遵守設(shè)計(jì)規(guī)則的層標(biāo)記的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本揭露涉及半導(dǎo)體晶圓層標(biāo)記。本揭露尤其適用于用于識(shí)別半導(dǎo)體層是否已印刷的文字標(biāo)記、或適用于識(shí)別目前正在分析的層。
【背景技術(shù)】
[0002]每一個(gè)待印刷于半導(dǎo)體晶圓上的設(shè)計(jì)皆包括層標(biāo)記，舉例而言，該等層標(biāo)記用于識(shí)別各層是否已確實(shí)印刷、或用于識(shí)別目前正在分析的層。然而，層標(biāo)記通常包括人類可讀文字，諸如圖1中所示者，其可能違反設(shè)計(jì)規(guī)則。更具體來(lái)說(shuō)，設(shè)計(jì)規(guī)則需要特定幾何限制條件，例如但不局限于:非45°角、非交會(huì)或重迭形狀、以及非面積為零的形狀，因?yàn)檫@些條件會(huì)使缺陷數(shù)增加。由于并非所有設(shè)計(jì)都可維持這些限制條件，所以設(shè)計(jì)手冊(cè)中針對(duì)文字標(biāo)記的一組特定限制條件已預(yù)先定義豁免(waiver)。
[0003]使文字遵守設(shè)計(jì)規(guī)則的常見方法含括變更文字的字型。然而，經(jīng)修改的文字設(shè)計(jì)接著可能無(wú)法讓晶圓技術(shù)人員讀取或仍未遵守設(shè)計(jì)規(guī)則。另外，文字非機(jī)器可讀。
[0004]因此，需要能形成包括文字的層標(biāo)記的方法及器具，該等層標(biāo)記既遵守設(shè)計(jì)規(guī)則又為人類可讀。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本揭露的一態(tài)樣是一種將人類可讀文字變換成印刷在半導(dǎo)體晶圓上的機(jī)器可讀碼的方法。
[0006]本揭露的另一態(tài)樣是一種將人類可讀文字的機(jī)器可讀表示變換回人類可讀文字的方法。
[0007]本揭露的另一態(tài)樣是一種將人類可讀文字的機(jī)器可讀表示變換成遵守設(shè)計(jì)規(guī)則的機(jī)器可讀碼的方法。
[0008]本揭露的另一態(tài)樣是一種在觀察者與半導(dǎo)體晶圓間包括解碼裝置的器具，該半導(dǎo)體晶圓包括人類可讀文字的機(jī)器可讀表示，其中，解碼裝置將機(jī)器可讀表示轉(zhuǎn)換回人類可讀文字。
[0009]本揭露的附加態(tài)樣及其它特征將在以下說(shuō)明中提出，而且所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在審查下文后將部分清楚了解該些態(tài)樣及特征，或可經(jīng)由實(shí)踐本揭露學(xué)習(xí)到該些態(tài)樣及特征。可如隨附權(quán)利要求書中具體指出者實(shí)現(xiàn)并獲得本揭露的優(yōu)點(diǎn)。
[0010]根據(jù)本揭露，某些技術(shù)功效可藉由一種方法而部分達(dá)成，該方法包括:接收包括層標(biāo)記的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)，層標(biāo)記包括人類可讀文字；將人類可讀文字變換成二進(jìn)制表示；將二進(jìn)制表示變換成機(jī)器可讀二維條碼；以及在半導(dǎo)體晶圓上印刷二維條碼。
[0011]本揭露的態(tài)樣包括二維條碼，該二維條碼包含點(diǎn)與線的二維組織。進(jìn)一步態(tài)樣包括線的數(shù)目超過點(diǎn)的數(shù)目，并且半導(dǎo)體設(shè)計(jì)包括金屬層設(shè)計(jì)。其它態(tài)樣包括點(diǎn)的數(shù)目超過線的數(shù)目，并且半導(dǎo)體設(shè)計(jì)包括接觸層設(shè)計(jì)。另一態(tài)樣包括在該二維條碼中包括冗余。一附加態(tài)樣包括該人類可讀文字包括45°角。進(jìn)一步態(tài)樣包括透過顯微鏡檢視該印刷的二維條碼，該顯微鏡在該二維條碼與該觀察者之間包括用于將該二維條碼變換回人類可讀文字的解碼裝置。
[0012]本揭露的另一態(tài)樣是一種方法，該方法包括在顯微鏡底下置放包括層標(biāo)記的半導(dǎo)體晶圓，該層標(biāo)記包含機(jī)器可讀二維條碼，該條碼代表人類可讀文字；透過該顯微鏡中的解碼器具檢視該半導(dǎo)體晶圓；以及將該二維條碼讀取成該人類可讀文字。
[0013]本揭露的另一態(tài)樣是一種器具，該器具包括:光源；晶圓保持器；放大透鏡；解碼裝置，其中，該解碼裝置將人類可讀文字的機(jī)器可讀二維條碼表示轉(zhuǎn)換成該人類可讀文字。
[0014]經(jīng)由以下實(shí)施方式，本揭露的附加態(tài)樣及技術(shù)功效對(duì)于所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員將變得容易明白，其中，本揭露的具體實(shí)施例系藉由所思及的最佳模式舉例簡(jiǎn)單描述而用以實(shí)行本揭露。應(yīng)了解到，本揭露能夠有其它及不同的具體實(shí)施例，而且其數(shù)項(xiàng)細(xì)節(jié)能夠用各種明顯觀點(diǎn)作修改，但全都不會(huì)脫離本揭露。圖式及說(shuō)明內(nèi)容在本質(zhì)上應(yīng)被視為例示性，而非視為限制性。
【附圖說(shuō)明】
[0015]本揭露以附圖舉實(shí)施例來(lái)說(shuō)明而非作為限制，且其中相同的元件符號(hào)指類似元件，并且其中:
[0016]圖1概要說(shuō)明具有可能違反設(shè)計(jì)規(guī)則的文字的層標(biāo)記；
[0017]圖2A根據(jù)一例示性具體實(shí)施例，說(shuō)明用于將人類可讀文字轉(zhuǎn)換成待印刷的機(jī)器可讀文字的程序流程；
[0018]圖2B根據(jù)一例示性具體實(shí)施例，說(shuō)明待印刷于半導(dǎo)體晶圓上的二維條碼；
[0019]圖3根據(jù)一例示性具體實(shí)施例，說(shuō)明用于將印刷條碼讀取成人類可讀文字的程序流程；以及
[0020]圖4根據(jù)一例示性具體實(shí)施例，概要說(shuō)明用于將印刷條碼檢視成人類可讀文字的顯微鏡。
[0021]符號(hào)說(shuō)明
[0022]201步驟
[0023]203步驟
[0024]205步驟
[0025]207步驟
[0026]301步驟
[0027]303步驟
[0028]305步驟
[0029]307步驟
[0030]401晶圓保持器
[0031]403光源
[0032]405反射
[0033]407光焦點(diǎn)
[0034]409放大透鏡
[0035]411準(zhǔn)直儀
[0036]413 解碼裝置
[0037]415使用者。
【具體實(shí)施方式】
[0038]在以下敘述中，為了說(shuō)明，提出許多特定細(xì)節(jié)以便完整了解例示性具體實(shí)施例。然而，應(yīng)該清楚明白未用到這些特定細(xì)節(jié)或利用均等配置也可實(shí)踐例示性具體實(shí)施例。在其它實(shí)例中，為了避免非必要性混淆例示性具體實(shí)施例，眾所周知的結(jié)構(gòu)及裝置是以方塊圖的形式來(lái)展示。另外，除非另有所指，表達(dá)本說(shuō)明書及權(quán)利要求書中所使用的量、比率、以及成分、反應(yīng)條件等等數(shù)值特性的所有數(shù)字在所有實(shí)例中都要理解為是以用語(yǔ)「約」來(lái)修飾。
[0039]本揭露處理并解決目前半導(dǎo)體層標(biāo)記因形成具有文數(shù)文字的層標(biāo)記而違反設(shè)計(jì)規(guī)則或人類無(wú)法讀取的問題。根據(jù)本揭露的具體實(shí)施例，文字是在半導(dǎo)體晶圓上印刷層標(biāo)記前先經(jīng)編碼而為遵守設(shè)計(jì)規(guī)則(design rule clear)。
[0040]根據(jù)本揭露的具體實(shí)施例的方法包括接收包括層標(biāo)記的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)，該層標(biāo)記包括人類可讀文字。將人類可讀文字變換成二進(jìn)制表示，并接著將二進(jìn)制表示變換成機(jī)器可讀二維條