酸氣堿氣分離裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種氣體分離裝置，尤其涉及半導(dǎo)體工藝的排氣室中將酸氣和堿氣進(jìn)行分離的設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體工藝中的污染來源是蝕刻、清洗過程中所產(chǎn)生的酸性氣體(簡稱酸氣)和堿性氣體(簡稱堿氣)，由排氣系統(tǒng)收集后排放至后續(xù)的處理設(shè)備進(jìn)行處理。由于酸氣和堿氣的處理方式不同，因此需要對污染產(chǎn)生的酸氣和堿氣進(jìn)行分開的處理。而目前并不存在一種簡單有效的可分開輸出酸氣和堿氣的設(shè)備。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]以下給出一個或多個方面的簡要概述以提供對這些方面的基本理解。此概述不是所有構(gòu)想到的方面的詳盡綜覽，并且既非旨在指認(rèn)出所有方面的關(guān)鍵性或決定性要素亦非試圖界定任何或所有方面的范圍。其唯一的目的是要以簡化形式給出一個或多個方面的一些概念以為稍后給出的更加詳細(xì)的描述之序。
[0004]本發(fā)明的目的在于解決上述問題，提供了一種酸氣堿氣分離裝置，可以實現(xiàn)酸堿分離。
[0005]本發(fā)明的技術(shù)方案為:本發(fā)明揭示了一種酸氣堿氣分離裝置，包括:
[0006]基座，基座的側(cè)面設(shè)有一個進(jìn)口、一個酸氣出口和一個堿氣出口 ；
[0007]動力元件；
[0008]轉(zhuǎn)動軸,位于基座內(nèi)部,連接動力元件，在動力元件的作用下轉(zhuǎn)動；
[0009]擋板,和轉(zhuǎn)動軸連成一體,隨著轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)動,視進(jìn)口氣體是酸氣或是堿氣來關(guān)閉堿氣出口或是酸氣出口。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的酸氣堿氣分離裝置的一實施例，動力元件是旋轉(zhuǎn)氣缸。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的酸氣堿氣分離裝置的一實施例，動力元件是氣動馬達(dá)。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的酸氣堿氣分離裝置的一實施例，當(dāng)進(jìn)口氣體是酸氣時，旋轉(zhuǎn)氣缸帶動轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)一個角度，使擋板恰好遮擋住堿氣出口，以使進(jìn)入分離裝置的酸氣從酸氣出口流出。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的酸氣堿氣分離裝置的一實施例，當(dāng)進(jìn)口氣體是堿氣時，旋轉(zhuǎn)氣缸帶動轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)一個角度，使擋板恰好遮擋住酸氣出口，以使進(jìn)入分離裝置的堿氣從堿氣出口流出。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的酸氣堿氣分離裝置的一實施例，旋轉(zhuǎn)氣缸可旋轉(zhuǎn)兩個角度預(yù)設(shè)值，當(dāng)旋轉(zhuǎn)了第一個角度預(yù)設(shè)值時，擋板隨著旋轉(zhuǎn)氣缸的旋轉(zhuǎn)和轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)動，移動至酸氣出口的位置，通過遮擋的方式關(guān)閉酸氣出口，當(dāng)旋轉(zhuǎn)氣缸旋轉(zhuǎn)了第二個角度預(yù)設(shè)值時，擋板隨著旋轉(zhuǎn)氣缸的旋轉(zhuǎn)和轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)動，移動至堿氣出口的位置，通過遮擋的方式關(guān)閉堿氣出□。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的酸氣堿氣分離裝置的一實施例，酸氣堿氣分離裝置適用于半導(dǎo)體制程的排氣室。
[0016]本發(fā)明對比現(xiàn)有技術(shù)有如下的有益效果:本發(fā)明通過設(shè)置一個進(jìn)口和兩個出口(酸氣出口和堿氣出口)，并在裝置內(nèi)部的轉(zhuǎn)動軸上安裝一塊擋板，隨著轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)過一定的角度，使得擋板恰好遮擋住酸氣出口或者堿氣出口，從而使得當(dāng)酸氣從進(jìn)口進(jìn)入裝置時，擋板關(guān)閉堿氣出口，酸氣從開啟的酸氣出口放出，而當(dāng)堿氣從進(jìn)口進(jìn)入裝置時，擋板關(guān)閉酸氣出口，堿氣從開啟的堿氣出口放出。
【附圖說明】
[0017]圖1示出了本發(fā)明的酸氣堿氣分離裝置的較佳實施例的外觀示意圖。
[0018]圖2示出了圖1所示實施例的剖面結(jié)構(gòu)圖。
[0019]圖3示出了圖1所示實施例中的局部結(jié)構(gòu)圖。
【具體實施方式】
[0020]在結(jié)合以下附圖閱讀本公開的實施例的詳細(xì)描述之后，能夠更好地理解本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點。在附圖中，各組件不一定是按比例繪制，并且具有類似的相關(guān)特性或特征的組件可能具有相同或相近的附圖標(biāo)記。
[0021]圖1示出了本發(fā)明的酸氣堿氣分離裝置的較佳實施例的外觀，圖2示出了圖1所示實施例的剖面結(jié)構(gòu)圖，圖3示出了圖1所示實施例中的局部結(jié)構(gòu)圖。請參見圖1至圖3,本實施例的酸氣堿氣分離裝置包括基座1、動力元件(在本實施例中舉例為旋轉(zhuǎn)氣缸2)、轉(zhuǎn)動軸3和擋板4。本實施例的酸氣堿氣分離裝置適用于半導(dǎo)體制程的排氣室。
[0022]基座的側(cè)面設(shè)有一個進(jìn)口 11、一個酸氣出口 12和一個堿氣出口 13。動力元件是驅(qū)動轉(zhuǎn)動軸3轉(zhuǎn)動的組件，可以是本實施例中的旋轉(zhuǎn)氣缸2,也可以是氣動馬達(dá)。轉(zhuǎn)動軸3位于基座1的內(nèi)部，一端連接旋轉(zhuǎn)氣缸2的輸出軸，在旋轉(zhuǎn)氣缸2的動力輸出的作用下轉(zhuǎn)動。
[0023]而擋板4是和轉(zhuǎn)動軸3連成一體的，擋板的形狀如圖3所示，其作用是，隨著轉(zhuǎn)動軸3轉(zhuǎn)動到一個預(yù)設(shè)的角度，擋板4的位置恰好擋住堿氣出口 13或者酸氣出口 12，用以關(guān)閉兩個出口中的其中一個。具體而言，當(dāng)進(jìn)口 11中輸入酸氣時，擋板4擋住的是堿氣出口13，于是輸入的酸氣從酸氣出口 12放出；當(dāng)進(jìn)口 11輸入堿氣時，擋板4擋住的是酸氣出口12,于是輸入的堿氣從堿氣出口 13放出。
[0024]通常，旋轉(zhuǎn)氣缸2可旋轉(zhuǎn)兩個角度預(yù)設(shè)值。當(dāng)輸入的是堿氣，需要從堿氣出口 13放出時，旋轉(zhuǎn)氣缸2旋轉(zhuǎn)第一個角度預(yù)設(shè)值，擋板4就隨著旋轉(zhuǎn)氣缸2帶動轉(zhuǎn)動軸3的轉(zhuǎn)動，移動至酸氣出口 12的位置，通過遮擋的方式關(guān)閉酸氣出口 12，于是輸入的堿氣只能從開啟的堿氣出口 13放出。
[0025]同理，當(dāng)輸入的是酸氣時，需要從酸氣出口 12放出，此時旋轉(zhuǎn)氣缸2旋轉(zhuǎn)了第二個角度預(yù)設(shè)值，擋板4就隨著旋轉(zhuǎn)氣缸2帶動轉(zhuǎn)動軸3的轉(zhuǎn)動，移動至堿氣出口 13的位置，通過遮擋的方式關(guān)閉堿氣出口 13，于是輸入的酸氣只能從開啟的酸氣出口 12放出。
[0026]當(dāng)然，上述的擋板的結(jié)構(gòu)可以做一定的改造或是替換，應(yīng)被視為本發(fā)明的授權(quán)范圍之內(nèi)。用其他的結(jié)構(gòu)組件來替代擋板的方式，本質(zhì)上也是通過一個旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)行切換，以通過一個隔離結(jié)構(gòu)來關(guān)閉兩個出口中的其中一個。
[0027]提供對本公開的先前描述是為使得本領(lǐng)域任何技術(shù)人員皆能夠制作或使用本公開。對本公開的各種修改對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說都將是顯而易見的，且本文中所定義的普適原理可被應(yīng)用到其他變體而不會脫離本公開的精神或范圍。由此，本公開并非旨在被限定于本文中所描述的示例和設(shè)計，而是應(yīng)被授予與本文中所公開的原理和新穎性特征相一致的最廣范圍。
【主權(quán)項】
1.一種酸氣堿氣分離裝置，包括: 基座，基座的側(cè)面設(shè)有一個進(jìn)口、一個酸氣出口和一個堿氣出口 ； 動力元件； 轉(zhuǎn)動軸，位于基座內(nèi)部，連接動力元件，在動力元件的作用下轉(zhuǎn)動； 擋板，和轉(zhuǎn)動軸連成一體，隨著轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)動，視進(jìn)口氣體是酸氣或是堿氣來關(guān)閉堿氣出口或是酸氣出口。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸氣堿氣分離裝置，其特征在于，動力元件是旋轉(zhuǎn)氣缸。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸氣堿氣分離裝置，其特征在于，動力元件是氣動馬達(dá)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的酸氣堿氣分離裝置，其特征在于，當(dāng)進(jìn)口氣體是酸氣時，旋轉(zhuǎn)氣缸帶動轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)一個角度，使擋板恰好遮擋住堿氣出口，以使進(jìn)入分離裝置的酸氣從酸氣出口流出。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的酸氣堿氣分離裝置，其特征在于，當(dāng)進(jìn)口氣體是堿氣時，旋轉(zhuǎn)氣缸帶動轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)一個角度，使擋板恰好遮擋住酸氣出口，以使進(jìn)入分離裝置的堿氣從堿氣出口流出。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的酸氣堿氣分離裝置，其特征在于，旋轉(zhuǎn)氣缸可旋轉(zhuǎn)兩個角度預(yù)設(shè)值，當(dāng)旋轉(zhuǎn)了第一個角度預(yù)設(shè)值時，擋板隨著旋轉(zhuǎn)氣缸的旋轉(zhuǎn)和轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)動，移動至酸氣出口的位置，通過遮擋的方式關(guān)閉酸氣出口，當(dāng)旋轉(zhuǎn)氣缸旋轉(zhuǎn)了第二個角度預(yù)設(shè)值時，擋板隨著旋轉(zhuǎn)氣缸的旋轉(zhuǎn)和轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)動，移動至堿氣出口的位置，通過遮擋的方式關(guān)閉堿氣出口。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的酸氣堿氣分離裝置，其特征在于，酸氣堿氣分離裝置適用于半導(dǎo)體制程的排氣室。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種酸氣堿氣分離裝置，可以實現(xiàn)酸堿分離。其技術(shù)方案為：設(shè)置一個進(jìn)口和兩個出口(酸氣出口和堿氣出口)，并在裝置內(nèi)部的轉(zhuǎn)動軸上安裝一塊擋板，隨著轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)過一定的角度，使得擋板恰好遮擋住酸氣出口或者堿氣出口，從而使得當(dāng)酸氣從進(jìn)口進(jìn)入裝置時，擋板關(guān)閉堿氣出口，酸氣從開啟的酸氣出口放出，而當(dāng)堿氣從進(jìn)口進(jìn)入裝置時，擋板關(guān)閉酸氣出口，堿氣從開啟的堿氣出口放出。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN105321841
【申請?zhí)枴緾N201410365809
【發(fā)明人】吳均, 程成, 金一諾, 王堅, 王暉
【申請人】盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
【公開日】2016年2月10日
【申請日】2014年7月29日