>[0207] 第二區(qū)域62的上表面63向基板10側(cè)傾斜。在圖示的例子中，第二區(qū)域62的上 表面63相對于第二反射鏡層40的上表面48向基板10側(cè)傾斜。
[0208] 圖5是示意地表示面發(fā)光激光器100的俯視圖。在圖5中，為了方便，省略層疊體 2以及樹脂層70以外的部件的圖示。以下，參照圖5對層疊體2以及樹脂層70進(jìn)行詳細(xì)的 說明。
[0209] 俯視時(shí)，Y軸方向上的層疊體2的長度Y2比X軸方向上的層疊體2的長度X2大。 這里，所謂的Y軸方向上的層疊體2的長度Y2,例如，是層疊體2的長度Y2中的最大長度。 在圖5所示的例子中，層疊體2的長度Y2是第一形變賦予部2a的+Y軸方向側(cè)的端部E2a 與第二形變賦予部2b的一Y軸方向側(cè)的端部E2b之間的Y軸方向上的距離。另外，所謂的 X軸方向上的層疊體2的長度X2,例如，是層疊體2的長度X2中的最大長度。在圖5所示 的例子中，層疊體2的長度X2是共振部2c的X軸方向的長度。
[0210] 俯視時(shí)，Y軸方向上的樹脂層70的長度Y70比X軸方向上的樹脂層70的長度X70 大。這里，所謂的Y軸方向上的樹脂層70的長度Y70,例如，是Y軸方向上的樹脂層70的長 度Y70中的最大長度。在圖5所示的例子中，樹脂層70的長度Y70是第一曲線C1的+Y軸 方向側(cè)的端部與第二曲線C2的一Y軸方向側(cè)的端部之間的Y軸方向上的距離。另外，所謂 的X軸方向上的樹脂層70的長度X70,例如，是X軸方向上的樹脂層70的長度X70中的最 大長度。在圖5所示的例子中，樹脂層70的長度X70是第一直線S1與第二直線S2之間的 X軸方向上的距離。
[0211] 這樣，在面發(fā)光激光器100中，俯視時(shí)，層疊體2的長邊方向與樹脂層70的長邊方 向?yàn)橄嗤姆较颍╕軸方向）。由此，在面發(fā)光激光器100中，能夠使激光的偏振方向穩(wěn)定。 后述其理由。
[0212] X軸方向上的共振部2c的長度比X軸方向上的第一形變賦予部2a的長度或者X 軸方向上的第二形變賦予部2b的長度大。這里，所謂的X軸方向上的共振部2c的長度，例 如，是X軸方向上的共振部2c的長度中的最大長度。另外，所謂的X軸方向上的第一形變 賦予部2a的長度，例如，是X軸方向上的第一形變賦予部2a的長度中的最大長度。另外， 所謂的X軸方向上的第二形變賦予部2b的長度，例如，是X軸方向上的第二形變賦予部2b 的長度中的最大長度。
[0213] 俯視時(shí)，樹脂層70的外緣具有第一直線S1、與第一直線S1對置的第二直線S2、與 第一直線S1以及第二直線S2連續(xù)的第一曲線C1、以及與第一曲線C1對置并與第一直線S1 以及第二直線S2連續(xù)的第二曲線C2。第一直線S1與第二直線S2相互平行。在圖示的例 子中，第一直線S1以及第二直線S2與Y軸平行。第一曲線C1以及第二曲線C2例如，具有 相同的曲率。第一曲線C1位于共振部2c的+Y軸方向側(cè)，第二曲線C2位于共振部2c的一 Y軸方向側(cè)。這里，俯視時(shí)，所謂的樹脂層70的外緣，例如，是俯視時(shí)樹脂層70的最外側(cè)的 邊緣。
[0214] 俯視時(shí)，第一形變賦予部2a與第一曲線C1從共振部2c觀察位于同一側(cè)（+Y軸方 向側(cè)）。俯視時(shí)，將第一直線S1與第一曲線C1接觸的端設(shè)為第一端E1，將第二直線S2與 第一曲線C1接觸的端設(shè)為第二端E2的情況下，畫出通過第一端E1和第二端E2的虛擬直 線（第一虛擬直線）LE1 _E2時(shí)，第一形變賦予部2a的端部E2a從虛擬直線LE1 _E2觀察，位于 共振部2c側(cè)（一Y軸方向側(cè)）。即，俯視時(shí)，第一形變賦予部2a不與虛擬直線LE1_E2交叉。 也可以說第一形變賦予部2a的端部E2a是層疊體2的+Y軸方向側(cè)的端。
[0215] 同樣地，俯視時(shí)，第二形變賦予部2b與第二曲線C2從共振部2c觀察位于同一側(cè) (一Y軸方向側(cè)）。這里，俯視時(shí)，將第一直線S1與第二曲線C2接觸的端設(shè)為第三端E3,并 將第二直線S2與第二曲線C2接觸的端設(shè)為第四端E4的情況下，畫出通過第三端E3與第 四端E4的虛擬直線LE3 _E4時(shí)，第二形變賦予部2b的端部E2b從虛擬直線LE3 _E4觀察，位于 共振部2c側(cè)（+Y軸方向側(cè)）。即，俯視時(shí)，第二形變賦予部2b不與虛擬直線LE3_E4交叉。 也可以說第二形變賦予部2b的端部E2b是層疊體2的一Y軸方向側(cè)的端。
[0216] 俯視時(shí)，樹脂層70是關(guān)于通過共振部2c的中心02。的X軸方向的虛擬直線（第三 虛擬直線）LQ2eX線對稱的形狀。另外，俯視時(shí)，樹脂層70是關(guān)于通過共振部2c的中心02。 的Y軸方向的虛擬直線LQ2eY線對稱的形狀。樹脂層70的中心07(|與共振部2c的中心0 2。 例如一致。
[0217] 此外，樹脂層70的平面形狀只要是具有長邊方向的形狀則并不特別限定。樹脂層 70的平面形狀例如，也可以是長邊與Y軸方向平行的長方形。另外，例如，樹脂層70的平面 形狀也可以不是關(guān)于虛擬直線L^X、虛擬直線L&Y線對稱的形狀。另外，共振部2c的中心 〇2c與樹脂層70的中心07。也可以不一致。
[0218] 在面發(fā)光激光器100中，作為基板10,使用了主面為（001)面的（OOl)GaAs基板的 情況下，+X軸方向?yàn)閇1 - 10]方向，+Y軸方向?yàn)閇110]方向。因此，樹脂層70的長邊方向 以及層疊體2的長邊方向?yàn)閇110]方向。另外，第一形變賦予部2a從共振部2c向[110]方 向延伸，第二形變賦予部2b從共振部2c向[一 1 一 10]方向延伸。另外，如圖1所示，面 發(fā)光激光器100的平面形狀（基板10的平面形狀）為長方形（包含正方形），由與[110] 方向平行的兩個(gè)邊、以及與[1 一 10]方向平行的兩個(gè)邊構(gòu)成。
[0219] 此外，樹脂層70的長邊方向以及層疊體2的長邊方向并不限定于[110]方向，例 如，能夠?yàn)?lt; 110 >方向。
[0220] 在面發(fā)光激光器100中，如上述那樣，層疊體2的長邊方向能夠?yàn)?lt; 110 >方向。 由此，能夠使電流狹窄層42的開口部43 (參照圖3)的平面形狀為分別關(guān)于通過開口部43 的中心并與X軸平行的軸、以及通過開口部43的中心并與Y軸平行的軸對稱的形狀。以下， 對其理由進(jìn)行說明。
[0221] 電流狹窄層42通過從層疊體2的側(cè)面開始使半導(dǎo)體層（后述的被氧化層42a)氧 化來形成。在（001)GaAs基板中，< 100 >方向的氧化速度較快。因此，電流狹窄層42的 開口部43的平面形狀從開口部43的中心觀察，追隨[100]方向、[010]方向、[一 100]方 向、[0 - 10]方向上的層疊體2的外緣的形狀。
[0222] 在面發(fā)光激光器100中，層疊體2的長邊方向，即第一形變賦予部2a以及第二形 變賦予部2b延伸的方向?yàn)?lt; 110 >方向（在圖示的例子中，為[110]方向、[一 1 一 10]方 向），所以追隨了 [100]方向、[010]方向、[一 100]方向、以及[0 - 10]方向上的層疊體 2的外緣的形狀的結(jié)果，能夠使電流狹窄層42的開口部43成為分別關(guān)于通過開口部43的 中心的與X軸平行的軸、以及與Y軸平行的軸對稱的形狀。
[0223] 例如，層疊體2的長邊方向，S卩、形變賦予部2a、2b的長邊方向?yàn)?lt; 110 >方向以 外的方向的情況下，開口部43的平面形狀不成為分別關(guān)于通過開口部43的中心并與X軸 平行的軸、以及通過開口部43的中心并與Y軸平行的軸對稱的形狀，而成為扭曲的形狀。
[0224] 在圖3所示的例子中，電流狹窄層42的開口部43的平面形狀為與Y軸方向平行 的對角線比與X軸方向平行的對角線長的菱形。此外，電流狹窄層42的開口部43的平面 形狀也可以是菱形的角、邊具有曲率的形狀。
[0225] 此外，這里，對樹脂層70的長邊方向以及層疊體2的長邊方向?yàn)閇110]方向的例 子進(jìn)行了說明，但只要樹脂層70的長邊方向以及層疊體2的長邊方向一致，則晶面取向并 不特別限定。
[0226] 在上述中，對AlGaAs系的面發(fā)光激光器進(jìn)行了說明，但本發(fā)明的面發(fā)光激光器根 據(jù)振蕩波長，例如，也可以使用GalnP系、ZnSSe系、InGaN系、AlGaN系、InGaAs系、GalnNAs 系、GaAsSb系的半導(dǎo)體材料。
[0227] 面發(fā)光激光器100例如，具有以下的特征。
[0228] 在面發(fā)光激光器100中，俯視時(shí)，Y軸方向上的層疊體2的長度Y2比X軸方向上 的層疊體2的長度X2大，俯視時(shí)，Y軸方向上的樹脂層70的長度Y70比X軸方向上的樹脂 層70的長度X70長。因此，在面發(fā)光激光器100中，由形變賦予部2a、2b以及樹脂層70雙 方賦予活性層30應(yīng)力，能夠使激光的偏振方向穩(wěn)定（參照后述的實(shí)驗(yàn)例）。因此，例如，與 僅以樹脂層70 (或者形變賦予部2a、2b)賦予給活性層30應(yīng)力的情況相比，能夠進(jìn)一步使 激光的偏振方向穩(wěn)定。
[0229] 在面發(fā)光激光器100中，像這樣，能夠使激光的偏振方向穩(wěn)定，所以例如，將面發(fā) 光激光器100作為原子振蕩器的光源使用的情況下，能夠經(jīng)由A/4板，穩(wěn)定地向氣體電池 照射圓偏振光的光。其結(jié)果，能夠提高原子振蕩器的頻率穩(wěn)定度。例如，從面發(fā)光激光器射 出的激光的偏振方向不穩(wěn)定的情況下，存在經(jīng)由A/4板得到的光成為橢圓偏振光的情況、 圓偏振光的旋轉(zhuǎn)方向變動(dòng)的情況。
[0230] 這樣，在面發(fā)光激光器100中，能夠使激光的偏振方向穩(wěn)定，所以能夠經(jīng)由入/4 板，穩(wěn)定地向氣體電池照射圓偏振光的光，能夠提高原子振蕩器的頻率穩(wěn)定性。
[0231] 在面發(fā)光激光器100中，俯視時(shí)，樹脂層70的外緣具有第一直線S1、與第一直線 S1對置的第二直線S2、與第一直線S1以及第二直線S2連續(xù)的第一曲線C1、以及與第一曲 線C1對置并與第一直線S1以及第二直線S2連續(xù)的第二曲線C2。因此，與在第一直線S1 以及第二直線S2和第一曲線C1連續(xù)的位置，第一曲線C1為直線形狀的情況相比，應(yīng)力不 集中。因此，在該位置，不容易產(chǎn)生裂縫。另外，由于相同的理由，在第一直線S1以及第二 直線S2與第二曲線C2連續(xù)的位置，不容易產(chǎn)生裂縫。
[0232] 在面發(fā)光激光器100中，俯視時(shí)，第一形變賦予部2a與第一曲線C1從共振部2c觀 察位于同一側(cè)，俯視時(shí)，將第一直線S1與第一曲線C1接觸的端設(shè)為第一端E1，并將第二直 線S2與第一曲線C1接觸的端設(shè)為第二端E2的情況下，畫出通過第一端E1和第二端E2的 虛擬直線LE1 _E2時(shí)，第一形變賦予部2a的端部E2a從虛擬直線觀察位于共振部2c側(cè)。因 此，即使假設(shè)在第一直線S1以及第二直線S2與第一曲線C1連續(xù)的位置產(chǎn)生了裂縫，但由 于第一形變賦予部2a的端部E2a與該位置相比位于內(nèi)側(cè)亦即共振部2c側(cè)，所以也能夠抑 制該裂縫到達(dá)第一形變賦予部2a。因此，在面發(fā)光激光器100中，能夠提高對層疊體2的保 護(hù)性能。
[0233] 同樣地，在面發(fā)光激光器100中，俯視時(shí)，將第一直線S1與第二曲線C2接觸的端 設(shè)為第三端E3,并將第二直線S2與第二曲線C2接觸的端設(shè)為第四端E4的情況下，畫出通 過第三端E3和第四端E4的虛擬直線LE3 _E4時(shí)，第二形變賦予部2b的端部E2b從虛擬直線 LE3_E4觀察位于共振部2c側(cè)。因此，即使假設(shè)在第一直線S1以及第二直線S2與第二曲線 C2連續(xù)的位置產(chǎn)生了裂縫，也能夠抑制該裂縫到達(dá)第二形變賦予部2b。
[0234] 在面發(fā)光激光器1