被壓碎。

12、(2)本實用新型采用調距組件調節(jié)第一基板和第二基板的間距，設置第一基板和第二基板之間固定連接有調距組件，調距組件包括固定管，固定管內開設有螺紋槽，螺紋槽槽內螺紋連接有螺桿，螺桿一側固定連接有調節(jié)塊，調節(jié)塊一側固定連接有支撐桿，支撐桿轉動連接在固定座內，通過轉動調節(jié)塊，調節(jié)塊的轉動帶動螺桿在固定管內的螺紋槽上移動，從而將螺桿向固定管外側移動，從而增加了第一基板和第二基板的間距，能夠將不同尺寸的硅片放入，對硅片尺寸的適用性好，能夠固定不同尺寸的硅片。

技術特征：

1.一種硅片固定夾具，包括第一基板(10)，其特征在于：所述第一基板(10)一側對稱設置有第二基板(11)，所述第一基板(10)和第二基板(11)上端開設有卡槽(12)，所述第一基板(10)和第二基板(11)內均設置有固定組件(20)，所述固定組件(20)兩端均固定連接有夾具組件(30)，所述夾具組件(30)可貼合在第一基板(10)或第二基板(11)上；

2.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片固定夾具，其特征在于：所述電磁鐵(22)一側固定連接有第一彈簧(24)，所述第一彈簧(24)與第一電磁板(25)固定連接，所述電磁鐵(22)另一側固定連接有第二彈簧(26)，所述第二彈簧(26)與第二電磁板(27)固定連接。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片固定夾具，其特征在于：所述固定組件(20)還包括用于安裝固定組件(20)的安裝槽(21)，所述夾具組件(30)滑動連接在安裝槽(21)內。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種硅片固定夾具，其特征在于：所述夾具組件(30)包括連接桿(31)，所述連接桿(31)伸出安裝槽(21)的一端固定連接有彎頭(32)，所述彎頭(32)一端固定連接有固定塊(33)，所述固定塊(33)內轉動連接有橡膠滾筒(34)。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片固定夾具，其特征在于：所述第一基板(10)和第二基板(11)之間固定連接有調距組件(40)，所述調距組件(40)包括固定管(41)，所述固定管(41)內開設有螺紋槽(42)。

6.根據(jù)權利要求5所述的一種硅片固定夾具，其特征在于：所述螺紋槽(42)槽內螺紋連接有螺桿(43)，所述螺桿(43)一側固定連接有調節(jié)塊(44)。

7.根據(jù)權利要求6所述的一種硅片固定夾具，其特征在于：所述調節(jié)塊(44)一側固定連接有支撐桿(45)，所述支撐桿(45)轉動連接在固定座(46)內。

技術總結
本技術涉及硅片加工技術領域，尤其涉及一種硅片固定夾具，包括包括第一基板，所述第一基板一側對稱設置有第二基板，所述第一基板和第二基板上端開設有卡槽，所述第一基板和第二基板內均設置有固定組件，所述固定組件兩端均固定連接有夾具組件，所述夾具組件可貼合在第一基板或第二基板上。本技術通過電磁線圈通電，對電磁鐵賦予強磁性，電磁鐵吸引第一電磁板和第二電磁板向其靠近，第一電磁板或第二電磁板的靠近帶動夾具組件向內移動，從而將橡膠滾筒移動到硅片上，對硅片進行固定，橡膠滾筒的設置能夠減少與硅片接觸處的壓強，避免壓碎硅片，能夠將硅片表面裸漏出來，便于對硅片表面進行加工，橡膠滾筒的設置能夠保護硅片不被壓碎。

技術研發(fā)人員：張寬寬,胡根生,趙生龍,張廣東
受保護的技術使用者：上海容道社半導體科技有限公司
技術研發(fā)日：20240428
技術公布日：2024/12/19