面發(fā)光激光器以及原子振蕩器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及面發(fā)光激光器以及原子振蕩器。
【背景技術(shù)】
[0002]面發(fā)光激光器(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting Laser 垂直腔面發(fā)射激光器)例如使用作為利用了作為量子干涉效應之一的CPT(Coherent Populat1nTrapping相干布居俘獲)的原子振蕩器的光源。
[0003]對于面發(fā)光激光器而言，通常，共振器具有各向同性的構(gòu)造，因此從共振器被射出的激光的偏振方向的控制較困難。例如在專利文獻I中記載有面發(fā)光激光器，該面發(fā)光激光器包括形成為與垂直共振器的外側(cè)面接觸，并具有各向異性的應力的絕緣層，通過該各向異性的應力對激光的偏振方向進行控制。
[0004]專利文獻1:日本特開2001-189525號公報
[0005]然而，在專利文獻I所記載的面發(fā)光激光器中，絕緣層僅設置于垂直共振器的側(cè)面。因此，在專利文獻I所記載的面發(fā)光激光器中，存在施加于垂直共振器的應力不充分，無法使激光的偏振方向穩(wěn)定化的情況。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的幾個方式所涉及的目的之一在于提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)偏振方向的穩(wěn)定化的面發(fā)光激光器。另外，本發(fā)明的幾個方式所涉及的目的之一在于提供一種包括上述面發(fā)光激光器的原子振蕩器。
[0007]本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器的特征在于，包括:
[0008]基板；以及
[0009]層疊體，其被設置于上述基板上方，
[0010]上述層疊體包括:被設置于上述基板上方的第一反射鏡層、被設置于上述第一反射鏡層上方的活性層、以及被設置于上述活性層上方的第二反射鏡層，
[0011]在俯視時，上述層疊體具備:具有第一寬度的第一部分、具有第二寬度的第二部分、以及被設置于上述第一部分與上述第二部分之間并具有比上述第一寬度或者上述第二寬度寬的第三寬度的第三部分，
[0012]設置有覆蓋上述第一部分的至少一部分的樹脂層。
[0013]在上述的面發(fā)光激光器中，通過樹脂層的收縮，能夠使由第一部分施加于第三部分的應力增大，從而能夠使第三部分的活性層產(chǎn)生較大的變形。因此，在上述的面發(fā)光激光器中，能夠?qū)崿F(xiàn)激光的偏振方向的穩(wěn)定化。
[0014]此外，在本發(fā)明所涉及的記載中，在將稱為“上方”的詞句例如使用為“在特定的部件(以下，稱為“A”)的“上方”形成其他的特定的部件(以下，稱為“B”)”等的情況下，包括在A上直接形成B的情況與在A上經(jīng)由其他的部件形成B的情況，對此使用稱為“上方”的詞句。
[0015]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0016]上述樹脂層也可以被設置于:上述第一部分的至少上述一部分的上表面；與上述上表面連續(xù)、上述第一部分的至少上述一部分的第一側(cè)面；以及與上述上表面連續(xù)、上述第一部分的至少上述一部分的第二側(cè)面。
[0017]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠?qū)崿F(xiàn)偏振方向的穩(wěn)定化。
[0018]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0019]上述樹脂層也可以覆蓋上述第一部分的上述一部分。
[0020]在上述的面發(fā)光激光器中，連接于用于向活性層注入電流的電極的引出配線能夠與第一部分接觸。因此，在上述的面發(fā)光激光器中，能夠使由電極以及引出配線構(gòu)成的導電部與層疊體的接觸面積增大。由此，能夠使導電部與層疊體的接觸電阻減小。
[0021]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0022]上述樹脂層也可以被設置于:上述第一部分的上述一部分的上表面；與上述上表面連續(xù)、上述第一部分的上述一部分的第一側(cè)面、以及與上述上表面連續(xù)、上述第一部分的上述一部分的第二側(cè)面。
[0023]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠?qū)崿F(xiàn)偏振方向的穩(wěn)定化。
[0024]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0025]上述樹脂層也可以覆蓋上述第一部分的整體。
[0026]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠使由第一部分施加于第三部分的應力更加增大。
[0027]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0028]上述樹脂層也可以被設置于上述第一部分的上表面整體以及上述第一部分的側(cè)面整體。
[0029]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠?qū)崿F(xiàn)偏振方向的穩(wěn)定化。
[0030]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0031]上述樹脂層也可以被設置于上述層疊體的側(cè)面整體、上述第一部分的上表面的至少一部分、以及上述第二部分的上表面的至少一部分。
[0032]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠?qū)崿F(xiàn)偏振方向的穩(wěn)定化。
[0033]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0034]上述第一部分的上述上表面的上述一部分也可以位于上述第一部分的端部，
[0035]上述第二部分的上述上表面的上述一部分位于上述第二部分的端部。
[0036]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠?qū)崿F(xiàn)偏振方向的穩(wěn)定化。
[0037]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0038]上述樹脂層也可以被設置于上述第一部分的上表面整體以及上述第二部分的上表面整體。
[0039]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠使由第一部分以及第二部分施加于第三部分的應力更加增大。
[0040]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0041]上述樹脂層也可以不被設置于上述第三部分的上表面整體，
[0042]在上述第三部分的上表面整體設置有具有開口部的電極。
[0043]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠?qū)崿F(xiàn)偏振方向的穩(wěn)定化。
[0044]本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器的特征在于，也可以包括:
[0045]基板；以及
[0046]層疊體，其被設置于上述基板上方，
[0047]上述層疊體包括:被設置于上述基板上方的第一反射鏡層、被設置于上述第一反射鏡層上方的活性層、以及被設置于上述活性層上方的第二反射鏡層，
[0048]在俯視時，上述層疊體具備:具有第一寬度的第一形變賦予部、具有第二寬度的第二形變賦予部、以及被設置于上述第一形變賦予部與上述第二形變賦予部之間并具有比上述第一寬度或者上述第二寬度寬的第三寬度且使在上述活性層產(chǎn)生的光共振的共振部，
[0049]設置有覆蓋上述第一形變賦予部的至少一部分的樹脂層。
[0050]在上述的面發(fā)光激光器中，通過樹脂層的收縮，能夠使由第一形變賦予部施加于共振部的應力增大，從而能夠使共振部的活性層產(chǎn)生較大的變形。因此，在上述的面發(fā)光激光器中，能夠?qū)崿F(xiàn)激光的偏振方向的穩(wěn)定化。
[0051]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0052]上述樹脂層也可以被設置于:上述第一形變賦予部的至少上述一部分的上表面；與上述上表面連續(xù)、上述第一形變賦予部的至少上述一部分的第一側(cè)面；以及與上述上表面連續(xù)、上述第一形變賦予部的至少上述一部分的第二側(cè)面。
[0053]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠?qū)崿F(xiàn)偏振方向的穩(wěn)定化。
[0054]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0055]上述樹脂層也可以覆蓋上述第一形變賦予部的上述一部分。
[0056]在上述的面發(fā)光激光器中，連接于用于向活性層注入電流的電極的引出配線能夠與第一形變賦予部接觸。因此，在上述的面發(fā)光激光器中，能夠使由電極以及引出配線構(gòu)成的導電部與層疊體的接觸面積增大。由此，能夠使導電部與層疊體的接觸電阻減小。
[0057]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0058]上述樹脂層也可以被設置于:上述第一形變賦予部的上述一部分的上表面；與上述上表面連續(xù)、上述第一形變賦予部的上述一部分的第一側(cè)面；以及與上述上表面連續(xù)、上述第一形變賦予部的上述一部分的第二側(cè)面。
[0059]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠?qū)崿F(xiàn)偏振方向的穩(wěn)定化。
[0060]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0061]上述樹脂層也可以覆蓋上述第一形變賦予部的整體。
[0062]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠使由第一形變賦予部施加于共振部的應力更加增大。
[0063]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0064]上述樹脂層也可以被設置于上述第一形變賦予部的上表面整體以及上述第一形變賦予部的側(cè)面整體。
[0065]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠?qū)崿F(xiàn)偏振方向的穩(wěn)定化。
[0066]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0067]上述樹脂層也可以被設置于上述層疊體的側(cè)面整體、上述第一形變賦予部的上表面的至少一部分、以及上述第二形變賦予部的上表面的至少一部分。
[0068]在上述的面發(fā)光激光器中，能夠?qū)崿F(xiàn)偏振方向的穩(wěn)定化。
[0069]在本發(fā)明所涉及的面發(fā)光激光器中，
[0070]上述第一形變賦予部的上述上表面的上述一部分也可以位于上述第一形變賦予部的端部，
[0071]上述第二形變賦予部的上述上表面的上述一部分位于上