一種管式pecvd石墨舟結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型屬于光伏電池設(shè)計領(lǐng)域，具體設(shè)及一種管式陽CVD石墨舟結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來，太陽光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，很多國家開始逐漸開發(fā)太陽能資源，尋求經(jīng)濟發(fā) 展的新動力，在眾多材料的太陽能電池中，晶體娃電池工藝和材料發(fā)展逐漸成熟，而且考慮 到自然環(huán)境和對人體健康的影響，晶體娃太陽電池正向著更加環(huán)保的方向邁進，可W預(yù)料 晶體娃太陽電池今后仍是太陽能電池研究的主流方向，現(xiàn)在制約太陽能電池發(fā)展的關(guān)鍵問 題還是降低成本和提高轉(zhuǎn)換效率。
[0003] 現(xiàn)階段，背純化電池由于其制備流程與現(xiàn)階段標(biāo)準高度兼容，而廣受業(yè)內(nèi)關(guān)注，背 純化電池由于其前后兩面純化，大幅降低表面復(fù)合，從而提高電池轉(zhuǎn)化效率，由于雙面純化 要求電池兩面都需鍛介質(zhì)膜，而現(xiàn)階段管式PECVD作為當(dāng)前最為成熟的鍛膜方式被廣泛應(yīng) 用于太陽能電池鍛膜，管式PECVD裝卸娃片是通過真空吸筆將娃片吸住，然后貼在石墨舟 片去卡在卡點，受管式PECVD本身結(jié)構(gòu)的限制，兩次鍛膜需要經(jīng)過四次裝卸，也就是說娃片 表面需要與石墨舟接觸四次，使得娃片表面出現(xiàn)擦傷劃痕的幾率大大增加，而且裝卸石墨 舟的人員的手法和熟練度要求極高，然而裝卸過程中對娃片表面造成的不同程度損傷，不 僅對電池外觀造成致命的影響，從而大大降低產(chǎn)線的良品率，而且影響其純化性能，降低成 品的電池效率。
[0004] 故，需要一種新的技術(shù)方案W解決上述問題。 【實用新型內(nèi)容】
[0005] 實用新型目的：針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題和不足，本實用新型的目的是提供 一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，減少鍛膜裝卸電池片過程中對娃片表面的摩擦損傷，提高雙 面鍛膜過程的良品率。
[0006] 技術(shù)方案：本實用新型公開了一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，包括舟片，所述舟片包 括若干縷空區(qū)域，縷空區(qū)域周圍設(shè)有用于卡住娃片的勾點且該縷空區(qū)域的內(nèi)部邊緣面為光 滑面，鍛膜過程中，娃片緊貼舟片卡在該縷空區(qū)域上，本實用新型將縷空區(qū)域的內(nèi)部邊緣面 打磨拋光形成光滑面，當(dāng)操作人員在裝卸娃片中，有效降低了娃片與舟片的摩擦系數(shù)，達到 避免娃片損傷的目的。
[0007] 作為本實用新型的進一步優(yōu)化，本實用新型所述的舟片與舟片之間包括陶瓷桿、 舟片隔塊和電極隔塊。
[0008] 作為本實用新型的進一步優(yōu)化，本實用新型所述的舟片上沿為圓柱體曲面，在裝 卸娃片過程中，娃片先與舟片的上沿接觸，將舟片上沿做成圓柱體曲面，通過減少舟片的粗 糖棱線，從而較大程度的減少對娃片的損傷，從而提高產(chǎn)品良率和太陽能電池效率。
[0009] 作為本實用新型的進一步優(yōu)化，本實用新型所述的縷空區(qū)域的內(nèi)部邊緣為圓形倒 角結(jié)構(gòu)，避免娃片在卡入勾點過程中對娃片的摩擦及劃傷。
[0010] 作為本實用新型的進一步優(yōu)化，本實用新型所述的縷空區(qū)域為圓角矩形狀。
[0011] 作為本實用新型的進一步優(yōu)化，本實用新型所述的勾點數(shù)目為3個。
[0012] 作為本實用新型的進一步優(yōu)化，本實用新型所述勾點分別位于所述縷空區(qū)域的= 個方向上，更加穩(wěn)定的卡住娃片。
[0013] 有益效果：本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有W下優(yōu)點：
[0014] 1、本實用新型采用圓形倒角結(jié)構(gòu)的縷空區(qū)域的內(nèi)部邊緣配合圓柱體曲面的舟片 上沿，較大程度上減少了娃片裝卸過程中棱邊對娃片的摩擦從而降低損傷程度。
[0015] 2、本實用新型提高了雙面太陽能電池和背純化太陽能電池鍛膜的良率和電池片 背表面和純化膜的質(zhì)量，具有良好的經(jīng)濟效益。
[0016] 說明書附圖
[0017] 圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018] 圖2為本實用新型的舟片結(jié)構(gòu)圖；
[0019] 圖3為本實用新型的舟片上沿示意圖；
[0020] 圖4為本實用新型的縷空區(qū)域的內(nèi)部邊緣示意圖；
[0021] 1-舟片、11-縷空區(qū)域、12-勾點、111-內(nèi)部邊緣面。
【具體實施方式】
[0022] W下結(jié)合具體的實施例對本實用新型進行詳細說明，但同時說明本實用新型的 保護范圍并不局限于本實施例的具體范圍，基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù) 人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范 圍。
[0023] 需要說明的是，在本實用新型的描述中，除非另有說明，"多個"的含義是兩個或兩 個W上；術(shù)語"上"、"下"、"左"、"右"、"內(nèi)"、"外"、"前端"、"后端"、"頭部"、"尾部"等指示的 方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化 描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、W特定的方位構(gòu)造和操 作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語"第一"、"第二"、"第等僅用于描 述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。 實施例
[0024] 如圖1所示，本實施例的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，包括舟片1，舟片1與舟片1 之間包括陶瓷桿、舟片隔塊和電極隔塊。
[00巧]參照圖2、圖3和圖4,，舟片1包括若干圓角矩形狀的縷空區(qū)域11，縷空區(qū)域11 的=個方向上各分別設(shè)有用于卡住娃片的=個勾點12,縷空區(qū)域11的內(nèi)部邊緣面111為呈 圓形倒角的光滑面且舟片1上沿為圓柱體曲面，在裝拆娃片過程中，圓形倒角結(jié)構(gòu)的縷空 區(qū)域的內(nèi)部邊緣配合圓柱體曲面的舟片上沿，通過減少舟片的粗糖棱線，從而較大程度的 減少對娃片的損傷。 陽0%] 將同一管式PECVD鍛膜機臺由同一人先后使用現(xiàn)有的石墨舟和本實施例的石墨 舟裝卸娃片，并觀察娃片表面損傷情況，對比結(jié)果如下表所示：
[0027] 對比結(jié)果
[0028] 陽029] 另外，在雙面電池鍛膜不良片分析發(fā)現(xiàn)，大部分電池片的外觀不良屬于雙面氮化 娃膜劃傷，而本實施例的石墨舟對避免電池片減反純化膜劃傷效果顯著。
[0030] 本實用新型的實施例是為了示例和描述起見而給出的，而并不是無遺漏的或者將 本實用新型限于所公開的形式。很多修改和變化對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言是顯而易 見的。選擇和描述實施例是為了更好說明本實用新型的原理和實際應(yīng)用，并且使本領(lǐng)域的 普通技術(shù)人員能夠理解本實用新型從而設(shè)計適于特定用途的帶有各種修改的各種實施例。
【主權(quán)項】
1. 一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括舟片，所述舟片包括若干鏤空區(qū)域， 所述鏤空區(qū)域周圍設(shè)有用于卡住硅片的勾點且該鏤空區(qū)域的內(nèi)部邊緣面為光滑面。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述舟片與舟片 之間包括陶瓷桿、舟片隔塊和電極隔塊。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述舟片上 沿為圓柱體曲面。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述鏤空區(qū)域的 內(nèi)部邊緣為圓形倒角結(jié)構(gòu)。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述鏤空區(qū)域為 圓角矩形狀。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述勾點數(shù)目為3 個。7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述勾點分別位 于所述鏤空區(qū)域的不同方向上。
【專利摘要】本實用新型公開了一種管式PECVD石墨舟結(jié)構(gòu)，包括舟片，所述舟片包括若干鏤空區(qū)域，鏤空區(qū)域周圍設(shè)有用于卡住硅片的勾點且該鏤空區(qū)域的內(nèi)部邊緣面為光滑面，鍍膜過程中，硅片緊貼舟片卡在該鏤空區(qū)域上，本實用新型將鏤空區(qū)域的內(nèi)部邊緣面打磨拋光形成光滑面，當(dāng)操作人員在裝卸硅片中，有效降低了硅片與舟片的摩擦系數(shù)，達到避免硅片損傷的目的。
【IPC分類】H01L21/673, H01L31/18
【公開號】CN204857684
【申請?zhí)枴緾N201520513292
【發(fā)明人】黃石明, 孫海平, 夏正月, 張斌
【申請人】奧特斯維能源（太倉）有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年7月16日