一種電絕緣結(jié)構(gòu)的電極的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于一種輝光放電電極,具體涉及一種改進(jìn)型電絕緣的電極，可應(yīng)用于大中小型的聚變裝置中的輝光放電清洗。
【背景技術(shù)】
[0002]在聚變領(lǐng)域中，輝光放電清洗，因其操作簡單、能耗小，并能有效地降低氫濃度和部分碳氧雜質(zhì)，而被各裝置廣泛應(yīng)用。在輝光放電期間，電極作為陽極，真空室作為陰極，利用陰極鞘層加速下的正離子轟擊真空室器壁，將吸附在器壁上的雜質(zhì)粒子轟擊出來，再由真空抽氣系統(tǒng)抽出裝置，達(dá)到器壁清洗、鍛煉的目的。但在輝光期間，濺射出的雜質(zhì)粒子出來后可能會再沉積在電極各表面，如積累過多可影響電極與真空室之間的絕緣性能。本發(fā)明就是針對減少雜質(zhì)粒子再沉積在電極各表面，提出一種改進(jìn)型電絕緣的電極。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種電絕緣結(jié)構(gòu)的電極，它能夠減少雜質(zhì)粒子再沉積在電極各表面，提高電極與真空室之間的絕緣性能。
[0004]本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種電絕緣結(jié)構(gòu)的電極，它包括防再沉積支撐塊、電極頭，通過螺栓與螺母將防再沉積支撐塊、電極頭、第一絕緣陶瓷組件和第三絕緣陶瓷組件連接在一起，蝶形墊圈放置在第一絕緣陶瓷組件和第三絕緣陶瓷組件，第二絕緣陶瓷組件安裝在第一絕緣陶瓷組件上，電極頭蓋板點(diǎn)焊在電極頭表面，真空室固定螺栓將電極支撐在真空室內(nèi)。
[0005]所述的再沉積支撐塊與電極頭四周有5mm的間隙，在其內(nèi)凹槽下平面有一定連續(xù)弧度的傾斜面，與電極頭下表面部分接觸面形成最大梯度1.5mm間隙。
[0006]所述的整個防再沉積支撐塊內(nèi)凹槽表面涂有第二絕緣陶瓷涂層和電極頭四周及下表面均勻噴有第一絕緣陶瓷涂層。
[0007]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是，1、減少濺射出的雜質(zhì)粒子沉積在電極各表面；2、提高電極與真空室之間的絕緣性能；3、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、安裝及拆卸方便等。
【附圖說明】
[0008]圖1是為本發(fā)明所提供的一種電絕緣的電極結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]其中:1防再沉積支撐塊；2電極頭，3第一絕緣陶瓷組件，4第二絕緣陶瓷組件，5螺栓，6蝶形墊圈，7電極頭蓋板，8第一絕緣陶瓷涂層，9第二絕緣陶瓷涂層，10第三絕緣陶瓷組件，11螺母，12真空室固定螺栓。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)介紹:
[0011]如圖1所示，一種用于輝光放電電極的電絕緣結(jié)構(gòu)的電極包括防再沉積支撐塊1，電極頭2，絕緣陶瓷組件3、4、10，蝶形墊圈6，螺栓5，電極頭蓋板7，絕緣陶瓷涂層8、9，螺母11，真空室固定螺栓12。
[0012]通過螺栓5與螺母11將防再沉積支撐塊1、電極頭2、第一絕緣陶瓷組件3和第三絕緣陶瓷組件10連接在一起，蝶形墊圈6放置在第一絕緣陶瓷組件3和第三絕緣陶瓷組件10，第二絕緣陶瓷組件4安裝在第一絕緣陶瓷組件3上，電極頭蓋板7點(diǎn)焊在電極頭2表面，真空室固定螺栓12將電極支撐在真空室內(nèi)。
[0013]再沉積支撐塊I與電極頭2四周有5_的間隙，在其內(nèi)凹槽下平面做有一定連續(xù)弧度的傾斜面，與電極頭下表面部分接觸面形成最大梯度1.5mm間隙，整個防再沉積支撐塊I內(nèi)凹槽表面涂有第二絕緣陶瓷涂層9和電極頭2四周及下表面均勻噴有第一絕緣陶瓷涂層8。當(dāng)輝光放電期間，轟擊出來的大量雜質(zhì)粒子只有少部分能通過5_的間隙進(jìn)入防再沉積支撐塊I與電極頭2四周，大部分雜質(zhì)粒子通過真空抽氣系統(tǒng)抽出真空室。由于防再沉積支撐塊I凹槽上表面與電極頭2下表面形成最大梯度1.5mm間隙，最終大部分會沉積在防再沉積支撐塊I凹槽上平面，這樣能有效減少濺射出的雜質(zhì)粒子沉積在電極頭2各表面，提高電極與真空室之間的絕緣性能。
【主權(quán)項】
1.一種電絕緣結(jié)構(gòu)的電極，它包括防再沉積支撐塊(I)、電極頭(2)，其特征在于:通過螺栓(5)與螺母(11)將防再沉積支撐塊(I)、電極頭(2)、第一絕緣陶瓷組件(3)和第三絕緣陶瓷組件(10)連接在一起，蝶形墊圈(6)放置在第一絕緣陶瓷組件(3)和第三絕緣陶瓷組件(10)，第二絕緣陶瓷組件(4)安裝在第一絕緣陶瓷組件(3)上，電極頭蓋板(7)點(diǎn)焊在電極頭(2 )表面，真空室固定螺栓(12 )將電極支撐在真空室內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種電絕緣結(jié)構(gòu)的電極，其特征在于:所述的再沉積支撐塊(I)與電極頭(2)四周有5mm的間隙，在其內(nèi)凹槽下平面有一定連續(xù)弧度的傾斜面，與電極頭(2)下表面部分接觸面形成最大梯度1.5mm間隙。
3.如權(quán)利要求1所述的一種電絕緣結(jié)構(gòu)的電極，其特征在于:所述的整個防再沉積支撐塊(I)內(nèi)凹槽表面涂有第二絕緣陶瓷涂層(9)和電極頭(2)四周及下表面均勻噴有第一絕緣陶瓷涂層(8)。
【專利摘要】本發(fā)明屬于一種輝光放電電極，具體涉及一種改進(jìn)型電絕緣的電極，可應(yīng)用于大中小型的聚變裝置中的輝光放電清洗。它包括防再沉積支撐塊、電極頭，通過螺栓與螺母將防再沉積支撐塊、電極頭、第一絕緣陶瓷組件和第三絕緣陶瓷組件連接在一起，蝶形墊圈放置在第一絕緣陶瓷組件和第三絕緣陶瓷組件，第二絕緣陶瓷組件安裝在第一絕緣陶瓷組件上，電極頭蓋板點(diǎn)焊在電極頭表面，真空室固定螺栓將電極支撐在真空室內(nèi)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：1、減少濺射出的雜質(zhì)粒子沉積在電極各表面；2、提高電極與真空室之間的絕緣性能；3、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、安裝及拆卸方便等。
【IPC分類】H01J17-04
【公開號】CN104658836
【申請?zhí)枴緾N201310597646
【發(fā)明人】徐紅兵, 王明旭, 王銀翹, 蔡立君, 林濤, 盧勇, 韓偉
【申請人】核工業(yè)西南物理研究院
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2013年11月22日