一種2450MHz頻段低外觀品質(zhì)因數(shù)的連續(xù)波磁控管的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及微波加熱設(shè)備配套的真空器件技術(shù)領(lǐng)域，具體而言涉及一種2450MHz 頻段低外觀品質(zhì)因數(shù)的連續(xù)波磁控管。
【背景技術(shù)】
[0002] 現(xiàn)有技術(shù)中，在2450MHz頻段，普通連續(xù)波磁控管為了提高輸出功率，往往忽視 了對(duì)頻率穩(wěn)定性的設(shè)計(jì)，因此磁控管工作時(shí)頻率很不穩(wěn)定。目前，對(duì)2450MHz頻段連續(xù) 波磁控管的頻率控制主要依靠冷測(cè)裝配焊接腔體組合后對(duì)大小隔型帶尺寸的調(diào)整來(lái)控 制，因現(xiàn)有技術(shù)對(duì)頻率的設(shè)計(jì)要求不高，因此在實(shí)際生產(chǎn)中磁控管的頻率離散型較大，在 2450MHz ± 30MHz 左右。
[0003] 隨著微波技術(shù)的不斷發(fā)展，在很多新興領(lǐng)域也得到了應(yīng)用，如微波等離子體技術(shù)。 在微波等離子體應(yīng)用中，如果磁控管的頻率不穩(wěn)定，就會(huì)造成等離子體火炬火焰不集中，直 接降低了物料的加熱溫度和生產(chǎn)效率；同時(shí)，隨著注入鎖頻技術(shù)被引入連續(xù)波磁控管的制 造，現(xiàn)有的磁控管頻率控制遠(yuǎn)不能滿足微波等離子體技術(shù)和注入鎖頻技術(shù)對(duì)磁控管頻率的 技術(shù)要求，即需要達(dá)到2450MHz ± 2. 5MHz。為此，急需一種改進(jìn)的高頻率穩(wěn)定度的連續(xù)波磁 控管，以滿足不同行業(yè)對(duì)連續(xù)波磁控管的特殊需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明目的在于提供一種頻率穩(wěn)定度高、微波泄漏少、安全性能高的2450MHz頻 段低外觀品質(zhì)因數(shù)的連續(xù)波磁控管。
[0005] 為達(dá)成上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下：
[0006] 一種2450MHz頻段低外觀品質(zhì)因數(shù)的連續(xù)波磁控管，包括腔體組合、輸出窗組合、 引線組合和散熱器，其中：
[0007] 所述腔體組合由以下部分組成：圓柱形腔體；位于圓柱形腔體內(nèi)的并呈瓣?duì)罘植?的多個(gè)腔體翼片，腔體翼片的水路結(jié)構(gòu)構(gòu)成V型水路冷卻結(jié)構(gòu)；設(shè)置在圓柱形腔體外周的 水冷套，水冷套內(nèi)圍繞所述圓柱形腔體設(shè)有帶孔的隔水環(huán)；設(shè)置在圓柱形腔體內(nèi)部?jī)啥恕⒂?于增加模式分割度的大、小隔型帶，大隔型帶位于小隔型帶的外周并具有一間隙；插入所述 水冷套內(nèi)并用于冷卻水注入和排出的水管；以及連接在腔體翼片上的輸出天線；
[0008] 所述輸出窗組合與腔體組合的一端連接并形成密封結(jié)構(gòu)，所述輸出天線的另一端 位于所述輸出窗組合的內(nèi)部并且不接觸輸出窗組合的內(nèi)壁；
[0009] 腔體組合的另外一端與所述引線組合焊接，所述引線組合上遠(yuǎn)離腔體組合的位置 焊接有散熱器。
[0010] 進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述腔體翼片在沿所述瓣?duì)罘植挤较虻膬?nèi)部形成有狹孔，所 述腔體翼片之間的狹孔與所述水冷套構(gòu)成水冷卻通道，且相鄰腔體翼片之間的狹孔構(gòu)成所 述V型水路冷卻結(jié)構(gòu)。
[0011] 進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述水管包括進(jìn)水管和出水管，進(jìn)水管插入所述水冷套內(nèi)并 延伸穿過(guò)所述隔水環(huán)，所述出水管插入所述水冷套并向內(nèi)延伸至不超過(guò)所述隔水環(huán)的位 置。
[0012] 進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述大隔型帶與小隔型帶之間的距離值在0. 7mm~0. 8mm。
[0013] 進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述輸出天線的直徑值在4. 5mm~5. 5mm，所述輸出天線在伸 出所述腔體的高度值在39mm~41mm。
[0014] 進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述輸出天線與大隔型帶的間距值為Omm~0. 4mm。
[0015] 進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述輸出窗組合包括蓋和輸出窗，輸出窗為陶瓷材料制作成 一 U形狀結(jié)構(gòu)，該U形結(jié)構(gòu)的開(kāi)口與蓋連接，所述蓋與一下級(jí)靴連接形成密封結(jié)構(gòu)，所述輸 出天線的一端與腔體翼片連接，其另一端伸入該U形結(jié)構(gòu)的開(kāi)口內(nèi)部。
[0016] 進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述引線組合包括引線桿、屏蔽帽、燈絲、上級(jí)靴、扼流筒、支 持筒、定位瓷、瓷筒、上蓋以及排氣管，其中：所述屏蔽帽、燈絲、上級(jí)靴、扼流筒、支持筒、定 位瓷、瓷筒、上蓋圍繞所述引線桿設(shè)置并以該引線桿為中心線，所述燈絲位于兩個(gè)屏蔽帽之 間，所述一個(gè)屏蔽帽卡在所述上級(jí)靴上，上級(jí)靴的另一側(cè)依次固定安裝扼流筒、支持筒以及 位于其內(nèi)部的定位瓷，所述瓷筒與支持筒連接，所述上蓋位于瓷筒的另一端，所述排氣管伸 出所述上蓋。
[0017] 由以上本發(fā)明的技術(shù)方案可知，本發(fā)明所提出的2450MHz頻段低外觀品質(zhì)因數(shù)的 連續(xù)波磁控管，與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果在于：
[0018] 1、采用V型水冷結(jié)構(gòu)，與散熱器結(jié)合，提高散熱效果，優(yōu)化陽(yáng)極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；
[0019] 2、采用陶瓷輸出窗結(jié)構(gòu)，具有耐溫度沖擊，密封性能好等優(yōu)點(diǎn)；
[0020] 3、采用軸向天線輸出結(jié)構(gòu)，提高微波能的輸出效率；
[0021] 4、采用優(yōu)化設(shè)計(jì)的引線結(jié)構(gòu)，頻率穩(wěn)定度高，微波泄漏少，工作穩(wěn)定性好；
[0022] 5、采用優(yōu)化的隔型帶間距設(shè)計(jì)、輸出結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保整個(gè)磁控管的低Qe值、高頻 率穩(wěn)定度和較好的工作穩(wěn)定性。
【附圖說(shuō)明】
[0023] 圖1為本發(fā)明一實(shí)施方式2450MHz頻段低外觀品質(zhì)因數(shù)的連續(xù)波磁控管的結(jié)構(gòu)示 意圖。
[0024] 圖2為圖1實(shí)施例中腔體組合的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025] 圖3為圖1實(shí)施例中腔體組合另一方向的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026] 圖4為圖1實(shí)施例中輸出窗組合的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027] 圖5為圖1實(shí)施例中引線組合的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028] 為了更了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，特舉具體實(shí)施例并配合所附圖式說(shuō)明如下。
[0029] 圖1為本發(fā)明一實(shí)施方式2450MHz頻段低外觀品質(zhì)因數(shù)的連續(xù)波磁控管的結(jié)構(gòu)示 意，其中，一種2450MHz頻段低外觀品質(zhì)因數(shù)的連續(xù)波磁控管，包括腔體組合1、輸出窗組合 2、引線組合3和散熱器4。
[0030] 如圖2,結(jié)合圖3所示，腔體組合由以下部分組成：圓柱形腔體Ia ;位于圓柱形腔 體內(nèi)的并呈瓣?duì)罘植嫉亩鄠€(gè)腔體翼片Ib (如圖2、3)，腔體翼片的水路結(jié)構(gòu)構(gòu)成V型水路冷 卻結(jié)構(gòu)；設(shè)置在圓柱形腔體外周的水冷套lc，水冷套內(nèi)圍繞所述圓柱形腔體設(shè)有帶孔的隔 水環(huán)Id ;設(shè)置在圓柱形腔體內(nèi)部?jī)啥?、用于增加模式分割度的大、小隔型帶（大隔型帶le、 小隔型帶If)，大隔型帶Ie位于小隔型帶If的外周并具有一間隙（如圖3);插入所述水冷 套內(nèi)并用于冷卻水注入和排出的水管Ig ;以及連接在腔體翼片上的輸出天線lh。
[0031] 所述輸出窗組合2與腔體組合1的一端連接并形成密封結(jié)構(gòu)，所述輸出天線Ih的 另一端位于所述輸出窗組合2的內(nèi)部并且不接觸輸出窗組合2的內(nèi)壁；
[0032] 腔體組合1的另外一端與所述引線組合3焊接，所述引線組合3上遠(yuǎn)離腔體組合 1的位置焊接有散熱器4。
[0033] 作為可選的實(shí)施方式，引線組合3與輸出窗組合2分別用大電流釬焊焊接在腔體 組合1的兩端，經(jīng)過(guò)排氣后將排氣管封離，并用高溫錫焊將散熱器4焊接在引線組合上。
[0034] 如圖2和圖3所示，大、小隔型帶表面鍍銀后與腔體2a焊接。輸出天線2h通過(guò)銀 銅焊料與腔體Ia焊接。隔水環(huán)Id焊接在腔體Ia與水冷套Ic之間，水冷套Ic焊接在腔體 Ia外面，水管Ig焊接在隔水環(huán)Id的孔內(nèi)。
[0035] 結(jié)合圖2和圖3所示，作為可選的實(shí)施方式，所述腔體翼片Ib在沿所述瓣?duì)罘植?方向的內(nèi)部形成有狹孔，所述腔體翼片之間的狹孔與所述水冷套構(gòu)成水冷卻通道用于對(duì)磁 控管進(jìn)行散熱，且相鄰腔體翼片Ib之間的狹孔構(gòu)成所述V型水路冷卻結(jié)構(gòu)。
[0036] 如圖3所示，結(jié)合圖1和圖2,所述水管Ig包括進(jìn)水管Ig-I和出水管lg-2,進(jìn)水 管Ig-I插入所述水冷套Ic內(nèi)并延伸穿過(guò)所述隔水環(huán)ld，所述出水管lg-2插入所述水冷 套Ic并向內(nèi)延伸至不超過(guò)所述隔水環(huán)的位置。如此設(shè)計(jì)，可保證充分的冷卻水循環(huán)，增強(qiáng) 水冷的效果。
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