構(gòu)35中。
[0063]所述半導(dǎo)體襯底11上還形成有第六導(dǎo)電結(jié)構(gòu)46和第九金屬結(jié)構(gòu)29，所述第六導(dǎo)電結(jié)構(gòu)46連接所述第三金屬結(jié)構(gòu)23和第九金屬結(jié)構(gòu)29，所述第九金屬結(jié)構(gòu)29位于第五絕緣結(jié)構(gòu)35中；所述第九金屬結(jié)構(gòu)29還可以位于所述第三絕緣結(jié)構(gòu)33中(圖未示)。
[0064]所述半導(dǎo)體襯底11上還形成有第七導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(圖未示)和第十金屬結(jié)構(gòu)(圖未示)，所述第七導(dǎo)電結(jié)構(gòu)連接所述第二金屬結(jié)構(gòu)22和第十金屬結(jié)構(gòu)，所述第十金屬結(jié)構(gòu)位于所述第二絕緣結(jié)構(gòu)32 (圖未示)，還可以位于第三絕緣結(jié)構(gòu)33中(圖未示)。
[0065]在本實施例中，所述第一金屬結(jié)構(gòu)212、第二金屬結(jié)構(gòu)222、第三金屬結(jié)構(gòu)232、第四金屬結(jié)構(gòu)242和第五金屬結(jié)構(gòu)252均可采用與其他金屬結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)電結(jié)構(gòu)連接的形式進行延伸，從而延長它們對應(yīng)的各個電容的極板的長度。
[0066]如圖5所示的本發(fā)明實施例電容連接電路200的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)在圖4所示的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上增加了第三導(dǎo)電結(jié)構(gòu)43、第六金屬結(jié)構(gòu)26、第四導(dǎo)電結(jié)構(gòu)44、第七金屬結(jié)構(gòu)27、第五導(dǎo)電結(jié)構(gòu)45、第八金屬結(jié)構(gòu)28、第六導(dǎo)電結(jié)構(gòu)46、第九金屬結(jié)構(gòu)29、第七導(dǎo)電結(jié)構(gòu)和第十金屬結(jié)構(gòu)，使所述第一電容C1的第一極板、第一電容C1的第二極板、第二電容C2的第一極板、第二電容C2的第二極板采用兩層金屬結(jié)構(gòu)實現(xiàn)，可提高單位面積的電容密度，節(jié)約所述電容連接電路半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的面積，降低成本。
[0067]以所述第二電容C2的第一極板和第二極板為例。所述第四金屬結(jié)構(gòu)24和第七金屬結(jié)構(gòu)27通過所述第四導(dǎo)電結(jié)構(gòu)44連接，形成所述第二電容C2的第一極板；所述第一金屬結(jié)構(gòu)21和第六金屬結(jié)構(gòu)26通過所述第三導(dǎo)電結(jié)構(gòu)43連接，形成所述第二電容C2的第二極板。
[0068]其中，所述第四金屬結(jié)構(gòu)24、第七金屬結(jié)構(gòu)27、第一金屬結(jié)構(gòu)21和第六金屬結(jié)構(gòu)26的具體設(shè)置方式可以是沿襯底的垂直方向從上到下依次為第四金屬結(jié)構(gòu)24、第七金屬結(jié)構(gòu)27、第六金屬結(jié)構(gòu)26和第一金屬結(jié)構(gòu)21，還可以是沿襯底的垂直方向從上到下依次為第四金屬結(jié)構(gòu)24、第六金屬結(jié)構(gòu)26、第七金屬結(jié)構(gòu)27和第一金屬結(jié)構(gòu)21。在具體實施中，可以設(shè)置每兩層金屬結(jié)構(gòu)之間的間距相等。
[0069]所述第一電容C1的第一極板和第二極板的延伸方式同理，此處不再贅述。
[0070]在具體實施中，可以采用如圖5所示的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)。由于所述第三電容C3、第四電容C4和第五電容C5均為下極板寄生電容，相比所述第一電容C1和第二電容C2，它們的電容值較小。因此，可以僅將所述第一電容C1的第一極板和第二極板以及所述第二電容C2的第一極板和第二極板這四個極板以上述方式進行延伸。其中，所述第六金屬結(jié)構(gòu)26位于所述第四絕緣結(jié)構(gòu)34中，所述第七金屬結(jié)構(gòu)27也位于所述第四絕緣結(jié)構(gòu)34中。并且，所述第二電容C2的第一極板包含的各個金屬結(jié)構(gòu)與所述第二電容C2的第而極板包含的各個金屬結(jié)構(gòu)層疊設(shè)置。具體地，所述層疊設(shè)置為依次設(shè)有第四金屬結(jié)構(gòu)24、第六金屬結(jié)構(gòu)26、第七金屬結(jié)構(gòu)27和第一金屬結(jié)構(gòu)21。
[0071]如圖5所示的所述第一電容C1的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)可參照所述第二電容C2，此處不再贅述。
[0072]以上介紹了所述第一電容C1的第一極板、第一電容C2的第二極板、第二電容C2的第一極板、第二電容C2的第二極板采用兩層金屬結(jié)構(gòu)連接而形成。在具體實施中，所述第一電容C1的第一極板、第一電容C2的第二極板、第二電容C2的第一極板、第二電容C2的第二極板還可以采用多層金屬結(jié)構(gòu)連接而形成，以下以三層金屬結(jié)構(gòu)連接形成所述第一電容C1的第一極板、第一電容C2的第二極板、第二電容C2的第一極板、第二電容C2的第二極板為例進行說明。
[0073]如圖6所示，本實施例電容連接電路200的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)還可以包括:
[0074]所述半導(dǎo)體襯底11上還形成有第八導(dǎo)電結(jié)構(gòu)48和第^ 金屬結(jié)構(gòu)211，所述第八導(dǎo)電結(jié)構(gòu)48連接所述第六金屬結(jié)構(gòu)26和第十一金屬結(jié)構(gòu)211，所述第十一金屬結(jié)構(gòu)211位于第四絕緣結(jié)構(gòu)34中；所述第十一金屬結(jié)構(gòu)211還可以位于所述第一絕緣結(jié)構(gòu)31中(圖未不)。
[0075]所述半導(dǎo)體襯底11上還形成有第七導(dǎo)電結(jié)構(gòu)473和第十金屬結(jié)構(gòu)210，所述第七導(dǎo)電結(jié)構(gòu)47連接所述第七金屬結(jié)構(gòu)27和第十金屬結(jié)構(gòu)210，所述第十金屬結(jié)構(gòu)21-位于所述第四絕緣結(jié)構(gòu)34中。
[0076]所述第四金屬結(jié)構(gòu)24、第七金屬結(jié)構(gòu)27和第十金屬結(jié)構(gòu)210通過所述第四導(dǎo)電結(jié)構(gòu)44和第七導(dǎo)電結(jié)構(gòu)47連接形成所述第二電容C2的第一極板；所述第一金屬結(jié)構(gòu)21、第六金屬結(jié)構(gòu)26和第十一金屬結(jié)構(gòu)211通過所述第三導(dǎo)電結(jié)構(gòu)43和第八導(dǎo)電結(jié)構(gòu)48連接，形成所述第二電容C2的第二極板。
[0077]在具體實施中，所述第四金屬結(jié)構(gòu)24、第七金屬結(jié)構(gòu)27、第十金屬結(jié)構(gòu)210、第一金屬結(jié)構(gòu)21、第六金屬結(jié)構(gòu)26和第十一金屬結(jié)構(gòu)211具有多種設(shè)置形式，可參考以上實施例，此處不再贅述。在本實施例中，為了進一步節(jié)約半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的面積，所述第二電容C2的第一極板包含的各個金屬結(jié)構(gòu)與所述第二電容C2的第二極板包含的各個金屬結(jié)構(gòu)可層疊設(shè)置。
[0078]所述第一電容C1的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)可參照所述第二電容C2，此處不再贅述。
[0079]如圖6所示的本發(fā)明實施例電容連接電路200的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)在圖5所示的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上增加了第八導(dǎo)電結(jié)構(gòu)48、第十金屬結(jié)構(gòu)210、第七導(dǎo)電結(jié)構(gòu)47、第十一金屬結(jié)構(gòu)211、第九導(dǎo)電結(jié)構(gòu)49、第十二金屬結(jié)構(gòu)212、第十導(dǎo)電結(jié)構(gòu)410和第十三金屬結(jié)構(gòu)213，使所述第一電容C1的第一極板、第一電容C1的第二極板、第二電容C2的第一極板、第二電容C2的第二極板采用三層金屬結(jié)構(gòu)實現(xiàn)，以此類推也可以采用多層金屬結(jié)構(gòu)實現(xiàn)，可進一步提高單位面積的電容密度，節(jié)約所述電容連接電路半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的面積，降低成本。
[0080]如圖7所示，本發(fā)明還提供一種電容連接電路200的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)實施例，在圖4所示的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，所述第一金屬結(jié)構(gòu)21和所述第二金屬結(jié)構(gòu)22由同一金屬層實現(xiàn)。所述第三金屬結(jié)構(gòu)23和第四金屬結(jié)構(gòu)24由同一金屬層實現(xiàn)。并對所述第一電容C1的第一極板和第二極板以及所述第二電容C2的第一極板和第二極板進行延伸。
[0081]在本實施例中，所述第四金屬結(jié)構(gòu)24、第七金屬結(jié)構(gòu)27和第十金屬結(jié)構(gòu)210通過所述第四導(dǎo)電結(jié)構(gòu)44和第七導(dǎo)電結(jié)構(gòu)47連接，形成所述第二電容C2的第一極板；所述第一金屬結(jié)構(gòu)21、第六金屬結(jié)構(gòu)26和第十一金屬結(jié)構(gòu)211通過所述第三導(dǎo)電結(jié)構(gòu)43和第八導(dǎo)電結(jié)構(gòu)48連接，形成所述第二電容C2的第二極板；第十三金屬結(jié)構(gòu)213和第十四金屬結(jié)構(gòu)214通過第十一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)411連接，形成所述第一電容C1的第一極板；所述第四金屬結(jié)構(gòu)24、第八金屬結(jié)構(gòu)28和第十三金屬結(jié)構(gòu)213通過所述第五導(dǎo)電結(jié)構(gòu)45和第十導(dǎo)電結(jié)構(gòu)410連接，形成所述第一電容C1的第二極板。
[0082]在本實施例中，所述第二電容C2的第一極板包含三層金屬結(jié)構(gòu)，所述第二電容C2的第二極板包含三層金屬結(jié)構(gòu)，且所述第二電容C2的第一極板包含的各個金屬結(jié)構(gòu)與所述第二電容C2的第二極板包含的各個金屬結(jié)構(gòu)層疊設(shè)置。所述第一電容C1的第一極板包含兩層金屬結(jié)構(gòu)，所述第一電容C1的第二極板包含三層金屬結(jié)構(gòu)，且所述第一電容C1的第一極板包含的各個金屬結(jié)構(gòu)與所述第一電容C1的第二極板包含的各個金屬結(jié)構(gòu)層疊設(shè)置。
[0083]本實施例半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的【具體實施方式】請參考以