一種石英蓋板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型提出一種結(jié)構(gòu)合理，能夠很好的控制承載裝置的位置及角度的石英蓋板。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體裝置的制造過程中，為了對(duì)被處理的芯片進(jìn)行氧化、擴(kuò)散及退火等處理，需使用各種熱處理裝置。其中對(duì)多枚芯片能同時(shí)作批處理的熱處理裝置，在熱處理的過程中，使用承載裝置進(jìn)行多枚芯片的盛放；芯片在承載裝置的承載下進(jìn)行熱處理；
[0003]該承載裝置在進(jìn)行熱處理的過程中由一保溫筒所支撐，由此隔絕成處理裝置內(nèi)與外界的溫度交換，確保該承載裝置上的芯片能受到均一的高溫。
[0004]保溫筒有筒體和蓋板組成，然而，現(xiàn)有技術(shù)中蓋板由于其結(jié)構(gòu)不合理，導(dǎo)致在承載裝置放置后會(huì)出現(xiàn)晃動(dòng)，或產(chǎn)生位移，進(jìn)而造成承載裝置偏離設(shè)定位置，影響正常的生產(chǎn)加工。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提出一種結(jié)構(gòu)合理，能夠很好的控制承載裝置的位置及角度的石英蓋板。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0007]一種石英蓋板，包括:
[0008]用于一面與筒體連接，另一面與承載裝置連接的蓋體；
[0009]用于與承載裝置上的凸起進(jìn)行連接的固定槽組，設(shè)置在蓋體上；
[0010]用于控制承載裝置角度的調(diào)整槽組，設(shè)置在蓋體上。
[0011]作為進(jìn)一步的技術(shù)方案，固定槽組包括:
[0012]中心槽，與蓋體同心設(shè)置；
[0013]第一凹槽環(huán)形組，與中心槽同心設(shè)置；
[0014]第二凹槽環(huán)形組，與中心槽同心設(shè)置。
[0015]優(yōu)選的，中心槽包括1個(gè)固定凹槽，第一凹槽環(huán)形組包括7個(gè)固定凹槽；第二凹槽環(huán)形組包括14個(gè)固定凹槽。
[0016]作為進(jìn)一步的技術(shù)方案，固定凹槽的邊緣上設(shè)置有若干加強(qiáng)槽。
[0017]優(yōu)選的，加強(qiáng)槽為4個(gè)，等間距設(shè)置在固定凹槽的邊緣上。
[0018]作為進(jìn)一步的技術(shù)方案，調(diào)整槽組包括:
[0019]第一環(huán)形調(diào)整組，與蓋體同心設(shè)置；
[0020]第二環(huán)形調(diào)整組，將第一環(huán)形調(diào)整組設(shè)置在內(nèi)部，并與蓋體同心設(shè)置；
[0021]第三環(huán)形調(diào)整組，將第二環(huán)形調(diào)整組設(shè)置在內(nèi)部，并與蓋體同心設(shè)置。
[0022]優(yōu)選的，第一環(huán)形調(diào)整組包括7個(gè)調(diào)整凹槽；第二環(huán)形調(diào)整組包括7個(gè)調(diào)整凹槽；第三環(huán)形調(diào)整組包括14個(gè)調(diào)整凹槽。
[0023]本實(shí)用新型技術(shù)方案通過將承載裝置根據(jù)需要將底部的凸起設(shè)置在需要的固定槽組中，并通過調(diào)整槽組與承載裝置底部的另一凸起進(jìn)行連接，實(shí)現(xiàn)承載裝置的固定及角度調(diào)整，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)在承載裝置固定后通過雙重固定不會(huì)出現(xiàn)晃動(dòng)及位移的產(chǎn)生，且通過調(diào)整槽組進(jìn)行位置調(diào)整避免承載裝置偏離設(shè)定位置，進(jìn)而提高生產(chǎn)加工的效率。
【附圖說明】
[0024]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0025]圖1為本實(shí)用新型一種石英蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖中:
[0027]1、蓋體；2、固定凹槽；3、加強(qiáng)槽；4、調(diào)整凹槽。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0029]如圖1所示，本實(shí)用新型提出的一種石英蓋板，包括:
[0030]蓋體1的一面與筒體連接，另一面與承載裝置連接；一方面通過蓋體1進(jìn)行筒體的密封，另一方面進(jìn)行與承載裝置的連接，并對(duì)承載裝置進(jìn)行固定；
[0031]固定槽組設(shè)置在蓋體1上，并與承載裝置上的凸起進(jìn)行連接的，進(jìn)而通過固定槽組進(jìn)行承載裝置的主要固定，保證其的固定位置；
[0032]其中，
[0033]固定槽組包括中心槽與蓋體1同心設(shè)置；第一凹槽環(huán)形組與中心槽同心設(shè)置；第二凹槽環(huán)形組與中心槽同心設(shè)置，通過這樣的設(shè)置，是的第一凹槽環(huán)形組與蓋體1處于同一個(gè)圓形，并設(shè)置在中心槽外圍，第二凹槽環(huán)形組設(shè)置在第一凹槽環(huán)形組外圍，并于蓋體1同心設(shè)置；
[0034]本實(shí)用新型中，優(yōu)選的，中心槽包括1個(gè)固定凹槽2，第一凹槽環(huán)形組包括7個(gè)固定凹槽2 ;第二凹槽環(huán)形組包括14個(gè)固定凹槽2 ;
[0035]為更好的進(jìn)行承載裝置與固定凹槽2的配合固定，優(yōu)選的固定凹槽2的邊緣上設(shè)置有若干加強(qiáng)槽3，通過在承載裝置固定時(shí)將承載裝置上另外的凸起置于加強(qiáng)槽3內(nèi)，實(shí)現(xiàn)加強(qiáng)承載裝置與固定凹槽2的配合；本實(shí)用新型中優(yōu)選的，加強(qiáng)槽3為4個(gè)，等間距設(shè)置在固定凹槽2的邊緣上。這樣能夠在固定后保證里的均勻；
[0036]調(diào)整槽組設(shè)置在蓋體1上，并與承載裝置上另外的凸起進(jìn)行固定，進(jìn)而在承載裝置與固定槽組固定后，通過與調(diào)整槽組的選擇固定，進(jìn)而通過調(diào)整槽組實(shí)現(xiàn)控制承載裝置角度；
[0037]其中，
[0038]調(diào)整槽組包括:第一環(huán)形調(diào)整組與蓋體1同心設(shè)置；第二環(huán)形調(diào)整組將第一環(huán)形調(diào)整組設(shè)置在內(nèi)部，并與蓋體1同心設(shè)置；第三環(huán)形調(diào)整組將第二環(huán)形調(diào)整組設(shè)置在內(nèi)部，并與蓋體1同心設(shè)置；
[0039]當(dāng)承載裝置與固定槽組固定后可以選擇性的與第一環(huán)形調(diào)整組、第二環(huán)形調(diào)整組或第三環(huán)形調(diào)整組進(jìn)行固定連接，進(jìn)而能夠更好的控制承載裝置的角度；
[0040]本實(shí)用新型中優(yōu)選的，第一環(huán)形調(diào)整組包括7個(gè)調(diào)整凹槽4 ;第二環(huán)形調(diào)整組包括7個(gè)調(diào)整凹槽4 ;第三環(huán)形調(diào)整組包括14個(gè)調(diào)整凹槽4。
[0041]通過將承載裝置根據(jù)需要將底部的凸起設(shè)置在需要的固定槽組中，并通過調(diào)整槽組與承載裝置底部的另一凸起進(jìn)行連接，實(shí)現(xiàn)承載裝置的固定及角度調(diào)整，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)在承載裝置固定后通過雙重固定不會(huì)出現(xiàn)晃動(dòng)及位移的產(chǎn)生，且通過調(diào)整槽組進(jìn)行位置調(diào)整避免承載裝置偏離設(shè)定位置，進(jìn)而提高生產(chǎn)加工的效率。
[0042]以上僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石英蓋板，其特征在于，包括: 用于一面與筒體連接，另一面與承載裝置連接的蓋體(1); 用于與承載裝置上的凸起進(jìn)行連接的固定槽組，設(shè)置在所述蓋體(1)上； 用于控制承載裝置角度的調(diào)整槽組，設(shè)置在所述蓋體(1)上。2.如權(quán)利要求1所述的石英蓋板，其特征在于，所述固定槽組包括: 中心槽，與所述蓋體(1)同心設(shè)置； 第一凹槽環(huán)形組，與所述中心槽同心設(shè)置； 第二凹槽環(huán)形組，與所述中心槽同心設(shè)置。3.如權(quán)利要求2所述的石英蓋板，其特征在于，所述中心槽包括1個(gè)固定凹槽(2)，所述第一凹槽環(huán)形組包括7個(gè)固定凹槽(2);所述第二凹槽環(huán)形組包括14個(gè)固定凹槽(2)。4.如權(quán)利要求3所述的石英蓋板，其特征在于，所述固定凹槽(2)的邊緣上設(shè)置有若干加強(qiáng)槽⑶。5.如權(quán)利要求4所述的石英蓋板，其特征在于，所述加強(qiáng)槽(3)為4個(gè)，等間距設(shè)置在所述固定凹槽(2)的邊緣上。6.如權(quán)利要求1所述的石英蓋板，其特征在于，所述調(diào)整槽組包括: 第一環(huán)形調(diào)整組，與所述蓋體(1)同心設(shè)置； 第二環(huán)形調(diào)整組，將所述第一環(huán)形調(diào)整組設(shè)置在內(nèi)部，并與所述蓋體(1)同心設(shè)置； 第三環(huán)形調(diào)整組，將所述第二環(huán)形調(diào)整組設(shè)置在內(nèi)部，并與所述蓋體(1)同心設(shè)置。7.如權(quán)利要求6所述的石英蓋板，其特征在于，所述第一環(huán)形調(diào)整組包括7個(gè)調(diào)整凹槽(4); 所述第二環(huán)形調(diào)整組包括7個(gè)調(diào)整凹槽(4); 所述第三環(huán)形調(diào)整組包括14個(gè)調(diào)整凹槽(4)。
【專利摘要】本實(shí)用新型提出了一種結(jié)構(gòu)合理，能夠很好的控制承載裝置的位置及角度的石英蓋板；包括用于一面與筒體連接，另一面與承載裝置連接的蓋體；用于與承載裝置上的凸起進(jìn)行連接的固定槽組，設(shè)置在蓋體上；用于控制承載裝置角度的調(diào)整槽組，設(shè)置在蓋體上；本實(shí)用新型提出的石英蓋板通過調(diào)整槽組進(jìn)行位置調(diào)整避免承載裝置偏離設(shè)定位置，進(jìn)而提高生產(chǎn)加工的效率。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號(hào)】CN205159292
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520845232
【發(fā)明人】張忠恕, 張娟, 陳強(qiáng), 孫云濤, 馮繼瑤, 邊占寧, 趙曉亮, 于洋, 李寶軍, 王笑波, 王連連, 張連興, 李翔星, 于立臣
【申請(qǐng)人】北京凱德石英股份有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請(qǐng)日】2015年10月29日