晶圓抽取方法和裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體而言，涉及一種晶圓抽取方法和裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體工廠的生產(chǎn)過(guò)程中，需要對(duì)處理過(guò)的晶圓做實(shí)時(shí)測(cè)量監(jiān)控以保障其良率，例如，經(jīng)過(guò)刻蝕機(jī)臺(tái)處理后的晶圓的下一個(gè)步驟就需要測(cè)量晶圓的厚度和帶寬等，測(cè)量相關(guān)晶圓看是否合格，如有問(wèn)題可以馬上批次或者停機(jī)臺(tái)，達(dá)到實(shí)時(shí)監(jiān)控晶圓的目的。
[0003]但是在測(cè)量的過(guò)程中，出于成本等原因考慮，用戶不可能去測(cè)量所有的晶圓，只能選取有代表性的幾片晶圓來(lái)做測(cè)量，如果這幾片晶圓測(cè)量合格，那就認(rèn)為同一批次的所有晶圓的處理結(jié)果是合格的。
[0004]針對(duì)抽取哪片晶圓作為代表性晶圓，以及抽取多少片晶圓合適，這對(duì)于生產(chǎn)工程師來(lái)說(shuō)是比較復(fù)雜的，例如刻蝕區(qū)的機(jī)臺(tái)處理晶圓，#1、#2、#3、#4、#5五片晶圓經(jīng)過(guò)刻蝕機(jī)臺(tái)A做處理，#6、#7、#8、#9、#10五片晶圓經(jīng)過(guò)刻蝕機(jī)臺(tái)B做處理，如果在測(cè)量機(jī)臺(tái)抽片測(cè)量的時(shí)候抽取了 #1、#3、#5三片晶圓做測(cè)量，即使這三片晶圓的測(cè)量結(jié)果都合格，也很難保證#6?#10晶圓的處理結(jié)果是正常的，因?yàn)樗鼈兪墙?jīng)由不同的機(jī)臺(tái)處理的晶圓。
[0005]怎樣選取合適的晶圓及數(shù)量，使得選取的晶圓以及數(shù)據(jù)能夠判斷所有晶圓的檢測(cè)結(jié)果，這是現(xiàn)有生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)測(cè)量機(jī)制中的難點(diǎn)。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)于某種產(chǎn)品，總是預(yù)先設(shè)置抽出指定位置的晶圓和固定數(shù)量的晶圓。根據(jù)晶圓在晶圓盒中的位置，生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)在測(cè)量站點(diǎn)根據(jù)預(yù)先設(shè)置來(lái)獲取可測(cè)量的晶圓，具體流程圖如圖1所示。從圖1中可以看出，根據(jù)已有的設(shè)置選擇晶圓，主要會(huì)產(chǎn)生如下問(wèn)題:
[0007]1、容易遺漏關(guān)鍵性的晶圓。只能監(jiān)控抽取到的晶圓，監(jiān)控不到別的機(jī)臺(tái)處理的晶圓，如工藝處理的機(jī)臺(tái)存在問(wèn)題，經(jīng)由其處理的晶圓受其影響也可能會(huì)出現(xiàn)問(wèn)題，但系統(tǒng)并沒(méi)有實(shí)時(shí)檢測(cè)到工藝處理的機(jī)臺(tái)存在問(wèn)題，這樣可能導(dǎo)致經(jīng)由該機(jī)臺(tái)的晶圓報(bào)廢。
[0008]2、容易造成重復(fù)測(cè)量。如三片晶圓經(jīng)由同一個(gè)機(jī)臺(tái)處理，只需要選取一片做測(cè)量就可以，如果選取三片，造成重復(fù)測(cè)量，增加了晶圓的生產(chǎn)周期，降低機(jī)臺(tái)的有效利用率。
[0009]3、在測(cè)量中，有些機(jī)臺(tái)屬于輔助性的機(jī)臺(tái)，經(jīng)過(guò)其的晶圓無(wú)需測(cè)量，而現(xiàn)有的選片規(guī)則對(duì)這種情況無(wú)法解決，會(huì)造成無(wú)效測(cè)量。
[0010]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)量晶圓時(shí)抽取晶圓的不能準(zhǔn)確覆蓋機(jī)臺(tái)的問(wèn)題，目前尚未提出有效的解決方案。
[0011]申請(qǐng)內(nèi)容
[0012]本申請(qǐng)的主要目的在于提供一種晶圓抽取方法和裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)量晶圓時(shí)抽取晶圓的不能準(zhǔn)確覆蓋機(jī)臺(tái)的問(wèn)題。
[0013]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本申請(qǐng)的一個(gè)方面，提供了一種晶圓抽取方法。根據(jù)本申請(qǐng)的晶圓抽取方法包括:確定抽取晶圓的機(jī)臺(tái)；獲取晶圓和機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系；根據(jù)晶圓和機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系查找抽取晶圓的機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的晶圓；以及在查找到的晶圓中抽取晶圓。
[0014]進(jìn)一步地，機(jī)臺(tái)為多個(gè)機(jī)臺(tái)，多個(gè)機(jī)臺(tái)包括第一測(cè)量機(jī)臺(tái)、處理機(jī)臺(tái)和第二測(cè)量機(jī)臺(tái)，晶圓在經(jīng)過(guò)第一測(cè)量機(jī)臺(tái)進(jìn)行測(cè)量后，經(jīng)過(guò)處理機(jī)臺(tái)進(jìn)行處理，再經(jīng)過(guò)第二測(cè)量機(jī)臺(tái)進(jìn)行測(cè)量，在查找到的晶圓中抽取晶圓包括:記錄經(jīng)過(guò)第一測(cè)量機(jī)臺(tái)的晶圓信息，得到第一晶圓信息；記錄經(jīng)過(guò)處理機(jī)臺(tái)處理的晶圓的晶圓信息，得到第二晶圓信息；在經(jīng)過(guò)第二測(cè)量機(jī)臺(tái)的晶圓中查找?guī)в械谝痪A信息和第二晶圓信息的晶圓；以及在帶有第一晶圓信息和第二晶圓息的晶圓中抽取晶圓。
[0015]進(jìn)一步地，在查找到的晶圓中抽取晶圓之后，對(duì)抽取的晶圓進(jìn)行測(cè)量，其中，根據(jù)晶圓和機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系查找抽取晶圓的機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的晶圓包括:獲取機(jī)臺(tái)信息與測(cè)量類型的對(duì)應(yīng)關(guān)系；確定待測(cè)量類型；根據(jù)機(jī)臺(tái)信息與測(cè)量類型的對(duì)應(yīng)關(guān)系確定待測(cè)量類型對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)信息；以及查找待測(cè)量類型對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)信息對(duì)應(yīng)的晶圓。
[0016]進(jìn)一步地，機(jī)臺(tái)包括預(yù)定機(jī)臺(tái)，在查找到的晶圓中抽取晶圓之前，晶圓抽取方法還包括:獲取預(yù)定機(jī)臺(tái)的彳目息；根據(jù)晶圓和機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系查找預(yù)定機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的晶圓；以及在預(yù)定機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的晶圓中濾除預(yù)定機(jī)臺(tái)的信息。
[0017]進(jìn)一步地，在查找到的晶圓中抽取晶圓之后，晶圓抽取方法還包括:記錄抽取的晶圓的晶圓跟蹤信息；以及根據(jù)晶圓跟蹤信息對(duì)晶圓的狀態(tài)進(jìn)行跟蹤。
[0018]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本申請(qǐng)的另一方面，提供了一種晶圓抽取裝置。根據(jù)本申請(qǐng)的晶圓抽取裝置包括:確定單兀，用于確定抽取晶圓的機(jī)臺(tái)；第一獲取單兀，用于獲取晶圓和機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系；第一查找單兀，用于根據(jù)晶圓和機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系查找抽取晶圓的機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的晶圓；以及抽取單元，用于在查找到的晶圓中抽取晶圓。
[0019]進(jìn)一步地，機(jī)臺(tái)為多個(gè)機(jī)臺(tái)，多個(gè)機(jī)臺(tái)包括第一測(cè)量機(jī)臺(tái)、處理機(jī)臺(tái)和第二測(cè)量機(jī)臺(tái)，晶圓在經(jīng)過(guò)第一測(cè)量機(jī)臺(tái)進(jìn)行測(cè)量后，經(jīng)過(guò)處理機(jī)臺(tái)進(jìn)行處理，再經(jīng)過(guò)第二測(cè)量機(jī)臺(tái)進(jìn)行測(cè)量，第一查找單元包括:第一記錄模塊，用于記錄經(jīng)過(guò)第一測(cè)量機(jī)臺(tái)的晶圓信息，得到第一晶圓信息；第二記錄模塊，用于記錄經(jīng)過(guò)處理機(jī)臺(tái)處理的晶圓的晶圓信息，得到第二晶圓信息；第一查找模塊，用于在經(jīng)過(guò)第二測(cè)量機(jī)臺(tái)的晶圓中查找?guī)в械谝痪A信息和第二晶圓信息的晶圓；以及抽取模塊，用于在帶有第一晶圓信息和第二晶圓信息的晶圓中抽取晶圓。
[0020]進(jìn)一步地，晶圓抽取裝置包括測(cè)量單元，用于在查找到的晶圓中抽取晶圓之后，對(duì)抽取的晶圓進(jìn)行測(cè)量，第一查找單元包括:獲取模塊，用于獲取機(jī)臺(tái)信息與測(cè)量類型的對(duì)應(yīng)關(guān)系；確定模塊，用于確定待測(cè)量類型；對(duì)應(yīng)模塊，用于根據(jù)機(jī)臺(tái)信息與測(cè)量類型的對(duì)應(yīng)關(guān)系確定待測(cè)量類型對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)信息；以及第二查找模塊，用于查找待測(cè)量類型對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)信息對(duì)應(yīng)的晶圓。
[0021]進(jìn)一步地，機(jī)臺(tái)包括預(yù)定機(jī)臺(tái)，晶圓抽取裝置還包括:第二獲取單元，用于在查找到的晶圓中抽取晶圓之前，獲取預(yù)定機(jī)臺(tái)的信息；第二查找單元，用于根據(jù)晶圓和機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系查找預(yù)定機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的晶圓；以及濾除單元，用于在預(yù)定機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的晶圓中濾除預(yù)定機(jī)臺(tái)的信息。
[0022]進(jìn)一步地，晶圓抽取裝置還包括:記錄單元，用于在查找到的晶圓中抽取晶圓之后，記錄抽取的晶圓的晶圓跟蹤信息；以及跟蹤單元，用于根據(jù)晶圓跟蹤信息對(duì)晶圓的狀態(tài)進(jìn)行跟蹤。
[0023]通過(guò)本申請(qǐng)，采用確定抽取晶圓的機(jī)臺(tái)；獲取晶圓和機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系；根據(jù)所述晶圓和機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系查找所述抽取晶圓的機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的晶圓；以及在查找到的晶圓中抽取晶圓的方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)量晶圓時(shí)抽取晶圓的不能準(zhǔn)確覆蓋機(jī)臺(tái)的問(wèn)題，進(jìn)而達(dá)到了抽取晶圓準(zhǔn)確覆蓋機(jī)臺(tái)的效果。
【附圖說(shuō)明】
[0024]構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本申請(qǐng)的進(jìn)一步理解，本申請(qǐng)的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本申請(qǐng)，并不構(gòu)成對(duì)本申請(qǐng)的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0025]圖1是根據(jù)本申請(qǐng)第一實(shí)施例的晶圓抽取方法的流程圖；
[0026]圖2是根據(jù)本申請(qǐng)第二實(shí)施例的晶圓抽取方法的流程圖；
[0027]圖3是根據(jù)本申請(qǐng)第二實(shí)施例的晶圓抽取方法的流程圖；
[0028]圖4是根據(jù)本申請(qǐng)第一實(shí)施例的晶圓抽取裝置的示意圖；
[0029]圖5是根據(jù)本申請(qǐng)第二實(shí)施例的晶圓抽取裝置的示意圖；以及
[0030]圖6是根據(jù)本申請(qǐng)第三實(shí)施例的晶圓抽取裝置的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0031]需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本申請(qǐng)。
[0032]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本申請(qǐng)方案，下面將結(jié)合本申請(qǐng)實(shí)施例中的附圖，對(duì)本申請(qǐng)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本申請(qǐng)一部分的實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒旧暾?qǐng)中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本申請(qǐng)保護(hù)的范圍。
[0033]需要說(shuō)明的是，本申請(qǐng)的說(shuō)明書和權(quán)利要求書及上述附圖中的術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”等是用于區(qū)別類似的對(duì)象，而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解這樣使用的數(shù)據(jù)在適當(dāng)情況下可以互換，以便這里描述的本申請(qǐng)的實(shí)施例能夠以除了在這里圖示