劃片機吸盤圓周平整度調(diào)整裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種機械圓周平整度調(diào)整技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種機械結(jié)構(gòu)與機械傳動于一體的，搭載在劃片機吸盤內(nèi)的劃片機吸盤圓周平整度調(diào)整裝置。該發(fā)明調(diào)節(jié)精度在0.003mm以內(nèi)，它適用于劃片機平臺的吸盤平整度的微調(diào)過程，也可用于其它同類設(shè)備的調(diào)整過程。
【背景技術(shù)】
[0002]砂輪劃片機是加工各種半導體等圓晶基片及其他類似基片的專用切割設(shè)備，它是半導體生產(chǎn)過程中一個重要的裝備，主要用于半導體芯片、熱敏電阻、B超換能頭、太陽能電池等產(chǎn)品的加工。砂輪劃片機是利用微細顆粒金剛石粉末制成的厚度最小為0.02mm的薄片砂輪刀，在0.1?400m/s的切割線速度下，使砂輪刀片沿被切件的分割線切進。有的只切進硅片厚度的一半，然后再采用人工掰斷的方法分開，也有采用切透整個硅片厚度的方法分開。在工控機控制下的X、Υ、Ζ、Θ四個方向微電機的精密驅(qū)動下，通過X、Y、Z向的往復運動以及Θ向的轉(zhuǎn)動，按照預設(shè)的尺寸將大晶園分割，從而得到單個的小管芯。切割過程中需要通過冷卻液來帶走砂輪和工件間接觸區(qū)的摩擦熱、清理砂輪、沖走磨肩和潤滑磨削部位。劃片工作時，砂輪刀片外沿相對于工作平臺的高度，是一個很重要的定位指標。如果這個指標的誤差過大，會影響劃片的加工質(zhì)量，不但會降低生產(chǎn)效率，還會增加制造成本和操作人員的勞動強度。
[0003]目前，國內(nèi)、外的劃片機吸盤圓周平整度的調(diào)整一般使用以下方式:一種是在吸盤下方放置一個圓環(huán)形固定座，既起到固定也起到調(diào)節(jié)作用。在調(diào)整圓周平整度時，通過測量吸盤轉(zhuǎn)動時的外圈跳動量，測試出高度超標的方位，通過研磨該方位下的圓環(huán)形固定座，起到減小高度的作用。然后再將圓環(huán)形固定座安裝固定好，重新測量跳動量，如果吸盤外圓的跳動量符合要求，則停止調(diào)試過程。如果跳動量不符合要求，則按照測量的位置繼續(xù)研磨工序，直到跳動量符合要求。這樣的調(diào)節(jié)方式原理簡單，易操作，但是對操作人員的經(jīng)驗要求較高。如果圓環(huán)形固定座磨掉的部分過大，則此圓環(huán)報廢。
[0004]以上就是吸盤圓周跳動量的調(diào)整方式，都是將吸盤圓周跳動調(diào)節(jié)裝置預先安裝固定好，然后將吸盤放置平穩(wěn)，測量吸盤轉(zhuǎn)動時的圓周跳動量，根據(jù)顯示結(jié)果調(diào)節(jié)相應區(qū)域，獲得符合條件的圓周跳動量。這樣的調(diào)節(jié)方式是利用研磨掉固定座上多余的部分，使得吸盤的相對水平度達到理想標準，這樣的調(diào)節(jié)方法，雖然原理簡單，但對于操作人員的要求過高，一旦研磨過量，零部件就不能繼續(xù)使用，而且研磨后的圓環(huán)形固定座沒有互換性，不能被其他機器上的零部件所代替而且在維修拆裝過后需要重新調(diào)節(jié)，費時費力。在每次研磨后也無法保證重新安裝位置與原位置的準確度，精度不高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供一種機械結(jié)構(gòu)與機械傳動于一體的，搭載在劃片機吸盤內(nèi)的劃片機吸盤圓周平整度調(diào)整裝置。它結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的操作人員要求高、調(diào)節(jié)精度低、磨損易報廢、調(diào)節(jié)耗費時間長等缺陷。
[0006]本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的:一種劃片機吸盤圓周平整度調(diào)節(jié)裝置，它包括有調(diào)節(jié)底座，調(diào)節(jié)平臺，內(nèi)襯鋼板，其特征在于:所述的內(nèi)襯鋼板設(shè)置在圓形調(diào)節(jié)平臺與調(diào)節(jié)底座之間，在內(nèi)襯鋼板與調(diào)節(jié)底座之間均勻分布有三個沿徑向滑動的頂塊，每個頂塊依次通過彈簧、滑塊與設(shè)置在圓形調(diào)節(jié)平臺外側(cè)的精密螺紋副相連接；頂塊與所對應設(shè)置的內(nèi)襯鋼板斜面相貼合，內(nèi)襯鋼板斜面的傾斜角度為3-8°。
[0007]本發(fā)明與內(nèi)襯鋼板斜面相貼合的頂塊傾斜角度與內(nèi)襯鋼板斜面的傾斜角度相對應。
[0008]內(nèi)襯鋼板及調(diào)節(jié)底座通過垂直設(shè)置的緊固銷釘相連接。
[0009]在圓形調(diào)節(jié)底座上對稱設(shè)置有三個沿徑向分布的滑槽，即每個滑槽之間的夾角為120°，頂塊設(shè)置在滑槽內(nèi)。
[0010]其主要技術(shù)特點:本發(fā)明將改變原有的圓周平整度的調(diào)節(jié)方式，利用三個圓周等分均布頂塊，頂塊外側(cè)布置有精密螺紋副，通過調(diào)節(jié)精密螺紋副，可以使滑塊前后滑動，當頂塊在調(diào)節(jié)底座的滑槽內(nèi)滑動時，頂塊的3-8°斜面與內(nèi)襯鋼板的3-8°斜面相結(jié)合，在頂塊向前或向后滑動時，可以在一定程度的頂起內(nèi)襯鋼板連帶這上方的調(diào)節(jié)平臺，使得調(diào)節(jié)平臺能夠在一個方向上微量翹起，根據(jù)三點確定一個平面，結(jié)合三個頂塊聯(lián)合使用，可以起到調(diào)節(jié)圓周平整度的作用。本發(fā)明相比以前的調(diào)節(jié)方式，更加簡便快捷，容易操作等特點。
[0011]該裝置操作容易、調(diào)節(jié)方便，不僅能實現(xiàn)劃片機吸盤圓周跳動量的調(diào)整固定，對劃片機的切割作業(yè)提供可靠的質(zhì)量保障，還能降低維修成本，明顯提升了劃片機的工作效率和減少操作人員的勞動強度。
【附圖說明】
[0012]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步描述。
[0013]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意簡圖。
[0014]圖中主要部件序號說明:1為精密螺紋副，2為滑塊，3為彈簧，4為頂塊，5為圓形調(diào)節(jié)平臺，6為緊固銷釘，7為內(nèi)襯鋼板，8為圓形調(diào)節(jié)底座。
[0015]下面將結(jié)合附圖并通過實例對本發(fā)明作進一步詳細說明，但下述實例僅僅是本發(fā)明的例子而已，并不代表本發(fā)明所限定的權(quán)利保護范圍，本發(fā)明的權(quán)利保護范圍以權(quán)利要求書為準。
【具體實施方式】
[0016]由圖1所示，圖中的8為圓形調(diào)節(jié)底座，5為圓形調(diào)節(jié)平臺，7為內(nèi)襯鋼板，所述的內(nèi)襯鋼板7設(shè)置在圓形調(diào)節(jié)平臺5與圓形調(diào)節(jié)底座8之間，在內(nèi)襯鋼板7與圓形調(diào)節(jié)底座8之間均勻分布有三個沿徑向滑動的頂塊4，在圓形調(diào)節(jié)底座8上對稱設(shè)置有三個沿徑向分布的滑槽，即每個滑槽之間的夾角為120°，所述頂塊4設(shè)置在滑槽內(nèi)；每個頂塊4依次通過彈簧3、滑塊2與設(shè)置在圓形調(diào)節(jié)平臺外側(cè)的精密螺紋副1相連接；頂塊4與所對應設(shè)置的內(nèi)襯鋼板7斜面相貼合，內(nèi)襯鋼板7斜面的傾斜角度為3-8°，而與內(nèi)襯鋼板斜面相貼合的頂塊4傾斜角度與內(nèi)襯鋼板7斜面的傾斜角度相對應。
[0017]所述的圓形調(diào)節(jié)平臺5，內(nèi)襯鋼板7及圓形調(diào)節(jié)底座8通過垂直設(shè)置的緊固銷釘6相連接。
[0018]詳細說明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)組成:該裝置自上而下是由圓形調(diào)節(jié)平臺5、內(nèi)襯鋼板7、圓形調(diào)節(jié)底座8根據(jù)安裝孔布置好，并將滑塊2、彈簧3、頂塊4等零件預先放置在設(shè)計位置，將精密螺紋副1與調(diào)節(jié)平臺5連接好，并且檢驗其工作的可靠性，最后通過緊固銷釘6將裝置整體連接固定。
[0019]本發(fā)明是利用三個圓周等分均布的頂塊4，頂塊外側(cè)通過彈簧3、滑塊2布置有精密螺紋副1，通過調(diào)節(jié)精密螺紋副1，使滑塊前后滑動，當頂塊4在調(diào)節(jié)底座的滑槽內(nèi)滑動時，頂塊的3-8°斜面與內(nèi)襯鋼板的3-8°斜面相結(jié)合，在頂塊向前或向后滑動時，可以在一定程度的頂起內(nèi)襯鋼板連帶這上方的調(diào)節(jié)平臺，使得調(diào)節(jié)平臺能夠在一個方向上微量翹起，將精密螺紋副旋出后，滑塊在彈簧的作用下向后移動，則頂起量恢復為0，以此過程來調(diào)節(jié)平臺的平整度，根據(jù)三點確定一個平面，并根據(jù)“三點確定平面”原理，結(jié)合三個頂塊聯(lián)合使用，可以起到本發(fā)明調(diào)節(jié)圓周平整度的作用。
【主權(quán)項】
1.一種劃片機吸盤圓周平整度調(diào)節(jié)裝置，它包括有調(diào)節(jié)底座，調(diào)節(jié)平臺，內(nèi)襯鋼板，其特征在于:所述的內(nèi)襯鋼板設(shè)置在圓形調(diào)節(jié)平臺與調(diào)節(jié)底座之間，在內(nèi)襯鋼板與調(diào)節(jié)底座之間均勻分布有三個沿徑向滑動的頂塊，每個頂塊依次通過彈簧、滑塊與設(shè)置在圓形調(diào)節(jié)平臺外側(cè)的精密螺紋副相連接；頂塊與所對應設(shè)置的內(nèi)襯鋼板斜面相貼合，內(nèi)襯鋼板斜面的傾斜角度為3-8°。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃片機吸盤圓周平整度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:與內(nèi)襯鋼板斜面相貼合的滑塊傾斜角度與內(nèi)襯鋼板斜面的傾斜角度相對應。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃片機吸盤圓周平整度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述的調(diào)節(jié)平臺，內(nèi)襯鋼板及調(diào)節(jié)底座通過垂直設(shè)置的緊固銷釘相連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃片機吸盤圓周平整度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:在圓形調(diào)節(jié)底座上對稱設(shè)置有三個沿徑向分布的滑槽，頂塊設(shè)置在滑槽內(nèi)。
【專利摘要】一種劃片機吸盤圓周平整度調(diào)節(jié)裝置，它包括有調(diào)節(jié)底座，調(diào)節(jié)平臺，內(nèi)襯鋼板，其技術(shù)要點是：所述的內(nèi)襯鋼板設(shè)置在圓形調(diào)節(jié)平臺與調(diào)節(jié)底座之間，在內(nèi)襯鋼板與調(diào)節(jié)底座之間均勻分布有三個沿徑向滑動的頂塊，每個頂塊依次通過彈簧、滑塊與設(shè)置在圓形調(diào)節(jié)平臺外側(cè)的精密螺紋副相連接；頂塊與所對應設(shè)置的內(nèi)襯鋼板斜面相貼合，內(nèi)襯鋼板斜面的傾斜角度為3-8°。通過調(diào)節(jié)精密螺紋副帶動滑塊的移動，滑塊的移動能夠?qū)崿F(xiàn)平臺的微量頂起，調(diào)節(jié)圓周均布的三個精密螺紋副可以實現(xiàn)調(diào)節(jié)圓周平面平整度的工作。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的工作費時費力、人員工作經(jīng)驗要求高等缺陷。其操作容易、調(diào)節(jié)方便，而且顯著提高工作效率和減少操作人員的勞動強度。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN105374718
【申請?zhí)枴緾N201510880367
【發(fā)明人】張明松, 韓乃波, 郭曉婷, 李東旭, 韓龍, 馬巖, 葉琳琳, 張聰
【申請人】沈陽儀表科學研究院有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年12月4日