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      一種基于陷阱態(tài)調(diào)控的非易失性多比特微/納米阻變存儲(chǔ)器及使用方法

      文檔序號(hào):9922983閱讀:548來源:國(guó)知局
      一種基于陷阱態(tài)調(diào)控的非易失性多比特微/納米阻變存儲(chǔ)器及使用方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及微/納米材料技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種利用陷阱態(tài)調(diào)控電阻態(tài)的非易失性多比特微/納米阻變存儲(chǔ)器,可在無需構(gòu)筑柵電壓和特殊器件結(jié)構(gòu)的情況下,將根據(jù)不同大小的電信號(hào)進(jìn)行信息的讀取、寫入、存儲(chǔ)及擦除。
      【背景技術(shù)】
      [0002]近年來,在各種新型非易失性存儲(chǔ)器件中,阻變存儲(chǔ)器由于其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、能耗低、響應(yīng)速度快、重復(fù)讀寫性好、信息存儲(chǔ)時(shí)間長(zhǎng)、非破壞性讀取、可拓展組裝及CMOS工藝可兼容等優(yōu)點(diǎn),受到了國(guó)內(nèi)外科學(xué)家廣泛的關(guān)注。電阻開關(guān)效應(yīng)作為阻變存儲(chǔ)器中關(guān)鍵的物理現(xiàn)象,被廣泛的發(fā)現(xiàn)于電解質(zhì)材料、鈣鈦礦材料、透明金屬氧化物中。電阻開關(guān)器件的電流電壓特性曲線隨電壓變化能夠在高阻態(tài)和低阻態(tài)之間快速的轉(zhuǎn)變。雖然電阻開關(guān)效應(yīng)已經(jīng)被清楚的觀察到,然而其機(jī)理仍然在不斷的研究中,目前研究得出的可能導(dǎo)致電阻開關(guān)的機(jī)理有有燈絲效應(yīng)、氧空位迀移、電子躍迀傳導(dǎo)、肖特基隧道調(diào)制、Poole-Frenkel激發(fā)等等。最近研究者在具有電阻開關(guān)效應(yīng)的一維納米材料中觀察到了負(fù)差分電阻效應(yīng)。此外,背對(duì)背的電阻開關(guān)效應(yīng)也在兩端為相同金屬電極的一維納米結(jié)構(gòu)器件中發(fā)現(xiàn),這種效應(yīng)基于表面陷阱態(tài)的對(duì)注入電子的局域作用可長(zhǎng)時(shí)間存儲(chǔ)電荷及電子。為了實(shí)現(xiàn)非易失型阻態(tài)存儲(chǔ)效果,James M.Tour課題組將單壁碳納米管的兩端焊接在Si02/Si襯底上,并在底部構(gòu)建一個(gè)柵電極。在柵電壓的作用下電荷在碳納米管和S12界面被俘獲。這種基于單根一維單壁碳納米管結(jié)構(gòu)的納米器件具有電阻開關(guān)效應(yīng),以及非易失性存儲(chǔ)功能。Ting Yu課題組將單根一維ZnO納米線焊接在鐵電Pb(ZrQ.3TiQ.7)03薄膜上,構(gòu)筑成具有柵電極的場(chǎng)效應(yīng)管(FET),其存儲(chǔ)效果可通過柵電壓有效的被調(diào)控。Wooyoung Shim等人在單根一維Ge/Si核殼納米線上構(gòu)筑兩個(gè)疊加的柵電極,所構(gòu)筑的內(nèi)層的柵電極可控制電阻的開關(guān),外層?xùn)烹姌O具有調(diào)節(jié)阻態(tài)的作用。所構(gòu)筑的器件具有多比特阻變存儲(chǔ)器的效果,同時(shí)其開關(guān)比大,穩(wěn)定時(shí)間長(zhǎng),可被整合應(yīng)用于邏輯電路中Jinghui Cao等在GeSe2摻入Bi形成有序的超結(jié)構(gòu)納米帶。在高電壓下,電子從Bi雜質(zhì)能級(jí)跳躍至導(dǎo)帶,空間電荷極化作用下,躍迀出來的電子局域在空間電荷區(qū)中,而電子躍迀留下空的陷阱一直被保持。這使得由單根GeSe2 = Bi納米帶構(gòu)筑的二端焊接Ag電極納米器件在具有負(fù)差分電阻開關(guān)的同時(shí)還可作為非易失型阻變存儲(chǔ)器。
      [0003]雖然國(guó)內(nèi)外研究者在非易失性阻變存儲(chǔ)器方面已經(jīng)獲得了一些成果,然而為了獲得非易失性多比特存儲(chǔ)性能,研究者在設(shè)計(jì)器件時(shí)會(huì)構(gòu)建柵電壓或設(shè)計(jì)特殊器件結(jié)構(gòu),少數(shù)不需要構(gòu)建柵電壓或特殊器件結(jié)構(gòu)的阻變存儲(chǔ)器也只有兩個(gè)阻態(tài),很難實(shí)現(xiàn)多比特存儲(chǔ)性能。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0004]本發(fā)明提供一種基于陷阱態(tài)調(diào)控的非易失性多比特微/納米阻變存儲(chǔ)器,是一種無需構(gòu)筑柵電壓和特殊器件結(jié)構(gòu)的,非易失性多比特微/納米阻變存儲(chǔ)器,能夠響應(yīng)不同電場(chǎng)信號(hào)并長(zhǎng)時(shí)間存儲(chǔ),可實(shí)現(xiàn)電場(chǎng)信號(hào)的多比特存儲(chǔ)以及克服現(xiàn)有非易失性多比特記憶存儲(chǔ)器對(duì)柵電壓及特殊器件結(jié)構(gòu)的依賴,
      本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的。
      [0005]本發(fā)明所述的一種基于陷阱態(tài)調(diào)控的非易失性多比特微/納米阻變存儲(chǔ)器,包括絕緣襯底(101)、單根Sn元素?fù)诫s的ZnO—維微/納米線(102)、電極一(103)、電極二(104)、導(dǎo)線一(105)、導(dǎo)線二(106)、封裝材料(107)。單根Sn元素?fù)诫s的ZnO—維微/納米線(102)放置在絕緣襯底(101)上,單根Sn元素?fù)诫s的ZnO—維微/納米線(102)兩端分別焊接電極一
      (103)和電極二(104),電極一(103)和電極二(104)分別連接導(dǎo)線一(105)和導(dǎo)線二(106);封裝材料(107)將整個(gè)單根Sn元素?fù)诫s的ZnO—維微/納米線(102)、電極一(103)和電極二
      (104)封裝在絕緣襯底(101)上。
      [0006]優(yōu)選地,所述的單根Sn元素?fù)诫s的ZnO—維微/納米線為ZnO晶格中摻入Sn元素雜質(zhì)缺陷的一維微/納米線。
      [0007]優(yōu)選地,所述絕緣基底為氧化鋁陶瓷基底、氮化鋁陶瓷基底或氮化硅陶瓷基底。
      [0008]優(yōu)選地,所述的金屬電極為鋁、銀或鉑。
      [0009]優(yōu)選地,所述的封裝材料為環(huán)氧樹脂、氨基甲酸乙酯、聚二甲基硅氧烷或聚甲基丙烯酸甲酯。
      [0010]本發(fā)明所述的微/納米阻變存儲(chǔ)器工作時(shí),可將導(dǎo)線一(105)和導(dǎo)線二(106)與函數(shù)功能發(fā)生器(108)連接。
      [0011]本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種使用上述非易失性多比特微/納米阻變存儲(chǔ)器對(duì)不同電場(chǎng)信號(hào)的響應(yīng)、存儲(chǔ)、擦除的方法。
      [0012](I) 一種基于陷阱態(tài)調(diào)控的非易失性多比特微/納米阻變存儲(chǔ)器的信息寫入方法,其特征是在微/納米阻變存儲(chǔ)器兩端電極之間施加1V-10V內(nèi)任一寫入電壓。
      [0013](2)—種基于陷阱態(tài)調(diào)控的非易失性多比特微/納米阻變存儲(chǔ)器的非易失性多比特的存儲(chǔ)方法,其特征是在所述的微/納米阻變存儲(chǔ)器兩端電極之間施加1V-10V內(nèi)任一寫入電壓,然后撤去寫入電壓并施加0.5V讀取電壓。
      [0014](3)—種基于陷阱態(tài)調(diào)控的非易失性多比特微/納米阻變存儲(chǔ)器的信息擦除方法,其特征是在微/納米阻變存儲(chǔ)器兩端電極之間施加1V-10V內(nèi)任一寫入電壓,然后撤去寫入電壓并施加0.5V讀取電壓,再將微/納米阻變存儲(chǔ)器放置于70°C環(huán)境中,隨后放置于室溫環(huán)境中。
      [0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)。
      [0016](I)應(yīng)用上的新突破。本發(fā)明利用陷阱態(tài)中電子的調(diào)制作用,實(shí)現(xiàn)了對(duì)電場(chǎng)信息的響應(yīng)及存儲(chǔ);所述的微/納米阻變存儲(chǔ)器能夠有識(shí)別IV至12V內(nèi)任一電壓,根據(jù)電壓的大小有區(qū)別的將信號(hào)存儲(chǔ)于所述的微/納米阻變存儲(chǔ)器中,實(shí)現(xiàn)多比特存儲(chǔ)性能。
      [0017](2)工藝簡(jiǎn)便、體積小、輕巧便攜、兼容性好。本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器無需構(gòu)建柵電壓和特殊器件結(jié)構(gòu)就可獲得非易失的和多比特的存儲(chǔ)性,簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工序,節(jié)約能源消耗;本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、制作工藝簡(jiǎn)單、成本低廉,且無需特殊的工作環(huán)境,具有很好的環(huán)境兼容性。
      [0018](3)高效利用。本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器無需大規(guī)模、高強(qiáng)度的能量輸入,僅需放置大氣環(huán)境中即可;本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器能夠?qū)㈦妶?chǎng)信號(hào)重復(fù)寫入-存儲(chǔ)-擦除,使阻變存儲(chǔ)器可循環(huán)利用;本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器具有多比特存儲(chǔ)性能,增加了存儲(chǔ)密度,實(shí)現(xiàn)能源的高效利用。
      【附圖說明】
      [0019]圖1為本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器的一種典型結(jié)構(gòu)示意圖。其中,101為絕緣襯底、102為單根Sn元素?fù)诫s的ZnO—維微/納米線、103為電極一、104為電極二、105為導(dǎo)線一、106為導(dǎo)線二、107為封裝材料、108為函數(shù)功能發(fā)生器。
      [0020]圖2為本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器在2¥、4¥、6¥、8¥、10¥電壓寫入后,存儲(chǔ)性能測(cè)試,圖片上部的實(shí)線部分為測(cè)試過程中的電流,圖片下部的虛線部分為測(cè)試過程中的操作電壓。
      [0021]圖3為本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器在2¥、4¥、6¥、8¥、10¥電壓寫入后,電流隨時(shí)間變化圖。
      [0022]圖4為本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器在2V下的重復(fù)讀寫性能測(cè)試曲線,圖片上部的實(shí)線部分為測(cè)試過程中的電流,圖片下部的虛線部分為測(cè)試過程中的操作電壓。
      [0023]圖5為本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器在4V下的重復(fù)讀寫性能測(cè)試曲線,圖片上部的實(shí)線部分為測(cè)試過程中的電流,圖片下部的虛線部分為測(cè)試過程中的操作電壓。
      [0024]圖6為本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器在6V下的重復(fù)讀寫性能測(cè)試曲線,圖片上部的實(shí)線部分為測(cè)試過程中的電流,圖片下部的虛線部分為測(cè)試過程中的操作電壓。
      [0025]圖7為本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器在8V下的重復(fù)讀寫性能測(cè)試曲線,圖片上部的實(shí)線部分為測(cè)試過程中的電流,圖片下部的虛線部分為測(cè)試過程中的操作電壓。
      [0026]圖8為本發(fā)明的微/納米阻變存儲(chǔ)器在1V下的重復(fù)讀寫性能測(cè)試曲線,圖片上部的實(shí)線部分為測(cè)試過程中的電流,圖片下部的虛線部分為測(cè)試過程中的操作電壓。
      【具體實(shí)施方式】
      [0027]下面將結(jié)合實(shí)施例和附圖,對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然,所描述的實(shí)施例僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例,基于本發(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)范圍。
      [0028]其次,本發(fā)明結(jié)合示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述,在詳述本發(fā)明實(shí)施例時(shí),為便于說明,所述示意圖只是示例,其在此不應(yīng)限制本發(fā)明保護(hù)的范圍。
      [0029]本發(fā)明提供一種微/納米阻變存儲(chǔ)器,在無需柵壓和特殊器件結(jié)構(gòu)的情況下,能夠響應(yīng)IV至1V內(nèi)任一電壓,根據(jù)兩端電極之間電壓的大小有區(qū)別的將電信號(hào)存儲(chǔ)于所述的微/納米阻變存儲(chǔ)器中,實(shí)現(xiàn)非易失性多比特存儲(chǔ)性能。本發(fā)明的一種微/納米阻變存儲(chǔ)器利用單根Sn元素?fù)诫s的ZnO微/納米
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