基板處理裝置、基板處理方法以及基板處理系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對(duì)基板進(jìn)行處理的基板處理裝置、基板處理方法以及基板處理系統(tǒng)。作為成為處理對(duì)象的基板，包括例如半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用基板、等離子體顯示器用基板、FED(Field Emiss1n Display:場(chǎng)發(fā)射顯示器)用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太陽電池用基板等。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體裝置和液晶顯示裝置等制造工序中，對(duì)半導(dǎo)體晶片和液晶顯示裝置用玻璃基板等的基板進(jìn)行包含清洗處理、熱處理、成膜處理、蝕刻處理、抗蝕劑涂敷處理、曝光處理、以及顯影處理中的2個(gè)以上的多個(gè)工序。
[0003]在專利文獻(xiàn)1中公開了進(jìn)行成膜處理的成膜處理裝置、清洗通過成膜處理裝置進(jìn)行成膜處理后的基板的清洗裝置、在成膜處理裝置和清洗裝置之間交接基板的中間交接部、將容納多張基板的基板搬送用盒向成膜處理裝置搬送的盒搬送裝置。由成膜處理裝置處理過的基板經(jīng)由中間交接部搬送到清洗裝置，并由清洗裝置清洗。清洗裝置具有放置基板搬送用盒的搬入搬出工作臺(tái)。清洗裝置對(duì)從中間交接部搬入的基板進(jìn)行清洗，并對(duì)從清洗裝置的搬入搬出工作臺(tái)上的盒搬出的基板進(jìn)行清洗。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開平10-321575號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明所要解決的問題
[0008]如專利文獻(xiàn)1所記載那樣，為了提高基板的品質(zhì)，想要縮短在某個(gè)基板處理裝置結(jié)束基板的處理至在其他基板處理裝置開始基板的處理的時(shí)間。例如，在專利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)中考慮有如下情況:在從盒搬出的基板的搬送或處理在清洗裝置執(zhí)行時(shí)，追加基板從中間交接部搬入到清洗裝置。在該情況下，由于基板搬送機(jī)構(gòu)和清洗單元等的清洗裝置的資源被用于從盒搬出的基板，所以導(dǎo)致追加基板的處理開始時(shí)刻超過處理開始期限，使基板的品質(zhì)下降。
[0009]因此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于，能夠在處理開始期限以前開始基板的處理的基板處理裝置、基板處理方法以及基板處理系統(tǒng)。
[0010]用于解決問題的手段
[0011]用于實(shí)現(xiàn)所述目的的本發(fā)明的一實(shí)施方式提供一種基板處理裝置，與中間裝置連接，該中間裝置在對(duì)基板進(jìn)行處理的第一基板處理裝置的外部直接支撐由所述第一基板處理裝置處理過的基板的狀態(tài)下，搬送該基板，該基板處理裝置包括:
[0012]多個(gè)第二加載口，分別保持能夠容納多張基板的多個(gè)運(yùn)送器，
[0013]直接搬入口，接受從所述中間裝置搬入的基板，
[0014]多個(gè)第二處理單元，對(duì)從所述多個(gè)第二加載口以及所述直接搬入口中的至少一方搬送來的基板進(jìn)行處理，
[0015]第二搬送單元，在所述多個(gè)第二加載口、所述直接搬入口和所述多個(gè)第二處理單元之間搬送基板，
[0016]第二控制裝置，對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行控制。
[0017]所述第二控制裝置執(zhí)行:
[0018]第一步驟，作成第一計(jì)劃，該第一計(jì)劃包括第一搬入工序、第一處理工序和第一搬出工序，在所述第一搬入工序中，使所述第二搬送單元將基板從所述多個(gè)第二加載口向所述多個(gè)第二處理單元搬送，
[0019]在所述第一處理工序中，使所述多個(gè)第二處理單元對(duì)搬送到所述多個(gè)第二處理單元的基板進(jìn)行處理，
[0020]在所述第一搬出工序中，使所述第二搬送單元將由所述多個(gè)第二處理單元處理過的基板從所述多個(gè)第二處理單元向所述多個(gè)第二加載口搬送；
[0021 ]第二步驟，作成第二計(jì)劃，該第二計(jì)劃包括第二搬入工序、第二處理工序、以及第二搬出工序，所述第二搬入工序、所述第二處理工序、以及所述第二搬出工序中的至少一個(gè)與所述第一搬入工序、第一處理工序、以及第一搬出工序中的至少一個(gè)同時(shí)執(zhí)行，在所述第二搬入工序中，使所述第二搬送單元將由所述第一基板處理裝置處理過的基板從所述直接搬入口向所述多個(gè)第二處理單元搬送，
[0022]在所述第二處理工序，使所述多個(gè)第二處理單元對(duì)搬送到所述多個(gè)第二處理單元的基板進(jìn)行處理，在所述第二搬出工序中，使所述第二搬送單元將由所述多個(gè)第二處理單元處理過的基板從所述多個(gè)第二處理單元向所述多個(gè)第二加載口搬送；
[0023]第三步驟，判斷所述第二計(jì)劃所計(jì)劃的基板的處理開始預(yù)想時(shí)刻是否在應(yīng)該由所述基板處理裝置對(duì)由所述第一基板處理裝置處理過的基板進(jìn)行處理的處理開始期限以前；
[0024]第四步驟，在所述第三步驟中所述處理開始預(yù)想時(shí)刻在所述處理開始期限之后的情況下，以所述處理開始預(yù)想時(shí)刻變?yōu)樗鎏幚黹_始期限以前的方式變更所述第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃，使所述基板處理裝置執(zhí)行變更后的所述第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃；
[0025]第五步驟，在所述第三步驟中所述處理開始預(yù)想時(shí)刻在所述處理開始期限以前的情況下，不變更所述第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃而使所述基板處理裝置執(zhí)行所述第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃。
[0026]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，第二控制裝置以運(yùn)送器內(nèi)的基板從第二加載口搬送到第二處理單元，由第二處理單元處理過的基板從第二處理單元搬送到第二加載口的方式作成第一計(jì)劃。進(jìn)而，第二控制裝置以由第一基板處理裝置處理過的基板從直接搬入口搬送到第二處理單元，由第二處理單元處理過的基板從第二處理單元搬送到第二加載口的方式作成第二計(jì)劃。第二控制裝置以第二計(jì)劃所包含的至少一個(gè)工序與第一計(jì)劃所包含的至少一工序同時(shí)執(zhí)行的方式作成第二計(jì)劃。
[0027]第二控制裝置在作成第二計(jì)劃后，判斷第二計(jì)劃所計(jì)劃的基板的處理開始預(yù)想時(shí)刻是否在應(yīng)該由基板處理裝置對(duì)由第一基板處理裝置處理過的基板進(jìn)行處理的處理開始期限以前。如果處理開始預(yù)想時(shí)刻在處理開始期限以前，則第二控制裝置使基板處理裝置執(zhí)行起初的第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃(在第一步驟以及第二步驟作成的第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃)。另一方面，如果處理開始預(yù)想時(shí)刻在處理開始期限之后的情況下，第二控制裝置以處理開始預(yù)想時(shí)刻變?yōu)樘幚黹_始期限以前的方式變更起初的第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃，使基板處理裝置執(zhí)行變更后的第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃。由此，能夠在處理開始期限以前開始第二計(jì)劃所計(jì)劃的基板的處理，能夠防止基板的品質(zhì)下降。
[0028]所述第二步驟可以是在由所述第一基板處理裝置處理過的基板到達(dá)所述中間裝置后作成所述第二計(jì)劃的步驟。
[0029]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在由第一基板處理裝置處理過的基板到達(dá)中間裝置后作成第二計(jì)劃。第二計(jì)劃所計(jì)劃的基板的處理開始預(yù)想時(shí)刻是在基板處理裝置開始基板的處理的預(yù)想時(shí)刻。也就是說，搬送機(jī)械手等的裝置實(shí)施某個(gè)動(dòng)作實(shí)際所需的時(shí)間和認(rèn)為實(shí)施該動(dòng)作所需的預(yù)想時(shí)間存在差，因此難以預(yù)想實(shí)際開始處理的準(zhǔn)確的時(shí)間。特別是，當(dāng)基板W的搬送距離長時(shí)，不確定主要原因增加，實(shí)際所需的時(shí)間和預(yù)想時(shí)間之差變大，處理開始預(yù)想時(shí)刻的準(zhǔn)確度降低。因此，在基板W到中間裝置到達(dá)后、即在基板W接近第二基板處理裝置，基板W的搬送距離變短后作成第二計(jì)劃，從而能夠提高處理開始預(yù)想時(shí)刻的精度。由此，由于能夠?qū)⒏鼫?zhǔn)確的處理開始預(yù)想時(shí)刻與處理開始期限比較，所以能夠在處理開始期限以前開始第二計(jì)劃所計(jì)劃的基板W的處理。
[0030]所述基板處理裝置還可以包括使基板退避的退避單元。所述第四步驟可以是如下步驟，即，在所述第三步驟中所述處理開始預(yù)想時(shí)刻在所述處理開始期限之后的情況下，以基板從所述多個(gè)第二加載口經(jīng)由所述退避單元搬送到所述多個(gè)第二處理單元的方式變更所述第一計(jì)劃，并且以將從所述直接搬入口搬入的基板搬入到預(yù)定以變更前的所述第一計(jì)劃對(duì)基板進(jìn)行處理的所述第二處理單元的方式變更所述第二計(jì)劃，由此，以所述處理開始預(yù)想時(shí)刻變?yōu)樗鎏幚黹_始期限以前的方式使所述處理開始預(yù)想時(shí)刻提前，使所述基板處理裝置執(zhí)行變更后的所述第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃。優(yōu)選退避單元配置在從第二加載口或直接搬入口向多個(gè)第二處理單元搬送的基板的搬送路徑(在基板處理裝置內(nèi)的搬送路徑)外。
[0031]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在處理開始預(yù)想時(shí)刻在處理開始期限之后的情況下，第二控制裝置以基板經(jīng)由退避單元從多個(gè)第二加載口向多個(gè)第二處理單元搬送的方式變更起初的第一計(jì)劃。進(jìn)而，第二控制裝置以從直接搬入口搬入的基板搬入預(yù)定以變更前的第一計(jì)劃對(duì)基板進(jìn)行處理的第二處理單元的方式變更起初的第二計(jì)劃，由此，以處理開始預(yù)想時(shí)刻變?yōu)樘幚黹_始期限以前的方式使處理開始預(yù)想時(shí)刻提前。并且，第二控制裝置使基板處理裝置執(zhí)行變更后的第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃。由此，與第二計(jì)劃對(duì)應(yīng)的基板的處理比與第一計(jì)劃對(duì)應(yīng)的基板的處理優(yōu)先，在處理開始期限以前開始與第二計(jì)劃對(duì)應(yīng)的基板的處理。
[0032]所述第二控制裝置還可以執(zhí)行第六步驟，根據(jù)檢查單元的檢查結(jié)果設(shè)定基板處理?xiàng)l件，該檢查單元在由所述第一基板處理裝置處理過的基板搬入所述基板處理裝置之前檢查該基板。所述第二步驟可以是以在所述第二處理工序中以所述基板處理?xiàng)l件對(duì)基板進(jìn)行處理的方式作成所述第二計(jì)劃的步驟。
[0033]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，根據(jù)檢查單元的檢查結(jié)果來設(shè)定基板處理?xiàng)l件，該檢查單元在由第一基板處理裝置處理的基板搬入基板處理裝置之前檢查該基板的品質(zhì)。并且，第二控制裝置以第二處理單元以與檢查結(jié)果相應(yīng)的基板處理?xiàng)l件對(duì)基板進(jìn)行處理的方式作成第二計(jì)劃。因此，能夠以與基板的品質(zhì)相應(yīng)的條件處理基板，并能夠提高清潔度等的基板的品質(zhì)。
[0034]所述第六步驟可以是根據(jù)在所述第一基板處理裝置以及中間裝置中的一方設(shè)置的所述檢查單元的檢查結(jié)果來設(shè)定所述基板處理?xiàng)l件的步驟。
[0035]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，檢查單元設(shè)置在第一基板處理裝置以及中間裝置中的一方，由第一基板處理裝置處理過的基板的品質(zhì)由第一基板處理裝置以及中間裝置中的一方檢查。在檢查單元設(shè)置于第一基板處理裝置以及中間裝置以外的裝置的情況下，需要將基板搬送到第一基板處理裝置以及中間裝置外，產(chǎn)生相應(yīng)的多余的搬送時(shí)間。因此，通過在第一基板處理裝置以及中間裝置中的一方設(shè)置檢查單元，能夠縮短從第一基板處理裝置至基板處理裝置的基板的搬送時(shí)間。
[0036]本發(fā)明的其他實(shí)施方式提供一種基板處理方法，由基板處理裝置執(zhí)行，該基板處理裝置與中間裝置連接，該中間裝置在對(duì)基板進(jìn)行處理的第一基板處理裝置的外部直接支撐由所述第一基板處理裝置處理過的基板的狀態(tài)下，搬送該基板，
[0037]該基板處理裝置具有:
[0038]多個(gè)第二加載口，分別保持能夠容納多張基板的多個(gè)運(yùn)送器，
[0039]直接搬入口，接受從所述中間裝置搬入的基板，
[0040]多個(gè)第二處理單元，對(duì)從所述多個(gè)第二加載口以及所述直接搬入口中的至少一方搬送來的基板進(jìn)行處理，
[0041 ]第二搬送單元，在所述多個(gè)第二加載口、所述直接搬入口和所述多個(gè)第二處理單元之間搬送基板，
[0042]第二控制裝置，對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行控制。
[0043]該基板處理方法包括:
[0044]第一步驟，作成第一計(jì)劃，該第一計(jì)劃包括第一搬入工序、第一處理工序和第一搬出工序，在所述第一搬入工序中，使所述第二搬送單元將基板從所述多個(gè)第二加載口向所述多個(gè)第二處理單元搬送，
[0045]在所述第一處理工序中，使所述多個(gè)第二處理單元對(duì)搬送到所述多個(gè)第二處理單元的基板進(jìn)行處理，
[0046]在所述第一搬出工序中，使所述第二搬送單元將由所述多個(gè)第二處理單元處理過的基板從所述多個(gè)第二處理單元向所述多個(gè)第二加載口搬送；
[0047]第二步驟，作成第二計(jì)劃，該第二計(jì)劃包括第二搬入工序、第二處理工序、以及第二搬出工序，所述第二搬入工序、所述第二處理工序、以及所述第二搬出工序中的至少一個(gè)與所述第一搬入工序、第一處理工序、以及第一搬出工序中的至少一個(gè)同時(shí)執(zhí)行，在所述第二搬入工序中，使所述第二搬送單元將由所述第一基板處理裝置處理過的基板從所述直接搬入口向所述多個(gè)第二處理單元搬送，
[0048]在所述第二處理工序，使所述多個(gè)第二處理單元對(duì)搬送到所述多個(gè)第二處理單元的基板進(jìn)行處理，在所述第二搬出工序中，使所述第二搬送單元將由所述多個(gè)第二處理單元處理過的基板從所述多個(gè)第二處理單元向所述多個(gè)第二加載口搬送；
[0049]第三步驟，判斷所述第二計(jì)劃所計(jì)劃的基板的處理開始預(yù)想時(shí)刻是否在應(yīng)該由所述基板處理裝置對(duì)由所述第一基板處理裝置處理過的基板進(jìn)行處理的處理開始期限以前；
[0050]第四步驟，在所述第三步驟中所述處理開始預(yù)想時(shí)刻在所述處理開始期限之后的情況下，以所述處理開始預(yù)想時(shí)刻變?yōu)樗鎏幚黹_始期限以前的方式變更所述第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃，使所述基板處理裝置執(zhí)行變更后的所述第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃；
[0051]第五步驟，在所述第三步驟中所述處理開始預(yù)想時(shí)刻在所述處理開始期限以前的情況下，不變更所述第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃而使所述基板處理裝置執(zhí)行所述第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃。
[0052]根據(jù)該方法，能夠發(fā)揮與前述的效果相同的效果。
[0053]所述第二步驟可以是在由所述第一基板處理裝置處理過的基板到達(dá)所述中間裝置后作成所述第二計(jì)劃的步驟。根據(jù)該方法，能夠發(fā)揮與前述的效果相同的效果。
[0054]所述基板處理裝置還可以包括使基板退避的退避單元。所述第四步驟可以是如下步驟，即，在所述第三步驟中所述處理開始預(yù)想時(shí)刻在所述處理開始期限之后的情況下，以基板從所述多個(gè)第二加載口經(jīng)由所述退避單元搬送到所述多個(gè)第二處理單元的方式變更所述第一計(jì)劃，并且以將從所述直接搬入口搬入的基板搬入到預(yù)定以變更前的所述第一計(jì)劃對(duì)基板進(jìn)行處理的所述第二處理單元的方式變更所述第二計(jì)劃，由此，以所述處理開始預(yù)想時(shí)刻變?yōu)樗鎏幚黹_始期限以前的方式使所述處理開始預(yù)想時(shí)刻提前，使所述基板處理裝置執(zhí)行變更后的所述第一計(jì)劃以及第二計(jì)劃。根據(jù)該方法，能夠發(fā)揮與前述的效果相同的效果。
[0055]該基板處理方法還可以包括第六步驟，根據(jù)檢查單元的檢查結(jié)果設(shè)定基板處理?xiàng)l件，該檢查單元在由所述第一基板處理裝置處理過的基板搬入所述基板處理裝置之前檢查該基板。所述第二步驟可以是以在所述第二處理工序中以所述基板處理?xiàng)l件對(duì)基板進(jìn)行處理的方式作成所述第二計(jì)劃的步驟。根據(jù)該方法，能夠發(fā)揮與前述的效果相同的效果。
[0056]所述第六步驟可以是根據(jù)在所述第一基板處理裝置以及中間裝置中的一方設(shè)置的所述檢查單元的檢查結(jié)果來設(shè)定所述基板處理?xiàng)l件的步驟。根據(jù)該方法，能夠發(fā)揮與前述的效果相同的效果。
[0057]本發(fā)明的又一其他實(shí)施方式提供一種基板處理系統(tǒng)，具有:
[0058]第一基板處理裝置，對(duì)基板進(jìn)行處理；
[0059]所述基板處理裝置；